JPH10311705A - 画像入力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】各種誤差が伴う測定において、この誤差を補正
し、歪みのない画像が得られる画像入力装置を提供す
る。 【解決手段】撮像対象物を撮像して画像信号を出力する
一次元光電変換素子を備えたラインセンサと、ラインセ
ンサをその走査方向と直角な方向に移動させる駆動手段
と、駆動手段の位置座標値を検出する位置検出手段と、
ラインセンサから出力される画像信号と位置検出手段に
より出力される座標値とを画像データとして出力するデ
ータ出力手段と、画像データによる画像を表示する画像
表示手段と、画像表示手段の所定の複数位置に対応する
補正値を記憶した記憶手段と、画像データの座標値を、
補正値に基づいて補正する画像データ補正手段とを備え
ていることを特徴とする画像入力装置が提供される。こ
のような構成により、測定による画像データに様々な誤
差が含まれた場合であっても、その誤差が補正され、歪
みのない画像を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一次元光電変換素
子を用いた画像入力装置に関し、例えば、リードフレー
ムや半導体基板の表面検査などに用いられる検査測定用
画像入力装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、画像入力装置の原理を示す図で
ある。図８によれば、Ｘ方向に一次元に配列された光電
変換素子（例えばＣＣＤ（電荷結合素子））を備えたラ
インセンサ１７は、ガイド３に沿ってＸ方向と直角な方
向であるＹ方向に移動可能である。半導体ウエハなどの
被測定物はステージ１２上に載置され、被測定物の像
は、対物レンズ２を介してラインセンサ１７の存在する
前に結像し、該結像した画像はラインセンサ１７によっ
て撮像される。ラインセンサ１７は、ガイド３に沿って
Ｙ方向に移動しながら、被測定物の撮像を行い、撮像さ
れた画像の画像信号は、ラインセンサ１７がＹ方向に一
定距離移動する毎にリニアエンコーダ４３が生成する撮
像同期信号に同期して画像データとして出力され、図示
しない記憶手段に記憶される。

【０００３】このように、ステージ１２上に載置された
被測定物は、Ｙ方向に一定速度で移動するラインセンサ
１７によって撮像される。このとき、ラインセンサ１７
が上記一定距離移動する間にラインセンサ１７のＣＣＤ
に蓄積された電荷量が画像信号として撮像同期信号に同
期して出力される。そして、ラインセンサ１７が一定距
離移動する毎にこの画像信号が出力され、撮像範囲全体
を走査することにより、被測定物全体の画像データを得
ることができる。

【０００４】例えば、ラインセンサ１７にはＸ方向に６
０００個のＣＣＤ画素が配列されており、このラインセ
ンサ１７がＹ方向の所定距離を６０００ステップで撮像
を行うとき、全体の画像データは、Ｘ及びＹ方向６００
０×６０００画素の各座標における各ＣＣＤ個別の画像
データの集合となる。

【０００５】また、ラインセンサ１７を移動させる代わ
りに、ステージ１２をＸＹ方向に移動可能なＸＹステー
ジ１２とし、このＸＹステージ１２をＹ方向に移動させ
る場合も同様の画像データを得ることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ラ
インセンサ１７又はＸＹステージ１２の移動によって撮
像された画像には各種誤差が伴う。例えば、ラインセン
サ１７又はＸＹステージ１２の移動に伴ういわゆるヨー
イング、真直度（移動方向に直角方向への平行移動）、
及びガイド３のＹ方向とラインセンサ１７のＸ方向の直
角誤差などの機械的誤差、リニアエンコーダ４３のスケ
ール誤差などである。これらの誤差は、光電変換素子が
二次元に配列されたエリアセンサでの撮影によって生じ
る誤差と比較して、その程度が大きい。

【０００７】例えば、図９（ａ）に示すように前記誤差
がない場合には、図９（ａ’）に示すように正方形に撮
像されるべき画像が、図９（ｂ）に示すようにラインセ
ンサ１７が直角誤差を伴って移動する場合には、図９
（ｂ’）のように、図９（ｃ）に示すようにラインセン
サ１７が移動とともに傾斜する場合には、図９（ｃ’）
のように、さらに、図９（ｄ）に示すようにラインセン
サ１７が移動とともに左右に平行移動する場合には、図
９（ｄ’）のようにそれぞれ歪む。

【０００８】さらに、被測定物の像をラインセンサ１７
に結像させるための対物レンズ２自身が有する倍率誤差
やディストーション誤差などの光学系の誤差及びライン
センサ１７の画素ピッチ誤差も精度の高い測定を行う場
合においては無視できない。

【０００９】例えば図１０（ａ）に示す正方形の画像
は、倍率誤差によって、例えば図１０（ｂ）に示すよう
にその大きさが変化し、ディストーション誤差によっ
て、例えば図１０（ｃ）のように歪む。また、ラインセ
ンサ１７の画素ピッチ誤差等の固体差によって図１０
（ｄ）のように、ラインセンサ１７の走査方向に直角な
方向の線の位置が、本来あるべき点線の位置から実線の
位置にずれる。

【００１０】そこで、本発明の目的は、上記各種誤差が
伴う測定において、この誤差を補正し、歪みのない画像
が得られる画像入力装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第一の構成は、撮像対象物を撮像して画像信
号を出力するラインセンサと、該ラインセンサをその走
査方向と直角な方向に移動させる駆動手段と、該駆動手
段の位置座標値を検出する位置検出手段と、前記ライン
センサから出力される画像信号と前記位置検出手段によ
り出力される座標値とを画像データとして出力するデー
タ出力手段と、該画像データによる画像を表示する画像
表示手段と、該画像表示手段の所定の複数位置に対応す
る補正値を記憶した記憶手段と、前記画像データの座標
値を、該補正値に基づいて補正する画像データ補正手段
とを備えていることを特徴とする画像入力装置である。

【００１２】また、上記目的を達成するための本発明の
第二の構成は、撮像対象物が載置されるステージと、前
記撮像対象物を撮像して画像信号を出力するラインセン
サと、前記ステージを前記ラインセンサの走査方向と直
角な方向に移動させる駆動手段と、該駆動手段の位置座
標値を検出する位置検出手段と、前記ラインセンサから
出力される画像信号と前記位置検出手段により出力され
る座標値とを画像データとして出力するデータ出力手段
と、該画像データによる画像を表示する画像表示手段
と、該画像表示手段の所定の複数位置に対応する補正値
を記憶した記憶手段と、前記画像データの座標値を、該
補正値に基づいて補正する画像データ補正手段とを備え
ていることを特徴とする画像入力装置である。

【００１３】以上の構成により、測定による画像データ
に様々な誤差が含まれた場合であっても、その誤差が補
正され、歪みのない画像を得ることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲がこの
実施の形態に限定されるものではない。

【００１５】図１は、本発明の第一の実施の形態におけ
る画像入力装置のブロック構成図である。画像入力装置
は、画像入力部１０、それを制御する測定制御部２０を
備えている。さらに、本画像入力装置はパーソナルコン
ピュータ３０を有する。パーソナルコンピュータ３０
は、測定制御部２０の操作及び測定制御部２０から送ら
れる画像データの処理のために用いられる。パーソナル
コンピュータ３０には、プリンタ３１、キーボード３
２、マウス３３、モニタ３４などが接続され、さらに、
測定制御部２０から送られる画像データを処理するため
の画像処理ボード３５を搭載している。

【００１６】画像入力部１０には、まず、ベース１１上
に配置され、被測定物が載置された固定式のステージ１
２が設けられる。ステージ１２はＸＹ方向に可動である
ＸＹステージ１２であってもよいが、本第一の実施の形
態においては、ＸＹステージ１２は固定されている。さ
らに、撮像部１５が、ベース１１から上方に延びる支柱
１４に取り付けられている。この撮像部１５は、走査方
向がＸ方向である一次元光電変換素子を備えたラインセ
ンサ１７及び被測定物の像を一次元光電変換素子の撮像
面上に結像する光学系１６及びを備えている。

【００１７】このラインセンサ１７は、ラインセンサ駆
動部４０によってＹ方向に移動可能である。そして、ラ
インセンサ１７が所定距離移動する毎に撮像同期用スケ
ールとしてのリニアエンコーダ４３から撮像同期信号Ｂ
が出力される。この駆動部４０は、測定制御部２０内の
ラインセンサ制御部２１からのラインセンサ制御信号Ａ
によって制御される。

【００１８】そして、光源１８からの光を光ファイバ１
９などで画像入力部１０に導き、ステージ１２上に載置
された半導体ウエハなどの被測定物の種類に応じて、被
測定物に光を照射する。即ち、被測定物の上から落射照
明し、または、被測定物の下から透過照明する。

【００１９】測定制御部２０は、ラインセンサ制御信号
Ａを出力してラインセンサ１７のスキャン移動を制御す
るラインセンサ制御部２１、撮像制御部２２及び光源制
御部２３を有している。ラインセンサ制御部２１は、ラ
インセンサ１７のの移動を制御し、それによって制御さ
れるラインセンサ１７が所定距離移動する毎に、リニア
エンコーダ４３から撮像同期信号Ｂが出力される。そし
て、撮像同期信号Ｂが出力される毎に、撮像制御部２２
は、撮像制御信号Ｃを出力してラインセンサ１７の撮像
を制御し、且つラインセンサ１７からの画像信号Ｄを撮
像同期信号Ｂに同期して画像データ信号Ｅとして出力す
る。また、光源制御部２３は、光源１８のＯＮ／ＯＦＦ
などの制御を行う。

【００２０】画像データ信号Ｅは、パーソナルコンピュ
ータ３０に入力され、モニタ３４に表示される。また、
パーソナルコンピュータ３０からは、例えば、ラインセ
ンサ１７移動速度の設定又は測定の開始など測定に必要
な各種指令信号Ｆが測定制御部２０に送られる。

【００２１】このような画像入力装置において得られた
画像データ信号Ｅには、上述したような各種誤差が含ま
れている。本発明の実施の形態においては、以下に説明
する基準パターンをあらかじめ撮像し、画像データの位
置に対する補正値を有する補正テーブルを作成する。そ
して、被測定物の画像データをその補正テーブルに基づ
いて補正することにより歪みのない画像を得る。以下
に、この画像データの位置補正について説明する。

【００２２】画像データの位置補正を行うために、本発
明の実施の形態においては、まず、図２（ａ）に示すよ
うなＸ及びＹ方向にそれぞれ所定間隔に配列された複数
の円形状の測定パターン（以下円パターンという）５１
が配列された基準パターン５０が撮像される。この円パ
ターン５１は、Ｘ及びＹ方向にそれぞれ均等距離に配列
され、その円パターン５１の中心座標は、あらかじめ別
の測定器によって測定され、既知である。この円パター
ン５１の中心座標（以下基準点という）は、図２（ｂ）
に示すように、円パターン５１の円周上に９０度毎に設
けた４つの点から求めた円の中心点の座標として求める
ことができる。この場合、測定点数は４点に限定する必
要がなく、点数が多いほど精度が向上する。また、円パ
ターン５１の中心座標は、画像処理による重心計算を行
い、円パターン５１の重心点座標として求めてもよい。

【００２３】従って、この基準パターン５０を撮像する
と、撮像された画像における各基準点に対応する画像デ
ータの座標即ち測定座標が得られる。そして、基準パタ
ーン５０上における各基準点の基準座標と、上記測定座
標を比較し、その誤差を求めることによって、各基準点
に対応する画像データの測定座標の補正値を求める。

【００２４】次に、測定された基準パターン５０の画像
が図３のような画像である場合についての各基準点に対
応する画像データの補正値の計測方法の例について説明
する。

【００２５】まず、測定された所定の１点Ｐo を原点に
設定する。そして、該Ｐo 点とＸ方向の任意の点Ｐx
（ここではＰ3 ）を結んだ線分Ｐo Ｐ3 の方向をＸ軸と
定め、その方向に直角な軸をＹ軸と定める。このよう
に、上記原点、Ｘ軸及びＹ軸を設定することによって、
各基準点の測定座標が決まる。

【００２６】さらに、上記測定座標における原点Ｐo に
対応する基準座標における点を原点Ｑo として同一の座
標（好ましくは、(0,0) ）に設定し、且つ両座標のＸ軸
を一致させる。そして、測定座標における各基準点の座
標の基準座標に対する誤差は、上記原点とＸ軸を一致さ
せたときの基準座標における各基準点の座標と測定座標
における各基準点の座標とを比較することによって求め
られる。

【００２７】図４は、上記のように設定された測定座標
と基準座標を比較するために重ね合わせた時の、測定座
標及び基準座標それぞれにおける各基準点の座標Ｐ(i,
j) 及びＱ(i,j) を示す図である。図４において、黒丸
は測定座標の点、白丸は基準座標の点である。さらに、
測定座標における各点の座標Ｐ(i,j) のｘ座標及びｙ座
標をｘ(i,j) 及びｙ(i,j) 、基準座標における各点の座
標Ｑ(i,j) のｘ座標及びｙ座標をＸ(i,j) 及びＹ(i,j)
とすると、測定座標における各基準点の座標Ｐ(i,j) の
各補正値ΔＲ(i,j) のｘ方向成分及びｙ方向成分はΔｘ
(i,j) 及びΔｙ(i,j) は、以下の式によって表される。

【００２８】 Δｘ(i,j) ＝Ｘ(i,j) −ｘ(i,j) Δｙ(i,j) ＝Ｙ(i,j) −ｙ(i,j) ・・・（１） このとき、Ｘ(i,j) ＝α×ｉ及びＹ(i,j) ＝α×ｊであ
って、αは基準点間の長さである。説明を簡単にするた
めに本実施の形態においては、α＝１とする。例えば、
測定座標Ｐ(1,1) におけるｘ(1,1) ＝0.9 、ｙ(1,1) ＝
1.1 であるとき、基準座標Ｑ(1,1) のＸ(1,1) ＝1 、Ｙ
(1,1) ＝1 となるので、Δｘ＝0.1 、Δｙ＝-0.1とな
る。

【００２９】そして、この測定座標における各基準点の
座標Ｐ(i,j) の補正値ΔＲ(i,j) は、例えば補正テーブ
ルとしてあらかじめパーソナルコンピュータ３０内のＲ
ＯＭのような記憶手段に記憶される。図５は、補正テー
ブルの例である。図５によれば、測定座標がＰ(i,j) で
あるときの補正値ΔＲ(i,j) のｘ方向成分はΔｘ(i,j)
、そして、ｙ方向成分はΔｙ(i,j) である。

【００３０】さらに、本発明の実施の形態においては、
あらかじめ上記補正テーブルを求めた後に、実際に被測
定物を測定する。被測定物の画像データ信号は、画像処
理ボード３５によって画像処理され、それによってエッ
ジ座標などが計測される。得られた画像のエッジ座標
は、上記測定座標上の座標であるので、その座標の位置
には誤差が含まれている可能性がある。そこで、その誤
差を上記補正テーブルに基づいて補正する。以下、この
補正方法について説明する。

【００３１】まず、第一の場合は、図４に示す点ａのよ
うに、求められたエッジ座標ａが、上記補正テーブルに
記憶されている測定座標上の各基準点の座標の一つと同
じであるとき（ここでは点Ｐ（1,1)）、エッジ座標ａ
は、上記補正テーブルに記憶されている点Ｐ（1,1)に対
応する補正値だけ補正される（この場合、エッジ座標ａ
はＱ（1,1)に補正される）。

【００３２】次に、第二の場合は、図４に示す点ｂのよ
うに、エッジ座標ｂが、測定座標上の基準点をＸ軸に平
行に結んだ線分上にあるとき（ここでは、点Ｐ（1,1)と
点Ｐ（2,1)の線分上の座標ｂ(1.3,1) ）、エッジ座標ｂ
における補正値は、このエッジ座標ｂにＸ軸方向に近接
する補正テーブルが有する座標の補正値に基づいて、例
えば直線補間によって求める。即ち、エッジ座標ｂの補
正値ΔＲb は、補正テーブルに記憶されている点Ｐ（1,
1)と点Ｐ（2,1)に対応する補正値ΔＲ（1,1)と点Ｒ（2,
1)に基づいて以下の式によって求められる。

【００３３】 ΔＲb ＝（ΔＲ（2,1)−ΔＲ（1,1)））×（1.3 −1) ・・・（２） 上記式によって、補正値ΔＲb のｘ成分補正値Δｘ及び
ｙ成分補正値Δｙを各々演算する。

【００３４】また、第三の場合は、図４に示す点ｃのよ
うに、エッジ座標ｃが、測定座標上の基準点をＹ軸に平
行に結んだ線分上にあるとき（ここでは、点Ｐ（2,1)と
点Ｐ（2,2)の線分上の座標ｂ(2,1.5) ）、エッジ座標ｃ
における補正値は、このエッジ座標ｃにＹ軸方向に近接
する補正テーブルが有する座標の補正値に基づいて、上
述同様に例えば直線補間によって求める。即ち、エッジ
座標ｃの補正値ΔＲcは、補正テーブルに記憶されてい
る点Ｐ（2,1)と点Ｐ（2,2)に対応する補正値ΔＲ（2,1)
と点Ｒ（2,2)に基づいて以下の式によって求められる。

【００３５】 ΔＲb ＝（ΔＲ（2,2)−ΔＲ（2,1)））×（1.5 −1) ・・・（３） 上記式によって、補正値ΔＲc のｘ成分補正値Δｘ及び
ｙ成分補正値Δｙを各々演算する。

【００３６】さらに、第四の場合は、図４に示す点ｄに
示すように、エッジ座標ｄが、測定座標の基準点をＸ軸
及びＹ軸に平行に結んだ線分上にないとき（例えば座標
ｄ(1.6,2.4) ）、エッジ座標ｄにおける補正値は、この
エッジ座標ｄを囲む４つの座標即ちＰ(1,2) 、Ｐ(2,2)
、Ｐ(1,3) 、Ｐ(2,3) における補正値に基づいて求め
る。具体的には、まず、Ｐ(1,2) 、Ｐ(2,2) に対応する
補正値ΔＲ(1,2) 、ΔＲ(2,2) から上記第二の場合の演
算式（２）と同様に、座標ｅ(1.6,2) における補正値Δ
Ｒe を求める。次に、Ｐ(1,3) 、Ｐ(2,3) に対応する補
正値ΔＲ(1,3) 、ΔＲ(2,3) に基づいて演算式（２）を
利用して座標ｆ(1.6,3) における補正値ΔＲf を求め
る。そして、座標ｄを通るＹ軸に平行な線分上にある座
標ｅと座標ｆの補正値ΔＲe とΔＲf から、上記第三の
場合における演算式（３）に基づいて座標ｄにおける補
正値ΔＲd を求めることができる。

【００３７】また、別な方法として、まず、Ｐ(1,2) 、
Ｐ(1,3) から上記第三の場合における演算式（３）から
座標ｇ(1,2.4) における補正値ΔＲg を求める。次に、
Ｐ(2,2) 、Ｐ(2,3) から同様に演算式（３）から座標ｈ
(2,2.4) における補正値ΔＲh を求める。そして、座標
ｄを通るＸ軸に平行な線分上にある座標ｇと座標ｈの補
正値ΔＲg とΔＲh から、上記第二の場合における演算
式（２）を利用して座標ｄにおける補正値ΔＲd を求め
ることができる。

【００３８】このようにして求められた補正値によっ
て、被測定物の画像の測定座標におけるエッジ座標の誤
差の補正することができる。

【００３９】図６は、本発明の第二の実施の形態におけ
る画像入力装置のブロック構成図である。本実施の形態
においては、ラインセンサ１７をＹ方向に移動させる代
わりに、ＸＹステージ１２をＹ方向に移動させる。ＸＹ
ステージ１２はその内部に駆動部（図示省略）を有し、
ＸＹステージ１２が所定距離移動する毎にリニアエンコ
ーダ１３から撮像同期信号Ｂが出力される。この駆動部
は、測定制御部２０内のステージ制御部２４からのステ
ージ制御信号Ｇによって制御される。

【００４０】そして、第一の実施の形態と同様に、ＸＹ
ステージ１２をＹ方向に走査することによって、上記基
準パターンを撮像し、その補正テーブルを作成する。そ
の後、被測定物を撮像して得られた画像データの座標の
補正値を上記同様に補正テーブルに基づいて求め、その
補正値に従って画像データを補正することによって、歪
みのない画像を得ることができる。

【００４１】このように、基準パターン上に配置された
基準点は、各ＣＣＤの間隔より長い所定間隔毎に設けら
れているが、所定の複数基準点に対応する画像データの
座標の補正値をあらかじめ計測し、記憶することによっ
て、各ＣＣＤに対応する画像データすべての座標の補正
値についても高い精度で求めることが可能である。

【００４２】従って、本発明の実施の形態においては、
一定間隔で規則的に配列された基準点が記された基準パ
ターン５０を撮像し、撮像された点の座標の補正値をあ
らかじめ求めることによって、被測定物の画像の補正を
容易に行うことができ、歪みのない精度の高い画像を得
ることができる。

【００４３】また、基準パターン５０は、上述したよう
に基準点が格子状に配列される場合に加えて、主に光学
系１６の倍率誤差及びディストーションによる誤差を補
正するための基準パターンとして、図７に示すように、
基準点が同心円状に配列されているものであってもよ
い。また、光学系の特性により光学系の外側ほどディス
トーションが大きくなる傾向があるので、より精度の高
い補正を行うためには、同心円の間隔を外側ほど狭くす
ることが好ましい。

【００４４】さらに、上記測定パターン５１の形状は、
上述の円以外の例えば三角形又は四角形など形状でもよ
く、その形状を問わない。

【００４５】光学系１６による誤差について更に述べる
と、上記第一の実施の形態においては、ラインセンサ１
７は撮像部１５内を図示しないガイドに沿って移動し、
光学系１６の視野全面を使って被測定物を撮像する。従
って、撮像された画像には、光学系１６の視野全面につ
いての倍率誤差又はディストーション誤差が含まれる。
一方、上記第二の実施の形態においては、ラインセンサ
１７と光学系１６は一体であり、ＸＹステージ１２が移
動する。従って、ラインセンサ１７による撮像は、上記
第一の実施の形態と異なり、光学系１６の視野における
Ｘ方向に延びるラインセンサ１７の位置に相当する部分
のみを使って行われる。ゆえに、撮像された画像には、
光学系１６の倍率誤差及びディストーション誤差のう
ち、上記一部分に該当する位置のＸ方向の誤差のみが含
まれる。

【００４６】従って、光学系１６の倍率誤差及びディス
トーション誤差を補正する場合、第一の実施の形態にお
いては、光学系１６の視野全面に対しての補正が必要で
あるが、第二の実施の形態の場合は、光学系１６の視野
の上記一方向に対してのみ補正を行えばよい。なお、光
学系１６の倍率誤差、ディストーション誤差以外の誤差
に起因する検出画像の誤差、例えば、局部的ボケのある
像を画像処理することによって生ずる検出画像位置のズ
レも同時に補正される。

【００４７】本実施の形態の画像入力装置は、図１に示
すように、ＸＹステージ１２は固定であり、ラインセン
サ１７が移動する場合において、光学系１６はＸＹステ
ージ１２とともに静止している第一の構成、及び図６に
示すように、ＸＹステージ１２が移動し、ラインセンサ
１７が固定である場合において、光学系１６はラインセ
ンサ１７ととともに静止している第二の構成に加えて、
ＸＹステージ１２が移動し、ラインセンサ１７が固定で
ある場合において、光学系１６はＸＹステージ１２とと
ともに移動する第三の構成（図示省略）、及びＸＹステ
ージ１２は固定であり、ラインセンサ１７が移動する場
合において、光学系１６はラインセンサ１７とともに移
動する第四の構成（図示省略）の４つの構成において実
現することが可能である。

【００４８】なお、第二の構成におけるステージ１２
は、ラインセンサ１７の走査方向と平行な軸を回転中心
とする回転ドラム型ステージであってもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
所定間隔で規則的に配列された基準点を有する基準パタ
ーンを撮像し、撮像された基準点の誤差をあらかじめ求
めることによって、被測定物の画像の補正を容易に行う
ことができ、歪みのない精度の高い画像を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態における画像入力装
置のブロック構成図である。

【図２】基準パターンの第一の例を示す図である。

【図３】測定された基準パターンの画像を示す図であ
る。

【図４】測定座標と基準座標を比較するために重ね合わ
せたときの測定座標及び基準座標それぞれの各基準点の
座標Ｐ(i,j) 及びＱ(i,j) を示す図である。

【図５】補正テーブルの例を示す図である。

【図６】本発明の第二の実施の形態における画像入力装
置のブロック構成図である。

【図７】基準パターンの第二の例を示す図である。

【図８】従来の画像入力装置の原理を示す図である。

【図９】誤差を伴った画像の例である。

【図１０】別の誤差を伴った画像の例である。

【符号の説明】

１２ ＸＹステージ １３ リニアエンコーダ １７ ラインセンサ ２２ エンコーダ座標検出部 ２３ 撮像制御部 ４０ 駆動部 ４３ リニアエンコーダ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】撮像対象物を撮像して画像信号を出力する
   ラインセンサと、 該ラインセンサをその走査方向と直角な方向に移動させ
   る駆動手段と、 該駆動手段の位置座標値を検出する位置検出手段と、 前記ラインセンサから出力される画像信号と前記位置検
   出手段により出力される座標値とを画像データとして出
   力するデータ出力手段と、 該画像データによる画像を表示する画像表示手段と、 該画像表示手段の所定の複数位置に対応する補正値を記
   憶した記憶手段と、 前記画像データの座標値を、該補正値に基づいて補正す
   る画像データ補正手段とを備えていることを特徴とする
   画像入力装置。
2. 【請求項２】撮像対象物が載置されるステージと、 該撮像対象物を撮像して画像信号を出力するラインセン
   サと、 前記ステージを前記ラインセンサの走査方向と直角な方
   向に移動させる駆動手段と、 該駆動手段の位置座標値を検出する位置検出手段と、 前記ラインセンサから出力される画像信号と前記位置検
   出手段により出力される座標値とを画像データとして出
   力するデータ出力手段と、 該画像データによる画像を表示する画像表示手段と、 該画像表示手段の所定の複数位置に対応する補正値を記
   憶した記憶手段と、 前記画像データの座標値を、該補正値に基づいて補正す
   る画像データ補正手段とを備えていることを特徴とする
   画像入力装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、 前記補正値は、所定間隔に配置された基準点を有する基
   準パターンを撮像して得られた画像データにおける基準
   点の座標値と、それに対応する該基準パターンにおける
   基準点の座標値の差であることを特徴とする画像入力装
   置。
4. 【請求項４】請求項３において、 前記基準パターン上の前記基準点は、格子状に配列され
   ていることを特徴とする画像入力装置。
5. 【請求項５】請求項３において、 前記基準パターン上の前記基準点は、同心円状に配列さ
   れていることを特徴とする画像入力装置。