JP2001208514A - ラインセンサカメラの取り付け向き調整方法、これを適用した検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容易かつ短時間に正確な調整ができるライン
センサカメラの取り付け向きが調整できるようにする。 【解決手段】 対象物５を主走査方向Ｙと直角な方向Ｘ
に副走査して撮像するラインセンサカメラ２につき、そ
の光軸７まわりの回転角度θ１と、光軸７および主走査
方向Ｙの双方と直交する軸線２３のまわりのあおり角度
θ２とで、その取り付け向きを規定し、これら回転角度
θ１およびあおり角度θ２を調整してラインセンサカメ
ラ２の取り付け向きを調整することにより、上記のよう
な目的を達成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ラインセンサカメ
ラの取り付け向き調整方法、これを適用した検査装置に
関し、例えば、電子部品を実装して電子回路基板を製造
するのに用いるプリント基板上に印刷されたクリーム半
田、実装した電子部品などの位置ずれや有無を高速に一
括検査するような場合に利用される。

【０００２】

【従来の技術】近年、電気機器の小型軽量化に伴いプリ
ント基板の小型化が著しく、電子部品の微小化、プリン
ト基板への実装の高密度化も進み、人が目視で検査を行
なうのが困難になるのに伴い、認識カメラによりプリン
ト基板や電子回路基板を撮像し、撮像した画像データを
画像認識することにより各種の検査を自動的に行うよう
になってきた。

【０００３】当初の認識カメラはエリアセンサを用いた
もので、検査は撮像視野よりも大きい検査エリアに対し
撮像視野を各分割エリアへ順次に移動させ、各移動位置
にて静止し撮像することにより行なう間欠的なものにな
る上、検査視野を次の検査エリアに移動させて静止させ
るのに、移動、停止による振動などが検査精度に影響し
ないよう、移動部材が安定するまで待機してから撮像し
検査するようにしている。このため検査速度が遅く、生
産のさらなる高速化の妨げになっていた。

【０００４】これを解消するものとして特開平０５−６
４２２号公報は、図６に示すような検査装置を提案して
いる。このものは、対象物ａを一方向に移動させながら
その大きな検査エリアをラインセンサカメラｂのライン
センサｃによって走査して連続に撮像して検査すること
で検査を高速に行なえるようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ラインセン
サｃを用いて撮像するラインセンサカメラｂは、広範な
検査エリアを撮像するのに、ラインセンサカメラｂの僅
かな取り付け向きの誤差でも画像が歪んで検査精度に影
響する。このため、撮像した画像が歪まないように調整
する必要がある。

【０００６】具体的には、まず、撮像素子を光ブロック
に正確に取り付ける必要がある。この取り付けの調整は
ラインセンサｃにおける撮像素子自体の公差や撮像素子
の光学ブロックへの取り付け誤差などに対するものであ
るが、ラインセンサカメラｂ単体での組み付けの調整も
必要である。一方、ラインセンサカメラｂ自体の検査設
備への取り付け誤差も無視できないので、最終的には検
査設備で取り付け調整することが必要である。

【０００７】しかし、上記のようなラインセンサカメラ
ｂの取り付け調整をするのに調整の基準はなく、作業者
は幾度となく撮像による画像取り込み動作を実行して、
取り込んだ画像の凡その位置や状態を目視で確認しなが
ら、ラインセンサカメラｂの取り付け向きや位置を微妙
にずらしていき試行錯誤しながら調整している。

【０００８】このため、調整に時間がかかる上、調整が
正確に行なえているとは限らず、精度よい検査が行なえ
ないことがある。

【０００９】本発明の目的は、容易かつ短時間に正確な
調整ができるラインセンサカメラの取り付け向き調整方
法とこれによる検査装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、本発明のラインセンサカメラの取り付け向
き調整方法は、対象物をラインセンサの撮像素子が並ぶ
主走査ラインと直角な向きに副走査して撮像するライン
センサカメラにつき、その光軸まわりの回転角度と、前
記光軸および主走査方向双方と直交する軸線のまわりの
あおり角度とで、その取り付け向きを規定し、これら回
転位置およびあおり角度を調整してラインセンサカメラ
の取り付け向きを調整することを特徴としている。

【００１１】このような構成において、ラインセンサカ
メラの光軸まわりの回転角度が、ラインセンサの撮像素
子が並ぶ主走査ラインの主走査方向に対する角度ずれに
関係し、ラインセンサカメラの光軸および主走査方向双
方と直交する軸線まわりのあおり角度が、主走査ライン
の対象物面に対する傾き角度に関係するので、ラインセ
ンサカメラの取り付け向きをこれら光軸および軸線のま
わりの回転角度およびあおり角度にて規定し調整するこ
とにより、主走査ラインの主走査方向に対する回転角度
ずれ、および対象物面に対するあおり角度ずれを是正
し、歪みのない撮像画像が得られるようにラインセンサ
カメラの向きを容易かつ短時間に調整することができ
る。

【００１２】この場合、基準画像を撮像した撮像画像の
基準画像に対する歪みから前記回転角度のずれ量とあお
り角度のずれ量とを判定することにより、ラインセンサ
カメラのラインセンサの組み付け誤差をも含む取り付け
向きに起因した歪みを解消できる２つの方向の調整量を
知ることができ、前記判定に基づき前記回転角度および
あおり角度を調整することにより、ラインセンサカメラ
の取り付け向きを最善なものに容易かつ短時間に調整す
ることができる。

【００１３】基準画像が基準ポイントを一定のピッチに
て配列したもので、撮像画像における歪みによる基準ポ
イント像の位置の変化からラインセンサカメラの回転角
度のずれ量、およびあおり角度のずれ量を判定すると、
それらの相関性から回転角度およびあおり角度のずれ量
を正確に判定することができる。このような判定は簡単
な画像認識によって容易かつ迅速に達成することができ
る。

【００１４】本発明の検査装置は、対象物を支持する支
持部と、対象物をラインセンサで撮像し撮像データを画
像認識による検査に供するラインセンサカメラとを、ラ
インセンサの主走査方向に直角な副走査方向に相対移動
できるように支持したものにおいて、ラインセンサカメ
ラをその光軸まわりと、光軸および主走査方向に直角な
軸線のまわりとに独立して回転できるように支持する第
１、第２の支持機構と、第１の支持機構における固定側
と可動側との間でラインセンサカメラの前記光軸まわり
の回転角度を調整する第1の調整機構と、第２の支持機
構における固定側と可動側の間でラインセンサカメラの
前記軸線まわりのあおり角度を調整する第２の調整機構
とを備えたことを特徴としている。

【００１５】このような構成では、対象物を支持する支
持部とラインセンサカメラとが相対移動することにより
対象物面の必要エリアを走査して連続に撮像し検査する
のに、ラインセンサカメラの取り付け向きが光軸まわり
の回転角度と光軸および主走査方向と直交する軸線まわ
りのあおり角度に関し、第１、第２の調整機構による特
定の機械的な操作で上記方法における特徴ある調整をよ
り簡易により的確に達成することができる。

【００１６】この場合、第１、第２の調整機構が、調整
操作量を微小化して伝達する微調整機構であると、上記
2通りの調整をコントロールしやすい大きい機械的な操
作にてより容易に精度よく微調整することができる。

【００１７】このときの微調整機構がマイクロメータヘ
ッドであると、バーニヤの読み取りにより調整量を０．
０１ｍｍ程度の微小単位で正確に設定することができる
ので、個人差なく容易に高精度に微調整することができ
る。しかも、既製品を組み付ければよいのでコストが特
に上昇するようなことはない。

【００１８】また、基準画像をラインセンサカメラによ
り撮像した撮像画像の歪みからラインセンサカメラの光
軸まわりの回転角度ずれ、光軸および主走査方向に直交
する軸線まわりのあおり角度ずれを判定し、必要な調整
量を決定する判定手段と、判定結果を指示する指示手段
とをさらに備えれば、ラインセンサカメラの調整すべき
2通りのずれ量およびそれによる必要な調整量が画像認
識方式などにより自動的に個人差なく迅速かつ正確に判
定および決定され、この結果に基づき必要な調整量が指
示されるので、作業者は指示された通りの調整を行なう
だけでよくなる。

【００１９】本発明のそれ以上の目的および特徴は、以
下の詳細な説明および図面の記載によって明らかにな
る。本発明の各特徴はそれ自体で、あるいは可能な限り
種々な組み合わせで複合して適用することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
ラインセンサカメラの取り付け向き調整方法とそれによ
る検査装置につき図１〜図５を参照しながら詳細に説明
し、本発明の理解に供する。

【００２１】本実施の形態は図２に示すように、電子回
路基板を製造するプリント基板などを対象物５としてク
リーム半田や実装した電子部品の位置や向きをラインセ
ンサカメラ２により撮像し高精度に検査する場合の一例
である。

【００２２】本実施の形態の検査装置は、図１、図２に
示すように、基板や部品の形状と色とを認識できるＣＣ
Ｄよりなるラインセンサ１を用いたカラーのラインセン
サカメラ２、対象物５を照明する照明器３、ラインセン
サカメラ２および照明器３を支持する支柱４、対象物５
を保持してラインセンサカメラ２のレンズ６の光軸７と
ラインセンサカメラ２による主走査方向Ｙとに対して直
交するＸ方向に相対移動させるテーブル９、このテーブ
ル９を移動させるモータ１１、このモータ１１の回転数
を検出するエンコーダ１２からの出力と、テーブル９の
相対移動量を測定するリニアスケール１３からの出力と
をモニタしながら対象物５の検査エリアをラインセンサ
カメラ２により走査しながら撮像して撮像による画像を
取り込み画像認識による位置や向き、形状、色などに関
した各種検査を行なう制御部１４を備えている。

【００２３】前記走査はラインセンサ１の主走査ライン
８上に並ぶ撮像素子による一端側から他端側への主走査
と、前記ラインセンサカメラ２と対象物５とのＸ方向の
相対移動による副走査との組み合わせでなされ、対象物
５の検査エリア全域についての撮像画像がＸ方向の一端
側から他端側に向け連続的に取り込まれていく。制御部
１４は取り込んだ画像データにつき画像処理を行ない特
定のパターンやそのエッジ、コーナ、面積、位置、中心
位置、向き、特定のラインやその長さ、太さなどを画像
認識するが、検査に際しては位置や向きなど検査項目に
関わる画像認識を行ない、認識した検査項目データを対
応する基準データと比較することにより良否の判定を行
なう。このような検査のために、制御内容や検査結果を
表示するモニタ１５、制御のために指示内容を対話形式
で入力するキーボード１６、および各種検査項目の検査
データを入出力するドライバ１７が制御部１４に付帯し
ている。

【００２４】このような装置において、ラインセンサカ
メラ２の対象物面５ａに対する取り付け向きやラインセ
ンサ１の向きが少しでも傾いていると、前記したように
撮像した画像が歪んで検査制度に影響する。図４に示す
ような基準画像３１を撮像する場合を例にとると、図３
に示す各種の撮像画像３１ａにおいて、図３（ａ）に示
すのは歪みのない正常な画像で、図３（ｂ）、図３
（ｃ）に示すのは歪んだ画像である。図３（ｂ）に示す
撮像画像３１ａの歪みは主走査ライン８が対象物面５ａ
に平行な平面上で主走査方向Ｙに対し傾いているとき、
つまり回転角度ずれしているときに生じる。図３（ｃ）
に示す撮像画像３１ａの歪みは主走査ライン８が対象物
面５ａに平行な面に対し主走査方向Ｙにおいて傾いてい
るときに生じる。通常これらの傾きやそれによる歪みは
複合して生じる。

【００２５】撮像画像３１ａに上記のような歪みが生じ
ないようにするため、本発明の実施の形態のラインセン
サカメラ２の取り付け向き調整方法は、ラインセンサカ
メラ２につき、そのレンズ６の光軸７まわりの回転角度
θ１と、前記光軸７および主走査方向Ｙの双方と直交す
る軸線２３のまわりのあおり角度θ２とで、その取り付
け向きを規定し、これら回転角度θ１およびあおり角度
θ２を調整してラインセンサカメラ２の取り付け向きを
調整する。

【００２６】ここに、ラインセンサカメラ２の光軸７ま
わりの回転角度θ１が、対象物面５ａに平行な面での主
走査ライン８の主走査方向Ｙに対する回転角度ずれに関
係し、ラインセンサカメラ２の光軸７および主走査方向
Ｙの双方に直交する軸線２３まわりのあおり角度θ２
が、主走査ライン８の対象物面５ａに対する主走査方向
Ｙでの傾き角度に関係する。これにより、ラインセンサ
カメラ２の取り付け向きをこれら光軸７および軸線２３
のまわりの回転角度θ１、あおり角度θ２にて規定し調
整することにより、主走査ライン８の主走査方向Ｙに対
する回転角度ずれ、および対象物面５ａと平行な面に対
するあおり角度ずれを是正し、歪みのない撮像画像が得
られるようにラインセンサカメラ２の向きを容易かつ短
時間に調整することができる。

【００２７】この場合、図４に示すような基準画像３１
を設定して対象物５に代わって撮像し、そのときの撮像
した撮像画像３１ａの図３（ｂ）、図３（ｃ）に示すよ
うな、あるいはそれらが複合した歪みから、前記回転角
度θ１、あおり角度θ２のずれ量を判定することができ
る。これにより、ラインセンサカメラ２のラインセンサ
１の組み付け誤差をも含む取り付け向きに起因した画像
の歪みを解消できる回転角度θ１およびあおり角度θ２
に関する２つの方向の調整量を知ることができ、前記判
定に基づき前記回転角度θ１およびあおり角度θ２を調
整することにより、ラインセンサカメラ２の取り付け向
きを最善なものに容易かつ短時間に調整することができ
る。

【００２８】そこで、このような調整方法を採用する本
実施の形態の検査装置では、ラインセンサカメラ２をそ
の光軸７まわりと、光軸７および主走査方向Ｙの双方と
直交する軸線２３のまわりと、に独立して回転できるよ
うに支持する第１、第２の支持機構３３、３４と、第１
の支持機構３３における固定側と可動側との間でライン
センサカメラ２の前記光軸７まわりの回転角度θ１を調
整する第1の調整機構３７と、第２の支持機構３４にお
ける固定側と可動側の間でラインセンサカメラ２の前記
軸線２３まわりのあおり角度θ２を調整する第２の調整
機構４３とを設けてある。

【００２９】図１に示すように、第１の支持機構３３は
支持基台４４上にラインセンサカメラ２を光軸７まわり
に必要量回転できるように支持し、これらの固定側であ
る支持基台４４の一部に設けたブラケット４５と可動側
であるラインセンサカメラ２に設けた受動片４６との間
に第１の調整機構３７が、それらの間隔を調整すること
により回転角度θ１を調整するように働かされ、第２の
支持機構３４は支柱４に固定する支持フレーム４７に取
りつけた側板４８に前記支持基台４４を軸４９により軸
線２３まわりに所定の範囲で回転できるように支持し、
これらの固定側である側板４８の一方に設けたブラケッ
ト５１と可動側である支持基台４４に設けた受動片５２
との間に第２の調整機構４３が、それらの間隔を調整す
ることによりあおり角度θ２を調整する機構として働か
されている。

【００３０】これにより、対象物５を支持する支持部で
あるテーブル９とラインセンサカメラ２とが副走査方向
Ｘに相対移動することにより対象物５の対象物面５ａを
走査して連続に撮像し検査するのに、ラインセンサカメ
ラ２の取り付け向きが、光軸７まわりの回転角度θ１、
および軸線２３まわりのあおり角度θ２に関し、第１、
第２の調整機構３７、４３による特定の機械的な操作で
上記方法における特徴ある調整をより簡易にかつより的
確に達成することができる。

【００３１】しかも、第１、第２の調整機構３７、４３
が、調整操作量を微小化して伝達する微調整機構にする
ことにより、上記2通りの調整をコントロールしやすい
大きなストロークでの機械的操作にてより容易に精度よ
く微調整することができる。特に、その微調整機構とし
てマイクロメータヘッド３７ａ、４３ａを採用してお
り、そのバーニヤの読み取りにより調整量を０．０１ｍ
ｍ程度の微小単位で正確に設定することができるので、
個人差なく容易に高精度に微調整することができる。し
かも、既製品を装置に組み付ければよいのでコストが特
に上昇するようなことはない。本実施の形態ではマイク
ロメータヘッド３７ａ、４３ａのスリーブ３７ｂ、４３
ｂを固定側に取り付け、スピンドル３７ｃ、４３ｃがマ
イクロメータヘッド３７ａ、４３ａでの進退操作に従い
可動側に進出して上記の間隔調整を行なうようにしてあ
る。このため、可動側がスピンドル３７ｃ、４３ｃの進
出に追従するように固定側との間で付勢してある。しか
し、このような連動構造は種々のものを採用することが
できる。

【００３２】また、本実施の形態の検査装置は、ライン
センサカメラ２が撮像した撮像画像３１ａの歪みからラ
インセンサカメラ２の光軸７まわりの回転角度θ１のず
れ、軸線２３まわりの主走査方向Ｙでのあおり角度θ２
のずれを判定し、必要な調整量を決定する判定手段５３
と、この判定手段５３で決定される調整量を指示する支
持手段５４とを制御部１４の内部機能として設け、指示
手段５４はモニタ１５を通じ指示する。これにより、ラ
インセンサカメラ２の調整すべき2通りのずれ量θ１、
θ２が画像認識方式などにより自動的に個人差なく迅速
かつ正確に判定されるし、判定結果によって必要な調整
量を支持するので、作業者は指示された通りの調整を行
なうだけでよくなる。もっとも、自動的に調整を行なう
アクチュエータを設けて、これに調整量を指示して自動
的に調整されるようにすることもできる。

【００３３】基準画像３１の撮像画像３１ａにおける歪
みによる前記２つのずれ量θ１、θ２を判定するのに、
図４に示すように基準ポイント３１ｂを一定のピッチに
て配列したものとするのが好適である。このようにする
と、撮像画像３１ａにおける歪みはその基準ポイント像
３１ｃの位置の変化からラインセンサカメラ２の光軸７
まわりの回転角度θ１のずれ量、および軸線２３まわり
のあおり角度θ２のずれ量を判定することができる。こ
こで、基準画像３１は検査精度が安定するように熱収縮
率の小さいガラス基板上に形成するのが好適であり、描
画方法としては耐久性を考えてエッチング印刷するのが
好適である。

【００３４】基準ポイント像３１ｃの撮像画像３１ａ上
の位置はそれらの中心点の座標位置として検出でき、こ
れの基準画像３１における対応する基準ポイント３１ｂ
の座標位置からの変位から前記２つのずれ量θ１、θ２
を判定することができる。

【００３５】図３（ｂ）に示す撮像画像３１ａは、ライ
ンセンサ１の主走査ライン８が図４に示すように主走査
方向Ｙに対して光軸７まわりに角度ずれしており、この
場合の回転角度θ１のずれ量は、主走査方向Ｙに並んで
いる２点どうしである例えば位置Ｐ２１とＰ２３の基準
ポイント３１ｂに対応した撮像画像３１ａ上の基準ポイ
ント像３１ｃ間のライン５５の傾き角度を撮像画像３１
ａ上の座標位置から演算することにより判定することが
できる。この傾き量は２つの基準ポイント像３１ｂ間の
副走査方向Ｘでの距離（Ｘ２＋α）−Ｘ２と主走査方向
Ｙの距離Ｙ３−Ｙ１との比からθ１＝ｔａｎ^-1[（Ｙ３
−Ｙ１）／（（Ｘ２＋α）−Ｘ２）]として算出するこ
とができる。上記２点は検査精度をよくするためにより
大きな距離となるものどうしを選択するのが好適であ
る。

【００３６】図３（ｃ）に示す撮像画像３１ａは、ライ
ンセンサ１の主走査ライン８が対象物面５ａと平行な平
面に対し主走査方向Ｙにて傾いており、この場合のあお
り角度θ２のずれ量は、主走査方向Ｙに並んでいる２つ
のものどうしである位置Ｐ２１、Ｐ２２、あるいはＰ２
２、Ｐ２３の各基準ポイント３１ｂに対応した撮像画像
３１ａ上の基準ポイント像３１ｃにおける距離を撮像画
像３１ａ上の座標位置から演算することにより判定する
ことができる。主走査方向Ｙでの下側の２点Ｐ２１、Ｐ
２２の基準ポイント３１ｂに対応する基準ポイント像３
１ｃ間の距離は（Ｙ２−β）−Ｙ１として、上側の２点
Ｐ２２、Ｐ２３の基準ポイント３１ｂに対応する基準ポ
イント像３１ｃ間の距離は（Ｙ３−γ）−（Ｙ２−β）
として算出することができ、この距離を基準画像３１で
の基準ポイント３１ｂ間の対応する距離と比較してあお
り角度θ２のずれ量を判定することができ、双方の間に
一定の相関性があるので、判定手段５３は予めテーブル
化しておいて判定すればよい。この場合も、検出の精度
を高めるために、距離が大きくなる基準ポイント像３１
ｃ間の距離を用いるのが好適である。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、上記の説明で明らかな
ように、ラインセンサカメラのレンズの光軸まわりの回
転角度が、ラインセンサの対象物面と平行な面での主走
査ラインの主走査方向に対する角度に関係し、ラインセ
ンサカメラの光軸および主走査方向に直交する軸線まわ
りのあおり角度が、主走査ラインの対象物面に対する傾
き角度に関係するので、ラインセンサカメラの取り付け
向きをこれら光軸および軸線のまわりの回転角度および
あおり角度にて規定し調整することにより、主走査ライ
ンの副走査方向に対する位置ずれ、および対象物面に対
するあおり角度ずれを是正し、実質的に歪みのない撮像
画像が得られるようにラインセンサカメラの向きを容易
かつ短時間に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１つの実施の形態に係るラインセンサ
カメラの取り付け向き調整方法とそれを適用した検査装
置の要部の構成図である。

【図２】図１の装置の全体構成図である。

【図３】ラインセンサカメラによる撮像画像を示し、そ
の（ａ）は正常な画像、その（ｂ）は回転角度ずれのと
きの画像、その（ｃ）はあおり角度ずれのときの画像を
それぞれ示している。

【図４】回転角度ずれ、あおり角度ずれを判定するため
の基準画像を示す平面図である。

【図５】回転角度ずれ、あおり角度ずれを判定する操作
手順を示すフローチャートである。

【図６】従来の検査装置を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ ラインセンサ ２ ラインセンサカメラ ５ 対象物 ５ａ 対象物面 ８ 主走査ライン ９ テーブル １４ 制御部 １５ モニタ ２３ 軸線 ３１ 基準画像 ３１ａ 撮像画像 ３１ｂ 基準ポイント ３１ｃ 基準ポイント像 ３３ 第１の支持機構 ３４ 第２の支持機構 ３７ 第１の調整機構 ４３ 第２の調整機構 ３７ａ、４３ａ マイクロメータヘッド ５３ 判定手段 ５４ 支持手段 Ｘ 副走査方向 Ｙ 主走査方向 θ１ 回転角度 θ２ あおり角度

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA12 AA17 AA21 AA37 AA39 AA58 BB02 CC01 CC26 CC28 DD06 EE00 EE08 FF42 FF61 FF66 FF67 GG12 JJ02 JJ09 JJ25 MM03 MM22 PP01 PP02 PP05 PP12 QQ24 QQ25 QQ26 QQ27 QQ28 RR08

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物をラインセンサの主走査方向と直
   角な向きに副走査して撮像するラインセンサカメラにつ
   き、その光軸まわりの回転角度と、前記光軸および主走
   査方向と直交する軸線のまわりのあおり角度とで、その
   取り付け向きを規定し、 これら回転角度およびあおり角度を調整してラインセン
   サカメラの取り付け向きを調整することを特徴とするラ
   インセンサカメラの取り付け向き調整方法。
2. 【請求項２】 基準画像を撮像した画像の基準画像に対
   する歪みから回転角度のずれ量とあおり角度のずれ量と
   を判定し、この判定に基づき前記回転角度およびあおり
   角度を調整することを特徴とする請求項１に記載のライ
   ンセンサカメラの取り付け向き調整方法。
3. 【請求項３】 基準画像は基準ポイントを一定のピッチ
   にて配列したもので、撮像画像における歪みによる基準
   ポイント像の位置の変化から回転角度およびあおり角度
   のずれ量を判定することを特徴とする請求項２に記載の
   ラインセンサカメラの取り付け向き調整方法。
4. 【請求項４】 対象物を支持する支持部と、対象物をラ
   インセンサで撮像し撮像データを画像認識による検査に
   供するラインセンサカメラとを、ラインセンサの撮像素
   子が並ぶ主走査ラインと直角な副走査方向に相対移動で
   きるように支持した検査装置において、 ラインセンサカメラをその光軸まわりと、光軸および主
   走査方向と直交する軸線のまわりとに独立して回転でき
   るように支持する第１、第２の支持機構と、第１の支持
   機構における固定側と可動側との間でラインセンサカメ
   ラの前記光軸まわりの回転角度を調整する第1の調整機
   構と、第２の支持機構における固定側と可動側の間でラ
   インセンサカメラの前記軸線まわりのあおり角度を調整
   する第２の調整機構とを備えたことを特徴とする検査装
   置。
5. 【請求項５】 第１、第２の調整機構は、調整操作量を
   微小化して伝達する微調整機構である請求項４に記載の
   検査装置。
6. 【請求項６】 微調整機構は、マイクロメータヘッドで
   ある請求項５に記載の検査装置。
7. 【請求項７】 基準画像をラインセンサカメラにより撮
   像した撮像画像の歪みから回転角度およびあおり角度の
   ずれ量を判定し、必要な調整量を決定する判定手段と、
   判定結果を指示する指示手段とを備えたことを特徴とす
   る請求項４〜６のいずれか１項に記載の検査装置。