DE102019114028A1 - Anzeigeverfahren einer anzeigeapparatur - Google Patents

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DE102019114028A1
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Lin-Lin Chih
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Abstract

Eine Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur wird bereitgestellt. Das Verfahren umfasst:Anzeigen eines ersten Fensters W1 und eines zweiten Fensters W2, die miteinander überlappen, an einer berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14, wobei das erste Fenster W1 kleiner als das zweite Fenster W2 ist,Anzeigen eines ersten Bildes P1 in dem ersten Fenster W1 und Anzeigen eines zweiten Bildes P2 in dem zweiten Fenster W2, wobei das zweite Bild P2 ein Bild ist, das in Echtzeit von einem Kameramodul 12 aufgenommen wird,Anzeigen des ersten Bildes P1 in dem zweiten Fenster W2 und Anzeigen des zweiten Bildes P2 in dem ersten Fenster W1 gemäß der ersten Berührungsinstruktion und Anzeigen des ersten Bildes P1 an dem ersten Fenster W1 und Anzeigen des zweiten Bildes P2 an dem zweiten Fenster W2 gemäß der zweiten Berührungsinstruktion.

Description

  • HINTERGRUND
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Anzeigeverfahren, insbesondere auf ein Wafer-Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur einer Wafer-Messstation.
  • Stand der Technik
  • In einer gewöhnlichen Wafer-Messstation wird ein Wafer an einem Spanngestell angeordnet. Die Wafer-Messstation wird von einer Software-Benutzeroberfläche gesteuert. Die Software zeigt eine digitale Wafer-Karte oder ein Echtzeitbild des Wafers, aufgenommen von einer Kamera, die an einem Mikroskop angeordnet ist, auf einem Videobildschirm. Während des Aufbaus und des Testprozesses ist es notwendig, zwischen beiden Ansichten zu wechseln. Das kann durch den Gebrauch zweier Monitore durchgeführt werden oder durch das Anordnen der zwei Fenster auf einem Bildschirm, was nicht sehr zweckmäßig ist.
  • KURZFASSUNG
  • Die vorliegende Erfindung stellt ein Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur bereit, das bei einer Messstation einsetzbar ist, die ein Kameramodul aufweist. Das Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur umfasst: Anzeigen eines ersten Fensters und eines zweiten Fensters auf einer Anzeigeapparatur, wobei das erste Fenster und das zweite Fenster miteinander überlappen und die Größe des ersten Fensters kleiner ist als die des zweiten Fensters; Anzeigen eines ersten Bildes und eines ersten Zeigers in dem ersten Fenster und Anzeigen eines zweiten Bildes und eines zweiten Zeigers in dem zweiten Fenster, wobei das zweite Bild ein Bild ist, das in Echtzeit von dem Kameramodul aufgenommen wird; Detektieren einer ersten Berührungsinstruktion, die in dem ersten Fenster erzeugt wird und Anzeigen des ersten Bildes in dem zweiten Fenster und Anzeigen des zweiten Bildes in dem ersten Fenster gemäß der ersten Berührungsinstruktion; und Detektieren einer zweiten Berührungsinstruktion, die in dem ersten Fenster erzeugt wird und Anzeigen des ersten Bildes in dem ersten Fenster und Anzeigen des zweiten Bildes in dem zweiten Fenster gemäß der zweiten Berührungsinstruktion.
  • Figurenliste
  • Die vorliegende Erfindung wird durch die detaillierte Beschreibung, die nachfolgend ausschließlich zu Illustrationszwecken angegeben ist und daher die vorliegende Erfindung nicht einschränkt, klar verständlich, wobei
    • 1 eine Messstation zeigt, bei der ein Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung anwendbar ist,
    • 2 ein schematisches Diagramm eines ersten Bildes in einem Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung ist,
    • 3 ein schematisches Diagramm eines zweiten Bildes in einem Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung ist,
    • 4 ein schematisches Diagramm des Anzeigens eines ersten Fensters und eines zweiten Fensters durch eine berührungsempfindliche Anzeigenapparatur in einem Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung ist,
    • 5 ein schematisches Diagramm eines anderen Zustands ist, in dem eine berührungsempfindliche Anzeigenapparatur ein erstes Fenster und ein zweites Fenster in einem Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung anzeigt, und
    • 6 ein schematisches Diagramm eines anderen Zustands ist, in dem eine berührungsempfindliche Anzeigenapparatur simultan ein erstes Fenster, ein zweites Fenster und ein drittes Fenster in einem Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung anzeigt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • Es wird auf 1 Bezug genommen. 1 zeigt eine Messstation, bei der ein Ausführungsbeispiel eines Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung anwendbar ist. Die Messstation 1, die in 1 gezeigt ist, umfasst ein Spanngestell 11, ein Kameramodul 12, eine Probenplatte 13, eine berührungsempfindliche Anzeigenapparatur 14, einen Positionierer 15 und ein Gehäuse 16. Das Spanngestell 11, das Kameramodul 12 und der Positionierer 15 sind bewegliche Elemente. Die berührungsempfindliche Anzeigeapparatur 14 kann konfiguriert werden, um eine digitale Wafer-Karte, eine digitale Kalibrier-Substratkarte und ein Bild anzuzeigen, das von dem Kameramodul 12 in Echtzeit aufgenommen wird. Der Positionierer 15 ist an der Probenplatte 13 angeordnet. Der Positionierer 15 kann sich relativ zu der Probenplatte 13 bewegen. Das Kameramodul 12 kann ein Bild über dem Spanngestell 11 entlang einer Z-Achsenrichtung aufnehmen oder es kann ein Bild entlang einer Seite des Gehäuses 16 entlang einer X-Achsenrichtung oder einer Y-Achsenrichtung aufnehmen. Zusätzlich sind die beweglichen Elemente nicht auf das Spanngestell 11, das Kameramodul 12 und den Positionierer 15 beschränkt.
  • Es wird immer noch Bezug genommen auf 1. Ein Wafer 20 ist in dem Spanngestell 11 der Messstation 1 angeordnet und eine Probe 30 ist an dem Positionierer 15 befestigt. Dabei kann die Probe 30 an dem Positionierer 15 angeordnet werden und dann an der Probenplatte 13 angeordnet werden oder sie kann an einer Probenkarte angeordnet werden und dann an der Probenplatte 13 angeordnet werden. Die vorliegende Erfindung ist nicht hierauf beschränkt. Das Spanngestell 11 kann verschoben werden, um sich der Probenplatte 13 anzunähern, die Probe 30 an der Probenplatte 13 ist in Kontakt mit dem Wafer 20 und eine Spitze der Probe 30 ist in Kontakt mit dem Wafer 20 und durchsticht eine Oxidschicht, um eine elektrische Verbindung auszubilden, um eine Detektion durchzuführen.
  • Es wird Bezug genommen auf 1 bis 4. Hierbei wird die berührungsempfindliche Anzeigeapparatur 14 der Messstation 1 hauptsächlich verwendet, um Bildinformationen des Wafers 20 in einem Detektionsprozess der Messstation 1 anzuzeigen, sodass ein Benutzer zweckmäßig über einen Detektionsstatus informiert werden kann. Ein Schritt des Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur in der vorliegenden Erfindung ist das Anzeigen eines ersten Fensters W1 und eines zweiten Fensters W2 an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14. In einem Ausführungsbeispiel wird das zweite Fenster W2 verwendet, um das meiste eines Bereichs eines Bildes an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 anzuzeigen und das erste Fenster W1 wird verwendet, um einen Unterbereich in dem Bereich des Bildes an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 anzuzeigen. Genauer gesagt, überlappen in diesem Ausführungsbeispiel das erste Fenster W1 und das zweite Fenster W2 miteinander und die Größe des ersten Fensters W1 ist kleiner als die des zweiten Fensters W2. Daher werden das erste Fenster W1 und das zweite Fenster W2 simultan an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 angezeigt, so dass der Benutzer die Bildinformation des Wafers 20 in dem Detektionsprozess von sowohl dem ersten Fenster W1 als auch dem zweiten Fenster W2 erhalten kann.
  • Ferner wird auf 1 bis 4 Bezug genommen. Ein erstes Bild P1 wird in dem ersten Fenster W1 angezeigt, ein zweites Bild P2 wird in dem zweiten Fenster W2 angezeigt und das zweite Bild P2 ist ein Bild, das in Echtzeit von dem Kameramodul 12 aufgenommen wird. In einem Ausführungsbeispiel kann das erste Bild P1 eine digitale Wafer-Karte sein. Der Umriss der digitalen Wafer-Karte ist kreisförmig oder rechteckig. Die vorliegende Erfindung ist nicht hierauf beschränkt. In diesem Ausführungsbeispiel ist der Umriss der digitalen Wafer-Karte kreisförmig. Die digitale Wafer-Karte wird in eine Vielzahl an Planquadraten segmentiert und jedes Planquadrat ist äquivalent zu einem Die (Würfel), der an dem Wafer ausgebildet ist. Hierbei nimmt das Kameramodul 12 ein echtes Bild des Wafers 20 in dem Spanngestell 11 auf. Daher werden die digitale Wafer-Karte und ein Echtzeitbild des Wafers 20 simultan an dem ersten Fenster W1 und dem zweiten Fenster W2 der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 angezeigt. Der Benutzer kann einen synchronen Vergleich und eine Beobachtung an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 durchführen.
  • Es wird auf 5 Bezug genommen. Ein anderer Schritt des Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur ist das Detektieren einer ersten Berührungsinstruktion, die in dem ersten Fenster W1 erzeugt wird, und das Anzeigen des ersten Bildes P1 in dem zweiten Fenster W2 und das Anzeigen des zweiten Bildes P2 in dem ersten Fenster W1 gemäß der ersten Berührungsinstruktion. In diesem Ausführungsbeispiel wird ein Beispiel eines Zustandes (welcher ein Anzeigezustand in 4 ist) verwendet, in welchendas erste Bild P1 in dem ersten Fenster W1 angezeigt wird und das zweite Bild P2 in dem zweiten Fenster W2 angezeigt wird, wenn der berührungsempfindliche Anzeigeapparatur 14 gestartet wird, aber die vorliegende Erfindung ist nicht hierauf beschränkt. Ferner kann die erste Berührungsinstruktion, eine Aktion des Tippens, Schiebens oder mehrfachen Berührens an einer Position des ersten Fensters W1 an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 sein. Genauer gesagt, kann das erste Fenster W1 die erste Berührungsinstruktion detektieren, wenn der Operator eine Aktion des Tippens, Schiebens oder mehrfachen Berührens an einer Position der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 entsprechend dem ersten Fenster W1 durchführt. Sicher kann in anderen Ausführungsbeispielen eine Berührungsaktion, die in der Lage ist, die erste Berührungsinstruktion zu erzeugen, auch benutzerdefiniert sein.
  • Hierbei werden, nachdem die erste Berührungsinstruktion detektiert ist, Bilder, die in dem ersten Fenster W1 und dem zweiten Fenster W2 angezeigt sind, gewechselt. Genauer gesagt, wird in diesem Ausführungsbeispiel, nachdem die erste Berührungsinstruktion detektiert ist, das erste Bild P1 in dem zweiten Fenster W2 angezeigt und das zweite Bild P2 wird gemäß der ersten Berührungsinstruktion in dem ersten Fenster W1 angezeigt. Da die Größen des ersten Fensters W1 und des zweiten Fensters W2 unterschiedlich sind, kann der Benutzer gemäß den Beobachtungsbedürfnissen das erste Bild P1 und das zweite Bild P2 steuern, um in dem ersten Fenster W1 oder dem zweiten Fenster W2 angezeigt zu werden.
  • Ferner ist ein anderer Schritt des Anzeigeverfahrens einer Anzeigeapparatur das Detektieren einer zweiten Berührungsinstruktion, die in dem ersten Fenster W1 erzeugt wird, und das Anzeigen des ersten Bildes P1 in dem ersten Fenster W1 und Anzeigen des zweiten Bildes P2 in dem zweiten Fenster W2 gemäß der zweiten Berührungsinstruktion. In diesem Ausführungsbeispiel ist die zweite Berührungsinstruktion eine Berührungsinstruktion, die nach der ersten Berührungsinstruktion ausgeführt wird. Gewiss ist die vorliegende Erfindung nicht hierauf beschränkt. In anderen Ausführungsbeispielen kann die zweite Berührungsinstruktion auch durch verschiedene Berührungsaktionen von der ersten Berührungsinstruktion unterschieden werden.
  • Nachdem die zweite Berührungsinstruktion detektiert worden ist, werden hierbei die Bilder, die in dem ersten Fenster W1 und dem zweiten Fenster W2 angezeigt sind, wieder gewechselt. Genauer gesagt, wird in diesem Ausführungsbeispiel, nachdem die zweite Berührungsinstruktion detektiert worden ist, das erste Bild P1 in dem ersten Fenster W1 angezeigt und das zweite Bild P2 wird gemäß der zweiten Berührungsinstruktion in dem zweiten Fenster W2 angezeigt. Daher kann der Benutzer, gemäß den Beobachtungserfordernissen, das erste Bild P1 und das zweite Bild P2, das in dem ersten Fenster W1 oder dem zweiten Fenster W2 angezeigt werden soll, frei kontrollieren.
  • Um es für den Bediener leichter zu machen, entsprechend das erste Bild P1 und das zweite Bild P2 zu beobachten, zeigt das erste Fenster W1 in einem Ausführungsbeispiel ferner einen ersten Zeiger T1 an, während es das erste Bild P1 anzeigt, und das zweite Bild W2 zeigt ferner einen zweiten Zeiger T2 an, während es das zweite Bild P2 anzeigt. Zusätzlich ist eine relative Position des ersten Zeigers T1 in dem ersten Bild P1 dieselbe wie eine relative Position des zweiten Zeigers T2 in dem zweiten Bild P2. Insbesondere können der erste Zeiger T1 und der zweite Zeiger T2 Kreuze sein, ohne darauf beschränkt zu sein. In anderen Ausführungsbeispielen können der erste Zeiger T1 und der zweite Zeiger T2 Pfeilsymbole, andere Anzeigesymbole oder herausragende Eingabeaufforderungen für einen Die-Bereich sein.
  • In diesem Ausführungsbeispiel bedeutet, dass die relative Position des ersten Zeigers T1 in dem ersten Bild P1 dieselbe wie die relative Position des zweiten Zeigers T2 in dem zweiten Bild P2 ist, zum Beispiel, dass, wenn der erste Zeiger T1 zu einer Die an einer Mittenposition der digitalen Wafer-Karte zeigt, der zweite Zeiger T2 auch zu einer Die an einer Mittenposition des Wafers 20 in dem Spanngestell 11 zeigt. Auf diese Weise kann der Detektionsoperator einen Zustand des Wafers 20 an einer aktuellen Detektionsposition von dem zweiten Bild P2 beobachten und kann eine Position in der digitalen Wafer-Karte entsprechend zu der aktuellen Detektionsposition an dem Wafer 20 von dem ersten Bild P1 beobachten.
  • In einem Ausführungsbeispiel kann das zweite Fenster W2 der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur ferner eine Verschiebungsinstruktion detektieren. Wenn das zweite Fenster W2 die Verschiebungsinstruktion detektiert, bewegt sich der zweite Zeiger T2 gemäß der Verschiebungsinstruktion und der erste Zeiger T1 bewegt sich gemäß dem zweiten Zeiger T2. Die Verschiebungsinstruktion kann insbesondere das Durchführen eines Tippens, Schiebens oder mehrerer Berührungen an einer Position des zweiten Fensters W2 an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 sein. Genauer gesagt, kann, wenn der Operator eine Aktion eines Tippens, Schiebens oder mehrerer Berührungen an einer Position der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 entsprechend dem zweiten Fenster W2 durchführt, das zweite Fenster W2 die Verschiebungsinstruktion detektieren. Um die Verschiebungsinstruktion von der zweiten Berührungsinstruktion zu unterschieden, kann die zweite Berührungsinstruktion als verschieden von der zweiten Berührungsinstruktion gesetzt sein.
  • Ferner wird in einem Ausführungsbeispiel, in dem die Verschiebungsinstruktion Tippen ist, Tippen an einer Position ausgeführt, die eine andere ist als der zweite Zeiger T2 in dem zweiten Fenster W2. Dann bewegt sich der zweite Zeiger T2 zu dem Zielpunkt für das Tippen und Punkt-zu-Punkt Bewegung wird bereitgestellt. In einem Ausführungsbeispiel, in dem die Verschiebungsinstruktion Schieben ist, kann die Verschiebungsinstruktion wie folgt gesetzt sein: der Benutzer berührt zuerst die Position des zweiten Zeigers T2 und zieht dann den zweiten Zeiger T2, um ihn zu bewegen, ohne den Kontakt mit dem zweiten Zeiger T2 zu lösen. Daher kann der zweite Zeiger T2 zu einer erforderten Position mit einer Ziehaktion des Benutzers verschoben werden. Zusätzlich kann es in einem Ausführungsbeispiel, in dem die Verschiebungsaktion mehrere Berührungen sind, gesetzt sein, dass die Verschiebungsinstruktion nur dann als effektiv betrachtet werden kann, wenn das zweite Fenster W2 simultan eine Quantität an Berührungspositionen detektiert, die einen gesetzten Wert trifft und eine Berührungsaktion, die einen gesetzten Wert trifft. Beispielsweise kann die Verschiebungsaktion nur als effektiv betrachtet werden, wenn der Detektionsoperator eine Berührungsaktion des simultanen Ziehens des zweiten Zeigers T2 mit drei Fingern durchführt. Jedoch sind die vorherigen Implementationsmoden der Verschiebungsinstruktion nur zur illustrativen Beschreibung und die vorliegende Erfindung ist nicht beschränkt auf die vorherigen Beschreibungen.
  • Ferner, wenn das zweite Fenster W2 die Verschiebungsinstruktion detektiert und der erste Zeiger T1 sich entsprechend dem zweiten Zeiger T2 bewegt, können sich das Spanngestell 11 oder das Kameramodul 12 der Messstation 1 in der Messstation 1 ebenfalls im Wesentlichen bewegen. Beispielsweise bewegt sich das Spanngestell 11 in der Zwischenzweit, basierend auf der Verschiebungsinstruktion, zu der Verschiebungsinstruktion, die von dem Detektionsoperator in dem zweiten Fenster W2 erzeugt wird. Wenn sich in diesem Ausführungsbeispiel einer von dem ersten Zeiger T1 und dem zweiten Zeiger T2 bewegt, bewegt sich das Spanngestell 11 simultan.
  • In einem Ausführungsbeispiel kann das zweite Fenster W2 der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 ferner eine Bildskalierungsinstruktion detektieren. Wenn das zweite Fenster W2 die Bildskalierungsinstruktion detektiert, kann ein Bildverhältnis des ersten Bildes P1 oder des zweiten Bildes P2, das in dem zweiten Fenster W2 angezeigt wird, gemäß der Bildskalierungsinstruktion geändert werden. Daher kann der Detektionsoperator den Wafer 20 oder die digitale Wafer-Karte umfassender von dem zweiten Fenster W2 beobachten. Ferner kann die Bildskalierungsinstruktion mehrfaches Berühren sein, ist aber nicht hierauf beschränkt. Insbesondere kann mehrfaches Berühren der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur beispielsweise eine Bildskalierungsinstruktion sein, die durch Mittel des Schiebens erzeugt wird, die zwei Finger relativ nahe oder entfernt zueinander bringt.
  • Ferner kann aus dem Obigen entnommen werden, dass das Bildverhältnis des ersten Bildes P1 oder des zweiten Bildes P2 in dem ersten Fenster W1 der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 ein fixiertes Verhältnis ist. Genauer gesagt, kann eine Berührungsinstruktion in dem ersten Fenster W1 der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 nur eine Instruktion des Wechselns der angezeigten Bilder sein.
  • Insbesondere zeigt, zusätzlich dazu, dass das Verhältnis des ersten Bildes P1 oder des zweiten Bildes P2, das in dem ersten Fenster W1 angezeigt wird, nicht skaliert werden kann, das erste Fenster W1 das vollständige Bild des ersten Bildes P1 an, wenn das erste Bild P1 angezeigt wird und das erste Fenster W1 zeigt das vollständige Bild des zweiten Bildes P2 an, wenn das zweite Bild P2 angezeigt wird. Auf diese Weise kann sichergestellt werden, dass das vollständige Bild der digitalen Wafer-Karte oder das vollständige Bild des Echtzeitbildes des Wafers 20 regelmäßig an der berührungsempfindlichen Anzeigeapparatur 14 angezeigt werden kann. Auf diese Weise kann, wenn eine Vergrößerung des ersten Bildes P1 oder des zweiten Bildes P2, die in dem zweiten Fenster W2 angezeigt wird, relativ groß ist und folglich nur ein Teil des Bildes angezeigt werden kann, der Benutzer schnell von dem ersten Fenster W1 eine Position in dem vollständigen Wafer 20 oder der digitalen Wafer-Karte beobachten, an der ein aktueller Detektionspunkt angeordnet ist.
  • Es wird auf 6 Bezug genommen. In einem Ausführungsbeispiel zeigt die berührungsempfindliche Anzeigeapparatur 14 ferner ein drittes Fenster W3 an. Das dritte Fenster W3 wird verwendet, um numerische oder visualisierte Kontrollinformationen anzuzeigen. In diesem Ausführungsbeispiel kann das erste Fenster W1 ferner ein Standardzeichen H anzeigen, wenn das erste Bild P1 angezeigt wird, und die numerische Kontrollinformation wird in dem dritten Fenster W3 angezeigt. Insbesondere wird eine Vielzahl an Werteingabebereichen W31 in dem dritten Fenster W3 angezeigt und der Werteingabebereich W31 kann eine Bewegungsmenge sein, der der X-Achsenrichtung oder der Y-Achsenrichtung entspricht. In diesem Ausführungsbeispiel detektiert das dritte Fenster W3 die Verschiebungsinstruktion, der zweite Zeiger T2 bewegt sich gemäß der Verschiebungsinstruktion und der erste Zeiger T1 bewegt sich entsprechend dem zweiten Zeiger T2. Insbesondere ist die Verschiebungsinstruktion, die das dritte Fenster W3 detektieren kann, eine Eingabe von Werten an Verschiebung, die kontrolliert werden soll, in den Werteingabebereich W31. Nachdem das dritte Fenster W3 die Verschiebungsinstruktion detektiert, verwendet der zweite Zeiger T2 das Standardzeichen H als Ursprung, um eine relative Verschiebung durchzuführen und eine Verschiebungsmenge ist ein Wert in den Werteingabebereichen W31.
  • Wenn beispielsweise der Detektionsoperator einen Wert A in den Werteingabebereich W31 eingibt, der der X-Achsenrichtung entspricht, und einen Wert B in den Werteingabebereich W31 eingibt, der der Y-Achsenrichtung entspricht, verwendet der erste Zeiger T1 das Standardzeichen H als einen Ursprung, der um eine Distanz A entlang der X-Achsenrichtung und um eine Distanz B entlang der Y-Achsenrichtung verschoben wird. Der Detektionsoperator wird durch den Gebrauch der Verschiebungsinstruktion des dritten Fensters mit genauerer Verschiebungskontrolle ausgestattet, .
  • Obwohl die vorliegende Erfindung in beträchtlichem Detail in Bezug auf bevorzugte Ausführungsbeispiele beschrieben worden ist, dient die Offenbarung nicht zum Einschränken des Schutzbereichs der Erfindung. Fachleute können verschiedene Modifikationen und Änderungen durchführen, ohne von dem Schutzbereich und der Idee der Erfindung abzuweichen. Daher soll der Schutzbereich der angehängten Ansprüche nicht auf die Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele, die oben beschrieben sind, eingeschränkt werden.

Claims (10)

  1. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur, einsetzbar bei einer Messstation 1, mit einem Kameramodul 12 und umfassend: Anzeigen eines ersten Fensters W1 und eines zweiten Fensters W2 an einer berührungsempfindliche Anzeigeapparatur 14, wobei das erste Fenster W1 und das zweite Fenster W2 miteinander überlappen und wobei die Größe des ersten Fensters W1 kleiner als die des zweiten Fensters W2 ist, Anzeigen eines ersten Bildes P1 in dem ersten Fenster W1 und Anzeigen eines zweiten Bildes P2 in dem zweiten Fenster W2, wobei das zweite Bild P2 ein Bild ist, das in Echtzeit von dem Kameramodul 12 aufgenommen wird, Detektieren einer ersten Berührungsinstruktion, die an dem ersten Fenster W1 erzeugt wird, und Anzeigen des ersten Bildes P1 an dem zweiten Fenster W2 und Anzeigen des zweiten Bildes P2 an dem ersten Fenster W1 gemäß der ersten Berührungsinstruktion und Detektieren einer zweiten Berührungsinstruktion, die an dem ersten Fenster W1 erzeugt wird, und Anzeigen des ersten Bildes P1 an dem ersten Fenster W1 und Anzeigen des zweiten Bildes P2 an dem zweiten Fenster W2 gemäß der zweiten Berührungsinstruktion.
  2. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 1, bei welchem das erste Bild P1 eine digitale Wafer-Karte ist.
  3. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 1, bei welchem das erste Bild P1 eine digitale Kalibrierungs-Substratkarte ist.
  4. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 1, bei welchem das zweite Fenster W2 eine Verschiebungsinstruktion detektiert, wobei der zweite Zeiger T2 sich gemäß der Verschiebungsinstruktion bewegt und der erst Zeiger T1 sich entsprechend dem zweiten Zeiger T2 bewegt.
  5. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 4, bei welchem der zweite Zeiger T2 gemäß der Verschiebungsinstruktion gleitet.
  6. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 4, bei welchem der zweite Zeiger T2 sich gemäß der Verschiebungsinstruktion zu einem Zielpunkt bewegt.
  7. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 1, bei welchem das zweite Fenster W2 eine Bildskalierungsinstruktion detektiert und gemäß der Bildskalierungsinstruktion ein Bildverhältnis des ersten Bildes P1 oder des zweiten Bildes P2, das an dem zweiten Fenster W2 angezeigt wird, ändert.
  8. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 1, bei welchem die berührungsempfindliche Anzeigeapparatur 14 ferner ein drittes Fenster W3 anzeigt, wobei das dritte Fenster W3 eine Verschiebungsinstruktion detektiert, wobei der zweite Zeiger T2 sich gemäß der Verschiebungsinstruktion bewegt und wobei der erste Zeiger T1 sich gemäß dem zweiten Zeiger T2 bewegt.
  9. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 8, bei welchem das erste Fenster W1 ferner ein Standardzeichen H anzeigt, wenn das erste Bild P1 angezeigt wird, wobei der erste Zeiger T1 sich relativ zu dem Standardzeichen H gemäß der Verschiebungsinstruktion bewegt und wobei der zweite Zeiger T2 sich entsprechend dem ersten Zeiger T1 bewegt.
  10. Anzeigeverfahren einer Anzeigeapparatur gemäß Anspruch 1, bei welchem ein Bildverhältnis des ersten Bildes P1 oder des zweiten Bildes P2, das an dem ersten Fenster W1 angezeigt wird, fixiert ist.
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