KR100282000B1 - 듀얼 비젼 윈도우를 갖는 검사 시스템 및 듀얼 비젼 윈도우 표시방법 - Google Patents

듀얼 비젼 윈도우를 갖는 검사 시스템 및 듀얼 비젼 윈도우 표시방법 Download PDF

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Abstract

이 발명은 듀얼 비젼 윈도우를 갖는 영상 시스템 및 듀얼 비젼 윈도우 표시방법에 관한 것으로, 카메라부가 검사 대상물에 엑스레이광선을 비추고, 그 결과를 전기신호로 변환하여 출력한다. 영상 처리부는 전기신호를 영상처리하여 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터로 변환하고, 이를 각각 메모리에 저장한다. 키 입력부는 사용자로부터 명령을 입력받는다. 제어부는 키 입력부의 출력신호에 따라 라이브 모드시에는 상기 라이브 데이터를 출력하고, 캡쳐 모드시에는 상기 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 일정 형식으로 동시에 출력하도록 제어한다. 디스플레이부는 제어부의 제어에 따라 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 디스플레이한다. 이렇게 함으로써 사용자는 라이브 데이터 화면의 검사 위치를 키 입력부로 조정해 가면서 캡쳐 데이터 화면으로 편리하게 검사 대상물을 검사할 수 있다.

Description

듀얼 비젼 윈도우를 갖는 검사 시스템 및 듀얼 비젼 윈도우 표시방법
이 발명은 검사 시스템 및 검사 시스템의 표시 방법에 관한 것으로서, 특히 듀얼 비젼 윈도우(dual vision window)를 갖는 검사 시스템 및 듀얼 비젼 윈도우의 표시방법에 관한 것이다.
일반적으로, 의료용, 산업용, 군사용 등에 사용되는 검사 시스템은 프레임 캡쳐기(frame grabber) 및 카메라를 컴퓨터와 인터페이스(interface)하여 검사하고자 하는 대상물에 대한 각종 검사를 행한다. 예컨대, 엑스레이(X-ray) 검사 시스템은 컴퓨터, 영상보드, 카메라, 모니터 등을 이용하여 반도체 칩의 결함 등과 같은 미소 패턴의 결함을 검사하기 위해 많이 사용된다.
이러한 검사 시스템은 라이브(live) 모드와 캡쳐(grab) 모드의 두 가지 모드를 이용하여 검사를 수행한다. 여기서, 라이브 모드는 검사 대상물의 실제 상태를 나타내는 모드이며, 캡쳐 모드는 라이브 모드에서 캡쳐한 검사 대상물의 정지영상 상태를 나타내는 모드이다. 이 캡쳐 모드는 화면의 확대 등 여러 가지 기능을 수행할 수 있다.
이러한 종래의 검사 시스템을 이용하여 반도체 등의 결함을 검사하는 과정을 도1을 참조하여 설명한다.
먼저, 검사 시스템을 조이스틱이나 컴퓨터의 프로그램을 이용하여 검사용 X-Y 테이블을 움직여 원하는 부분이 모니터에 디스플레이 되도록 한다. 즉, 검사 시스템의 화면을 라이브 모드로 한다. (S1)
그리고 나서, 검사하고자 하는 부분을 캡쳐(grap)하여 캡쳐된 영상을 정지영상 상태에서 확대하는 등의 영상 처리를 한 후, 캡쳐된 영상에 대하여 상세한 검사를 행한다. 즉, 검사 시스템의 화면을 캡쳐 모드로 전환시킨다. (S2)
이때, 캡쳐 모드에서 사용자가 영상을 캡쳐한 후, 다른 부분을 검사하고자 하는 경우 종래에는 다음의 3가지 방법 중의 하나를 사용하였다.
첫째, 별도의 카메라와 모니터를 이용하여(S3), 원하는 부분으로 검사용 X-Y 테이블을 이동시킨다.
둘째, 캡쳐 모드의 화면을 다시 라이브 모드로 전환한 후(S4), 원하는 부분으로 검사용 X-Y 테이블을 이동시킨다.
셋째, 검사 시스템의 모니터를 사용자가 육안으로 직접 관찰하면서(S5), 대상물의 원하는 부분으로 검사용 X-Y테이블을 이동시킨다.
그리고, 상기와 같은 방법으로, 검사용 X-Y 테이블을 원하는 부분에 맞추면, 다시 화면을 캡쳐 모드로 전환시킨다. (S6)
그러나, 위에서 설명한 종래의 검사 방법은 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.
즉, 첫 번째 방법은 별도의 카메라 및 모니터가 필요하기 때문에 제품의 크기가 커지며 생산 단가가 높아진다는 단점이 있으며, 두 번째 방법은 다시 라이브 모드로 전환한 후 검사용 X-Y 테이블을 이동해야 하므로 사용상 번거로움이 있으며 이전에 캡쳐했던 화면을 저장해 두지 않은 경우 화면을 잃어버릴 수 있다는 문제가 있다. 또한, 세 번째 방법의 경우에는 사용자가 직접 몸을 많이 움직여서 모니터를 확인해야하므로 사용상 불편한 단점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 캡쳐 모드의 영상과 라이브 모드의 영상을 동시에 표시하도록 함으로써 사용자가 영상을 캡쳐한 상태에서도 쉽게 다른 부분을 검사하도록 하기 위한 것이다.
도1은 종래 검사 시스템의 동작 흐름도이다.
도2는 이 발명의 실시예에 따른 검사 시스템의 블록 구성도이다.
도3은 이 발명의 실시예에 따른 검사 시스템의 동작 흐름도이다.
도4a 및 도4b는 각각 이 발명의 실시예에서 라이브 모드와 캡쳐 모드시 디스플레이에 표시되는 윈도를 나타내는 도면이다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 이 발명은, 카메라부가 검사 대상물의 영상을 취득하여 전기신호로 변환하여 출력한다. 영상 처리부는 전기신호를 영상처리하여 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터로 변환하고, 이를 각각 메모리에 저장한다. 키 입력부는 사용자로부터 명령을 입력받는다. 제어부는 키 입력부의 출력신호에 따라 라이브 모드시에는 상기 라이브 데이터를 출력하고, 캡쳐 모드시에는 상기 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 일정 형식으로 동시에 출력하도록 제어한다. 디스플레이부는 제어부의 제어에 따라 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 디스플레이한다. 이렇게 함으로써 사용자는 라이브 데이터 화면의 검사 위치를 키 입력부로 조정해 가면서 캡쳐 데이터 화면으로 편리하게 검사 대상물을 검사할 수 있다.
그러면 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도2는 이 발명의 실시예에 따른 검사 시스템의 블록 구성도이다.
도2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 검사 시스템은 카메라부(100), 영상 처리부(200), 모니터(300), 중앙 처리 장치(central processing unit; 이하 'CPU'라 함)(400), 키 입력부(500)로 이루어진다.
카메라부(100)는 검사하고자 하는 대상물에 엑스레이 광선을 비추고, 그 결과를 전기신호로 변환하여 출력하는 것으로서, 엑스레이 건(110), 영상 강화기(120), 전하 결합 소자(charge coupled device; 이하 'CCD'라 함) 어레이(130)로 이루어진다.
영상 처리부(200)는 카메라부(100)에서 출력되는 전기신호를 처리하여 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터로 변환하고 이를 각각 저장하는 것으로서, 그래픽 컨트롤러(210)와 그래픽 메모리(220)로 이루어진다.
키 입력부(500)는 사용자로부터 소정의 명령을 입력받는 것으로서, 키보드(510)와 조이스틱(520)으로 이루어진다.
CPU(400)는 키 입력부(500)의 출력신호에 따라 라이브 모드시에는 라이브 데이터를 출력하고, 캡쳐 모드시에는 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 일정 형식으로 동시에 출력하도록 제어하기 위한 것이다.
모니터(300)는 CPU(400)의 제어에 따라 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 표시하기 위한 것이다.
다음에는 도2에 도시한 검사용 시스템의 동작을 보다 상세하게 설명한다.
먼저, 엑스레이 건(110)이 검사 대상물에 엑스레이 광선을 투사하면, 영상 강화기(120)는 검사 대상물을 투과한 엑스레이 광선을 수신하여 투과한 엑스레인 선을 가시광선으로 변환하여 출력하고, CCD 어레이(130)는 이 가시광선을 전기신호로 변환하여 출력한다.
그래픽 컨트롤러(210)는 CCD 어레이(130)로부터 출력되는 전기 신호를 영상처리하여 프레임 단위의 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터로 변환하고, 그래픽 메모리(220)는 프레임 단위의 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 각각 저장한다.
CPU(400)는 키보드(510)와 조이스틱(520)을 통해 사용자의 명령을 입력받아. 라이브 모드시에는 라이브 데이터를 메인 윈도우 화면에 출력하고, 캡쳐 모드시에는 캡쳐 데이터를 메인 윈도우 화면에 출력하고 라이브 데이터를 서브 윈도우 화면에 출력한다.
다음은 도3, 도4a, 도4b를 참조로 하여 본 발명의 실시예에 따른 검사 동작을 상세히 설명한다.
도3은 이 발명의 실시예에 따른 검사 시스템의 동작 흐름도이며, 도4a 및 도4b는 각각 이 발명의 실시예에서 라이브 모드와 캡쳐 모드시 모니터에 표시되는 윈도를 나타내는 도면이다.
먼저, 사용자에 의해 검사 대상물이 검사 위치에 놓이면, 이 검사 대상물의 영상이 카메라부(100)에 입력된다.(S71)
그러면, 엑스레이 건(110)은 검사 대상물에 엑스레이 광선을 투사하고, 영상 강화기(120)는 엑스레이 건(110)에서 검사 대상물을 투과한 엑스레이 광선을 수신하여 가시광선으로 변환하여 출력한다. 이때, 가시광선은 검사 대상물의 종류 및 밀도의 차이로 인하여 발생하는 엑스레이 광선의 출력 차이를 반영한다. 그리고 나서, 가시광선은 CCD 어레이(130)에 결상되고, CCD 어레이(130)는 가시광선을 전기신호로 변환하여 출력한다. (S72)
그리고 나서, 그래픽 컨트롤러(210)는 전기 신호를 영상 처리하여 프레임 단위의 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 각각 생성시킨다. (S73) 이 생성된 프레임 단위의 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터는 그래픽 메모리(220)에 저장된다.
한편, 중앙처리장치(400)는 키보드(510) 또는 조이스틱(520)을 통해 사용자의 명령을 입력받아 검사 장치의 모드가 라이브 모드인지를 판단한 후, (S74) 라이브 모드인 경우에는 도4a에 도시한 바와 같이 라이브 데이터를 모니터(500)의 메인 윈도우 화면(E)에 출력하도록 하고(S75), 캡쳐 모드인 경우에는 도4b에 도시한 바와 같이 캡쳐 데이터를 모니터(300)의 메인 윈도우 화면 부분(E)에 출력하고, 라이브 데이터를 서브 윈도우 화면(F)에 출력한다(S76).
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 도4a 및 도4b에 도시한 바와 같이, 메인 윈도우(E)와 서브 윈도우(F)를 모니터 상에 표시한다.
구체적으로, 라이브 모드시에는 메인 윈도(E)를 통해 라이브 영상이 표시되며, 캡쳐 모드시에는 메인 윈도우(E)를 통해서는 사용자(User)가 영상을 캡쳐(Grab)한 영상이 표시되고 서브 윈도우(F)를 통해서는 라이브 영상이 표시된다.
즉, 본 발명의 실시예에서는 사용자가 처음 라이브 모드에서 원하는 부분을 캡쳐하면, 메인 윈도우(E)에는 사용자가 캡쳐한 정지영상이 표시되고, 동시에 서브 윈도우(F)에는 라이브 영상이 이 계속 보여지게 되므로 사용자는 현재 엑스레이 선이 어느 부분을 조사하고 있는지를 알 수 있다.
따라서, 사용자는 캡쳐 모드시에 검사 대상물의 다른 부분으로 이동하고자 하는 경우에도, 기존에 캡쳐한 화면(E)과 라이브 화면(F)을 동시에 보면서 검사용 X-Y 테이블을 움직여 원하는 부분으로 이동하여 다른 화면을 캡쳐하면 된다.
이상에서와 같이, 이 발명의 실시예에서, 사용자가 검사하고자 하는 부분에서 캡쳐버튼을 누르는 순간 라이브 모드에서 캡쳐 모드로 바뀌어 정지 영상이 보여지게 되고, 동시에 새로운 서브 윈도우가 생성되면서 라이브 모드로 사용자에게 현재의 위치를 알려줌으로써, 기존의 방법으로는 동시에 볼 수 없었던 라이브 화면과 캡쳐 화면을 듀얼 비젼 윈도우를 이용하여 동시에 볼 수 있다.

Claims (5)

  1. 대상물의 영상을 취득하여 전기신호로 변환하는 카메라부;
    상기 전기신호를 영상처리하여 실제의 화면을 나타내기 위한 라이브 데이터 및 정지 화면을 나타내기 위한 캡쳐 데이터로 변환하고, 이를 각각 저장하는 영상 처리부;
    사용자로부터 명령을 입력받는 키 입력부;
    상기 키 입력부의 출력신호에 따라 라이브 모드시에는 상기 라이브 데이터를 출력하고, 캡쳐 모드시에는 상기 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 일정 형식으로 동시에 출력하도록 제어하는 제어부;
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부를
    포함하는 듀얼 비젼 윈도우를 갖는 검사 시스템.
  2. 제1항에서,
    상기한 카메라부는,
    검사 대상물에 엑스레이 광선을 투사하는 엑스레이 건과,
    상기 검사 대상물을 투과한 엑스레이 광선을 수신하여 가시광선으로 변환하여 출력하는 영상 강화기와,
    상기 가시광선을 전기신호로 변환하는 씨씨디 어레이를 포함하는 듀얼 비젼 윈도우를 갖는 검사 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에서,
    상기한 영상처리부는,
    상기 전기신호를 영상처리하여 프레임 단위의 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터로 변환하는 그래픽 컨트롤러와,
    상기 프레임 단위의 라이브 데이터 및 캡쳐 데이터를 각각 저장하는 그래픽 메모리를 포함하는 듀얼 비젼 윈도우를 갖는 검사 시스템.
  4. 제3항에서,
    상기한 키입력부는,
    키보드 또는 조이스틱을 포함하는 듀얼 비젼 윈도우를 가진 영상 시스템.
  5. 해당 대상물의 영상을 프레임 단위로 취득하는 단계와;
    상기 프레임 단위의 영상을 실제의 화면을 나타내기 위한 라이브 데이터 및 정지 화면을 나타내기 위한 캡쳐 데이터로 각각 변환하는 단계와;
    사용자의 명령이 라이브 모드인지 캡쳐 모드인지를 판별하여, 라이브 모드이면, 상기 라이브 데이터를 디스플레이하고, 캡쳐 모드이면, 상기 캡쳐 데이터 및 라이브 데이터를 일정형식으로 동시에 디스플레이하는 단계를
    포함하는 듀얼 비젼 윈도우 표시방법.
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