TWI702408B - 觸控顯示裝置之控制方法 - Google Patents

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Abstract

本案提供一種觸控顯示裝置之控制方法，適用於包含有可動元件之探針台，可動元件選自晶圓載台、攝影模組與探針座之其中之一者。觸控顯示裝置之控制方法包含顯示第一視窗以及第二視窗於觸控顯示裝置；顯示操作介面於第一視窗內，顯示即時影像於第二視窗內；以及偵測於操作介面產生之觸控指令，可動元件依據觸控指令移動。

Description

觸控顯示裝置之控制方法
本發明是關於一種觸控顯示裝置之控制方法，特別是關於一種探針台(probe station)的觸控顯示裝置控制可動元件的方法。
按，一般的探針台係透過機台上設置的實體按鈕或搖桿進行機台內諸如晶圓載台(chuck stage)、攝影模組(camera stage)或探針座(positioner stage)之類的可動元件的操控，可動元件基於機台上的實體按鈕或搖桿的控制而位移。而當使用者操作實體按鈕或搖桿時僅能憑靠操作經驗及手感判斷控制的結果，較無法符合多元的控制需求。
本案提供一種觸控顯示裝置之控制方法，適用於包含有可動元件之探針台，可動元件選自晶圓載台、攝影模組與探針座之其中之一者。觸控顯示裝置之控制方法包含顯示第一視窗以及第二視窗於觸控顯示裝置；顯示操作介面於第一視窗內，顯示即時影像於第二視窗內；以及偵測於操作介面產生之觸控指令，可動元件依據觸控指令移動。
請配合參閱圖1，圖1為本發明觸控顯示裝置之控制方法之一實施例適用之探針台1。圖1繪示之探針台1包含晶圓載台11、攝影模組12、探針載台13(probe platen)、觸控顯示裝置14、探針座15以及機殼16。其中晶圓載台11、攝影模組12與探針座15為可動元件。觸控顯示裝置14可以用來顯示數位晶圓圖、晶圓校正片圖像以及攝影模組12即時截取到的影像。探針座15設置於探針載台13，探針座15可以相對於探針載台13移動。攝影模組12可以從晶圓載台11之上方而沿著Z軸方向擷取影像，也可以位於機殼16的側邊而沿著X軸方向或者Y軸方向擷取影像。此外，前述可動元件亦不以晶圓載台11、攝影模組12及探針座15為限。
繼續參閱圖1，探針台1的晶圓載台11上乘載晶圓20，而探針座15上固持探針30。於此，探針30可以是設置於探針座15再設置於探針載台13上的探針30，或是設置於探針卡上再設置於探針載台13，本發明並不以此為限。探針台1的探針載台13可位移靠近晶圓載台11，探針載台13上的探針30接觸晶圓20，探針30的針尖接觸晶圓20並刺穿氧化層以形成電性連接而能進行檢測。
參閱圖1至圖2，於此，探針台1的觸控顯示裝置14可以用來顯示控制可動元件的操作介面W11，並提供使用者由觸控顯示裝置14控制可動元件。進一步地，於一實施例中，透過觸控顯示裝置14顯示控制的各項資訊以提供檢測操作者更快速精準地判斷可動元件的控制狀況。本發明觸控顯示裝置之控制方法的其中一步驟係顯示第一視窗W1以及第二視窗W2於觸控顯示裝置14。於一實施例中，第一視窗W1以及第二視窗W2同時顯示於觸控顯示裝置14，因此，第一視窗W1以及第二視窗W2可以是並列顯示於觸控顯示裝置14，也可以是重疊顯示於觸控顯示裝置14。
進一步地，本發明觸控顯示裝置之控制方法的另一步驟係顯示操作介面W11於第一視窗W1內，並且顯示即時影像W21於第二視窗W2內。其中，第一視窗W1的操作介面W11係用以控制可動元件之位移的圖形化介面，而第二視窗W2內的即時影像W21為由攝影模組12即時截取晶圓載台11上的晶圓20之影像。
進一步地，本發明觸控顯示裝置之控制方法的再一步驟係在操作介面W11顯示於第一視窗W1後，偵測於操作介面W11產生的觸控指令，而可動元件依據觸控指令移動。
於一實施例中，可動元件依據在第一視窗W1的操作介面W11產生的觸控指令而移動的方式可以是包含線性位移或轉動或是兼具線性位移與轉動。具體地，可動元件依據觸控指令線性位移的實施例中，可以是可動元件沿著單一線性方向移動、沿著相垂直的兩個線性方向移動或是沿著彼此垂直的三個線性方向移動。
進一步地，在操作介面W11上產生的觸控指令可以是於觸控顯示裝置14的第一視窗W1內對應操作介面W11的位置上進行點觸、轉動、滑動或多點觸控的動作，也就是說，當操作者於觸控顯示裝置14的第一視窗W1對應操作介面W11的位置進行點觸、滑動或多點觸控的動作時，操作介面W11可以偵測到觸控指令。當然，在其他實施例中，可產生觸控指令的觸控動作也可以是基於使用者的自行定義。
在一些實施例中，在觸控顯示裝置14的第一視窗W1對應操作介面W11所產生的觸控指令可以是依據操作介面W11上的圖像不同而有差異。在一實施例中，參閱圖2，操作介面W11包含視覺滾輪A的圖像。於此實施例中，於視覺滾輪A圖像上產生觸控指令的方式是模擬實體滾輪的操作模式，也就是說，使用者可在觸控顯示裝置14的視覺滾輪A圖像上滾動或滑動以達到與實體滾輪相同的控制。具體地，視覺滾輪A圖像係具有長方形的外輪廓，沿著視覺滾輪A圖像的長邊滑動可以產生觸控指令。在每一視覺滾輪A圖像上產生的觸控指令可以控制可動元件沿著單一個線性方向位移。因此，在其他實施例中，參閱圖2及圖3，當欲控制可動元件沿著複數線性方向位移時，可於第一視窗W1上設置複數視覺滾輪A的圖像，而在各視覺滾輪A的圖像上產生的觸控指令可以控制可動元件朝不同的線性方向位移。
繼續參閱圖2至圖3，進一步地，在第一視窗W1上設置複數視覺滾輪A圖像的實施例中，為使檢測操作人員可以直覺地了解各視覺滾輪A圖像所對應的可動元件控制方向，於一實施例中可以但不限於直接透過文字指示各視覺滾輪A圖像所對應的可動元件控制方向。於此實施例中，第一視窗W1上在鄰近視覺滾輪A圖像之處可以包含文字指示，文字指示直接對應鄰近的視覺滾輪A圖像之可動元件控制方向。在一具體實施例中，文字指示可以但不限於是X、Y或Z之英文文字以直接指示視覺滾輪A圖像對應的可動元件控制方向。
同樣參閱圖2及圖3，在另一實施例中，可以將視覺滾輪A圖像的長邊沿著所對應的可動元件控制方向設置，藉以供使用者透過視覺就能直覺地了解各視覺滾輪A圖像所對應的可動元件控制方向。當然，將各視覺滾輪A圖像平行排列再分別搭配文字指示區別各視覺滾輪A圖像對應的可動元件控制方向也是一種可行的實施態樣。
繼續參閱圖2及圖3，在一實施例中，為更清楚地指示檢測操作人員觸控視覺滾輪A圖像的方法，第一視窗W1上在視覺滾輪A圖像的長邊兩端更可以包含第一觸控指示及第二觸控指示，第一觸控指示及第二觸控指示可以分別透過圖像指示至控制可動元件位移方向的兩端。具體地，第一觸控指示及第二觸控指示為方向相反的箭頭圖像。藉此，檢測操作員依照第一觸控指示及第二觸控指示的指示方向於視覺滾輪A圖像上滑動或滾動便能於視覺滾輪A圖像上產生觸控指令。
參閱圖4，在一實施例中，操作介面W11可以是包含視覺操縱桿B的圖像。於此實施例中，於視覺操縱桿B圖像上產生觸控指令的方式是模擬實體搖桿的操作模式，也就是說，使用者可在保持接觸於觸控顯示裝置14的視覺操縱桿B的圖像拖移以達到與實體搖桿相同的控制。具體地，視覺操縱桿B的圖像係至少包含觸控搖桿區B1、指令產生區B2及指令邊界B3，觸控搖桿區B1為圓形，指令邊界B3與觸控搖桿區B1的外輪廓為同心圓，且指令邊界B3的直徑大於觸控搖桿區B1的外輪廓的直徑，而觸控搖桿區B1的外輪廓與指令邊界B3之間的範圍為指令產生區B2。
於此實施例中，保持接觸於視覺操縱桿B的圖像中觸控搖桿區B1並拖移至指令產生區B2可以產生觸控指令，使用者可觸壓於觸控搖桿區B1並拖移觸控搖桿區B1轉動、向指令邊界B3位移以在指令產生區B2產生觸控指令。具體而言，觸控搖桿區B1被拖移至指令產生區B2中的任意位置可以依據二維座標被定義出不同的座標值，操作介面W11依據不同的座標值產生不同的觸控指令。在具體實施態樣中，當觸控指令係依據二維座標值產生時，視覺操縱桿B的圖像可以但不限於被用來控制可動元件沿兩相互垂直的X及Y方向位移。
參閱圖5，於一實施例中，視覺操縱桿B的圖像中的指令產生區B2更包含複數第一分段控制區B21，各第一分段控制區B21具體為分別距離觸控搖桿區B1的圓心之距離不同的圓環形區域。具體而言，各第一分段控制區B21係相對於觸控搖桿區B1具有不同直徑的同心圓環。而第一分段控制區B21又包含複數第二分段控制區B22，第二分段控制區B22具體為第一分段控制區B21以等圓周角分隔之扇形區域。於此，第一分段控制區B21與第二分段控制區B22可以產生不同的觸控指令。於一具體實施態樣中，不同的第一分段控制區B21產生的觸控指令可以控制可動元件以不同的移動速率移動，而不同的第二分段控制區B22產生的觸控指令可以控制可動元件朝向不同的位移方向位移。
同樣參閱圖5，更進一步地，於一具體實施例中，更可以依據靠近觸控搖桿區B1的距離來設定第一分段控制區B21控制可動元件的移動速率，例如但不限於越靠近觸控搖桿區B1的第一分段控制區B21控制可動元件的移動速度越慢，並隨著距離觸控搖桿區B1的距離增加而增加控制可動元件的移動速度。當然，也可以由使用者自行定義各第一分段控制區B21控制可動元件的移動速率。
以圖5的實施例來看，視覺操縱桿B的圖像中之指令產生區B2包含四個第一分段控制區B21，而各第一分段控制區B21可以包含不同數量的第二分段控制區B22。在本實施例中，第一分段控制區B21依據面積的不同而可以包含有不同數量的第二分段控制區B22。具體而言，最靠近觸控搖桿區B1的第一分段控制區B21包含四個第二分段控制區B22，而其餘第一分段控制區B21則因面積逐件增加而可以包含八個第二分段控制區B22。值得說明的是，前述第一分段控制區B21及第二分段控制區B22的數量僅為示例說明，本發明並不以此為限。透過不同數量的第一分段控制區B21或第二分段控制區B22的設置，藉以提高觸控指令之精度。
據此，當使用者觸壓於視覺操縱桿B的圖像中的觸控搖桿區B1，並拖移觸控搖桿區B1往不同的第一分段控制區B21及不同的第二分段控制區B22位移時，便能對應控制可動元件以不同的移動速度朝向不同的方向位移。而使用者可以在觸壓控制視覺操縱桿B圖像時配合操作介面W11上顯示的第一分段控制區B21及第二分段控制區B22的圖像透過視覺快速地判斷當前的操作所對應的控制速度或方向，而能更為快速及精準地控制。
參閱圖5，在操作介面W11包含視覺操縱桿B圖像的實施例中，由於視覺操縱桿B的整體圖像為二維的圓形平面圖像，因此視覺操縱桿B的圖像主要用以控制可動元件在相垂直的二維方向移動。而當可動元件係具有三維方向的移動需求時，則操作介面W11上則可以同時包含視覺滾輪A的圖像與視覺操縱桿B的圖像，透過視覺操縱桿B的圖像產生對應二維方向移動的觸控指令，而視覺滾輪A圖像產生與前述二維方向相垂直的第三個方向移動之觸控指令，藉以滿足三維方向的移動控制需求。
在一實施例中，參閱圖6，操作介面W11可以包含視覺旋轉輪C的圖像，於此，視覺旋轉輪C具有圓形外輪廓以及位於圓形外輪廓範圍內的旋轉鍵C1，旋轉鍵C1概為橫越視覺旋轉輪C圖像中心點的長形圖樣。藉由視覺旋轉輪C的圖樣形狀提供使用者可以模擬實體旋鈕之操控方式觸壓於旋轉鍵C1轉動。在此實施例中，旋轉鍵C1的兩端連線方向被設定為控制可動元件位移的方向，且旋轉鍵C1可以在被拖移轉動及滑動時產生觸控指令。而視覺旋轉輪C的具體使用方法是使用者可以將旋轉鍵C1的兩端連線方向指向欲控制可動元件位移的方向，接著再於旋轉鍵C1上滑動以控制可動元件位移。於此，在旋轉鍵C1上滑動產生觸控指令的方式係與在視覺滾輪A圖像上產生觸控指令的操作方式相同。
據此實施例中，使用者可以自由旋轉前述旋轉鍵C1以定義控制可動元件位移的方向，因而能提高操控的自由度。此外，在一實施例中，偵測旋轉鍵C1的旋轉動作以控制可動元件旋轉也是一種可行的實施方式。
在前述各實施例中，操作介面W11在鄰近視覺滾輪A、視覺操縱桿B或是視覺旋轉輪C的位置更可以包含數值顯示區，數值顯示區顯示可動元件被控制所能對應位移的最大位移數值，而最大位移數值可由操作者自行定義。藉由自行定義控制可動元件位移的最大位移數值，可以確保可動元件在被控制位移的過程中均在可允許或期望的位移範圍內。
在前述各實施例中，使用者在視覺滾輪A、視覺操縱桿B以及視覺旋轉輪C上產生的觸控指令均可以是對應觸控指令的產生方向控制可動元件的位移方向。在其他實施例中，在視覺滾輪A、視覺操縱桿B以及視覺旋轉輪C圖像上產生的觸控指令之距離及速度也可以是對應控制可動元件的位移距離速度。也就是說，在操作介面W11上產生觸控指令的速度及距離與可動元件被控制位移的速度及距離成正比。
當然，由於可動元件在不同方向上的允許位移量可能有所不同，也就是可動元件在不同方向上的最大位移量不同，因此，除了可以分別設定可動元件在不同方向上的最大位移數值之外，也可以視需求個別定義視覺滾輪A、視覺操縱桿B或視覺旋轉輪C圖像的傳動比。舉例而言，當操作介面W11上設置有四個視覺滾輪A以分別對應可動元件的X方向、Y方向、Z方向及θ動量的控制時，在可動元件於X方向上的最大位移量遠大於在Z方向上的最大位移量時，便能由使用者自行定義在對應X方向及Z方向上的視覺滾輪A圖像上產生相同距離的觸控指令下對應控制可動元件的位移距離不同，例如設定在對應X方向上的視覺滾輪A圖像上產生1cm的滑動觸控指令對應控制可動元件位移10cm，而在對應Y方向上的視覺滾輪A圖像上產生1cm的滑動觸控指令對應控制可動元件位移1cm，藉此確保在有限的操作介面W11空間下均能完成各方向的控制。
此外，在前述各實施例中，透過於視覺滾輪A、視覺操縱桿B以及視覺旋轉輪C圖像上產生觸控指令對應控制可動元件位移的方式可以但不限於是控制可動元件連續無間斷地位移。在其他實施例中，也可以是控制可動元件以步進式的方式位移，並且可以在操作介面W11上顯示對應指示訊息供操作者了解目前的可動元件位移模式(例如顯示STEP表示步進式位移)。
參閱圖2，在一實施例中，為提供使用者可以在觸控顯示裝置14上快速地判斷可動元件當前的位置以及控制狀況，觸控顯示裝置14更可以顯示第三視窗W3，第三視窗W3可以但不限於重疊於第二視窗W2或第一視窗W1，且第三視窗W3內顯示可動元件的當前位置數據值。
同樣參閱圖2，進一步地，在一實施例中，觸控顯示裝置14上更包含第四視窗W4，第四視窗W4可以但不限於重疊於第二視窗W2，且第四視窗W4顯示數位晶圓圖，第四視窗W4顯示的晶圓圖為第二視窗W2顯示的晶圓20之數位晶圓圖，且第四視窗W4的晶圓圖上具有基準標示H，在操作介面W11上控制可動元件位移觸控指令是以基準標示H為基準位置進行位移的控制。而第三視窗W3上顯示的位置數據也是依據基準標示H為基準位置產生的相對座標位置值。
經由上述可知，本案透過於操作介面W11上顯示視覺化供以觸控控制的不同觸控圖像，使用者透過觸控的方式控制可動元件，操作介面W11上視覺化的圖像或數值提供操作者快速、精準的控制數值，提高控制可動元件的精準度及效率。
雖然本揭露已以一些實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭露之精神及範圍內，當可作些許更動及潤飾。因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧探針台 11‧‧‧晶圓載台 12‧‧‧攝影模組 13‧‧‧探針載台 14‧‧‧觸控顯示裝置 15‧‧‧探針座 16‧‧‧機殼 W1‧‧‧第一視窗 W11‧‧‧操作介面 W2‧‧‧第二視窗 W21‧‧‧即時影像 W3‧‧‧第三視窗 W4‧‧‧第四視窗 A‧‧‧視覺滾輪 B‧‧‧視覺操縱桿 B1‧‧‧觸控搖桿區 B2‧‧‧指令產生區 B21‧‧‧第一分段控制區 B22‧‧‧第二分段控制區 B3‧‧‧指令邊界 C‧‧‧視覺旋轉輪 C1‧‧‧旋轉鍵 H‧‧‧基準標示 20‧‧‧晶圓 30‧‧‧探針
圖1為本發明觸控顯示裝置之控制方法之一實施例適用之探針台。 圖2為本發明觸控顯示裝置之控制方法適用之探針台的觸控顯示裝置顯示操作介面之一實施例的示意圖。 圖3為本發明觸控顯示裝置之控制方法適用之操作介面的另一實施例的示意圖。 圖4為本發明觸控顯示裝置之控制方法適用之操作介面的再一實施例的示意圖。 圖5為本發明觸控顯示裝置之控制方法適用之操作介面的更一實施例的示意圖。 圖6為本發明觸控顯示裝置之控制方法適用之操作介面的再另一實施例的示意圖。
14‧‧‧觸控顯示裝置
W1‧‧‧第一視窗
W11‧‧‧操作介面
W2‧‧‧第二視窗
W21‧‧‧即時影像
W3‧‧‧第三視窗
W4‧‧‧第四視窗
A‧‧‧視覺滾輪
H‧‧‧基準標示

Claims (10)

  1. 一種觸控顯示裝置之控制方法，適用於包含有一可動元件之探針台，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組與探針座之其中之一者，該方法包含：顯示一第一視窗以及一第二視窗於一觸控顯示裝置；顯示一操作介面於該第一視窗內，顯示一即時影像於該第二視窗內，其中該操作介面包含一視覺滾輪的圖像；以及偵測於該操作介面產生之一觸控指令，該可動元件依據該觸控指令移動。
  2. 如請求項1所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中該第一視窗可位移重疊於該第二視窗。
  3. 如請求項1所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中該第一視窗內更顯示一數值顯示區，該數值顯示區顯示該視覺滾輪控制該可動元件被控制所能對應位移的最大位移數值。
  4. 如請求項1所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中該可動元件依據該觸控指令旋轉或線性位移。
  5. 一種觸控顯示裝置之控制方法，適用於包含有一可動元件之探針台，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組與探針座之其中之一者，該方法包含：顯示一第一視窗以及一第二視窗於一觸控顯示裝置；顯示一操作介面於該第一視窗內，顯示一即時影像於該第二視窗內，其中該操作介面包含一視覺操縱桿的圖像；以及 偵測於該操作介面產生之一觸控指令，該可動元件依據該觸控指令移動；其中該視覺操縱桿的圖像更包含一觸控搖桿區、一指令產生區及一指令邊界，該指令邊界與該觸控搖桿區的外輪廓為同心圓，該觸控搖桿區的外輪廓與該指令邊界之間的範圍為該指令產生區，保持接觸於該觸控搖桿區並拖移至該指令產生區可以產生該觸控指令；其中該指令產生區更包含複數第一分段控制區，該複數第一分段控制區更分別包含複數第二分段控制區，該複數第一分段控制區與該複數第二分段控制區可以分別產生不同的觸控指令。
  6. 如請求項5所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中該複數第一分段控制區分別產生的觸控指令可以控制該可動元件以不同的移動速率移動，而該複數第二分段控制區分別產生的觸控指令可以控制該可動元件朝向不同的位移方向位移。
  7. 如請求項1至6任一項所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中該操作介面更包含一視覺旋轉輪的圖像，該視覺旋轉輪具有圓形外輪廓以及位於圓形外輪廓範圍內的一旋轉鍵，於該旋轉鍵上觸壓轉動以改變控制該可動元件位移的方向。
  8. 一種觸控顯示裝置之控制方法，適用於包含有一可動元件之探針台，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組與探針座之其中之一者，該方法包含：顯示一第一視窗以及一第二視窗於一觸控顯示裝置；顯示一操作介面於該第一視窗內，顯示一即時影像於該第二視窗內， 其中該操作介面包含一視覺滾輪的圖像以及一視覺操縱桿的圖像；以及偵測於該操作介面產生之一觸控指令，該可動元件依據該觸控指令移動。
  9. 如請求項1至6及請求項8之任一項所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中於該操作介面上產生該觸控指令的方式為點觸、滑動或多點觸控。
  10. 如請求項1至6及請求項8之任一項所述之觸控顯示裝置之控制方法，其中該觸控顯示裝置更顯示一第三視窗，該第三視窗顯示該可動元件的移動資訊。
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