JP2009168580A - 被検査体の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板検査システムにおいて、撮像ユニット24内に設けられたラインセンサは、走査ライン上の映像を走査する。基板搬送機構は、ラインセンサによって基板2の映像が走査されるときに、ラインセンサに対して基板2を移動させる。回転機構は、撮像ユニット24を初期位置から回転させることにより基板2の搬送方向に対する走査ラインの角度を変更する。ラインセンサは、初期位置における第1主走査ラインL1に対して走査角度θをもった第2主走査ラインL2上の映像を走査する。
【選択図】図5
Description
図1は、第1の実施形態に係る基板検査システム10の構成を示す図である。基板検査システム10は、基板搬送機構12、撮像システム14、および後述する画像処理部、スレーブPC、マスターPCなどを有している。基板搬送機構12は、支持プレート18および2本の搬送レール20を有している。搬送レール20は、支持プレート18により支持される。
図8は、第2の実施形態に係る撮像ユニット100を示す図である。第2の実施形態に係る基板検査システムの構成は、撮像ユニット24に代えて撮像ユニット100が設けられている以外は、第1の実施形態に係る基板検査システム10と同様である。したがって、第2の実施形態では、回転機構26は基板2の被検査面と垂直な軸を中心に撮像ユニット100を回転させる。
Claims (4)
- 被検査体の映像を走査するラインセンサと、
前記ラインセンサによって被検査体の映像が走査されるときに、被検査体と前記ラインセンサとを相対的に移動させる移動手段と、
を備え、
前記ラインセンサは、被検査体における、被検査体の移動方向と垂直な方向に対して所定の角度をもった走査ライン上の映像を走査することを特徴とする被検査体の検査装置。 - 被検査体の移動方向に対する走査ラインの角度を変更する走査方向変更手段と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の被検査体の検査装置。
- 前記移動手段は、被検査体の移動方向と走査ラインとの角度に応じて、走査ラインの移動方向における間隔を変更することを特徴とする請求項1または2に記載の被検査体の検査装置。
- 前記移動手段は、被検査体の移動方向と走査ラインとの角度をθ、被検査体の移動方向と走査ラインとの角度が90度のときの走査ラインの移動方向における間隔をLとして、走査ラインの移動方向における間隔をL*cosθに変更することを特徴とする請求項3に記載の被検査体の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008006224A JP2009168580A (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 被検査体の検査装置 |
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Family
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101197708B1 (ko) | 2010-10-12 | 2012-11-05 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판검사장치 |
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-
2008
- 2008-01-15 JP JP2008006224A patent/JP2009168580A/ja active Pending
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