JP3136655B2 - 画像検査装置 - Google Patents

画像検査装置

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JP3136655B2
JP3136655B2 JP03157271A JP15727191A JP3136655B2 JP 3136655 B2 JP3136655 B2 JP 3136655B2 JP 03157271 A JP03157271 A JP 03157271A JP 15727191 A JP15727191 A JP 15727191A JP 3136655 B2 JP3136655 B2 JP 3136655B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路用プリント基
板上への実装工程中に、クリーム半田が正しく塗布され
ているか、電子部品が正しく実装されているか等の検査
を、カメラで撮像した検査対象物の画像データを画像処
理して行う画像検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の画像検査装置を図8に基づいて説
明する。
【0003】図8において、従来の画像検査装置は、C
CDセンサを用いたエリアセンサカメラ41と、検査対
象基板44を照明する照明器具42と、エリアセンサカ
メラ41と照明器具42とを支える支柱43と、検査対
象基板44を保持してX方向ーY方向に相対移動可能な
XYテーブル45と、XYテーブル45をX方向に移動
させるモータX・ロータリエンコーダX46と、XYテ
ーブル45をY方向に移動させるモータY・ロータリエ
ンコーダY47と、各種検査項目についての検査を行う
制御部48と、制御内容や検査結果を表示するモニタテ
レビ49と、制御内容を指示するキーボード50とを備
えている。
【0004】次に、従来の画像検査装置の動作を説明す
る。
【0005】従来の画像検査装置では、検査対象基板4
4をエリアセンサカメラ41で撮像し、その画像データ
を画像処理し、その画像処理データによって、検査して
いるが、エリアセンサカメラ41は、検査対象基板44
全体を一度に撮像し画像データを取込むことができな
い。従って、検査対象基板44を、エリアセンサカメラ
41で撮像できる大きさのエリアに分割して撮像し、そ
の画像データを制御部48にあるメモリに順次蓄積し、
検査対象基板44全体の画像データを蓄積し終えた時点
で、画像処理を行い、その画像処理データに基づいて、
各種検査項目についての検査が行われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の画像検
査装置では、次のような問題点がある。
【0007】エリアセンサカメラ41が検査対象基板4
4を撮像可能エリア毎に分割して撮像するためには、こ
れら撮像可能エリアを一つ一つエリアセンサカメラ41
の下にセットする必要があり、そのために、検査対象基
板44を保持したXYテーブル45が起動、停止を繰り
返すことになる。このとき、XYテーブル45の起動、
停止時に検査対象基板44が振動するので、この振動が
減衰するまで、エリアセンサカメラ41の撮像・画像デ
ータ取込みを待たねばならない。この場合、画像データ
を取込むのに一つのエリア当たり約0.5秒かかる。振
動減衰の時間待ちを入れると、例えば、100mm×2
00mmの検査対象基板44の画像データを取込むのに
3分から4分必要となり、これに検査時間が加わるの
で、検査に長時間かかるという問題点があった。
【0008】又、エリアセンサカメラ41は検査対象基
板44をエリアに分割して画像データの取込みを行って
いるが、隣り合ったエリア間で画像データが重複する可
能性があり、これを防ぐために、XYテーブル45の移
動精度を高める必要がある。或いは、画像処理や検査の
際に画像データの重複の影響を除去する調整をしなけれ
ばならないという問題点があった。
【0009】又、エリアセンサカメラ41では、検査す
べき一つの部分が同一のエリアに入らず、隣り合ったエ
リアに分割される場合があり、この場合には、画像処理
を行って検査するときに、エリア分割の影響を除くため
に複雑な処理が必要になるという問題点があった。
【0010】更に、エリアセンサカメラ41では、すべ
てのエリアの画像データを取込んだ後に、画像処理を行
うので、画像データを蓄積するメモリの大きさが、検査
対象基板44の形状、大きさに依存し、大容量のメモリ
が必要な場合があるという問題点があった。
【0011】本発明は、上記の問題点を解決して、検査
所要時間を短縮し、隣り合ったエリア間での画像データ
重複を無くし、検査すべき部分が複数のエリアに分割さ
れることを無くし、大容量のメモリの必要性を無くした
画像検査方法を提供することをその課題としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の画像検査方法
は、ラインセンサカメラと、検査対象物エリア全範囲の
画像データ記憶に要するよりも小容量の記憶容量となる
ように構成された取込み記憶手段と、切替え可能なメモ
リを備えて取込み記憶手段の記憶データのうち任意に指
定した範囲のみの画像データを読込む切出し記憶手段
と、前記の切出された画像データを画像処理して画像処
理データとする画像処理手段と、前記の画像処理データ
に基づいて検査を行う検査処理手段とを備えた画像検査
装置を用いて画像検査を行う方法であって、ラインセン
サカメラと検査対象物とを連続的に相対移動しながら、
検査対象物の検査エリアを、検査対象物の相対移動方向
に、それぞれ任意に設定された各個別検査エリアに分
け、順次各個別検査エリアに対応する範囲のみの画像デ
ータを、取込み記憶手段の記憶データから切出し記憶手
段に切出し、その切出された画像データを画像処理手段
で画像処理して画像処理データとし、検査処理手段で前
記画像処理データによって各個別検査エリアの検査を行
い、かつ前記検査処理手段は複数の検査処理手段で構成
され、画像処理手段で画像処理された各画像処理データ
を各検査処理手段に順次取込ませながら、各検査処理手
段において個別検査エリアを並列して検査させることを
特徴とする。
【0013】
【作用】本発明の画像検査方法は、上記の構成により、
ラインセンサカメラによって検査対象物を走査しなが
ら、取込み記憶手段に、検査対象物の画像データを連続
的に取込むことができ、また検査対象の所望の範囲に相
当する個別検査エリアの画像データのみを、前記取込み
記憶手段から切出して切出し記憶手段に記憶させ、これ
に基きその部分の検査を行うことができる。しかも複数
の検査処理手段によって各個別検査エリアの検査を並列
して行うことができる。従って、本発明によれば画像デ
ータの記憶手段の記憶容量が小さくて済み、検査に必要
な時間を短縮することができ、隣り合ったエリア間での
画像データの重複をなくすことができ、検査すべきまと
まりのある部分を一つの個別検査エリアに入れて検査す
ることができ、さらに各個別検査エリアの検査を並列し
て能率よく行うことができる。
【0014】
【実施例】本発明の画像検査方法に用いる装置の一実施
例を図1から図7に基づいて説明する。
【0015】図1と図4において、本実施例の画像検査
装置は、基板や部品の形状と色を区別できるCCDセン
サを用いたカラーラインセンサカメラ撮像手段1と、検
査対象基板4を照明する照明器具2と、カラーラインセ
ンサカメラ1と照明器具2とを支える支柱3と、検査対
象基板4を保持して、カラーラインセンサカメラ1を構
成するレンズ27とラインセンサ28の取込み軸29に
対して直角(X方向)に相対移動可能なテーブル5と、
このテーブル5の相対移動量を測定するリニアスケール
6と、このテーブル5をX方向に移動させるモータ7
と、モータ7の回転数によりテーブル5の移動量を測定
するロータリエンコーダ8と、画像検査装置の制御を行
う制御部9と、制御内容や検査結果を表示するモニタテ
レビ10と、制御指示内容を対話形式で入力するキーボ
ード11と、各検査項目の検査データを入出力するドラ
イバー装置12とを備えている。
【0016】又、図2と図3において、本実施例の画像
検査装置は、カラーラインセンサカメラ1が取込んだ画
像データをリンク状メモリに順次蓄え、メモリ容量以上
になると、先に取込まれ蓄えられた画像データを書き換
えて蓄える構造になっている取込みメモリ13と、取込
みメモリ13に蓄えられた画像データから、検査すべき
エリア(個別検査エリア)の画像データを切出して蓄え
る切出しメモリ14(切出しメモリ14は、図3に示す
ように、切出しメモリA25と切出しメモリB26とよ
り構成され、一方が取込みメモリ13からの画像データ
を蓄えている間に、他方が自己が直前に蓄えた画像デー
タを次記の画像処理回路15に出力する。)と、切出し
メモリ14に切出された画像データを画像処理する画像
処理回路15と、画像処理回路15で画像処理された画
像処理データに基づいての検査を行う複数の検査処理回
路16と、カラーラインセンサカメラ1が取込んだ画像
データを取込みメモリ13に蓄えるために、予めプログ
ラムされた指示または制御部9の指示によって、取込み
メモリ13に取込みメモリアドレスを送信する取込みメ
モリアドレス発生回路17と、取込みメモリ13が蓄え
ている画像データを個別検査エリア毎に切出して、これ
を切出しメモリ14に蓄えるために、予めプログラムさ
れた指示または制御部9の指示によって、切出しメモリ
14に切出しメモリアドレスを送信する切出しメモリア
ドレス発生回路18と、切出しメモリ14から、画像処
理回路15や複数の検査処理回路16に、予めプログラ
ムされた指示または制御部9の指示によって、画像デー
タを出力・入力し検査するタイミングをとるための信号
を出す画像処理タイミング発生回路19と、前記リニア
スケール6から取込まれた信号によって、テーブル5の
移動量をカウントし、カラーラインセンサカメラ1の画
像データ取込みの開始・終了を行うリニアスケールカウ
ント回路20と、モータ7を動作させ、ロータリエンコ
ーダ8から取込まれる信号によって、テーブル5の移動
量を制御するモータコントロール回路21と、前記の照
明器具2、モニタテレビ10、キーボード11、ドライ
バー装置12等とのインターフェイスを行うマンマシン
インターフェイス22と、前記の制御部9をコントロー
ルするCPU23と、制御部9のプログラムと各種検査
項目の検査用情報を蓄えるメモリ24とを備えている。
【0017】前記個別検査エリアは、検査対象物の検査
エリアを検査すべき各部分に対応して複数のエリアに分
けられたものであり、また検査対象物を相対移動させな
がらカラーラインセンサカメラ1によって画像データが
取込まれることとの関係上、検査対象物の検査エリア
を、検査対象物の相対移動方向にそれぞれ所望の幅を有
するようにして分けられたものとなる。そして各個別検
査エリアは、予め設定されてプログラムに組込まれる等
する。
【0018】次に、本実施例の画像検査方法を図5から
図7に基づいて説明する。
【0019】ステップ#1において、図5に示すよう
に、カラーラインセンサカメラ1のレンズ27が、画像
データ取込み原点30から、テーブル5に保持された検
査対象基板4の画像データ取込み開始位置31まで移動
する距離と、検査対象基板4の画像データ取込み終了位
置32まで移動する距離と、カラーラインセンサカメラ
1が画像データを読込む1走査分のピッチを、制御部9
のCPU23またはリニアスケールカウント回路20に
設定する。
【0020】ステップ#2において、カラーラインセン
サカメラ1をメカ原点に戻し、画像データ取込み原点3
0に移動する。
【0021】ステップ#3において、モータ7が動作
し、テーブル5に保持された検査対象基板4がカラーラ
インセンサカメラ1に対して相対移動し、カラーライン
センサカメラ1が画像データ取込み原点30から画像デ
ータ取込み開始位置31の方向へ移動する。画像データ
取込み原点30から画像データ取込み開始位置31まで
の距離は、カラーラインセンサカメラ1が、検査対象基
板4上を等速度で移動するための準備距離であり、画像
データ取込み開始位置31では、カラーラインセンサカ
メラ1は検査対象基板4と相対的に等速度で移動してい
る。カラーラインセンサカメラ1の動作はステップ#4
に進む。
【0022】ステップ#4において、リニアスケール6
とリニアスケールカウント回路20とによって、カラー
ラインセンサカメラ1が画像データ取込み開始位置31
に到達したかどうかの判断を行う。カラーラインセンサ
カメラ1が画像データ取込み開始位置31に到達した
ら、ステップ#5に進む。
【0023】ステップ#5において、リニアスケールカ
ウント回路20は、カラーラインセンサカメラ1に対し
て画像データ取込みを開始するようにパルス信号を出
す。このパルス信号に基づいてカラーラインセンサカメ
ラ1が画像データの取込みをスタートし、また取込みメ
モリ13、切出しメモリ14、画像処理回路15、検査
処理回路16等の検査機能をスタートさせて、図7に示
す画像検査処理がカラーラインセンサカメラ1の移動に
並行して行なわれる。カラーラインセンサカメラ1は、
検査対象基板4を保持したテーブル5が等速度で移動し
ている状態で、全画像データの取込みを連続的に行って
いるので振動は無い。従って、従来の技術では、検査対
象基板4をエリアに分割して画像データを取込んでいる
ので、検査対象基板を保持したテーブルが起動・停止す
る毎に振動が発生し、この振動が減衰するまでの時間待
ちのロスがあったが、本実施例では、このロスを無くす
ることができる。例えば、100mm×200mmの検
査対象基板4の画像データを取込むのに、約15秒かか
るだけである。
【0024】ステップ#6において、リニアスケールカ
ウント回路20は、カラーラインセンサカメラ1がステ
ップ#1で設定された画像データを読込む1走査分のピ
ッチを終了する毎に、トータル移動距離を演算し、その
演算結果を前記の画像データ取込み終了位置32まで移
動する距離と比較して、カラーラインセンサカメラ1
が、画像データ取込み終了位置32に到達したかどうか
の判断を行う。到達していれば、カラーラインセンサカ
メラ1は画像データ取込みを終了して、ステップ#2に
戻り、次の同種の検査対象基板4の検査を繰り返す。但
し、異種の検査対象基板4の検査を行う場合には、ステ
ップ#1にもどる。
【0025】図7に示す画像検査処理は、カラーライン
センサカメラ1が画像データ取込み終了位置32に到達
していなければ、ステップ#5に戻り、カラーラインセ
ンサカメラ1に対して画像データ取込みを開始するよう
にパルス信号を出す。
【0026】ステップ#7において、予めプログラムさ
れた指示または制御部9の指示によって、切出しメモリ
アドレス発生回路18が、取込みメモリ13に検査すべ
き画像データが蓄えられているかどうかを判断する。蓄
えられていればステップ#8に進む。
【0027】ステップ#8において、予めプログラムさ
れた指示または制御部9の指示によって、切出しメモリ
アドレス発生回路18が、切出しメモリ14に、検査対
象基板4の検査すべきエリア(個別検査エリア)を指定
する。
【0028】ステップ#9において、切出しメモリアド
レス発生回路18の指示によって、個別検査エリアの画
像データが、取込みメモリ13から切出しメモリ14に
切り出される。切出しメモリ14は切出しメモリA25
と切出しメモリB26とで構成されている。取込みメモ
リ13の個別検査エリアの画像データは先ず切出しメモ
リA25に切出される。取込みメモリ13に取込まれた
画像データは、このように、すぐに切出しメモリ14に
切り出されるので、取込みメモリ13は、検査対象基板
4の総ての画像データを蓄える必要がなく、取込みメモ
リ13の容量は検査対象基板4の形状、大きさに関係な
く、小量のメモリ容量で構成することができる。
【0029】ステップ#10において、切出しメモリア
ドレス発生回路18が、前記の切出しが終了したか否か
を判定する。終了していれば、ステップ#11に進む。
【0030】ステップ#11において、切出しメモリア
ドレス発生回路18が、切出しメモリ14のメモリ切替
えを行い、次の個別検査エリアの画像データを切出しメ
モリB26に切出すようにする。又、画像処理タイミン
グ発生回路19が、予めプログラムされた指示または制
御部9の指示によって、画像処理、検査処理のタイミン
グを発生し、切出しメモリA25に自己が蓄えている画
像処理データを画像処理回路15に出力させ、画像処理
回路15にその画像データを画像処理させる。画像処理
された画像処理データは、複数個ある検査処理回路16
の中の1個を指定して入力される。指定された検査処理
回路16は個別検査エリアの検査処理を行う。この場
合、取込みメモリ13に蓄えられた画像データは、個別
検査エリアを任意に設定して切出すことができる。従っ
て、個別検査エリアが分割されることなく、一つのまと
まりあるものとなるので、画像処理、検査処理が容易に
行える。又、検査処理回路16は複数個あり、一つの個
別検査エリアについて一つの検査処理回路16が検査を
行っている間に、別の検査処理回路16が別の個別検査
エリアについての検査を行うことができる。
【0031】ステップ#12において、画像処理タイミ
ング発生回路19が、それぞれの検査処理の終了を確認
する。
【0032】ステップ#13において、画像処理タイミ
ング発生回路19が、全検査項目終了を確認する。
【0033】本発明の画像検査装置は、上記の実施例に
限らず種々の態様が可能である。例えば、ラインセンサ
で画像データを取込み、これを個別検査エリアに分けて
任意に切出して、画像処理し、検査することができれ
ば、画像検査装置を構成する各種メモリ、回路等の設計
は自由にできる。
【0034】又、カラーラインセンサカメラを支柱に固
定して、検査対象基板を移動させているが、カラーライ
ンセンサカメラを移動させ検査対象基板を固定しても良
い。
【0035】又、カラーラインセンサカメラはカラーの
必要は無く、ラインセンサであれば何でも良い。
【0036】又、リニアスケールを用いて、テーブルの
移動量測定とそれを基にしたカラーラインセンサカメラ
の画像データ取込みの開始・終了を行っているが、ロー
タリエンコーダを用いてこれを行っても良い。
【0037】
【発明の効果】本発明によれば、画像データの記憶手段
の記憶容量が小さくて済み、検査に必要な時間を短縮す
ることができ、隣り合ったエリア間での画像データの重
複をなくすことができ、検査すべきまとまりのある部分
を一つの個別検査エリアに入れて検査することができ、
さらに各個別検査エリアの検査を複数の検査処理手段に
よって並行して能率良く行うことができる画像検査方法
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の斜視図である。
【図2】図1のブロック図である。
【図3】図2の切出しメモリの詳細図である。
【図4】図1のカラーラインセンサカメラのラインセン
サの平面図である。
【図5】図1のカラーラインセンサカメラの移動距離を
示す図である。
【図6】図1の動作を示すフローチャートである。
【図7】図1の動作を示すフローチャートである。
【図8】従来例の斜視図である。
【符号の説明】
1 カラーラインセンサカメラ 4 検査対象基板 5 テーブル 6 リニアスケール 7 モータ 8 ロータリエンコーダ 9 制御部 27 カラーラインセンサカメラのレンズ 28 カラーラインセンサカメラのラインセンサ 29 カラーラインセンサカメラの取込み軸 30 画像データ取込み原点 31 取込み開始位置 32 取込み終了位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐野 和久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−76284(JP,A) 特開 平1−14767(JP,A) 特開 昭52−102652(JP,A) 特開 昭61−118063(JP,A) 特公 昭52−14112(JP,B2)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ラインセンサカメラと、検査対象物エリ
    ア全範囲の画像データ記憶に要するよりも小容量の記憶
    容量となるように構成された取込み記憶手段と、切替え
    可能なメモリを備えて取込み記憶手段の記憶データのう
    ち任意に指定した範囲のみの画像データを読込む切出し
    記憶手段と、前記の切出された画像データを画像処理し
    て画像処理データとする画像処理手段と、前記の画像処
    理データに基づいて検査を行う検査処理手段とを備えた
    画像検査装置を用いて画像検査を行う方法であって、 ラインセンサカメラと検査対象物とを連続的に相対移動
    しながら、検査対象物の検査エリアを、検査対象物の相
    対移動方向に、それぞれ任意に設定された各個別検査エ
    リアに分け、順次各個別検査エリアに対応する範囲のみ
    の画像データを、取込み記憶手段の記憶データから切出
    し記憶手段に切出し、その切出された画像データを画像
    処理手段で画像処理して画像処理データとし、検査処理
    手段で前記画像処理データによって各個別検査エリアの
    検査を行い、かつ前記検査処理手段は複数の検査処理手
    段で構成され、画像処理手段で画像処理された各画像処
    理データを各検査処理手段に順次取込ませながら、各検
    査処理手段において個別検査エリアを並列して検査させ
    ることを特徴とする画像検査方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3725993B2 (ja) * 1998-05-14 2005-12-14 松下電器産業株式会社 電子部品実装回路基板の検査方法及びその装置
JP2002277408A (ja) * 2001-03-14 2002-09-25 Saki Corp:Kk 外観検査装置
JP4669151B2 (ja) * 2001-04-18 2011-04-13 株式会社サキコーポレーション 外観検査装置
JP2007225431A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Mitsubishi Electric Corp 外観検査装置
JP2013122401A (ja) * 2011-12-09 2013-06-20 Kyoto Seisakusho Co Ltd 画像処理システム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5214112A (en) * 1975-07-24 1977-02-02 Nissan Motor Co Ltd Torch iginition system internal combustion engine
JPS6476284A (en) * 1987-09-18 1989-03-22 Hitachi Ltd Picture data input/output processor

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