JP2660310B2 - Ｘ線テレビジョン透視装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工業製品等の内部を検
査する際に使用されるＸ線テレビジョン透視装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】アルミダイキャスト内部の巣等の欠陥や
ＩＣパッケージ内のワイヤボンディング不良等の非破壊
検査には、Ｘ線テレビジョン透視装置が有用である。Ｘ
線テレビジョン透視装置は製造工程のライン内に置かれ
て全数検査される場合もあり、オフラインによる抜き取
り検査の為に使用される場合もあるが、いずれにせよ、
検査対象は常に同一であるか、或いは種類が限られてい
る。そのため、Ｘ線テレビジョン透視装置では、被検物
の一定の部位のＸ線透視像をテレビカメラでモニタ画面
上に映し出し、検査者はこの画面を見ながら所定の検査
基準に従って、画面内に現われている１個或いは複数の
検査箇所の良否を判断するという検査方法をとってい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の検査方法で
は、所定の検査基準のマニュアルがあったとしても、実
際に検査を行なう段階では検査者の記憶によって各箇所
の検査を行なうことになるため、画面内に多数の検査箇
所が存在する場合、検査箇所の見落しが生じ得る。ま
た、接触の有無等の単純な判断ではなく、巣の大きさの
許容範囲が検査部位毎に異なるといったような複雑な判
断を行なわねばならない検査の場合には、判断ミスも生
じ得る。

【０００４】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、画面に
映し出された映像に基いて検査を行なうような場合に、
ミスのない、確実な検査を行なうことができるＸ線テレ
ビジョン透視装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、透視対象物のＸ線透視像をモニ
タ装置の画面上に表示するＸ線テレビジョン透視装置に
おいて、 ａ）対象物を透過したＸ線の像を撮影し、透視Ｘ線像の
映像信号を出力するテレビジョンカメラと、 ｂ）画面内の予め定められた部分に上記透視Ｘ線像の特
定箇所を指示する表示を含む画像の信号を出力する第２
画像出力手段と、 ｃ）テレビジョンカメラの出力する透視Ｘ線像の上に第
２画像出力手段の出力する画像を重畳した画像の映像信
号をモニタ装置に出力する画像重畳手段と、を備えるこ
とを特徴としている。

【０００６】

【作用】透視対象物の透視箇所が予め定まっている場
合、テレビジョンカメラにより撮影される透視Ｘ線像の
中では、透視対象物の各部分の位置は一定となってい
る。そのため第２画像出力手段は、その各部分の位置に
関する所与の情報を基に、所定の部分に透視Ｘ線像の特
定箇所を指示する表示を有する画像（第２画像）を作成
する。この第２画像は、例えば透視対象物の所定の部分
を指示するポインタ、指定箇所以外の部分を覆うマスク
等とすることができ、更にこれに加えて透視Ｘ線像に関
連するメッセージを含むようにすることもできる。画像
重畳手段は、テレビジョンカメラ及び第２画像出力手段
からの信号を基にＸ線透視像の上に第２画像を重畳した
画像を作成し、その映像信号をモニタ装置に出力する。
これによりモニタ画面上では、透視Ｘ線像の上に、それ
に関連した情報が、関連した部分に適切に表示されるた
め、透視Ｘ線像がより理解しやすくなる。

【０００７】

【実施例】本発明を実施したＸ線透視検査システムの全
体の構成を図４に示す。本実施例は、外形上は通常のＸ
線テレビジョン透視装置にパーソナルコンピュータ（パ
ソコン）を接続したものとなっているが、後述するよう
に、パソコンの内部にはスーパーインポーズボードが組
み込まれている。まず、通常のＸ線テレビジョン透視装
置の構成及び作用を簡単に説明する。Ｘ線管１０から発
射されたＸ線は被検物１１を透過した後、イメージ管１
２の投影面に被検物１１の透視像を投影する。この透視
像はテレビカメラ１３により撮影され、その映像信号が
Ｘ線テレビジョン透視装置のコンソール部１４にある画
像強調装置１５に送られる。画像強調装置１５では、透
視画像にノイズ除去処理、輪郭強調処理等の画像処理を
施した後、映像信号をモニタ（ＣＲＴ）１６に送る。こ
れにより、被検物１１の透視像がモニタ１６の画面上に
表示される。

【０００８】コンソール部１４にはＸ線操作部１７が備
えられており、検査者はこのＸ線操作部１７により被検
物１１の種類に応じて最適なＸ線条件を設定し、Ｘ線装
置部１８の制御部１９を介してＸ線管１０の管電圧、管
電流等を制御する。また、コンソール部１４にはマニピ
ュレータ操作部２０も備えられており、検査者はこのマ
ニピュレータ操作部２０を用いて被検物１１を載置した
ステージ２１を上下、左右、前後、回転、揺動の各自由
度で移動させることにより、被検物１１の任意の箇所の
透視像を任意の大きさでモニタ１６の画面上に映し出す
ことができるようになっている。以上が通常のＸ線テレ
ビジョン透視装置の部分の構成及び作用である。

【０００９】本実施例はこのＸ線テレビジョン装置に、
第２画像出力手段としてパソコン２５を、映像重畳手段
としてパソコン２５の周辺機器の一つであるスーパーイ
ンポーズボード２６を付加して、Ｘ線透視検査システム
を構成したものである。本Ｘ線透視検査システムの主要
部の構成を図１に示す。本実施例では、スーパーインポ
ーズボード２６はパソコン２５の拡張スロットに差し込
むことによりパソコン２５と接続され、パソコン２５の
制御下に入るとともに、パソコン２５からスーパーイン
ポーズ用画像信号を受ける。スーパーインポーズボード
２６のビデオ信号入力端子にはコンソール部１４の画像
強調装置１５の出力端子を、また、重畳映像信号出力端
子にはモニタ１６を接続する。なお、画像強調装置１５
を通さずに、テレビカメラ１３からの映像信号を直接ス
ーパーインポーズボード２６に接続してもよい。パソコ
ン２５とコンソール部１４のマニピュレータ操作部２０
とはシリアル又はパラレルの信号線で接続する。

【００１０】パソコン２５の（内部又は外部）記憶装置
（図示せず）には、被検物１１の種類毎のリスト、及
び、各被検物１１の検査部位に関するデータが記憶され
ている。その他に、後述するように、検査の際に検査者
に対して知らせる必要のあるメッセージデータ等を記憶
させておくこともできる。

【００１１】このような構成を有する本実施例のＸ線透
視検査装置により、例えばＩＣパッケージの検査を行な
う場合の手順及びパソコン２５が行なう処理を図３のフ
ローチャートにより説明する。検査を始める前に、検査
者はまず、パソコン２５のキーボードから被検物１１の
種類を特定する番号を入力する（ステップＳ１）。この
番号の入力はマニピュレータ操作部２０に備えられてい
るキーボードで行なってパソコン側に転送するようにし
てもよい。

【００１２】被検物の種類の番号を受けたパソコン２５
のＣＰＵは、内部又は外部記憶装置から、その被検物の
検査箇所に関するデータを読み出す（ステップＳ２）。
以上で、この種類の被検物に関する透視Ｘ線検査の準備
が整う。その後、検査者が１個の被検物１１をＸ線装置
部１８の所定のステージに置き、Ｘ線装置部１８の扉を
閉めた後、検査開始ボタンを押す（ステップＳ３）。こ
の検査開始信号を受けたとき、パソコン２５のＣＰＵは
ステップＳ２で読み出した検査部位のデータに基づき、
マニピュレータ操作部２０に対して位置信号を送出し
て、被検物１１を所定の位置に置くようにする。これに
より、イメージ管１２の投影面には被検物１１の所定の
部位のＸ線透視像が所定の大きさで投影され、その映像
が前記接続によりテレビカメラ１３及び画像強調装置１
５を通してスーパーインポーズボード２６に入力され
る。

【００１３】一方、パソコン２５のＣＰＵはその検査部
位における検査箇所のデータを内部又は外部記憶装置か
ら読み出し、その検査箇所に対応する位置にマークを表
示させた画像（第２画像）を内部で作成し、グラフィッ
クメモリに記憶させる。このグラフィックメモリ内の第
２画像のデータはスーパーインポーズボード２６に出力
される。スーパーインポーズボード２６は、パソコン２
５からの第２画像の画像データを画像強調装置１５から
のＸ線透視像の映像信号（ＮＴＳＣ信号）の中に埋め込
み、Ｘ線透視像の上に第２画像を重畳した画像の映像信
号（ＮＴＳＣ信号）を作成する。この映像信号はモニタ
１６に送られ、その画面上に重畳画像が表示される。

【００１４】例えばＩＣパッケージ内のリード線の接続
状態を検査する場合、検査すべきリード線接続箇所に対
応する第２画像に、検査箇所を指示するためのポインタ
を表示する。この第２画像がスーパーインポーズボード
２６によりＸ線透視像の上に重畳表示されると、図２
（ａ）に示すように、所定の検査すべき箇所がモニタ１
６画面上でポインタ３０により明瞭に指示されるように
なる（ステップＳ４）。これにより、不慣れな検査者で
あっても、検査すべき箇所を見逃すことなく、確実に検
査を行なうことができるようになる。

【００１５】ポインタ３０により指示された箇所をチェ
ックし、その箇所が良好、或いは不良、のいずれである
かを判断すると、検査者はコンソール部１４のマニピュ
レータ操作部２０或いはパソコン２５のキーボードの
「良」又は「不良」ボタンを押す（ステップＳ５）。こ
の判定信号は後の統計的品質管理の基礎データとするた
めに、パソコン２５の記憶装置に記憶される（ステップ
Ｓ６）。このようにして１箇所の検査が終了すると、パ
ソコン２５はその被検物１１の全ての検査箇所の検査が
終了したか否かを判断し（ステップＳ７）、未だ終了し
ていない場合にはポインタ３０を次の検査箇所に移動さ
せ（図２（ｂ））、ステップＳ４に戻って上記処理を繰
り返す。なおここで必要があれば、ステージ２１を移動
させてその検査箇所が画面内に入るようにし、ポインタ
を表示すべき位置の座標もそれに応じて変換する。

【００１６】ステップＳ７でその被検物１１の全ての検
査箇所の検査が終了している場合にはステップＳ８に進
み、この種類の被検物の検査すべきものはすべて検査し
終わったか否かを判断する（ステップＳ８）。未だ検査
すべき被検物１１が残っている場合にはステップＳ３に
戻って検査者が被検物１１をＸ線装置部１８のステージ
２１上にセッティングするのを待つ。以上が本システム
による検査の手順である。

【００１７】なお、検査箇所が一定である場合にはパソ
コン２５がマニピュレータ操作部２０を制御する必要は
なく、パソコン側でも常に一定の画面を第２画面として
スーパーインポーズボード２６に出力すればよい。ま
た、スーパーインポーズボード２６に出力する第２画像
としては、図２（ｃ）に示すように、検査箇所３１以外
の部分をマスクするようなものとしてもよい。これによ
り、検査者は検査箇所のチェックに、より集中すること
ができるようになり、検査効率が向上する。さらに図２
（ｄ）に示すように、第２画面に検査時に必要なメッセ
ージ３２（例えば、その検査箇所における更に詳しい検
査項目や注意事項等）を表示するようにしてもよい。

【００１８】

【発明の効果】本発明に係るＸ線テレビジョン透視装置
では、第２画像出力手段の作成する画像（第２画像）を
種々に変更することにより、透視Ｘ線像の所定の箇所を
ポインタにより指示したり、必要な箇所以外の部分をマ
スクしたり、参考となるメッセージを表示したりと、様
々な方法で使用することができるようになる。このた
め、例えば工業製品の検査システムに使用した場合に
は、非熟練者であっても、ミスのない、確実な検査が迅
速に行なえるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例であるＸ線透視検査システ
ムの制御部分の構成図。

【図２】 モニタ画面への表示の例を示す正面図。

【図３】 実施例のＸ線透視検査システムによる検査の
手順を示すフローチャート。

【図４】 実施例のＸ線透視検査システムのシステム構
成図。

【符号の説明】 １０…Ｘ線管 １１…被検物 １３…テレビカメラ １５…画像強調
装置 １６…モニタ ２５…パソコン ２６…スーパーインポーズボード

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透視対象物のＸ線透視像をモニタ装置の
   画面上に表示するＸ線テレビジョン透視装置において、 ａ）対象物を透過したＸ線の像を撮影し、透視Ｘ線像の
   映像信号を出力するテレビジョンカメラと、 ｂ）画面内の予め定められた部分に上記透視Ｘ線像の特
   定箇所を指示する表示を含む画像の信号を出力する第２
   画像出力手段と、 ｃ）テレビジョンカメラの出力する透視Ｘ線像の上に第
   ２画像出力手段の出力する画像を重畳した画像の映像信
   号をモニタ装置に出力する画像重畳手段と、 を備えることを特徴とするＸ線テレビジョン透視装置。