JPH11316114A - 画像検査装置 - Google Patents
画像検査装置Info
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- JPH11316114A JPH11316114A JP11030605A JP3060599A JPH11316114A JP H11316114 A JPH11316114 A JP H11316114A JP 11030605 A JP11030605 A JP 11030605A JP 3060599 A JP3060599 A JP 3060599A JP H11316114 A JPH11316114 A JP H11316114A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査所要時間が短く、小容量のメモリで検査
処理ができる画像検査装置を提供する。 【解決手段】 検査対象物の画像データを取込む撮像手
段１と、撮像手段１からの画像データを取込む取込み記
憶手段１３と、切替え可能なメモリを備えて前記の取込
まれた画像データから予め指定された範囲である個別検
査エリアの画像データを順次切出して記憶する切出し記
憶手段１４と、前記の個別検査エリアの画像データを順
次取込みながら、各個別検査エリアの検査を並列して行
う複数の検査処理手段１６とを備えることを特徴とす
る。
処理ができる画像検査装置を提供する。 【解決手段】 検査対象物の画像データを取込む撮像手
段１と、撮像手段１からの画像データを取込む取込み記
憶手段１３と、切替え可能なメモリを備えて前記の取込
まれた画像データから予め指定された範囲である個別検
査エリアの画像データを順次切出して記憶する切出し記
憶手段１４と、前記の個別検査エリアの画像データを順
次取込みながら、各個別検査エリアの検査を並列して行
う複数の検査処理手段１６とを備えることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路用プリン
ト基板上への実装工程中に、クリーム半田が正しく塗布
されているか、電子部品が正しく実装されているか等の
検査を、カメラで撮像した検査対象物の画像データを画
像処理して行う画像検査装置に関するものである。
ト基板上への実装工程中に、クリーム半田が正しく塗布
されているか、電子部品が正しく実装されているか等の
検査を、カメラで撮像した検査対象物の画像データを画
像処理して行う画像検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の画像検査装置を図８に基づいて説
明する。
明する。
【０００３】図８において、従来の画像検査装置は、Ｃ
ＣＤセンサを用いたエリアセンサカメラ４１と、検査対
象基板４４を照明する照明器具４２と、エリアセンサカ
メラ４１と照明器具４２とを支える支柱４３と、検査対
象基板４４を保持してＸ方向ーＹ方向に相対移動可能な
ＸＹテーブル４５と、ＸＹテーブル４５をＸ方向に移動
させるモータＸ・ロータリエンコーダＸ４６と、ＸＹテ
ーブル４５をＹ方向に移動させるモータＹ・ロータリエ
ンコーダＹ４７と、各種検査項目についての検査を行う
制御部４８と、制御内容や検査結果を表示するモニタテ
レビ４９と、制御内容を指示するキーボード５０とを備
えている。
ＣＤセンサを用いたエリアセンサカメラ４１と、検査対
象基板４４を照明する照明器具４２と、エリアセンサカ
メラ４１と照明器具４２とを支える支柱４３と、検査対
象基板４４を保持してＸ方向ーＹ方向に相対移動可能な
ＸＹテーブル４５と、ＸＹテーブル４５をＸ方向に移動
させるモータＸ・ロータリエンコーダＸ４６と、ＸＹテ
ーブル４５をＹ方向に移動させるモータＹ・ロータリエ
ンコーダＹ４７と、各種検査項目についての検査を行う
制御部４８と、制御内容や検査結果を表示するモニタテ
レビ４９と、制御内容を指示するキーボード５０とを備
えている。
【０００４】次に、従来の画像検査装置の動作を説明す
る。
る。
【０００５】従来の画像検査装置では、検査対象基板４
４をエリアセンサカメラ４１で撮像し、その画像データ
を画像処理し、その画像処理データによって、検査して
いるが、エリアセンサカメラ４１は、検査対象基板４４
全体を一度に撮像し画像データを取込むことができな
い。従って、検査対象基板４４を、エリアセンサカメラ
４１で撮像できる大きさのエリアに分割して撮像し、そ
の画像データを制御部４８にあるメモリに順次蓄積し、
検査対象基板４４全体の画像データを蓄積し終えた時点
で、画像処理を行い、その画像処理データに基づいて、
各種検査項目についての検査が行われている。
４をエリアセンサカメラ４１で撮像し、その画像データ
を画像処理し、その画像処理データによって、検査して
いるが、エリアセンサカメラ４１は、検査対象基板４４
全体を一度に撮像し画像データを取込むことができな
い。従って、検査対象基板４４を、エリアセンサカメラ
４１で撮像できる大きさのエリアに分割して撮像し、そ
の画像データを制御部４８にあるメモリに順次蓄積し、
検査対象基板４４全体の画像データを蓄積し終えた時点
で、画像処理を行い、その画像処理データに基づいて、
各種検査項目についての検査が行われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の画像検
査装置では、次のような問題点がある。
査装置では、次のような問題点がある。
【０００７】エリアセンサカメラ４１が検査対象基板４
４を撮像可能エリア毎に分割して撮像するためには、こ
れら撮像可能エリアを一つ一つエリアセンサカメラ４１
の下にセットする必要があり、そのために、検査対象基
板４４を保持したＸＹテーブル４５が起動、停止を繰り
返すことになる。このとき、ＸＹテーブル４５の起動、
停止時に検査対象基板４４が振動するので、この振動が
減衰するまで、エリアセンサカメラ４１の撮像・画像デ
ータ取込みを待たねばならない。この場合、画像データ
を取込むのに一つのエリア当たり約０．５秒かかる。振
動減衰の時間待ちを入れると、例えば、１００ｍｍ×２
００ｍｍの検査対象基板４４の画像データを取込むのに
３分から４分必要となり、これに検査時間が加わるの
で、検査に長時間かかるという問題点があった。
４を撮像可能エリア毎に分割して撮像するためには、こ
れら撮像可能エリアを一つ一つエリアセンサカメラ４１
の下にセットする必要があり、そのために、検査対象基
板４４を保持したＸＹテーブル４５が起動、停止を繰り
返すことになる。このとき、ＸＹテーブル４５の起動、
停止時に検査対象基板４４が振動するので、この振動が
減衰するまで、エリアセンサカメラ４１の撮像・画像デ
ータ取込みを待たねばならない。この場合、画像データ
を取込むのに一つのエリア当たり約０．５秒かかる。振
動減衰の時間待ちを入れると、例えば、１００ｍｍ×２
００ｍｍの検査対象基板４４の画像データを取込むのに
３分から４分必要となり、これに検査時間が加わるの
で、検査に長時間かかるという問題点があった。
【０００８】又、エリアセンサカメラ４１は検査対象基
板４４をエリアに分割して画像データの取込みを行って
いるが、隣り合ったエリア間で画像データが重複する可
能性があり、これを防ぐために、ＸＹテーブル４５の移
動精度を高める必要がある。
板４４をエリアに分割して画像データの取込みを行って
いるが、隣り合ったエリア間で画像データが重複する可
能性があり、これを防ぐために、ＸＹテーブル４５の移
動精度を高める必要がある。
【０００９】或いは、画像処理や検査の際に画像データ
の重複の影響を除去する調整をしなければならないとい
う問題点があった。
の重複の影響を除去する調整をしなければならないとい
う問題点があった。
【００１０】又、エリアセンサカメラ４１では、検査す
べき一つの部分が同一のエリアに入らず、隣り合ったエ
リアに分割される場合があり、この場合には、画像処理
を行って検査するときに、エリア分割の影響を除くため
に複雑な処理が必要になるという問題点があった。
べき一つの部分が同一のエリアに入らず、隣り合ったエ
リアに分割される場合があり、この場合には、画像処理
を行って検査するときに、エリア分割の影響を除くため
に複雑な処理が必要になるという問題点があった。
【００１１】更に、エリアセンサカメラ４１では、すべ
てのエリアの画像データを取込んだ後に、画像処理を行
うので、画像データを蓄積するメモリの大きさが、検査
対象基板４４の形状、大きさに依存し、大容量のメモリ
が必要な場合があるという問題点があった。
てのエリアの画像データを取込んだ後に、画像処理を行
うので、画像データを蓄積するメモリの大きさが、検査
対象基板４４の形状、大きさに依存し、大容量のメモリ
が必要な場合があるという問題点があった。
【００１２】本発明は、上記の問題点を解決することを
その課題としている。
その課題としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の画像検査装置
は、上記の課題を解決するために、検査対象物の画像デ
ータを取込む撮像手段と、撮像手段からの画像データを
取込む取込み記憶手段と、切替え可能なメモリを備えて
前記の取込まれた画像データから予め指定された範囲で
ある個別検査エリアの画像データを順次切出して記憶す
る切出し記憶手段と、前記の個別検査エリアの画像デー
タを順次取込みながら、各個別検査エリアの検査を並列
して行う複数の検査処理手段とを備えることを特徴とす
る。
は、上記の課題を解決するために、検査対象物の画像デ
ータを取込む撮像手段と、撮像手段からの画像データを
取込む取込み記憶手段と、切替え可能なメモリを備えて
前記の取込まれた画像データから予め指定された範囲で
ある個別検査エリアの画像データを順次切出して記憶す
る切出し記憶手段と、前記の個別検査エリアの画像デー
タを順次取込みながら、各個別検査エリアの検査を並列
して行う複数の検査処理手段とを備えることを特徴とす
る。
【００１４】本発明の画像検査装置は、上記の構成によ
り、複数の検査処理手段が個別検査エリアを並列して検
査することができるので、検査時間を非常に短縮するこ
とができると共に記憶手段の記憶容量が小さくてすむ。
り、複数の検査処理手段が個別検査エリアを並列して検
査することができるので、検査時間を非常に短縮するこ
とができると共に記憶手段の記憶容量が小さくてすむ。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の画像検査装置の一実施例
を図１から図７に基づいて説明する。
を図１から図７に基づいて説明する。
【００１６】図１と図４において、本実施例の画像検査
装置は、基板や部品の形状と色を区別できるＣＣＤセン
サを用いたカラーラインセンサカメラ１と、検査対象基
板４を照明する照明器具２と、カラーラインセンサカメ
ラ１と照明器具２とを支える支柱３と、検査対象基板４
を保持して、カラーラインセンサカメラ１を構成するレ
ンズ２７とラインセンサ２８の取込み軸２９に対して直
角（Ｘ方向）に相対移動可能なテーブル５と、このテー
ブル５の相対移動量を測定するリニアスケール６と、こ
のテーブル５をＸ方向に移動させるモータ７と、モータ
７の回転数によりテーブル５の移動量を測定するロータ
リエンコーダ８と、画像検査装置の制御を行う制御部９
と、制御内容や検査結果を表示するモニタテレビ１０
と、制御指示内容を対話形式で入力するキーボード１１
と、各検査項目の検査データを入出力するドライバー装
置１２とを備えている。
装置は、基板や部品の形状と色を区別できるＣＣＤセン
サを用いたカラーラインセンサカメラ１と、検査対象基
板４を照明する照明器具２と、カラーラインセンサカメ
ラ１と照明器具２とを支える支柱３と、検査対象基板４
を保持して、カラーラインセンサカメラ１を構成するレ
ンズ２７とラインセンサ２８の取込み軸２９に対して直
角（Ｘ方向）に相対移動可能なテーブル５と、このテー
ブル５の相対移動量を測定するリニアスケール６と、こ
のテーブル５をＸ方向に移動させるモータ７と、モータ
７の回転数によりテーブル５の移動量を測定するロータ
リエンコーダ８と、画像検査装置の制御を行う制御部９
と、制御内容や検査結果を表示するモニタテレビ１０
と、制御指示内容を対話形式で入力するキーボード１１
と、各検査項目の検査データを入出力するドライバー装
置１２とを備えている。
【００１７】又、図２と図３において、本実施例の画像
検査装置は、カラーラインセンサカメラ１が取込んだ画
像データをリンク状メモリに順次蓄え、メモリ容量以上
になると、先に取込まれ蓄えられた画像データを書き換
えて蓄える構造になっている取込みメモリ１３と、取込
みメモリ１３に蓄えられた画像データから、検査すべき
エリア（個別検査エリア）の画像データを切出して蓄え
る切出しメモリ１４（切出しメモリ１４は、図３に示す
ように、切出しメモリＡ２５と切出しメモリＢ２６とよ
り構成され、一方が取込みメモリ１３からの画像データ
を蓄えている間に、他方が自己が直前に蓄えた画像デー
タを次記の画像処理回路１５に出力する。）と、切出し
メモリ１４に切出された画像データを画像処理する画像
処理回路１５と、画像処理回路１５で画像処理された画
像処理データによって、各検査項目についての検査を行
う複数の検査処理回路１６と、カラーラインセンサカメ
ラ１が取込んだ画像データを取込みメモリ１３に蓄える
ために、予めプログラムされた指示または制御部９の指
示によって、取込みメモリ１３に取込みメモリアドレス
を送信する取込みメモリアドレス発生回路１７と、取込
みメモリ１３が蓄えている画像データを検査すべきエリ
ア毎に切出して、これを切出しメモリ１４に蓄えるため
に、予めプログラムされた指示または制御部９の指示に
よって、切出しメモリ１４に切出しメモリアドレスを送
信する切出しメモリアドレス発生回路１８と、切出しメ
モリ１４から、画像処理回路１５や複数の検査処理回路
１６に、予めプログラムされた指示または制御部９の指
示によって、画像データを出力・入力し検査するタイミ
ングをとるための信号を出す画像処理タイミング発生回
路１９と、前記リニアスケール６から取込まれた信号に
よって、テーブル５の移動量をカウントし、カラーライ
ンセンサカメラ１の画像データ取込みの開始・終了を行
うリニアスケールカウント回路２０と、モータ７を動作
させ、ロータリエンコーダ８から取込まれる信号によっ
て、テーブル５の移動量を制御するモータコントロール
回路２１と、前記の照明器具２、モニタテレビ１０、キ
ーボード１１、ドライバー装置１２等とのインターフェ
イスを行うマンマシンインターフェイス２２と、前記の
制御部９をコントロールするＣＰＵ２３と、制御部９の
プログラムと各種検査項目の検査用情報を蓄えるメモリ
２４とを備えている。
検査装置は、カラーラインセンサカメラ１が取込んだ画
像データをリンク状メモリに順次蓄え、メモリ容量以上
になると、先に取込まれ蓄えられた画像データを書き換
えて蓄える構造になっている取込みメモリ１３と、取込
みメモリ１３に蓄えられた画像データから、検査すべき
エリア（個別検査エリア）の画像データを切出して蓄え
る切出しメモリ１４（切出しメモリ１４は、図３に示す
ように、切出しメモリＡ２５と切出しメモリＢ２６とよ
り構成され、一方が取込みメモリ１３からの画像データ
を蓄えている間に、他方が自己が直前に蓄えた画像デー
タを次記の画像処理回路１５に出力する。）と、切出し
メモリ１４に切出された画像データを画像処理する画像
処理回路１５と、画像処理回路１５で画像処理された画
像処理データによって、各検査項目についての検査を行
う複数の検査処理回路１６と、カラーラインセンサカメ
ラ１が取込んだ画像データを取込みメモリ１３に蓄える
ために、予めプログラムされた指示または制御部９の指
示によって、取込みメモリ１３に取込みメモリアドレス
を送信する取込みメモリアドレス発生回路１７と、取込
みメモリ１３が蓄えている画像データを検査すべきエリ
ア毎に切出して、これを切出しメモリ１４に蓄えるため
に、予めプログラムされた指示または制御部９の指示に
よって、切出しメモリ１４に切出しメモリアドレスを送
信する切出しメモリアドレス発生回路１８と、切出しメ
モリ１４から、画像処理回路１５や複数の検査処理回路
１６に、予めプログラムされた指示または制御部９の指
示によって、画像データを出力・入力し検査するタイミ
ングをとるための信号を出す画像処理タイミング発生回
路１９と、前記リニアスケール６から取込まれた信号に
よって、テーブル５の移動量をカウントし、カラーライ
ンセンサカメラ１の画像データ取込みの開始・終了を行
うリニアスケールカウント回路２０と、モータ７を動作
させ、ロータリエンコーダ８から取込まれる信号によっ
て、テーブル５の移動量を制御するモータコントロール
回路２１と、前記の照明器具２、モニタテレビ１０、キ
ーボード１１、ドライバー装置１２等とのインターフェ
イスを行うマンマシンインターフェイス２２と、前記の
制御部９をコントロールするＣＰＵ２３と、制御部９の
プログラムと各種検査項目の検査用情報を蓄えるメモリ
２４とを備えている。
【００１８】次に、本実施例の画像検査装置の動作を図
５から図７に基づいて説明する。
５から図７に基づいて説明する。
【００１９】ステップ＃１において、図５に示すよう
に、カラーラインセンサカメラ１のレンズ２７が、メカ
原点３０から、テーブル５に保持された検査対象基板４
の画像データ取込み開始位置３１まで移動する距離と、
検査対象基板４の画像データ取込み終了位置３２まで移
動する距離と、カラーラインセンサカメラ１が画像デー
タを読込む１走査分のピッチを、制御部９のＣＰＵ２３
またはリニアスケールカウント回路２０に設定する。
に、カラーラインセンサカメラ１のレンズ２７が、メカ
原点３０から、テーブル５に保持された検査対象基板４
の画像データ取込み開始位置３１まで移動する距離と、
検査対象基板４の画像データ取込み終了位置３２まで移
動する距離と、カラーラインセンサカメラ１が画像デー
タを読込む１走査分のピッチを、制御部９のＣＰＵ２３
またはリニアスケールカウント回路２０に設定する。
【００２０】ステップ＃２において、カラーラインセン
サカメラ１をメカ原点３０に戻す。
サカメラ１をメカ原点３０に戻す。
【００２１】ステップ＃３において、本実施例の画像検
査装置の検査がスタートする。即ち、一方では、カラー
ラインセンサカメラ１が画像データの取込みをスタート
する。モータ７が動作し、テーブル５に保持された検査
対象基板４がカラーラインセンサカメラ１に対して相対
移動し、カラーラインセンサカメラ１がメカ原点３０か
ら画像データ取込み開始位置３１の方向へ移動する。メ
カ原点３０から画像データ取込み開始位置３１までの距
離は、カラーラインセンサカメラ１が、検査対象基板４
上を等速度で移動するための準備距離であり、画像デー
タ取込み開始位置３１では、カラーラインセンサカメラ
１は検査対象基板４と相対的に等速度で移動している。
カラーラインセンサカメラ１の動作はステップ＃４に進
む。
査装置の検査がスタートする。即ち、一方では、カラー
ラインセンサカメラ１が画像データの取込みをスタート
する。モータ７が動作し、テーブル５に保持された検査
対象基板４がカラーラインセンサカメラ１に対して相対
移動し、カラーラインセンサカメラ１がメカ原点３０か
ら画像データ取込み開始位置３１の方向へ移動する。メ
カ原点３０から画像データ取込み開始位置３１までの距
離は、カラーラインセンサカメラ１が、検査対象基板４
上を等速度で移動するための準備距離であり、画像デー
タ取込み開始位置３１では、カラーラインセンサカメラ
１は検査対象基板４と相対的に等速度で移動している。
カラーラインセンサカメラ１の動作はステップ＃４に進
む。
【００２２】他方では、取込みメモリ１３、切出しメモ
リ１４、画像処理回路１５、検査処理回路１６等の検査
機能をスタートする。この検査機能はステップ＃７に進
む。
リ１４、画像処理回路１５、検査処理回路１６等の検査
機能をスタートする。この検査機能はステップ＃７に進
む。
【００２３】ステップ＃４において、リニアスケール６
とリニアスケールカウント回路２０とによって、カラー
ラインセンサカメラ１が画像データ取込み開始位置３１
に到達したかどうかの判断を行う。カラーラインセンサ
カメラ１が画像データ取込み開始位置３１に到達した
ら、ステップ＃５に進む。
とリニアスケールカウント回路２０とによって、カラー
ラインセンサカメラ１が画像データ取込み開始位置３１
に到達したかどうかの判断を行う。カラーラインセンサ
カメラ１が画像データ取込み開始位置３１に到達した
ら、ステップ＃５に進む。
【００２４】ステップ＃５において、リニアスケールカ
ウント回路２０は、カラーラインセンサカメラ１に対し
て画像データ取込みを開始するようにパルス信号を出
す。カラーラインセンサカメラ１は、検査対象基板４を
保持したテーブル５が等速度で移動している状態で、画
像データの取込みを行っているので振動は無い。従っ
て、従来の技術では、検査対象基板４をエリアに分割し
て画像データを取込んでいるので、検査対象基板を保持
したテーブルが起動・停止する毎に振動が発生し、この
振動が減衰するまでの時間待ちのロスがあったが、本実
施例では、このロスを無くすることができる。例えば、
１００ｍｍ×２００ｍｍの検査対象基板４の画像データ
を取込むのに、約１５秒かかるだけである。
ウント回路２０は、カラーラインセンサカメラ１に対し
て画像データ取込みを開始するようにパルス信号を出
す。カラーラインセンサカメラ１は、検査対象基板４を
保持したテーブル５が等速度で移動している状態で、画
像データの取込みを行っているので振動は無い。従っ
て、従来の技術では、検査対象基板４をエリアに分割し
て画像データを取込んでいるので、検査対象基板を保持
したテーブルが起動・停止する毎に振動が発生し、この
振動が減衰するまでの時間待ちのロスがあったが、本実
施例では、このロスを無くすることができる。例えば、
１００ｍｍ×２００ｍｍの検査対象基板４の画像データ
を取込むのに、約１５秒かかるだけである。
【００２５】ステップ＃６において、リニアスケールカ
ウント回路２０は、カラーラインセンサカメラ１がステ
ップ＃１で設定された画像データを読込む１走査分のピ
ッチを終了する毎に、トータル移動距離を演算し、その
演算結果を前記の画像データ取込み終了位置３２まで移
動する距離と比較して、カラーラインセンサカメラ１
が、画像データ取込み終了位置３２に到達したかどうか
の判断を行う。到達していれば、カラーラインセンサカ
メラ１は画像データ取込みを終了して、ステップ＃２に
戻り、次の同種の検査対象基板４の検査を繰り返す。但
し、異種の検査対象基板４の検査を行う場合には、ステ
ップ＃１にもどる。
ウント回路２０は、カラーラインセンサカメラ１がステ
ップ＃１で設定された画像データを読込む１走査分のピ
ッチを終了する毎に、トータル移動距離を演算し、その
演算結果を前記の画像データ取込み終了位置３２まで移
動する距離と比較して、カラーラインセンサカメラ１
が、画像データ取込み終了位置３２に到達したかどうか
の判断を行う。到達していれば、カラーラインセンサカ
メラ１は画像データ取込みを終了して、ステップ＃２に
戻り、次の同種の検査対象基板４の検査を繰り返す。但
し、異種の検査対象基板４の検査を行う場合には、ステ
ップ＃１にもどる。
【００２６】カラーラインセンサカメラ１が画像データ
取込み終了位置３２に到達していなければ、ステップ＃
５に戻り、カラーラインセンサカメラ１に対して画像デ
ータ取込みを開始するようにパルス信号を出す。
取込み終了位置３２に到達していなければ、ステップ＃
５に戻り、カラーラインセンサカメラ１に対して画像デ
ータ取込みを開始するようにパルス信号を出す。
【００２７】ステップ＃７において、予めプログラムさ
れた指示または制御部９の指示によって、切出しメモリ
アドレス発生回路１８が、取込みメモリ１３に検査すべ
き画像データが蓄えられているかどうかを判断する。蓄
えられていればステップ＃８に進む。
れた指示または制御部９の指示によって、切出しメモリ
アドレス発生回路１８が、取込みメモリ１３に検査すべ
き画像データが蓄えられているかどうかを判断する。蓄
えられていればステップ＃８に進む。
【００２８】ステップ＃８において、予めプログラムさ
れた指示または制御部９の指示によって、切出しメモリ
アドレス発生回路１８が、切出しメモリ１４に、検査対
象基板４の検査すべきエリアを指定する。
れた指示または制御部９の指示によって、切出しメモリ
アドレス発生回路１８が、切出しメモリ１４に、検査対
象基板４の検査すべきエリアを指定する。
【００２９】ステップ＃９において、切出しメモリアド
レス発生回路１８の指示によって、検査すべきエリアの
画像データが、取込みメモリ１３から切出しメモリ１４
に切り出される。切出しメモリ１４は切出しメモリＡ２
５と切出しメモリＢ２６とで構成されている。取込みメ
モリ１３の検査すべきエリアの画像データは先ず切出し
メモリＡ２５に切出される。取込みメモリ１３に取込ま
れた画像データは、このように、すぐに切出しメモリ１
４に切り出されるので、取込みメモリ１３は、検査対象
基板４の総ての画像データを蓄える必要がなく、取込み
メモリ１３の容量は検査対象基板４の形状、大きさに関
係なく、小量のメモリ容量で構成することができる。
レス発生回路１８の指示によって、検査すべきエリアの
画像データが、取込みメモリ１３から切出しメモリ１４
に切り出される。切出しメモリ１４は切出しメモリＡ２
５と切出しメモリＢ２６とで構成されている。取込みメ
モリ１３の検査すべきエリアの画像データは先ず切出し
メモリＡ２５に切出される。取込みメモリ１３に取込ま
れた画像データは、このように、すぐに切出しメモリ１
４に切り出されるので、取込みメモリ１３は、検査対象
基板４の総ての画像データを蓄える必要がなく、取込み
メモリ１３の容量は検査対象基板４の形状、大きさに関
係なく、小量のメモリ容量で構成することができる。
【００３０】ステップ＃１０において、切出しメモリア
ドレス発生回路１８が、前記の切出しが終了したか否か
を判定する。終了していれば、ステップ＃１１に進む。
ドレス発生回路１８が、前記の切出しが終了したか否か
を判定する。終了していれば、ステップ＃１１に進む。
【００３１】ステップ＃１１において、切出しメモリア
ドレス発生回路１８が、切出しメモリ１４のメモリ切替
えを行い、次の検査すべきエリアの画像データを切出し
メモリＢ２６に切出すようにする。又、画像処理タイミ
ング発生回路１９が、予めプログラムされた指示または
制御部９の指示によって、画像処理、検査処理のタイミ
ングを発生し、切出しメモリＡ２５に自己が蓄えている
画像処理データを画像処理回路１５に出力させ、画像処
理回路１５にその画像データを画像処理させる。画像処
理された画像処理データは、複数個ある検査処理回路１
６の中の１個を指定して入力される。指定された検査処
理回路１６は受持ち検査項目に従って検査処理を行う。
この場合、取込みメモリ１３に蓄えられた画像データ
は、検査すべきエリアを任意に設定して切出すことがで
きる。従って、検査すべきエリアが分割されることが無
いので、画像処理、検査処理が容易に行える。又、検査
処理回路１６は複数個あり、一つのエリアについて一つ
の検査処理回路１６が、ある検査を行っている間に、別
の検査処理回路１６が別のエリアについて別の検査を行
うことができる。
ドレス発生回路１８が、切出しメモリ１４のメモリ切替
えを行い、次の検査すべきエリアの画像データを切出し
メモリＢ２６に切出すようにする。又、画像処理タイミ
ング発生回路１９が、予めプログラムされた指示または
制御部９の指示によって、画像処理、検査処理のタイミ
ングを発生し、切出しメモリＡ２５に自己が蓄えている
画像処理データを画像処理回路１５に出力させ、画像処
理回路１５にその画像データを画像処理させる。画像処
理された画像処理データは、複数個ある検査処理回路１
６の中の１個を指定して入力される。指定された検査処
理回路１６は受持ち検査項目に従って検査処理を行う。
この場合、取込みメモリ１３に蓄えられた画像データ
は、検査すべきエリアを任意に設定して切出すことがで
きる。従って、検査すべきエリアが分割されることが無
いので、画像処理、検査処理が容易に行える。又、検査
処理回路１６は複数個あり、一つのエリアについて一つ
の検査処理回路１６が、ある検査を行っている間に、別
の検査処理回路１６が別のエリアについて別の検査を行
うことができる。
【００３２】ステップ＃１２において、画像処理タイミ
ング発生回路１９が、それぞれの検査処理の終了を確認
する。
ング発生回路１９が、それぞれの検査処理の終了を確認
する。
【００３３】ステップ＃１３において、画像処理タイミ
ング発生回路１９が、全検査項目終了を確認する。
ング発生回路１９が、全検査項目終了を確認する。
【００３４】本発明の画像検査装置は、上記の実施例に
限らず種々の態様が可能である。例えば、ラインセンサ
で画像データを取込み、これを検査すべきエリアに分け
て任意に切出して、画像処理し、検査することができれ
ば、画像検査装置を構成する各種メモリ、回路等の設計
は自由にできる。
限らず種々の態様が可能である。例えば、ラインセンサ
で画像データを取込み、これを検査すべきエリアに分け
て任意に切出して、画像処理し、検査することができれ
ば、画像検査装置を構成する各種メモリ、回路等の設計
は自由にできる。
【００３５】又、カラーラインセンサカメラを支柱に固
定して、検査対象基板を移動させているが、カラーライ
ンセンサカメラを移動させ検査対象基板を固定しても良
い。
定して、検査対象基板を移動させているが、カラーライ
ンセンサカメラを移動させ検査対象基板を固定しても良
い。
【００３６】又、カラーラインセンサカメラはカラーの
必要は無く、ラインセンサであれば何でも良い。
必要は無く、ラインセンサであれば何でも良い。
【００３７】又、リニアスケールを用いて、テーブルの
移動量測定とそれを基にしたカラーラインセンサカメラ
の画像データ取込みの開始・終了を行っているが、ロー
タリエンコーダを用いてこれを行っても良い。
移動量測定とそれを基にしたカラーラインセンサカメラ
の画像データ取込みの開始・終了を行っているが、ロー
タリエンコーダを用いてこれを行っても良い。
【００３８】
【発明の効果】本発明によれば、検査対象物の検査を個
別検査エリアに分けて並列的に行うことができるので、
検査時間を非常に短縮することができると共に、記憶手
段の記憶容量を小量とすることができる。
別検査エリアに分けて並列的に行うことができるので、
検査時間を非常に短縮することができると共に、記憶手
段の記憶容量を小量とすることができる。
【図１】本発明の一実施例の斜視図である。
【図２】図１のブロック図である。
【図３】図２の切出しメモリの詳細図である。
【図４】図１のカラーラインセンサカメラのラインセン
サの平面図である。
サの平面図である。
【図５】図１のカラーラインセンサカメラの移動距離を
示す図である。
示す図である。
【図６】図１の動作を示すフローチャートである。
【図７】図１の動作を示すフローチャートである。
【図８】従来例の斜視図である。
１ カラーラインセンサカメラ ４ 検査対象基板 ５ テーブル ６ リニアスケール ７ モータ ８ ロータリエンコーダ ９ 制御部 ２７ カラーラインセンサカメラのレンズ ２８ カラーラインセンサカメラのラインセンサ ２９ カラーラインセンサカメラの取込み軸 ３０ メカ原点 ３１ 取込み開始位置 ３２ 取込み終了位置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の画像検査装置
は、上記の課題を解決するために、検査対象物の画像デ
ータを取込む撮像手段と、撮像手段からの画像データを
取込む取込み記憶手段と、切替え可能なメモリを備えて
前記の取込まれた画像データから予め指定された範囲で
ある個別検査エリアの画像データを順次切出して記憶す
る切出し記憶手段と、前記の個別検査エリアの画像デー
タを取込みながら、取込まれた個別検査エリアの検査を
並列して行う複数の検査処理手段とを備えることを特徴
とする。前記複数の検査処理手段は、個別検査エリアの
画像データを順次取込みながら、各個別検査エリアの検
査を並列して行うように構成することができる。
は、上記の課題を解決するために、検査対象物の画像デ
ータを取込む撮像手段と、撮像手段からの画像データを
取込む取込み記憶手段と、切替え可能なメモリを備えて
前記の取込まれた画像データから予め指定された範囲で
ある個別検査エリアの画像データを順次切出して記憶す
る切出し記憶手段と、前記の個別検査エリアの画像デー
タを取込みながら、取込まれた個別検査エリアの検査を
並列して行う複数の検査処理手段とを備えることを特徴
とする。前記複数の検査処理手段は、個別検査エリアの
画像データを順次取込みながら、各個別検査エリアの検
査を並列して行うように構成することができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象物の画像データを取込む撮像手
段と、撮像手段からの画像データを取込む取込み記憶手
段と、切替え可能なメモリを備えて前記の取込まれた画
像データから予め指定された範囲である個別検査エリア
の画像データを順次切出して記憶する切出し記憶手段
と、前記の個別検査エリアの画像データを順次取込みな
がら、各個別検査エリアの検査を並列して行う複数の検
査処理手段とを備えることを特徴とする画像検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03060599A JP3340691B2 (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | プリント基板の画像検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03060599A JP3340691B2 (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | プリント基板の画像検査装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03157271A Division JP3136655B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 画像検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11316114A true JPH11316114A (ja) | 1999-11-16 |
| JP3340691B2 JP3340691B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=12308516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03060599A Expired - Lifetime JP3340691B2 (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | プリント基板の画像検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3340691B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298488A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置およびシステム |
| JP2012225944A (ja) * | 2009-05-27 | 2012-11-15 | Koh Young Technology Inc | ３次元形状測定方法および基板検査方法 |
| KR101487158B1 (ko) * | 2013-03-29 | 2015-02-06 | 아진산업(주) | 진동적응 비전검사시스템 |
-
1999
- 1999-02-08 JP JP03060599A patent/JP3340691B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298488A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置およびシステム |
| JP2012225944A (ja) * | 2009-05-27 | 2012-11-15 | Koh Young Technology Inc | ３次元形状測定方法および基板検査方法 |
| US8878929B2 (en) | 2009-05-27 | 2014-11-04 | Koh Young Technology Inc. | Three dimensional shape measurement apparatus and method |
| KR101487158B1 (ko) * | 2013-03-29 | 2015-02-06 | 아진산업(주) | 진동적응 비전검사시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3340691B2 (ja) | 2002-11-05 |
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