JPH08220014A - Lcdパネル検査装置及びこの装置を用いたlcdパネル検査方法 - Google Patents

Lcdパネル検査装置及びこの装置を用いたlcdパネル検査方法

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JPH08220014A
JPH08220014A JP4904795A JP4904795A JPH08220014A JP H08220014 A JPH08220014 A JP H08220014A JP 4904795 A JP4904795 A JP 4904795A JP 4904795 A JP4904795 A JP 4904795A JP H08220014 A JPH08220014 A JP H08220014A
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JP
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lcd
line
lcd panel
inspection
panel
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JP4904795A
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Inventor
Haruo Kato
晴夫 加藤
Original Assignee
Advantest Corp
株式会社アドバンテスト
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度・高分解能のLCDパネル検査装置と
この装置を用いた検査方法を提供する。 【構成】 1対の高感度ラインセンサ25と高輝度ライ
ン光源26を用いて被測定LCDパネルを挟み込み、X
方向又はY方向の正確な位置をデジタルスケールで確認
し位置決め手段31で位置決めしながらスキャナ制御部
22からの移動手段制御信号41でスキャンし、被測定
LCD素子ラインの検査データ信号43をデータ処理部
23が受信してデータ処理し、モニタ24に表示する構
成とし、検査を行う前に1度全範囲をスキャンしてLC
D素子ラインの各ラインのアドレスを設定してから検査
を行う検査方法である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、LCD(Liquid Cry
stal Display)パネル上の画像を取り込み、LCDパネ
ル上の点欠陥や線欠陥等のLCD素子の欠陥を検出する
LCDパネル検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】LCD検査装置に関しては従来からいく
つかの提案がなされている。図2にその1例を示す。図
2は、エリアセンサ15を用いたLCDパネル10検査
装置の説明図である。LCDパネル10を測定台11に
載置し、後方のバックライト16から光を照らし、LC
Dパネル10に制御部12からドライブ信号19を印加
し、LCD素子を駆動して画像表示させる。LCDパネ
ル10は白黒パネルでもカラーパネルでも検査できる。
白黒パネルの場合とカラーパネルの場合とはドライブ信
号19の複雑さが異なるのみで、原理的には表示駆動さ
せるLCD素子に駆動信号を印加するものである。
【0003】LCDパネル10からの画像は、光学系レ
ンズ17でエリアセンサ15に集光させる。エリアセン
サ15には通常CCD(Charge Coupled Device )カメ
ラが用いられる。このCCDカメラのセンサであるCC
D素子は、精度を向上させるため、LED素子の数倍か
ら数10倍のCCD素子を用いている。
【0004】CCDカメラでは、CCD素子で受光した
LCDパネル10からの光のアナログ量をA/D変換器
でデジタル値に変換してデータ処理部13に転送し、デ
ータ処理部13ではLCDパネル10の画面を再現して
モニタ14に表示する。このようにしてLCDパネル1
0を検査していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この従来のエリアセン
サを用いたLCDパネル検査装置では、バックライト1
6の明るさが不均一であるため、LCDパネル10の欠
陥がバックライト16の不均一さ以下のときには欠陥検
出ができない。またエリアセンサ15の位置が固定であ
るので、その視野角によりLCD素子を撮影する角度が
LCD素子の位置によって異なる。つまりこの方式で
は、LCDパネル10のLCD素子に対して一定角度で
の画像しか受光できず、画面周辺では必ず90゜以下の
角度でLCD素子を見ることになってしまう。よって精
度がとれず、解像度が充分にとれない。
【0006】しかしながら検査速度が比較的速く、価格
も比較的安価のため、製造ラインでの検査に用いられて
いる。一方、開発や試作での試験では前述のように充分
な解像度が得られないので、厳密な検査を要する部署で
は、ラインセンサを用いたLCDパネル検査装置が使用
される。この発明は、ラインセンサを用いた高確度、高
解像度を有するLCDパネル検査装置を提供するもので
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は高感度ラインセンサと高輝度ライン光源を
用いてLCDパネルを挟み込み、X方向又はY方向の正
確な位置を確認しながら走査して、LCDパネルの画像
をラインセンサで受光し、ラインセンサのCCD素子の
アナログ情報をデジタル化し、データ処理部でLCDパ
ネルの欠陥画素をその大きさ、種類等で取得し、X、Y
アドレス情報で高精度、高分解能で処理するものであ
る。以下詳細に説明する。
【0008】測定台に被測定対象物のLCDパネルを載
置する。測定台にはLCDパネルの一方に高感度のライ
ンセンサを、他方には高輝度のライン光源を1対とし
て、X方向あるいはY方向にモータ駆動で移動できるよ
うに設置している。この移動手段には、例えばマグネス
ケールやポテンショメータ等により高精度、高分解能で
位置を測るデジタルスケールを備えている。ライン光源
とLCDパネルとの間にコリメータを置いてもよい。そ
してスキャナ制御部と連動して、高精度で高分解能の位
置決め手段を設けている。ラインセンサは白黒の物で良
い。ラインセンサは、例えば多数のCCD素子とA/D
変換器で構成され、解像度が高く、LCD素子を個々に
区別できるからである。ラインセンサからは各CCD素
子の受光量のデジタル情報が送出される。
【0009】上記の主な構成で、初めにLCDパネルを
全白にしておき、1対のラインセンサとライン光源を、
ライン光源を点灯させながら同時に例えばX方向にスキ
ャン(走査)する。そしてLCDパネルのLCD素子の
ライン(列)の範囲をデジタルケールで測る。よってL
CDパネル上のLCD素子の画面範囲が分かる。このL
CD素子の画面範囲をX方向の既知の画素数、例えば4
80で割ると、デジタルスケール上でどの位置にどのX
座標のLCD素子ラインがあるかが分かる。この位置決
めのためにデジタルスケールの値をX座標に変換するア
ドレス計算回路をスキャナ制御部に設けて計算を行い、
そのアドレス値をアドレス記憶器に記憶しておく。この
ようにすることによりデジタススケールの値を読むこと
により、LCDパネル上のX方向の特定座標のLCD素
子ラインの真上にラインセンサを持ってくることができ
るようなる。
【0010】上記の準備段階を経て、LCDパネルの検
査段階に入る。先ず、LCDパネルを全黒にしておき、
ライン光源を点灯させ、デジタルスケールを読みながら
LCD素子X座標のライン毎にラインセンサで画像入力
を行う。1対のラインセンサとライン光源が同じ速度で
LCDパネルをX方向にスキャンするので、入力された
ラインデータを見ることにより、LCDパネルの白欠陥
を検出することができる。この白欠陥とは黒に表示した
のに白がでる欠陥をいう。このときのスキャン方向を+
Xの方向とする。
【0011】次に−X方向に1対のラインセンサとライ
ン光源をデジタルスケールを読みながらスキャンする。
そのスキャンに合わせてLCDパネルの対応するLCD
素子X座標の赤画素のみを一列点灯させ、ラインセンサ
で検査データを読み込み、赤画素の黒欠陥検出を行う。
赤画素の黒欠陥とは赤画素を駆動しているのに駆動せず
に黒表示されることをいう。
【0012】以下同様にして、1対のラインセンサとラ
イン光源をプラス方向及びマイナス方向にスキャンさせ
ながら、緑画素、青画素の欠陥検出を行う。このときY
方向に走る線欠陥はX方向のスキャンにより検出でき
る。
【0013】Y方向に対する欠陥検出も、X方向に対す
る欠陥検出と同様な方法で行う。このX方向とY方向の
欠陥検出装置は別々に設けてもよいし、あるいは同一装
置でX方向が終了すると自動的あるいは手動によってL
CDパネルを90゜方向を変換してY方向の検査を行っ
てもよい。また、X方向あるいはY方向の一方向のみの
検査でもって、CCD素子の検査データを詳細に処理し
て全ての画面の検査を行ってもよい。
【0014】今までの説明では、X方向を検査して次に
Y方向の検査をすると、また色検査は黒、赤、緑、を検
査して青を検査すると述べてきたが、これは一例であっ
て、この検査の順番はこれに限るものでは無い。任意の
順にX方向とY方向との検査を、そして任意の順に4種
の色検査を行えば良い。また特定アドレス時にLCD素
子の画像駆動を4種の色に変更して1スキャンで測定を
済ましてもよい。
【0015】また、今まで1対のラインセンサとライン
光源とを移動手段でX方向あるいはY方向に移動するよ
うに説明してきたが、逆に1対のラインセンサとライン
光源を固定し、被測定LCDパネルと測定台を移動させ
る移動手段でもよい。要はデジタルスケールでもって、
LCD素子のX座標ラインあるいはY座標ラインが高精
度高分解能で位置決めができるようにして移動させれば
よい。以下、実施例について説明する。
【0016】
【実施例】図1に本発明の一実施例の構成図を示す。図
2と対応する部分には同一符号を付す。測定台11上に
被測定対象物のLCDパネル10が載置される。この測
定台11には、デジタルスケールにより高精度高分解能
で位置決めできる位置決め手段31を有する1対の移動
手段3011、3012が構成されており、この1対の移動
手段3011、3012、(以下総称して「移動手段3
1 」という)間には1対の高感度ラインセンサ251
と高輝度ライン光源261 がLCDパネル10を挟むよ
うに取り付けられている。ここで、移動手段301 やラ
インセンサ251は例えばX座標の検査手段を、移動手
段302 やラインセンサ252 はY座標の検査手段をこ
こではいうが、特に区別する必要が無いときには移動手
段30、ラインセンサ25ということにする。
【0017】この移動手段30は、ラインセンサ25と
ライン光源26と共にLCDパネル10の一定方向に移
動自在で、かつ高精度高分解能で位置決めし停止でき
る。そしてスキャナ制御部22からの制御信号40によ
りモータ駆動で移動する。高精度で高分解能の位置決め
の手段31には、マグネスケールを用いてもよく、ポテ
ンショメータとA/D変換器で構成してもよく、またコ
リメータによる方法やメカ的に構成する方法もあるが、
この位置データをデジタルスケールで読み取る。このデ
ジタルスケールの値をスキャナ制御部22に転送し、キ
ャリブレータ34で補正し、移動手段30を制御して位
置決めする。
【0018】ラインセンサ25は多数のCCD素子とA
/D変換器で構成されている。CCDの素子数は、被測
定対象のLCD素子の数倍から数10倍の数であり、そ
の数により分解能が決まるので、多い方が良い。このC
CD素子で被測定LCD素子の画像を受光し、その輝度
に応じたアナログ濃度をA/D変換器でデジタル信号に
変換してデータ処理部23に転送する。
【0019】ライン光源26はラインセンサ25と1対
となって、LCDパネル10の反対側に設けられる。ラ
イン光源は蛍光灯でもよく、多数のLED(Light Emit
tingDiode)素子を緻密に配列したものでも良い。要は
高輝度でムラの無い光源を必要とする。ライン光源26
の点灯・消灯制御は制御信号40で行う。
【0020】スキャナ制御部22はデータ処理部23や
移動手段30や位置決め手段31とデータの授受を行い
つつ、移動手段30の移動を制御し、また移動手段30
を通じてライン光源26の点灯・消灯を制御する。その
ためにアドレス計算回路32、アドレス記憶器33、キ
ャリブレータ34や従来の制御器等を有している。つま
り、データ処理部23とデータの授受を行いつつ、移動
手段30に制御信号40を伝送し、逆に位置決め手段3
1からのデジタルスケール信号を受信する。
【0021】データ処理部23はスキャナ制御部22や
被測定LCDパネル10やラインセンサ25とデータの
授受を行い、LCDパネル10の検査データを処理し、
処理した画像データをモニタ24に伝送してLCDパネ
ル10の欠陥等の画像状況を表示させる。そのために、
LCDパネル駆動のドライバ回路35や検査データ入力
回路36や従来のデータ処理器や記憶器等を有してい
る。つまりスキャナ制御部22からの制御でラインセン
サ25の位置決めが定まると、ドライバ回路35からの
LCD素子駆動信号42をLCDパネル10に供給して
画像を作り、ラインセンサ25で受光しデジタル化した
検査データ信号43を検査データ入力回路36で受信
し、データ処理してモニタ24で表示するものである。
【0022】次に、これを用いた検査方法について説明
する。被測定LCDパネル10を測定台11に載置す
る。準備ができると、初めにLCDパネル10の検査範
囲及びアドレスの設定を行うために、1度全範囲をスキ
ャン(走査)する。このとき、LCDパネル10はLC
D駆動信号42で全て白にし、ライン光源26を点灯し
てスキャンし、データ処理部23で検査データ信号43
をチェックすることにより、LCDパネル10の最初の
LCD素子ラインと最後のLCD素子ラインをキャッチ
する。このときのデジタルスケール信号41でデジタル
スケールの値をスキャナ制御部22で読み取る。
【0023】アドレス計算回路32ではこの最初と最後
のデジタルスケールの値の差を既知のLCD素子数、例
えば480ラインで割り、各ラインのアドレスをデジタ
ルスケールの値で求める。このアドレス値をアドレス記
憶器33に記憶させる。LCD素子ラインの画面範囲と
アドレスが設定されると、このアドレス値を基準として
測定が開始される。
【0024】LCDパネル10をLCD素子駆動信号4
2で黒に駆動し、移動手段30をプラス方向に、ライン
センサ25をLCD素子ラインの真上にステップ状で移
動させる。このとき設定アドレスの制御値とデジタルス
ケール値が異なるときは、キャリブレータ34がキャリ
ブレーションし、設定アドレスを校正する。ラインセン
サ25はLCD素子ラインの真上に來る度に検査データ
を取得し、検査データ信号43をデータ処理部23に伝
送する。データ処理部23ではこの検査データを処理し
て真の画像データ値やあるいは許容データと異常データ
とに区分けしたりして、モニタ24に表示する。
【0025】このようにして、X方向、Y方向、黒色、
赤色、緑色、青色等の検査を行う。また、移動手段30
により移動するのは、上述のように1対のラインセンサ
25とライン光源26でもよいが、逆にラインセンサ2
5とライン光源26を固定して被測定LCDパネル10
を移動させてもよい。なお、図1ではX方向の測定手段
251 等とY方向の測定手段252 等との2測定手段を
示したが、前述したように、1つの測定手段で併用して
もよく、また一方向の測定のみで全画面を処理してもよ
い。
【0026】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明
は、被測定LCDパネル10をXYのアドレス単位でも
って、高精度・高分解能で全ての欠陥を発見できるの
で、開発時や試作時に必要な検査装置であり、その効果
は大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成図である。
【図2】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
10 LCDパネル 11 測定台 12 制御部 13 データ処理部 14 モニタ 15 エリアセンサ 16 バックライト 17 光学系レンズ 22 スキャナ制御部 23 データ処理部 24 モニタ 25、251 、252 ラインセンサ 26、261 、262 ライン光源 30、301 、3011、3012、3021、3022
動手段 31、311 、312 位置決め手段 32、321 、322 アドレス計算回路 33、331 、332 アドレス記憶器 34、341 、342 キャリブレータ 35、351 、352 ドライバ回路 36、361 、362 検査データ入力回路 40、401 、402 移動手段制御信号 41、411 、412 デジタルスケール信号 42、421 、422 LCD素子駆動信号 43、431 、432 検査データ信号

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定LCDパネル(10)を載置する
    測定台(11)と、 デジタルスケールにより位置決めする位置決め手段(3
    1)を有する移動手段(30)と、 上記被測定LCDパネル(10)を挟む構造で設置され
    た1対のラインセンサ(25)及びライン光源(26)
    と、 アドレス計算回路(32)とアドレス記憶器(33)と
    キャリブレータ(34)を有し、上記移動手段(30)
    の移動を移動手段制御信号(40)で制御するスキャナ
    制御部(22)と、 ドライバ回路(35)と検査データ入力回路(36)を
    有し、上記被測定LCDパネル(10)をLCD素子駆
    動信号(42)で駆動して特定画像を表示させ、上記ラ
    インセンサ(25)から検査データ信号(43)を得て
    データ処理するデータ処理部(23)と、 上記データ処理部(23)で処理された画像データを受
    けて表示するモニタ(14)と、 を具備することを特徴とするLCDパネル検査装置。
  2. 【請求項2】 上記移動手段(30)は1対のラインセ
    ンサ(25)及びライン光源(26)が被測定LCDパ
    ネル(10)を挟む構造で1対の移動手段(3011、3
    12)に取り付けられ、上記ラインセンサ(25)が上
    記1対の移動手段(3011、3012)と共に移動する移
    動手段(30)であることを特徴とする請求項1記載の
    LCDパネル検査装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の構成から成るLC
    Dパネル検査装置において、 被測定LCDパネル(10)を測定台(11)に載置
    し、 ライン光源(26)を点灯し、全範囲をスキャンして、
    スキャナ制御部(22)において上記LCDパネル(1
    0)の最初と最後のLCD素子ラインのデジタルスケー
    ル値をデジタルスケール信号(41)から読み取り、上
    記デジタルスケール値よりアドレス計算回路(32)で
    上記LCD素子ラインの各ラインのアドレス値を求めて
    アドレス記憶器(33)に記憶し、 上記LCD素子ラインのアドレス値に基づいて、上記L
    CDパネル(10)の検査を行うことを特徴とするLC
    Dパネル検査方法。
JP4904795A 1995-02-14 1995-02-14 Lcdパネル検査装置及びこの装置を用いたlcdパネル検査方法 Withdrawn JPH08220014A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6590643B2 (en) 2000-03-28 2003-07-08 Japan Science And Technology Corporation Method and apparatus for measuring viewing angle characteristic and positional characteristic of luminance
US6987571B2 (en) 2000-03-28 2006-01-17 Japan Science And Technology Corporation Sensor head, luminance distribution measurement apparatus having the sensor head, and unevenness inspection/evaluation apparatus
JP2010266284A (ja) * 2009-05-13 2010-11-25 Micronics Japan Co Ltd 非点灯検査装置
JP2012037503A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Lg Display Co Ltd 表示装置の検査装置及び検査方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6590643B2 (en) 2000-03-28 2003-07-08 Japan Science And Technology Corporation Method and apparatus for measuring viewing angle characteristic and positional characteristic of luminance
US6987571B2 (en) 2000-03-28 2006-01-17 Japan Science And Technology Corporation Sensor head, luminance distribution measurement apparatus having the sensor head, and unevenness inspection/evaluation apparatus
JP2010266284A (ja) * 2009-05-13 2010-11-25 Micronics Japan Co Ltd 非点灯検査装置
JP2012037503A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Lg Display Co Ltd 表示装置の検査装置及び検査方法
CN102374995A (zh) * 2010-08-11 2012-03-14 乐金显示有限公司 用于检查显示设备的装置和方法
TWI459073B (zh) * 2010-08-11 2014-11-01 Lg Display Co Ltd 檢測顯示裝置之設備及其方法

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