JP2003106936A - センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置 - Google Patents
センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置Info
- Publication number
- JP2003106936A JP2003106936A JP2001297876A JP2001297876A JP2003106936A JP 2003106936 A JP2003106936 A JP 2003106936A JP 2001297876 A JP2001297876 A JP 2001297876A JP 2001297876 A JP2001297876 A JP 2001297876A JP 2003106936 A JP2003106936 A JP 2003106936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- image
- sensor unit
- central axis
- panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサヘッドの構成をユニット化し、センサ
ユニットを小型化し、センサユニットの複数配列し、所
定長のセンサヘッドを、検査に必要なパネル画像を高速
に得ること。 【解決手段】 一般的な長さのリニアイメージセンサを
含むサブモジュールを複数個、直列又は千鳥状に並列に
長さ方向に並べるように構成する。これにより、撮像長
さの長いセンサヘッドが得られる。又、上記センサヘッ
ド及び検査パネルを載置するテーブルを走査する。この
走査に合わせセンサヘッドの撮像データをメモリに読み
込む。この画像データを再構成して輝度分布を測定す
る。さらに、目視検査に必要とされると同じ視野角の輝
度データ画像を高速に複数作製し、画像表示し外観検査
を行う。また、上記異なる視野角の画像データを、相互
比較することにより、検査パネル表面に発生する構造的
な表示ムラ欠陥を検出する。
ユニットを小型化し、センサユニットの複数配列し、所
定長のセンサヘッドを、検査に必要なパネル画像を高速
に得ること。 【解決手段】 一般的な長さのリニアイメージセンサを
含むサブモジュールを複数個、直列又は千鳥状に並列に
長さ方向に並べるように構成する。これにより、撮像長
さの長いセンサヘッドが得られる。又、上記センサヘッ
ド及び検査パネルを載置するテーブルを走査する。この
走査に合わせセンサヘッドの撮像データをメモリに読み
込む。この画像データを再構成して輝度分布を測定す
る。さらに、目視検査に必要とされると同じ視野角の輝
度データ画像を高速に複数作製し、画像表示し外観検査
を行う。また、上記異なる視野角の画像データを、相互
比較することにより、検査パネル表面に発生する構造的
な表示ムラ欠陥を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
（ＬＣＤ，Liquid Crystal Display ）パネル等から放
射する光の分布を検知するセンサヘッド、及びセンサヘ
ッドが撮像した画像データを利用した輝度分布測定装
置、外観検査装置、検査評価する検査評価装置に関す
る。
（ＬＣＤ，Liquid Crystal Display ）パネル等から放
射する光の分布を検知するセンサヘッド、及びセンサヘ
ッドが撮像した画像データを利用した輝度分布測定装
置、外観検査装置、検査評価する検査評価装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＣＤパネル等による表示装置の
輝度分布測定装置は、例えば特開平８−２２００１４号
公報に記載されように、ＣＣＤ（Charge Coupled Devic
e ）リニアイメージセンサ（以下、リニアイメージセン
サ）を使用したものが知られている。本発明者らは、複
数視野角に対応した位置にそれぞれリニアイメージセン
サを配置して、高速度に発光物の視野角特性を測定する
センサヘッドを発明した（特願２０００−２２００１４
号特許願）。
輝度分布測定装置は、例えば特開平８−２２００１４号
公報に記載されように、ＣＣＤ（Charge Coupled Devic
e ）リニアイメージセンサ（以下、リニアイメージセン
サ）を使用したものが知られている。本発明者らは、複
数視野角に対応した位置にそれぞれリニアイメージセン
サを配置して、高速度に発光物の視野角特性を測定する
センサヘッドを発明した（特願２０００−２２００１４
号特許願）。
【０００３】図９は、本発明者らが発明したセンサヘッ
ドを示す。図中、１はセンサヘッド、２はリニアイメー
ジセンサ、３はＬＣＤパネル、４は画素、４Ｌは画素ラ
イン、５は光学系、特にロッドレンズアレイを表す。複
数のリニアイメージセンサ２は半円筒面１Ｓに、その中
心軸１Ａに直角な面において図の４の位置を中心とする
複数の角度θに対応する位置に中心軸と平行に配置され
る。この角度θは、画素４を通り中心軸１Ａと直角な面
内の垂直線１Ｂに対する画素４の放射光方向の角度で、
垂直な面方向における画素４の視野角である。撮像した
い方向の視野角、例えば図９の例では０°，２０°，４
０°，６０°，８０°の方向で放射光が入射するように
リニアイメージセンサ２を配置する。
ドを示す。図中、１はセンサヘッド、２はリニアイメー
ジセンサ、３はＬＣＤパネル、４は画素、４Ｌは画素ラ
イン、５は光学系、特にロッドレンズアレイを表す。複
数のリニアイメージセンサ２は半円筒面１Ｓに、その中
心軸１Ａに直角な面において図の４の位置を中心とする
複数の角度θに対応する位置に中心軸と平行に配置され
る。この角度θは、画素４を通り中心軸１Ａと直角な面
内の垂直線１Ｂに対する画素４の放射光方向の角度で、
垂直な面方向における画素４の視野角である。撮像した
い方向の視野角、例えば図９の例では０°，２０°，４
０°，６０°，８０°の方向で放射光が入射するように
リニアイメージセンサ２を配置する。
【０００４】ロッドレンズアレイ５は、その受光面にパ
ネル上の画像を等倍に結像するように受光素子撮像点間
に配置され、所定の範囲内の放射光のみを入射して、所
定方向の放射光の輝度を正確に撮像するものである。半
円筒の中心軸１Ａを測定する画素ライン４Ｌの中心線に
合わせると、画素ラインのほぼ中央のターゲットライン
の発光ポイントに対してリニアイメージセンサが配置さ
れた角度における輝度がそのリニアイメージセンサ２に
より撮像できる。
ネル上の画像を等倍に結像するように受光素子撮像点間
に配置され、所定の範囲内の放射光のみを入射して、所
定方向の放射光の輝度を正確に撮像するものである。半
円筒の中心軸１Ａを測定する画素ライン４Ｌの中心線に
合わせると、画素ラインのほぼ中央のターゲットライン
の発光ポイントに対してリニアイメージセンサが配置さ
れた角度における輝度がそのリニアイメージセンサ２に
より撮像できる。
【０００５】図１０は、図９のセンサヘッドを使用した
輝度分布測定装置、表示ムラ検査評価装置の概念図を示
している。図中、１Ｘ，１ＹはそれぞれＸ，Ｙ方向走査
の図９のセンサヘッド、９はＬＣＤパネル３をＸ，Ｙ方
向又は回転方向（方位角φ方向）に移動させるテーブ
ル、１１は光源、１２は画像処理装置、１３はＬＣＤド
ライバ、１４はテーブル駆動制御装置、１５は光源制御
装置、１６は測定結果、検査結果等を表示する表示装
置、１７はホストコンピュータ、１７Ｍは評価基準値等
を記憶するメモリ、１８は制御部（表示ムラデータ処理
部を含む）を表す。
輝度分布測定装置、表示ムラ検査評価装置の概念図を示
している。図中、１Ｘ，１ＹはそれぞれＸ，Ｙ方向走査
の図９のセンサヘッド、９はＬＣＤパネル３をＸ，Ｙ方
向又は回転方向（方位角φ方向）に移動させるテーブ
ル、１１は光源、１２は画像処理装置、１３はＬＣＤド
ライバ、１４はテーブル駆動制御装置、１５は光源制御
装置、１６は測定結果、検査結果等を表示する表示装
置、１７はホストコンピュータ、１７Ｍは評価基準値等
を記憶するメモリ、１８は制御部（表示ムラデータ処理
部を含む）を表す。
【０００６】ＬＣＤドライバ１３は、Ｙ方向の１画素ラ
イン４Ｌにおける画素を順次動作させ、各画素素子に対
応したリニアイメージセンサ２内の各画素素子に対応す
るＣＣＤイメージセンサの出力を読み取り走査すること
により、画素素子が放射した受光量を電気信号に変換し
て画像処理装置１２に送信する。
イン４Ｌにおける画素を順次動作させ、各画素素子に対
応したリニアイメージセンサ２内の各画素素子に対応す
るＣＣＤイメージセンサの出力を読み取り走査すること
により、画素素子が放射した受光量を電気信号に変換し
て画像処理装置１２に送信する。
【０００７】１ラインの輝度分布測定がおわると、テー
ブル９はテーブル駆動制御装置１４により、Ｘ方向に移
動され、ラインセンサ２は次の画素ライン４Ｌにおける
画素素子が放射する光を測定する。画像処理装置１２は
測定データをホストコンピュータ１７に送信し、ホスト
コンピュータ１７は測定データを記憶、処理し、画素を
検査し、検査結果を表示部１６に表示する。
ブル９はテーブル駆動制御装置１４により、Ｘ方向に移
動され、ラインセンサ２は次の画素ライン４Ｌにおける
画素素子が放射する光を測定する。画像処理装置１２は
測定データをホストコンピュータ１７に送信し、ホスト
コンピュータ１７は測定データを記憶、処理し、画素を
検査し、検査結果を表示部１６に表示する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】複数視角に対応した輝
度分布測定装置では、より大画面に対応した撮像長さの
長いセンサヘッドが要求されている。複数の長尺なリニ
アイメージセンサにより構成されるセンサヘッドでは、
リニアイメージセンサ自身の寸法精度やひずみの問題が
存在し、複数のリニアイメージセンサの焦点を同一線上
に合わせるような光学的組立調整が非常に難しい。本発
明は、製造技術が難しい長尺なリニアイメージセンサを
使用せずに、比較的平易な方法でセンサヘッドの撮像長
さを拡大し、製造方法も容易にすることを目的とする。
度分布測定装置では、より大画面に対応した撮像長さの
長いセンサヘッドが要求されている。複数の長尺なリニ
アイメージセンサにより構成されるセンサヘッドでは、
リニアイメージセンサ自身の寸法精度やひずみの問題が
存在し、複数のリニアイメージセンサの焦点を同一線上
に合わせるような光学的組立調整が非常に難しい。本発
明は、製造技術が難しい長尺なリニアイメージセンサを
使用せずに、比較的平易な方法でセンサヘッドの撮像長
さを拡大し、製造方法も容易にすることを目的とする。
【０００９】従来のパネル面の表示ムラ検査評価は、あ
る一方向だけから取得した画像からムラ領域を検出する
ものであった。しかし、視野角に依存するような構造的
パネルムラ、例えばギャップムラのように正面画像のみ
からではムラの判別が煩雑で、且つ判別が困難であっ
た。パネルを傾けることでムラ領域の輝度値が明らかに
変化する構造的パネルムラなどに対しては、１枚の画像
だけでムラを検出し、パネル面のムラを正確に分類し、
検査評価することは原理的に無理である。本発明は必要
な複数の視野角の画像データを容易に得ることができる
ことを目的とする。
る一方向だけから取得した画像からムラ領域を検出する
ものであった。しかし、視野角に依存するような構造的
パネルムラ、例えばギャップムラのように正面画像のみ
からではムラの判別が煩雑で、且つ判別が困難であっ
た。パネルを傾けることでムラ領域の輝度値が明らかに
変化する構造的パネルムラなどに対しては、１枚の画像
だけでムラを検出し、パネル面のムラを正確に分類し、
検査評価することは原理的に無理である。本発明は必要
な複数の視野角の画像データを容易に得ることができる
ことを目的とする。
【００１０】さらに、縮小光学系を採用したリニアセン
サからなるラインカメラを複数個直列に配置した撮像系
を用いた、幅広の大型ワークに対応した外観検査装置の
例はある。しかしながら、縮小光学系（広い範囲の像を
小さなＣＣＤエリアに結像させるもの）では１対１の等
倍実像を得ることができないために表示ムラ検査に必要
な輝度精度が確保できない。縮小光学系を使ったシステ
ムでは、周辺部と中心部では光量差が大きく、ムラ検査
精度を悪化させる原因となっている。また、従来の縮小
光学系ヘッドの装置は光学的制約により大型である。本
発明は表示ムラ検査精度が確保できる正確な撮像画像を
得ることを目的とする。
サからなるラインカメラを複数個直列に配置した撮像系
を用いた、幅広の大型ワークに対応した外観検査装置の
例はある。しかしながら、縮小光学系（広い範囲の像を
小さなＣＣＤエリアに結像させるもの）では１対１の等
倍実像を得ることができないために表示ムラ検査に必要
な輝度精度が確保できない。縮小光学系を使ったシステ
ムでは、周辺部と中心部では光量差が大きく、ムラ検査
精度を悪化させる原因となっている。また、従来の縮小
光学系ヘッドの装置は光学的制約により大型である。本
発明は表示ムラ検査精度が確保できる正確な撮像画像を
得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、一般的な長さのリニアイメージセンサ（例
えばレンズ縮小型のリニアイメージセンサで長さ30mm〜
100mm 程度のセラミックベースパッケージ）にて構成さ
れたサブモジュールを基本単位とし、そのサブモジュー
ルを長さ方向に複数個、直列又は千鳥状に並べるように
構成したものである。これにより、検査対象パネルに対
応した撮像長さの長いセンサヘッドが得られる。
に本発明は、一般的な長さのリニアイメージセンサ（例
えばレンズ縮小型のリニアイメージセンサで長さ30mm〜
100mm 程度のセラミックベースパッケージ）にて構成さ
れたサブモジュールを基本単位とし、そのサブモジュー
ルを長さ方向に複数個、直列又は千鳥状に並べるように
構成したものである。これにより、検査対象パネルに対
応した撮像長さの長いセンサヘッドが得られる。
【００１２】又、複数の視野角に配置されたリニアイメ
ージセンサから撮り込んだＬＣＤパネル等の検査対象パ
ネル（以下パネル）の撮像データを取り込み、メモリに
記憶する。記憶された画像データを再構成して、ＬＣＤ
パネルの輝度を測定する装置に使用する。さらに、記憶
された画像データから目視検査に必要とされる所定の視
野角、方位角における撮像画像を複数高速に作製し、画
像を表示し外観検査を行うことができる装置を提供す
る。また、上記異なる視野角、方位角の撮像画像を、相
互比較することにより、パネル表面に発生する構造的な
表示ムラ欠陥を検出する装置を提供する。
ージセンサから撮り込んだＬＣＤパネル等の検査対象パ
ネル（以下パネル）の撮像データを取り込み、メモリに
記憶する。記憶された画像データを再構成して、ＬＣＤ
パネルの輝度を測定する装置に使用する。さらに、記憶
された画像データから目視検査に必要とされる所定の視
野角、方位角における撮像画像を複数高速に作製し、画
像を表示し外観検査を行うことができる装置を提供す
る。また、上記異なる視野角、方位角の撮像画像を、相
互比較することにより、パネル表面に発生する構造的な
表示ムラ欠陥を検出する装置を提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図８を参照して実施
例について本発明を説明する。図１は長撮像センサヘッ
ドの実施例を示す。図９の従来例と相違する構成は、長
尺のセンサヘッドを長手方向に配置した複数のサブモジ
ュール１Ｍで構成する点である。図の例では、サブモジ
ュールを長手方向に例えば直列に３個１Ｍ１〜１Ｍ３並
べ、撮像長さを長くしている。しかし、各サブモジュー
ル内のセンサユニットのリニアイメージセンサ間隔間の
画素については撮像されない。テーブルを移動して、セ
ンサヘッドでパネルを撮像しても各サブモジュールの間
に撮像されない部分が生じる。
例について本発明を説明する。図１は長撮像センサヘッ
ドの実施例を示す。図９の従来例と相違する構成は、長
尺のセンサヘッドを長手方向に配置した複数のサブモジ
ュール１Ｍで構成する点である。図の例では、サブモジ
ュールを長手方向に例えば直列に３個１Ｍ１〜１Ｍ３並
べ、撮像長さを長くしている。しかし、各サブモジュー
ル内のセンサユニットのリニアイメージセンサ間隔間の
画素については撮像されない。テーブルを移動して、セ
ンサヘッドでパネルを撮像しても各サブモジュールの間
に撮像されない部分が生じる。
【００１４】図２は、センサヘッドの構成要素をユニッ
ト化、モジュール化して、任意の大きさのパネルに適応
できるセンサヘッドを得るようにしたセンサユニット、
サブモジュール例を示す。図２（ａ）はセンサユニット
の断面図、（ｂ）はセンサユニット長手方向の断面図、
（ｃ）はセンサユニットをサブモジュール内の所望角度
位置に簡単に配置する図を示す。図中、５はロッドレン
ズアレイ、６はセンサユニット、４ａは画素中の撮像ポ
イント、７は受光素子、８は信号処理回路、１０はサブ
モジュールフレームを表す。
ト化、モジュール化して、任意の大きさのパネルに適応
できるセンサヘッドを得るようにしたセンサユニット、
サブモジュール例を示す。図２（ａ）はセンサユニット
の断面図、（ｂ）はセンサユニット長手方向の断面図、
（ｃ）はセンサユニットをサブモジュール内の所望角度
位置に簡単に配置する図を示す。図中、５はロッドレン
ズアレイ、６はセンサユニット、４ａは画素中の撮像ポ
イント、７は受光素子、８は信号処理回路、１０はサブ
モジュールフレームを表す。
【００１５】センサユニットフレーム６ａは遮光材で構
成され、サブモジュールフレーム１０はセンサユニット
６を所定の角度位置に挿入固定できるように構成され
る。リニアイメージセンサ２は、パネル上の撮像ポイン
ト４ａの画素の放射光を受光した受光素子７ａがこの受
光量を電気量に変換し、タイミング読取り走査して電気
信号として出力する。信号処理回路８は、この出力電気
信号を撮像信号としてＡ／Ｄ変換し、センサヘッドの受
光素子位置（撮像ポイント）信号とともにメモリに送信
する回路である。
成され、サブモジュールフレーム１０はセンサユニット
６を所定の角度位置に挿入固定できるように構成され
る。リニアイメージセンサ２は、パネル上の撮像ポイン
ト４ａの画素の放射光を受光した受光素子７ａがこの受
光量を電気量に変換し、タイミング読取り走査して電気
信号として出力する。信号処理回路８は、この出力電気
信号を撮像信号としてＡ／Ｄ変換し、センサヘッドの受
光素子位置（撮像ポイント）信号とともにメモリに送信
する回路である。
【００１６】図３はパネル全領域の画素のＸ方向におけ
る輝度を撮像する方法を説明する図である。テーブル９
をＸ方向に移動走査して画素ラインの中央をセンサヘッ
ドのターゲットラインに合わせて、サブモジュ−ル１Ｍ
１〜１Ｍ３のリニアイメージセンサを（ａ）の矢印方向
でのタイミング読取り走査によりパネル画素内の撮像ポ
イントにおける撮像データを出力する。これを繰り返し
てテーブルのＸ方向の移動走査を完了する（図２
（ｂ））。
る輝度を撮像する方法を説明する図である。テーブル９
をＸ方向に移動走査して画素ラインの中央をセンサヘッ
ドのターゲットラインに合わせて、サブモジュ−ル１Ｍ
１〜１Ｍ３のリニアイメージセンサを（ａ）の矢印方向
でのタイミング読取り走査によりパネル画素内の撮像ポ
イントにおける撮像データを出力する。これを繰り返し
てテーブルのＸ方向の移動走査を完了する（図２
（ｂ））。
【００１７】このとき、未撮像の領域（図で空白の部
分）が残るので、これを撮像するために、未撮像領域の
中心がサブモジュール１Ｍの中心に位置するように、例
えばステージ動作によりサブモジュール間隔の１／２ず
らした位置までセンサヘッドをＹ方向に移動させる（図
２（ｃ））。次に、先のＸ方向の反対方向にテーブルを
移動して未撮像領域の画素内の撮像ポイントを撮像す
る。撮像データには重複する部分が生じるが（図２
（ｄ））、例えば、次に説明するような方法で一つを選
択することにより、両方の撮像データを合成して検査パ
ネル１枚分の画像データを作製する。上記のテーブルと
センサヘッドの移動走査は、両者のいずれかを移動走査
させても良いし、両者を移動走査させても良い。
分）が残るので、これを撮像するために、未撮像領域の
中心がサブモジュール１Ｍの中心に位置するように、例
えばステージ動作によりサブモジュール間隔の１／２ず
らした位置までセンサヘッドをＹ方向に移動させる（図
２（ｃ））。次に、先のＸ方向の反対方向にテーブルを
移動して未撮像領域の画素内の撮像ポイントを撮像す
る。撮像データには重複する部分が生じるが（図２
（ｄ））、例えば、次に説明するような方法で一つを選
択することにより、両方の撮像データを合成して検査パ
ネル１枚分の画像データを作製する。上記のテーブルと
センサヘッドの移動走査は、両者のいずれかを移動走査
させても良いし、両者を移動走査させても良い。
【００１８】図４は、検査パネル上の撮像ポイントの撮
像及び撮像データのメモリ記憶を簡単に説明する模式図
を示す。この説明例は、検査パネルが８×６個の画素、
サブモジュール１Ｍが３個１Ｍ１〜１Ｍ３で、各サブモ
ジュールのリニアイメージセンサそれぞれが５個の受光
素子を所定の位置に直列配置されているとする例であ
る。（ａ）はパネル上の撮像ポイント（撮像時の受光素
子位置）とサブモジュール位置、及び撮像データとの関
係を示す。上側のサブモジュールは図３（ａ）のとき、
下側のサブモジュールは図３（ｃ）のときの相互の位置
関係を示す。
像及び撮像データのメモリ記憶を簡単に説明する模式図
を示す。この説明例は、検査パネルが８×６個の画素、
サブモジュール１Ｍが３個１Ｍ１〜１Ｍ３で、各サブモ
ジュールのリニアイメージセンサそれぞれが５個の受光
素子を所定の位置に直列配置されているとする例であ
る。（ａ）はパネル上の撮像ポイント（撮像時の受光素
子位置）とサブモジュール位置、及び撮像データとの関
係を示す。上側のサブモジュールは図３（ａ）のとき、
下側のサブモジュールは図３（ｃ）のときの相互の位置
関係を示す。
【００１９】図４（ｂ）はサブモジュールの撮像データ
を画像処理装置内のメモリに記憶する際の処理を説明す
る図を示す。パネル領域外における撮像データはパネル
の座標検出によりパネル領域外であると検出されるの
で、メモリに読み込まれない。図４の例では上側位置で
のサブモジュール１Ｍ３が撮像したｃ４，ｃ５，下側位
置でのサブモジュール１Ｍ１が撮像したａ１’，ａ
２’，ａ３’の撮像データはメモリに記憶されない。重
複する画素の撮像対象点の撮像データは順次読み込むの
で、後に読み込み入力したデータが利用される。下側で
のサブモジュールが上側のサブモジュールより後に読み
込むので、下側でのサブモジュールの撮像データが残る
ことになる。
を画像処理装置内のメモリに記憶する際の処理を説明す
る図を示す。パネル領域外における撮像データはパネル
の座標検出によりパネル領域外であると検出されるの
で、メモリに読み込まれない。図４の例では上側位置で
のサブモジュール１Ｍ３が撮像したｃ４，ｃ５，下側位
置でのサブモジュール１Ｍ１が撮像したａ１’，ａ
２’，ａ３’の撮像データはメモリに記憶されない。重
複する画素の撮像対象点の撮像データは順次読み込むの
で、後に読み込み入力したデータが利用される。下側で
のサブモジュールが上側のサブモジュールより後に読み
込むので、下側でのサブモジュールの撮像データが残る
ことになる。
【００２０】図４（ｃ）は、図３の走査が終了し、セン
サヘッドの撮像データが画像処理装置内のメモリに記憶
された状態を示す（サブモジュールの撮像データは
（ａ）と対応している。）。このメモリのアドレスは撮
像ポイントの座標と対応している。（ｃ）の撮影データ
は、サブモジュール内の所定角度のセンサユニットで撮
像したパネル１画像のデータである。
サヘッドの撮像データが画像処理装置内のメモリに記憶
された状態を示す（サブモジュールの撮像データは
（ａ）と対応している。）。このメモリのアドレスは撮
像ポイントの座標と対応している。（ｃ）の撮影データ
は、サブモジュール内の所定角度のセンサユニットで撮
像したパネル１画像のデータである。
【００２１】図５（ａ）は視野角に対応した角度Ａ〜Ｇ
の位置にセンサユニット６Ａ〜６Ｇを配置したサブモジ
ュール例を示す。（ｂ）は一つの撮像ポイントに対し
て、（ａ）の各センサユニットが撮像したデータを示
す。図３，図４のようにテーブル、サブモジュールを走
査して、図４（ｃ）の各角度毎に撮像データを得る。こ
れにより、７個の視野角で撮像されたパネル画像を得る
ことができる。さらに、テーブルを所定角度φ回転させ
て、図３と同じようにテーブル及びサブユニットを走査
して、異なる方位角における７個の視野角で撮像された
パネル画像を得ることができる。
の位置にセンサユニット６Ａ〜６Ｇを配置したサブモジ
ュール例を示す。（ｂ）は一つの撮像ポイントに対し
て、（ａ）の各センサユニットが撮像したデータを示
す。図３，図４のようにテーブル、サブモジュールを走
査して、図４（ｃ）の各角度毎に撮像データを得る。こ
れにより、７個の視野角で撮像されたパネル画像を得る
ことができる。さらに、テーブルを所定角度φ回転させ
て、図３と同じようにテーブル及びサブユニットを走査
して、異なる方位角における７個の視野角で撮像された
パネル画像を得ることができる。
【００２２】図６は、センサヘッドの撮像データをもと
に、異なる視野角，方位角の画像を記憶する処理及び画
像処理を行う画像処理装置１２の概念図を示す。図中、
１２Ｍ１，１２Ｍ２・・・は、方位角φ１，φ２・・・
それぞれにおける視野角Ａ〜ＧのＬＣＤパネル画像デー
タを記録するメモリ、１２Ｎは画像メモリ、１２Ａはセ
ンサヘッドより送られた撮像データを、メモリ１２Ｍ
１，１２Ｍ２，・・・に記憶させる処理、画像処理を行
うサブＣＰＵを表す。
に、異なる視野角，方位角の画像を記憶する処理及び画
像処理を行う画像処理装置１２の概念図を示す。図中、
１２Ｍ１，１２Ｍ２・・・は、方位角φ１，φ２・・・
それぞれにおける視野角Ａ〜ＧのＬＣＤパネル画像デー
タを記録するメモリ、１２Ｎは画像メモリ、１２Ａはセ
ンサヘッドより送られた撮像データを、メモリ１２Ｍ
１，１２Ｍ２，・・・に記憶させる処理、画像処理を行
うサブＣＰＵを表す。
【００２３】所定の撮像ポイント（ｘ，ｙ）における視
野角θ（角度Ａ〜Ｇ），方位角φの撮像データをメモリ
１２Ｍ１，１２Ｍ２，・・・から読み取り、メモリ１２
Ｎに記憶し、表示装置１６で表示する。表示（画像又は
印刷）を輝度で表すことにより、パネルの所定位置
（ｘ，ｙ）における画素の輝度分布が測定される。
野角θ（角度Ａ〜Ｇ），方位角φの撮像データをメモリ
１２Ｍ１，１２Ｍ２，・・・から読み取り、メモリ１２
Ｎに記憶し、表示装置１６で表示する。表示（画像又は
印刷）を輝度で表すことにより、パネルの所定位置
（ｘ，ｙ）における画素の輝度分布が測定される。
【００２４】又、メモリ１２Ｍ１，１２Ｍ２，・・・に
記憶された画像は、パネルを異なる視野角、方位角に傾
けて外観観察した目視像に対応している。従って、パネ
ルの欠陥を発見できる視野角、方位角の画像をメモリ１
２Ｍ１，１２Ｍ２，・・・から読み出した画像データか
ら再構成し、表示装置１６にこれらの画像を表示するこ
とにより、外観検査をすることができる。例えば、液晶
パネルの生産工程におけるラビング欠陥（ガラス基板上
の同一方向の細かいキズの筋）検査に効果的である。
記憶された画像は、パネルを異なる視野角、方位角に傾
けて外観観察した目視像に対応している。従って、パネ
ルの欠陥を発見できる視野角、方位角の画像をメモリ１
２Ｍ１，１２Ｍ２，・・・から読み出した画像データか
ら再構成し、表示装置１６にこれらの画像を表示するこ
とにより、外観検査をすることができる。例えば、液晶
パネルの生産工程におけるラビング欠陥（ガラス基板上
の同一方向の細かいキズの筋）検査に効果的である。
【００２５】また、上記異なる視野角及び方位角におけ
る各撮像画像に現れる欠陥を相互比較することにより、
パネル表面に現れる構造的ムラを全て正確に分類し、評
価することができる。正面画像では発見できなくて、視
野角に依存する構造的ムラ、例えばギャップムラは正面
画像と所定視野角画像とを比較することにより、ムラ検
出とその評価は効果的に行える。
る各撮像画像に現れる欠陥を相互比較することにより、
パネル表面に現れる構造的ムラを全て正確に分類し、評
価することができる。正面画像では発見できなくて、視
野角に依存する構造的ムラ、例えばギャップムラは正面
画像と所定視野角画像とを比較することにより、ムラ検
出とその評価は効果的に行える。
【００２６】図７はセンサヘッドの他の実施例を示す。
サブモジュール１Ｍ１〜１Ｍ６を長手方向に千鳥状配列
として撮像長さを長くする。この場合、撮像長さを検査
対象パネルの幅より大きくすることにより、１回のテー
ブル走査でＬＣＤパネル全体の撮像データを取り込むこ
とができる。図１のセンサヘッドでは画素ラインが１本
であったが、本実施例は撮像ターゲットラインは２本存
在する。
サブモジュール１Ｍ１〜１Ｍ６を長手方向に千鳥状配列
として撮像長さを長くする。この場合、撮像長さを検査
対象パネルの幅より大きくすることにより、１回のテー
ブル走査でＬＣＤパネル全体の撮像データを取り込むこ
とができる。図１のセンサヘッドでは画素ラインが１本
であったが、本実施例は撮像ターゲットラインは２本存
在する。
【００２７】図７のセンサヘッドは図１のセンサヘッド
に比べて走査の数は少ない。これに対して、図１のセン
サヘッドは図７のセンサヘッドに比べ、構成するリニア
イメージセンサの全数量が少ないために、センサヘッド
全体が比較的コンパクトに安価に製造できる。
に比べて走査の数は少ない。これに対して、図１のセン
サヘッドは図７のセンサヘッドに比べ、構成するリニア
イメージセンサの全数量が少ないために、センサヘッド
全体が比較的コンパクトに安価に製造できる。
【００２８】図８は、図４と同じく、（ａ）はパネル上
の撮像ポイントとサブモジュール位置、及び撮像データ
との関係を示す。（ｂ）はサブモジュールの撮像データ
を画像処理装置内のメモリに記憶する際の処理を説明す
る模式図を示す。撮像されたデータはサブモジュール１
Ｍ１からサブモジュール１Ｍ６の順で読取り走査され、
画像処理装置内のメモリに記憶される。撮像ポイント及
びパネル領域外、重複撮像データの処理は図４と同じで
ある。
の撮像ポイントとサブモジュール位置、及び撮像データ
との関係を示す。（ｂ）はサブモジュールの撮像データ
を画像処理装置内のメモリに記憶する際の処理を説明す
る模式図を示す。撮像されたデータはサブモジュール１
Ｍ１からサブモジュール１Ｍ６の順で読取り走査され、
画像処理装置内のメモリに記憶される。撮像ポイント及
びパネル領域外、重複撮像データの処理は図４と同じで
ある。
【００２９】図７のセンサヘッドの撮像データは、図１
のセンサヘッド撮像データと同じく、画像処理装置１２
において撮像データをサブＣＰＵ１２Ａで、センサヘッ
ドの配置に合わせた走査によりメモリ１２Ｍ１，１２Ｍ
２，・・・に撮像データを取り込み、画像データを記録
し、この画像データを上記と同じ方法で再構成して、輝
度分布を測定する装置、外観検査装置及び表示ムラ検査
評価装置に使用する。
のセンサヘッド撮像データと同じく、画像処理装置１２
において撮像データをサブＣＰＵ１２Ａで、センサヘッ
ドの配置に合わせた走査によりメモリ１２Ｍ１，１２Ｍ
２，・・・に撮像データを取り込み、画像データを記録
し、この画像データを上記と同じ方法で再構成して、輝
度分布を測定する装置、外観検査装置及び表示ムラ検査
評価装置に使用する。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、検査対象のパネルサイ
ズが大きくなっても、リニアイメージセンサに長尺なも
のを必要とせず、基本となるサブモジュールの数を増加
することにより、平易な方法で撮像長さを長くすること
が可能である。また、サブモジュールの個数の増減によ
り、大型ディスプレイや逆に小型ディスプレイへ、その
大きさに対し柔軟に対応できる。
ズが大きくなっても、リニアイメージセンサに長尺なも
のを必要とせず、基本となるサブモジュールの数を増加
することにより、平易な方法で撮像長さを長くすること
が可能である。また、サブモジュールの個数の増減によ
り、大型ディスプレイや逆に小型ディスプレイへ、その
大きさに対し柔軟に対応できる。
【００３１】１対１の等倍実像の撮像に必要な長尺のリ
ニアイメージセンサを製作するにはその歩留まりと製造
技術面の難易度から大変高コストなものとなる。それと
比較し、取込幅の短いリニアイメージセンサは高性能で
安価なものの入手が容易で、その使用により、性能向上
とコスト削減の両方が期待できる。
ニアイメージセンサを製作するにはその歩留まりと製造
技術面の難易度から大変高コストなものとなる。それと
比較し、取込幅の短いリニアイメージセンサは高性能で
安価なものの入手が容易で、その使用により、性能向上
とコスト削減の両方が期待できる。
【００３２】さらに、センサヘッドの撮像長さをサブモ
ジュールの数の増減で行う場合は、サブモジュールが生
産管理の主とした対象であるため、その管理が単純で、
生産性の側面からもメリット大である。さらに、センサ
ヘッドとその光学系がコンパクトに構成できるため、装
置全体の小型化が可能である。
ジュールの数の増減で行う場合は、サブモジュールが生
産管理の主とした対象であるため、その管理が単純で、
生産性の側面からもメリット大である。さらに、センサ
ヘッドとその光学系がコンパクトに構成できるため、装
置全体の小型化が可能である。
【００３３】また、複数の視野角に対応するセンサユニ
ットでパネルの各ポイントを撮像した撮像データを視野
角毎に画像データをメモリに記憶し、画像データを再構
成することにより、輝度分布測定、外観検査に必要なデ
ータ及び表示ムラ検査評価に必要なデータが高速に得ら
れる。
ットでパネルの各ポイントを撮像した撮像データを視野
角毎に画像データをメモリに記憶し、画像データを再構
成することにより、輝度分布測定、外観検査に必要なデ
ータ及び表示ムラ検査評価に必要なデータが高速に得ら
れる。
【図１】本発明のセンサヘッドを透視図で模式的に表し
た図である。
た図である。
【図２】本発明のセンサユニット、センサモジュールを
模式的に表した図である。
模式的に表した図である。
【図３】図１のセンサヘッド及びパネルの走査、撮像を
説明する図である。
説明する図である。
【図４】図１のセンサヘッドによるパネル上の撮像ポイ
ントの撮像、撮像データのメモリ記憶を簡単に説明する
模式図である。
ントの撮像、撮像データのメモリ記憶を簡単に説明する
模式図である。
【図５】撮像ポイントの視野角方向における撮像データ
取込みを説明する図である。
取込みを説明する図である。
【図６】画像データ処理を説明する概念図である。
【図７】本発明の別のセンサヘッドを透視図で模式的に
表した図である。
表した図である。
【図８】図７のセンサヘッドによるパネル上の撮像ポイ
ントの撮像、撮像データのメモリ記憶を簡単に説明する
模式図である。
ントの撮像、撮像データのメモリ記憶を簡単に説明する
模式図である。
【図９】従来のセンサヘッドを模式的に表した図であ
る。
る。
【図１０】センサヘッドの検出データを利用して輝度分
布測定、表示ムラ検査評価等を処理する装置の概念図で
ある。
布測定、表示ムラ検査評価等を処理する装置の概念図で
ある。
１ ・・・ センサヘッド
２ ・・・ リニアイメージセンサ
３ ・・・ パネル
４ ・・・ 画素
５ ・・・ ロッドレンズアレイ
６，６Ａ〜６Ｇ・・・センサユニット
９ ・・・ ＸＹテーブル
１２・・・ 画像処理装置
１Ｍ，１Ｍ１〜１Ｍ６ サブモジュール
１２Ｍ１〜 ・・・ メモリ
θ ・・・ 視野角
φ ・・・ 方位角
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ０１Ｎ 21/84 Ｇ０１Ｎ 21/84 Ｚ
(72)発明者 田口 智弘
熊本県八代市松江町302 櫻井エンジニア
リング株式会社内
Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB02 AB20 CA03 CA08
CC09 DA07 EA12 EA14
2G065 AA02 AB23 BA04 BA33 BA34
BB03 BB06 BB46 BC07 BC11
BC19 BC31 BC33 BC35 BD01
DA20
2G086 EE10
Claims (8)
- 【請求項１】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に直列に並べることを
特徴とするセンサヘッド。 - 【請求項２】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に、千鳥状に並べるこ
とを特徴とするセンサヘッド。 - 【請求項３】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に直列に並べるセンサ
ヘッドを具備した輝度分布測定装置であって、 パネルを載置するテーブル、サブモジュールを走査し、 複数のリニアイメージセンサの検出撮像データを読み取
り、所定角度における輝度画像毎に画像データをメモリ
に記憶させることを特徴とするセンサヘッドを具備した
輝度分布測定装置。 - 【請求項４】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に、千鳥状に並べたセ
ンサヘッドを具備した輝度分布測定装置であって、 パネルを載置するテーブル、サブモジュールを走査し、 複数のリニアイメージセンサの検出撮像データを読み取
り、所定角度における輝度画像毎に画像データをメモリ
に記憶させることを特徴とするセンサヘッドを具備した
輝度分布測定装置。 - 【請求項５】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に直列に並べたセンサ
ヘッドを具備した外観検査装置であって、 パネルを載置するテーブル、サブモジュールを走査し、 複数のリニアイメージセンサの検出撮像データを読み取
り、所定角度における輝度画像毎に画像データをメモリ
に記憶させることを特徴とするセンサヘッドを具備した
外観検査装置。 - 【請求項６】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に、千鳥状に並べたセ
ンサヘッドを具備した外観検査装置であって、 パネルを載置するテーブル、サブモジュールを走査し、 複数のリニアイメージセンサの検出撮像データを読み取
り、所定角度における輝度画像毎に画像データをメモリ
に記憶させることを特徴とするセンサヘッドを具備した
外観検査装置。 - 【請求項７】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に直列に並べたセンサ
ヘッドを具備した表示ムラ検査評価装置であって、 パネルを載置するテーブル、サブモジュールを走査し、 複数のリニアイメージセンサの検出撮像データを読み取
り、所定角度における輝度画像毎に画像データをメモリ
に記憶させることを特徴とするセンサヘッドを具備した
表示ムラ検査評価装置。 - 【請求項８】 リニアイメージセンサとその受光面にパ
ネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像
点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユ
ニットを構成し、 センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニ
ットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中
心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の
角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュール
を構成し、 サブモジュールを複数個長手方向に、千鳥状に並べたセ
ンサヘッドを具備した表示ムラ検査評価装置であって、 パネルを載置するテーブル、サブモジュールを走査し、 複数のリニアイメージセンサの検出撮像データを読み取
り、所定角度における輝度画像毎に画像データをメモリ
に記憶させることを特徴とするセンサヘッドを具備した
表示ムラ検査評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001297876A JP2003106936A (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001297876A JP2003106936A (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003106936A true JP2003106936A (ja) | 2003-04-09 |
Family
ID=19118871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001297876A Pending JP2003106936A (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003106936A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019868A (ja) * | 2005-12-09 | 2010-01-28 | Chukaminkoku Taiwan Hakumaku Denshotai Ekisho Keijiki Sangyo Kyokai | ディスプレーの多角度計測システム及び方法 |
| JP2012037503A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Lg Display Co Ltd | 表示装置の検査装置及び検査方法 |
| CN111757667A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | Juki株式会社 | 检查装置及检查方法 |
| WO2023238480A1 (ja) * | 2022-06-08 | 2023-12-14 | 株式会社ヴィーネックス | 光学ラインセンサ |
-
2001
- 2001-09-27 JP JP2001297876A patent/JP2003106936A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019868A (ja) * | 2005-12-09 | 2010-01-28 | Chukaminkoku Taiwan Hakumaku Denshotai Ekisho Keijiki Sangyo Kyokai | ディスプレーの多角度計測システム及び方法 |
| JP2012037503A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Lg Display Co Ltd | 表示装置の検査装置及び検査方法 |
| TWI459073B (zh) * | 2010-08-11 | 2014-11-01 | Lg Display Co Ltd | 檢測顯示裝置之設備及其方法 |
| CN111757667A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | Juki株式会社 | 检查装置及检查方法 |
| CN111757667B (zh) * | 2019-03-29 | 2023-08-25 | Juki株式会社 | 检查装置及检查方法 |
| WO2023238480A1 (ja) * | 2022-06-08 | 2023-12-14 | 株式会社ヴィーネックス | 光学ラインセンサ |
| JPWO2023238480A1 (ja) * | 2022-06-08 | 2023-12-14 | ||
| JP7706659B2 (ja) | 2022-06-08 | 2025-07-11 | 株式会社ヴィーネックス | 光学ラインセンサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI414780B (zh) | 檢測系統 | |
| US8878929B2 (en) | Three dimensional shape measurement apparatus and method | |
| JPH0829360A (ja) | Ｌｃｄパネル画質検査装置及びｌｃｄ画像プリサンプリング方法 | |
| JP2004226319A (ja) | 外観検査装置および画像取得方法 | |
| JP2012138891A (ja) | 撮像装置 | |
| CN107517374A (zh) | 一种线阵相机视场的确定方法及装置 | |
| US9646372B2 (en) | Inspection apparatus | |
| US5686959A (en) | Image quality inspection system and image synthesis method | |
| US20020018249A1 (en) | Sensor head, luminance distribution measurement apparatus having the sensor head, and unevenness inspection/evaluation apparatus | |
| JPWO2007132925A1 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2006242821A (ja) | 光学パネルの撮像方法、光学パネルの検査方法、光学パネルの撮像装置、光学パネルの検査装置 | |
| JP2012247743A (ja) | 解像度検査用チャート及び解像度の検査方法 | |
| KR19990088566A (ko) | 외관검사장치및방법 | |
| JP2003106936A (ja) | センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置 | |
| CN112584047B (zh) | 一种面阵相机连续扫描成像的控制方法 | |
| JPH0743115A (ja) | 距離測定方法および距離測定装置 | |
| JP2005274272A (ja) | ラインセンサカメラのキャリブレーション方法および外観検査装置 | |
| JPH0658215B2 (ja) | 半導体ウエハ上の被検査パターンの欠陥検査方法およびその装置 | |
| JPH0979946A (ja) | 表示装置の検査装置 | |
| JPH10311705A (ja) | 画像入力装置 | |
| JP2003097928A (ja) | 形状測定方法および形状測定装置 | |
| JP7748600B1 (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
| CN222994352U (zh) | 一种用于对半导体器件侧壁进行视觉检测的系统 | |
| JP2005274325A (ja) | 金属帯の光学式欠陥検査方法 | |
| JPH08178796A (ja) | 平面型表示装置の検査方法およびその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20031031 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20031031 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040316 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040517 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040622 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041124 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050823 |