JPH08178796A

JPH08178796A - 平面型表示装置の検査方法およびその装置

Info

Publication number: JPH08178796A
Application number: JP31982994A
Authority: JP
Inventors: Shigeki Watamura; 茂樹綿村; Kenichi Niki; 憲一仁木; Masayuki Yokomizo; 政幸横溝; Kazuki Inoue; 一樹井上
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp; AGC Inc
Priority date: 1994-12-22
Filing date: 1994-12-22
Publication date: 1996-07-12
Anticipated expiration: 2018-02-10
Also published as: JP3375763B2

Abstract

(57)【要約】【目的】輝度測定の回数を増やすことなく、かつ、輝
度検出の精度を向上させる検査方法および検査装置を提
供する。【構成】マトリクス状に画素を有するＬＣＤ３の表示
画面の各画素の表示特性の良否を判定する検査方法であ
って、前記表示画面の一部の領域の輝度を検出するセン
サカメラ４により該一部の領域の各画素の輝度を検出す
るとともに、該センサを前記マトリクス状の画素の行方
向または列方向に振動させ、前記一部の領域の画素と隣
接する部分の画素の輝度も検出し、ついで前記一部の領
域に隣接する領域を順次走査しながら前記表示画面の画
素の輝度検出を同様に繰り返す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置（以下、
ＬＣＤという）、陰極線管（以下、ＣＲＴという）、プ
ラズマディスプレイ、発光ダイオード（以下、ＬＥＤと
いう）がマトリクス状に設けられた表示装置などのマト
リクス状に画素を有する平面型表示装置の表示画面の各
画素の輝度などの表示特性を検査する平面型表示装置の
検査方法および検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＣＤなどの表示画面の大型化や
高精細化などの要請に伴い、画素数が多くなり、配線パ
ターンが細くなる傾向にあり、配線パターンの断線やス
イッチング素子の不良などにより点滅しなかったり輝度
の低下する画素が生じ、表示不良の平面型表示装置が発
生し易くなっている。そのため、この種の不良の有無を
調べる検査が最終製品の品質管理や製造工程の品質管理
上重要となっている。

【０００３】従来、マトリクス状に画素を有するＬＣＤ
やＣＲＴなどの平面型表示装置の各画素の輝度などを検
査する装置としては、たとえば実開平４−５５５３５号
公報などに開示されているように、たとえば表示装置の
各行の画素の間隔と同じピッチで受光素子が一列に設け
られたラインセンサにより、表示装置の列ごとの各画素
を検査し、つぎの列に順次ラインセンサを移動させて全
画素を検査する装置が開示されている。

【０００４】また、特開昭６２−１８８９５０号公報に
は、ホトダイオードなどが検査される表示装置の画素の
ピッチと同じか相似のピッチでマトリクス状に設けられ
るとともに、スイッチング素子が設けられた検査パネル
を用いて表示装置の各画素に対応づけて検査する装置が
開示されている。

【０００５】すなわち、これらの検査装置では各画素の
輝度を検出してそれを一度記憶し、そののち標準の輝度
データと検出した輝度データとを比較し標準の輝度デー
タと一定値以上の差がある画素を不良と判定する。した
がって検出データはどの画素のものかを対応づけて検出
され、記憶されている。

【０００６】平面型表示装置などの表示画面が大きいも
のでは、センサまたは表示装置を平行に動かすことによ
り画面全体を読みとることによって検査が行われる。こ
のばあいにおいても、センサの各検知素子と表示装置の
各画素との対応づけが行われている。センサとして電荷
結合素子（以下、ＣＣＤという）カメラを用いる例で
は、ＣＣＤセンサ受光面にできる表示装置の像を結像さ
せ、前記の対応づけを行っている。一般に２次元ＣＣＤ
カメラを用いるばあいは、表示装置の画素の行方向とセ
ンサの各検知素子の行方向または表示装置の画素の列方
向とセンサの各検知素子の列方向とを一致させて対応づ
けを行っている。したがってセンサまたは表示装置を動
かすばあいは行方向か列方向に平行に画素ピッチごとに
動かしてセンサと表示装置の相対的な位置関係を維持し
ながら各画素ごとの輝度の検出を行っている。

【０００７】別の方法としては、表示装置の表示画面を
複数の表示領域群に分割し、いくつかのＣＣＤカメラで
輝度を検出するばあいもある。このばあいの前記の対応
づけは、表示画面とセンサカメラとの相対的位置関係を
固定し、表示装置の画素サイズより表示画面のどの画素
であるかを座標でもって認識することができ、これによ
って表示装置とセンサとの対応づけを行っている。

【０００８】以上のような表示画面の検査方法では、セ
ンサの各検知素子のサイズを表示装置の画素サイズより
小さくし、複数のセンサ素子で同じ画素の輝度を検出す
ることが行われる。表示装置の１つの画素にセンサの複
数の検知素子を割り当てることにより、輝度測定の精度
を向上させている。前述のように、この方法により検出
された表示装置の各画素の輝度値は一旦記憶され、コン
ピュータなどの記憶演算装置で標準の画素の輝度値との
差をとり、あらかじめ設定した輝度値の差より大きけれ
ば欠陥画素として判定している。このようにして、ＬＣ
ＤやＣＲＴなどの平面型表示装置の表示特性を検査する
には、表示画面の端から端までを表示装置あるいはセン
サを動かして（以下、検査スキャンという）、表示装置
の全画素の輝度を検出して一旦記憶し、そののちに標準
とする表示装置の輝度値と比較して輝度の差があらかじ
め設定した値よりも大きいばあいにその表示装置を不良
と判定している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前述のような各画素と
検知素子の対応づけを行いながら各画素の輝度を検出す
る装置では、測定した輝度値の精度が検査する表示装置
の良否を決定するため、測定する輝度の精度が重要とな
る。測定精度を向上させる方法としては、表示装置の１
つの画素に割り当てることのできるセンサの検知素子の
数を多くする方法や数回輝度測定を繰り返す方法が挙げ
られる。しかし検知素子の数は表示装置の画素の大きさ
で制約され、あまり増やすことはできない。また測定回
数を何回も繰り返す方法は、１回の測定が前述のように
一旦全ての画素の輝度を検出して記憶し、そののち基準
データと１個１個比較して判定するため、検査工程の処
理速度が遅くなるという問題や表示画面の大型化で測定
時間が長くなるという問題がある。

【００１０】一方、カラー表示装置のばあいは、表示装
置のカラー画素の色ごとに輝度が異なり、各色ごとに検
査表示画面が必要となり、異なる色の表示画面ごとの検
査スキャンが必要となり、検査工程の時間がモノクロ表
示装置を検査するばあいよりも長くなるという問題があ
る。

【００１１】本発明の目的は、従来のかかる問題を解消
し、輝度測定の回数を増やすことなく、かつ、輝度検出
の精度を向上させる検査方法および検査装置を提供する
ことにある。

【００１２】本発明の他の目的は、カラー表示装置のば
あいに、同時に赤、緑、青の異なった３色の輝度を検出
し、赤、緑、青画素が同時に発色した白色画面表示で検
査することにより、表示画面の走査の回数を少なくし、
検査工程の時間を短縮することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の平面型表示装置
の検査方法は、マトリクス状に画素を有する平面型表示
装置の表示画面の各画素の表示特性の良否を判定する検
査方法であって、前記表示画面の一部の領域の輝度を検
出するセンサにより該一部の領域の各画素の輝度を検出
するとともに、該センサを前記マトリクス状の画素の行
方向または列方向に振動させ、前記一部の領域の画素と
隣接する部分の画素の輝度も検出し、ついで前記一部の
領域に隣接する領域を順次走査しながら前記表示画面の
画素の輝度検出を同様に繰り返すものである。

【００１４】前記センサの振動の振幅が前記表示画面の
画素ピッチの整数倍であることが振動により複数個の画
素の輝度を正確に検出できるため好ましい。

【００１５】前記表示画面が赤、緑、青のカラーフィル
タが各画素に規則的に設けられた表示画面であり、前記
振動の振幅を１画素のサイズの（３ｍ＋１）倍（ｍは０
または正の整数）とし、該振動の１往復により検出した
画素の輝度和Ｓ₁を求め、ついで１画素分移動して同様
に検出した画素の輝度和Ｓ₂を求め、Ｓ₁−Ｓ₂の大きさ
により同じ色の画素の輝度を相対比較することが、カラ
ーの表示画面のばあいでも同じ色同士で隣りあう画素の
輝度を相対比較することができるため好ましい。

【００１６】前記平面型表示装置がカラーの表示装置で
あるばあいに、赤、緑、青のカラーフィルタが各画素に
規則的に設けられた表示画面の赤、緑、青の３画素を前
記センサの振動により１単位として検出し、該３画素を
合わせた白色表示の輝度として検査することにより３画
素分を一度に検査することができる。

【００１７】前記センサを振動させて輝度を検出したの
ち、つぎの行または列の検出をするとき３画素分づつセ
ンサを移動させながら輝度検出を繰り返すことが、カラ
ーの表示画面のばあいでもモノクロと同じ走査の回数で
検査をすることができるため好ましい。

【００１８】また、前記センサの各画素の輝度を検出す
る検知素子のサイズが前記各画素のサイズの１／ｎ（ｎ
は２以上の整数）の大きさのセンサを用い、１個の画素
の輝度をｎ個の検知素子で検出することが、検査精度を
向上できるため好ましい。

【００１９】本発明の平面型表示装置の検査装置は、マ
トリクス状に画素を有する平面型表示装置の表示画面を
点灯させ、該表示画面の各画素の表示特性の良否を判定
する検査装置であって、前記表示画面を載置し、かつ、
少なくとも平面内で移動可能なステージと、該ステージ
の上方に設けられ前記表示画面の一部領域の輝度を検出
するセンサと、該センサを前記マトリクス状の画素の行
方向または列方向に振動させる振動手段と、前記センサ
を前記画素の行方向および／または列方向に走査する走
査手段とを有するものである。

【００２０】前記センサは光を検出する検知素子の配列
からなり、前記画素の１つを検出する検知素子が複数個
であることが、検査精度を向上させるうえで好ましい。

【００２１】

【作用】本発明の検査方法によれば、表示画面の一部領
域の輝度を検出しながらセンサを振動させているため、
たとえば一部領域が１画素の列からなり、振動の振幅を
たとえば１画素分で一部領域の列と垂直方向（走査方
向）に振動させると３倍の領域を一度に検出でき、セン
サカメラの移動は１回のままで、１画素を３回検査する
ことができ検査精度が向上する。また振動の振幅を２画
素のピッチに合わせると１周期の振動で５倍の領域を一
度に検出でき、１回のセンサカメラの移動で１画素当り
５回の検査をすることができる。

【００２２】また、振動の周期はカメラ自体の機械的な
振動を考慮しても十数ミリ秒程度で行うことができ、カ
メラを表示画面の端から端まで動かして再度元に戻して
輝度の検出を繰り返す測定回数の増加より短かい時間で
簡単に１画素当り３回以上の検査をすることができ、検
査精度が大幅に向上する。

【００２３】さらに、隣接する画素の輝度を同じカメラ
の検知素子で検出しているため、隣接する画素間での輝
度値の差を検出することができ、表示画面全体の検出し
たデータを一旦記憶させ、そののち基準データと比較し
なくても、たとえば走査方向一列の検出したデータを記
憶するのみで、各画素の輝度の良否を相対的に判定する
ことができ、検査時間を短縮することができる。

【００２４】前記振動の振幅が画素ピッチの整数倍であ
れば、常に画素ごとの輝度を検出でき、前述の検査精度
を向上させることができる。

【００２５】カラーの表示画面のばあいでも、Ｒ、Ｇ、
Ｂの３画素の整数倍が振動の１往復となるように振動さ
せてそのときの輝度和を求め、センサを１画素分移動し
て同様に輝度和を求め、その差が０よりどの程度大きい
かを調べることにより、同じ色の画素の隣り合う輝度を
比較検査することができる。

【００２６】また、表示装置がカラーのばあい、隣接す
る画素が赤、緑、青の繰り返しとなるため、各画素単独
で輝度を検出すると赤、緑、青の単色ではそれぞれ輝度
が異なり相互比較による良否の判定は難かしいが、３画
素の輝度を一組として検査することにより３画素同時表
示の白色表示あるいはグレー表示となり、比較検査が非
常に容易になり、しかも３画素ごとに走査することによ
り、カラー表示で画素数が増えても検査工程時間はモノ
クロのばあいと同じ時間で検査することができる。

【００２７】センサの検知素子のサイズが表示画面の各
画素のサイズの１／ｎであれば、ｎ個の検知素子により
１個の画素を検出することができ、ｎ倍の検査精度の向
上となる。

【００２８】本発明の検査装置によれば、表示画面の一
部の輝度を検出するセンサを振動させる振動手段が設け
られているので、一列の走査が終ったのち、センサを振
動させて首を振りさらに走査することができ、前述のよ
うに検査精度を向上させるとともに検査時間を短縮する
ことができる。

【００２９】１画素当りのセンサの検知素子が複数個で
あれば、複数個の検知素子により１画素を１回の走査期
間内に検査できるため、検査精度が向上する。

【００３０】

【実施例】つぎに図面を参照しながら本発明の平面型表
示装置の検査装置および検査方法について説明する。

【００３１】［実施例１］図１は本発明の検査装置の一
実施例の概念図を示す。図１において、１は表示装置で
あるＬＣＤ３を載せるステージで、ｘ方向とｙ方向（平
面内の一方向と、同一平面内でその一方向と直交する方
向をいう）およびθ方向（ｘｙ平面内での回転方向）へ
動かすことができる３軸モータを備えている。２は検査
のためＬＣＤ３をステージ１に載せ、センサカメラ４と
の位置関係が一定の関係になるように、ステージ１を調
整するため、ＬＣＤ３に設けられたマーク３ａを検出す
るカメラ、３はｘ、ｙ方向にマトリクス状に画素を有
し、前記のマーク３ａを有するＬＣＤ、４は複数個の２
次元検知素子を有するセンサカメラで、センサカメラ４
の走査方向は本実施例ではｙ方向としている。５はセン
サカメラ４を振動し、および検査スキャンのためセンサ
カメラ４を動かすモータ、６はセンサカメラ４によって
えられた輝度信号とあらかじめ記憶させておいた標準デ
バイスの輝度とを演算処理により比較するため、センサ
カメラ４の位置（検査スキャン）と振動を制御するた
め、およびＬＣＤ３とセンサカメラ４の位置関係を一定
に維持するようにステージ１の位置を動かす３軸モータ
を制御するためのコンピュータである。このモータ５と
コンピュータ６とで振動手段および走査手段を構成して
いる。７は検査されるＬＣＤ３を駆動するための駆動回
路、８はセンサカメラ４を本実施例ではｘ方向に振動さ
せることができるアームである。

【００３２】この装置で、ＬＣＤ３をステージ１上に載
置してマーク３ａによりセンサカメラ４とＬＣＤ３との
位置合わせをし、図示しないバックライトを点灯すると
ともに駆動回路７によりＬＣＤ３を駆動させ、センサカ
メラ４により各画素の輝度を検出する。本実施例では輝
度の検出を行うには、センサカメラ４をその走査方向
（ｙ方向）と直交する方向（ｘ方向）に１画素の振幅で
振動させ、表示画面のｙ方向の端から端までを走査し、
走査方向１列の画素の輝度を検出し１検査スキャンとす
る。この１検査スキャンが終ったのち、センサカメラ４
を振動させて首を振り、さらｙ方向の端から端までを走
査し、またセンサカメラ４の振動により戻し、反対側の
隣接する列を再度ｙ方向の端から端まで走査する。つぎ
にセンサカメラ４をｘ方向に１画素分動かし同様に検査
してこの検査スキャンを全画面について行い、該検査ス
キャンによりえられた各画素の輝度値を各列ごとに相対
比較するか、またはコンピュータ６により標準デバイス
の各画素の輝度と比較することにより、平面型表示装置
の良否を判定する。

【００３３】本実施例では、センサカメラ４の振動の振
幅を表示画面の画素のピッチ間隔（画素サイズの幅）と
することにより、両側に隣接する画素の輝度を測定する
ことができ、それぞれ隣接する画素はセンサカメラ４の
移動により再度検査され、結局１画素が３回検出される
ことになり、３の平方根倍の検出精度の向上となる。ま
た、振動の半周期Ｔ／２はセンサの走査方向全画素の輝
度検出時間ｔ（ＣＣＤまたはフォトダイオードで通常は
０．５ミリ秒程度）の２倍（２ｔ）程度あれば輝度検出
に支障はなく、センサカメラ４を移動させる時間分を節
約しながら３画素の検出をすることができる。

【００３４】つぎに、実際にセンサを振動させながら隣
接する画素の輝度の検出法について説明する。図３は従
来の検査装置の画素とセンサの検知素子との位置関係の
例を表わしたもので、図１のｘ方向に沿った断面を表わ
している。この説明では簡単のためセンサの大きさを表
示画面の１画素を測定する大きさのもので行う。図３
（ａ）において、９はｘ方向に沿った画素群を示し、１
０はセンサカメラの検知素子、１１はｉ番目の赤色（以
下、Ｒという）画素Ｒｉ、１２はｉ番目の緑色（以下、
Ｇという）画素Ｇｉ、１３はｉ番目の青色（以下、Ｂと
いう）画素Ｂｉをそれぞれ示す。また、画素のサイズを
Ｗ、検知素子のサイズをＷ_ｓ、センサの輝度検出時間を
ｔとする。センサカメラを検査スキャン方向（ｙ方向で
図３（ａ）に示す画素群９の紙面と垂直方向）に動か
し、表示画面の全画素の輝度を検出し、図３（ａ）に示
されるｘ方向に並ぶ画素群の各画素の輝度をプロットし
たのが図３（ｂ）のグラフである。図３（ｂ）のグラフ
で実線が測定データで、破線は基準データを示し、破線
と実線のデータとの差が一定値以上のばあいにはその画
素が不良として処理される。図２が本発明の検査方法を
説明する図で、センサカメラの検知素子１０と画素群９
との関係は図３（ａ）と同じで、符号も図３（ａ）と同
じ部分を示す。

【００３５】本発明では図２に示されるように、センサ
カメラ４をｘ方向に画素の幅Ｗと同じ幅の振幅で振動さ
せて走査している。したがってＧｉ画素１２の行をｙ方
向に検査スキャンしたのち、Ｒｉ画素１１およびＢｉ画
素１３をも同様に検出してからｘ方向（たとえばＢｉ画
素１３上）にセンサカメラを移動し、つぎの画素群を同
様に検出する。この振動の半周期はＧｉ画素１２の検出
時間とＲｉ画素１１の検出時間が必要となるため、前述
のように、１画素方向（ｙ方向の同色画素すべて）の輝
度を検出するのに必要な時間をｔとすると２ｔ時間は必
要である。図３（ｂ）に破線で示されるように、標準デ
バイスの輝度でもＲ、Ｇ、Ｂによって輝度が異なるた
め、それぞれのデータをそれぞれの標準値と比較しなけ
ればならない。しかし、本発明のように振動させること
により隣接するＲ、Ｇ、Ｂの３画素を連続して検出でき
るため、通常のセンサカメラの移動により同じ色の画素
のみを比較することができ、色による輝度の変化を受け
ない。

【００３６】すなわち、図２を参照しながら説明する
と、画素Ｇｉ上でのスキャンで画素Ｒｉ、Ｇｉ、Ｂｉの
輝度を測定する。つぎの画素Ｂｉ上でのスキャンでは、
画素Ｇｉ、Ｂｉ、Ｒｉ＋１の輝度を測定する。さらにつ
ぎの画素Ｒｉ＋１上でのスキャンでは画素Ｂｉ、Ｒｉ＋
１、Ｇｉ＋１の輝度を測定することとなる。各位置での
スキャンの輝度和をＳ１、Ｓ２、Ｓ３とすると、Ｓ１と
Ｓ２の輝度の差はＲｉとＲｉ＋１との輝度を比較してい
ることとなる。また、Ｓ２とＳ３の輝度差はＧｉとＧｉ
＋１との輝度差を比較していることとなる。この処理を
することにより同じ色のＲ同志、Ｇ同志、Ｂ同志で輝度
を比較することができる。

【００３７】本実施例ではセンサカメラの振動方向を走
査方向（ｙ方向）と垂直方向（ｘ方向）で行ったが、走
査方向と同じ方向に振動させても同様である。またセン
サの検知素子は１画素分でなく、複数画素の一部領域を
まとめた範囲を検出するセンサでもよい。たとえば前記
実施例でｘ方向全体の１ラインを検出するセンサでｙ方
向に振動させながらｙ方向に走査させて検査することに
より、１回の検査スキャンで表示画面全体を１画素当り
複数回の検出で検査することができる。

【００３８】［実施例２］前記実施例１ではセンサカメ
ラ４の振動の振幅を表示画面の画素のサイズと合わせ、
振幅を１としたが、振幅を画素のサイズの整数倍（ｍ
倍）とし、ｍを２以上とすることにより、センサカメラ
を移動させないで検出できる画素の数が（２ｍ＋１）個
となり、輝度検査精度はセンサを振動させないばあいの
（２ｍ＋１）の平方根倍となる。

【００３９】前述のカラー表示画面で振動の１往復間の
画素の輝度の和を求めて、センサ移動後の輝度の和との
差を求めるばあい、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色をセットとして検
出する必要があるため、振動の振幅を１画素のサイズの
（３ｍ＋１）倍（ｍは０または正の整数）にすることに
より利用することができる。

【００４０】ここで検出時間はセンサとしてＣＣＤセン
サを用いると前述のように、ｍが５でも数十ミリ秒程度
で、走査時のピッチ間移動時間の数百ミリ秒に比して非
常に小さく、振動させないばあいに比べて検査時間が長
くなることは殆どない。この観点からはｍが大きい程輝
度検出精度が向上して好ましいことになるが、実際には
センサカメラ４を振動させるため、ｍが大きくなるとセ
ンサと検出する画素との距離が変わり、輝度検出画素に
対して斜めから輝度を検出することになるため、１０程
度までとすることが好ましい。

【００４１】［実施例３］前記実施例１ではカラーの表
示装置で、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素が規則的に並ぶばあいでも
Ｒ、Ｇ、Ｂ各画素の輝度を１度に検出し、たとえばＲの
画素やＧの画素ごとに比較して検出したが、本実施例で
はＲ、Ｇ、Ｂの３色を合わせた白色表示の輝度として検
出するものである。このようにすることにより、３画素
の和が本来同じ色で同じ輝度を有するはずであるため、
検出の輝度値のみの相互比較で良否判定を検出でき、あ
らかじめ検出データを記憶させて標準データと比較しな
くても良否を判定できる。その結果データ処理が簡略に
なるとともに、３画素単位で走査をすることができるた
め、さらに検査時間を短縮することができる。また１画
素ごとにセンサカメラを移動すれば同一画素を３回測定
したことと同じことになり、検出精度が向上する。

【００４２】［実施例４］実施例１ではセンサカメラの
各検知素子を表示画面の１画素に対応して１個の検知素
子で行ったが、検知素子を１／ｎ（ｎは２以上の整数）
の大きさに小さく形成して１個の画素当りにｎ個の検知
素子とすることにより、１個の画素をｎ個の検知素子で
検出することになり、ｎの平方根倍輝度検出精度が向上
する。そのため、前記実施例２の画素の大きさのｍ倍の
振幅で振動させると、（２ｍ＋１）・ｎ個の検知素子で
１個の画素を検出することになり、輝度検出精度は（２
ｍ＋１）・ｎの平方根倍と飛躍的に向上する。

【００４３】以上の各実施例では、表示装置としてＬＣ
Ｄを用いたが、ＬＣＤ以外のＣＲＴ、プラズマディスプ
レイ、発光ダイオードを用いた表示装置などマトリクス
状に画素を有する平面型表示装置についても同様に検査
をすることができる。

【００４４】さらに、本発明によれば、いずれのばあい
にも１個の画素当り複数回の検査を行うことに相当し、
検査精度が大幅に向上するため、表示装置の良否を判定
することだけが目的であれば表示装置の各画素とセンサ
の検知素子との対応づけを行わなくても、検出画素の輝
度値を周辺画素の輝度値と比較するだけで、標準デバイ
スの輝度値と比較せずに検査をすることができる。ただ
し、不良の画素を特定するばあいには、従来と同様に各
画素の座標と対応づけを行うことにより不良画素を特定
することができる。

【００４５】

【発明の効果】本発明の検査方法によれば、センサカメ
ラを振動させながら走査するため、１つの画素を複数回
検出しながら検査することになり、１個１個の輝度検出
の精度が向上する。そのため、検出データを記憶して標
準データと比較しなくても表示装置の良否を判定するこ
とができ、検査工程が簡略化される。

【００４６】また、前記振動の振幅を表示画面の画素サ
イズの整数（ｍ）倍にすることにより効率よく検査精度
を上げることができるとともに、ｍを大きくすることに
より一層検査精度を向上することができる。

【００４７】カラー表示画面のばあい、振動の振幅を１
画素の（３ｍ＋１）倍（ｍは０または正の整数）として
１往復の振動による画素の輝度和を求め、隣接する輝度
和の差を求めることにより、同じ色の隣りあう画素の輝
度を相互に比較することができ、カラーの表示画面でも
簡単に検査することができる。

【００４８】さらに、カラーの表示装置の各画素の輝度
を検査するばあい、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の画素を合わせて
白色表示として検査することにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色
による輝度の差を考慮する必要がなく、より簡易に検査
を行うことができる。

【００４９】さらに、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３画素を１単位とし
て検査をすることができるため、センサの移動も３画素
分づつ移動させることにより検査時間も短縮することが
でき、モノクロ表示画面と同じ時間で検査をすることが
できる。

【００５０】また、センサの各検知素子のサイズを表示
画面の各画素のサイズの１／ｎにして１画素当りｎ個の
検知素子により検出することにより、一層輝度検出精度
を向上することができ、検査の信頼性が上がる。

【００５１】本発明の検査装置によれば、センサを振動
させる振動手段が設けられているため、一度の検査工程
で複数個の画素を検査することができ、検査精度を向上
させることができる。センサの検知素子が１個の画素当
り複数個にすることにより一層向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例の概念図であ
る。

【図２】本発明の検査方法の一実施例を説明する検知
素子と表示装置の画素との位置関係を説明する図であ
る。

【図３】従来の検査方法の図２と同様の位置関係を説
明する図である。

【符号の説明】

１ステージ、３ＬＣＤ、４センサカメラ、５モ
ータ、６コンピュータ、１０検知素子、１１Ｒ画
素、１２Ｇ画素、１３Ｂ画素。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者横溝政幸熊本県菊池郡西合志町御代志997番地株式会社アドバンスト・ディスプレイ内 (72)発明者井上一樹熊本県菊池郡西合志町御代志997番地株式会社アドバンスト・ディスプレイ内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マトリクス状に画素を有する平面型表示
装置の表示画面の各画素の表示特性の良否を判定する検
査方法であって、前記表示画面の一部の領域の輝度を検
出するセンサにより該一部の領域の各画素の輝度を検出
するとともに、該センサを前記マトリクス状の画素の行
方向または列方向に振動させ、前記一部の領域の画素と
隣接する部分の画素の輝度も検出し、ついで前記一部の
領域に隣接する領域を順次走査しながら前記表示画面の
画素の輝度検出を同様に繰り返す平面型表示装置の検査
方法。
【請求項２】前記センサの振動の振幅が前記表示画面
の画素ピッチの整数倍である請求項１記載の検査方法。
【請求項３】前記表示画面が赤、緑、青のカラーフィ
ルタが各画素に規則的に設けられた表示画面であり、前
記振動の振幅を１画素のサイズの（３ｍ＋１）倍（ｍは
０または正の整数）とし、該振動の１往復により検出し
た画素の輝度和Ｓ₁を求め、ついで１画素分移動して同
様に検出した画素の輝度和Ｓ₂を求め、Ｓ₁−Ｓ₂の大き
さにより同じ色の画素の輝度を相対比較する請求項２記
載の検査方法。
【請求項４】赤、緑、青のカラーフィルタが各画素に
規則的に設けられた表示画面の赤、緑、青の３画素を前
記センサの振動により１単位として検出し、該３画素を
合わせた白色表示の輝度として検査する請求項１記載の
検査方法。
【請求項５】前記センサを振動させて輝度を検出した
のち、つぎの行または列の検出をするとき３画素分づつ
センサを移動させながら輝度検出を繰り返す請求項４記
載の検査方法。
【請求項６】前記センサの各画素の輝度を検出する検
知素子のサイズが前記各画素のサイズの１／ｎ（ｎは２
以上の整数）の大きさのセンサを用い、１個の画素の輝
度をｎ個の検知素子で検出する請求項１、２、３、４ま
たは５記載の検査方法。
【請求項７】マトリクス状に画素を有する平面型表示
装置の表示画面を点灯させ、該表示画面の各画素の表示
特性の良否を判定する検査装置であって、前記表示画面
を載置し、かつ、少なくとも平面内で移動可能なステー
ジと、該ステージの上方に設けられ前記表示画面の一部
領域の輝度を検出するセンサと、該センサを前記マトリ
クス状の画素の行方向または列方向に振動させる振動手
段と、前記センサを前記画素の行方向および／または列
方向に走査する走査手段とを有する平面型表示装置の検
査装置。
【請求項８】前記センサは光を検出する検知素子の配
列からなり、前記画素の１つを検出する検知素子が複数
個である請求項７記載の検査装置。