KR0150689B1 - 평면형 표시패널 검사장치 - Google Patents

평면형 표시패널 검사장치

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KR0150689B1
KR0150689B1 KR1019940016933A KR19940016933A KR0150689B1 KR 0150689 B1 KR0150689 B1 KR 0150689B1 KR 1019940016933 A KR1019940016933 A KR 1019940016933A KR 19940016933 A KR19940016933 A KR 19940016933A KR 0150689 B1 KR0150689 B1 KR 0150689B1
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도시후미 미쯔무네
겐고 다나까
도시아끼 다나까
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쯔지 하루오
샤프 가부시끼가이샤
이누이 가즈오
가부시끼가이샤 에이.디.에스
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Abstract

본 발명의 평면형 표시 패널 검사 장치는 검사 항목에 따라 검사 패턴 발생기에 의해 발생되고 액정 패널에 표시되는 검사 패턴을 촬상하기 위해 사용되는 복수의 카메라 및 검사 항목에 따라 결함을 검출하기 위해 상기 촬상된 화상으로부터 얻어진 화상 신호를 처리하기 위한 고속 화상 처리기를 포함한다. 또한, 본 발명은 검사 항목에 따라서는 표시 패널의 영역을 복수의 영역으로 분할하고 복수의 검사 패턴을 각 영역에 동시에 표시하여 복수의 검사 항목을 동시에 검사하도록 구성되며, 어떤 검사 항목에 대한 검사에 대해서는 액정 패널의 소정 영역의 화상 신호만 처리하여 검사를 행하도록 구성된다.

Description

평면형 표시 패널 검사 장치
제1도는 본 발명의 표시 패널 검사 장치의 한 실시예의 개략도.
제2도는 본 발명의 한 실시예에 있어서 각 카메라의 촬상 영역을 도시한 도면.
제3도는 본 발명의 한 실시예에 있어어 각 카메라의 촬상 영역간의 중첩을 도시한 도면.
제4도는 본 발명의 한 실시예에 있어서 검사 조건을 균일화하기 위한 윈도우 영역을 나타낸 도면.
제5도는 본 발명의 한 실시예에 있어서 기준 위치(reference position)를 검사하기 위한 표시 패턴을 도시한 도면.
제6도는 본 발명의 한 실시예의 비교예로서의 계조(gradation)를 검사하기 위한 통상적 패턴을 도시한 도면.
제7도는 본 발명의 한 실시예의 계조를 검사하기 위한 패턴을 도시한 도면.
제8도는 본 발명의 한 실시예에 있어서 표시 화면의 결함의 예들을 도시한 도면.
제9도는 본 발명의 한 실시예에 있어서 선 결함의 검사 영역을 도시한 도면.
제10도는 본 발명의 한 실시예에 있어서 액정 모듈의 블럭도.
제11도는 본 발명의 한 실시예에 있어서의 동작을 설명하기 위한 플로우차트.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 촬상부 20 : 카메라
30 : 모니터 40 : 드라이버 IC
50 : 액정 패널 60 : 조작 스위치
70 : 검사 패턴 발생 장치 80 : 고속 화상 처리 장치
90 : 자동 조정 기구 100 : 화상 처리부
110 : 데이타 처리부 120 : 모니터
130 : 프린터 140 : 컴퓨터
본 발명은 플라즈마 표시, EL 표시, 액정 표시 등의 평면형 표시 패널의 흑점, 휘점, 선결함, 표시 얼룩, 콘트라스트차 등의 결함을 검출하기 위한 검사 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 결함이 존재하고 있는 위치 및 이와 같은 결함들의 크기, 개수, 색 등을 측정하기 위한 검사 장치에 관한 것이다.
종래, 이와 같은 종류의 평면형 표시 패널, 예컨대 액정 패널의 검사에서는 이 액정 패널을 점등시키고 그 표시면을 작업자가 육안에 의해 결함을 검출하는 방법이 행해지고 있었다. 이와 같은 육안에 의한 검사는 작업자의 능력이나 육체적 상태의 의해 검사 정도가 불균일하게 될 수 있고 결함을 간과할 가능성을 완전히 배제할 수 없다. 또한, 단순한 육안 검사에 의해서는 액정 패널상의 결함 위치의 확인이 불가능하다. 따라서, 결함 위치를 측정하기 위해 현미경 등의 광학 기기를 사용할 필요가 있으며, 이와 같은 방법에서는 검사에 시간이 오래 걸리는 문제가 있다.
이 때문에, 최근에는 점등시킨 액정 패널의 표시면을 CCD 카메라나 이미지 스캐너 등의 촬상 장치(image-pickup device)로 판독하여 화상 처리 기술에 의해 액정 패널면에 있는 각종 결함을 자동적으도 검출하는 방법이 개발되고 있다.
이러한 기술중 하나가 일본국 특허 출원 공개 평 제4-44493호로, 컬러 액정 패널의 결함 검사 장치를 개시하고 있다. 이러한 장치는, 컬러 액정 패널을 조명하기 위한 조명부; 결함이 검사될 화소 세트와 동일 패턴으로 배열되는 무결함 화소를 갖는 기준 화소 세트에 대한 데이타가 미리 저장되는 메모리부; 검사될 화소 세트에 포함된 화소들과 상기 기준 화소 세트의 대응 화소들간의 휘도레벨차를 계산하고 그 휘도 레벨차의 절대치를 메모리부에 기입하기 위한 연산부, 및 결함들을 갖는 화소들만 표시하기 위한 모니터부를 포함한다. 상기 검사 동작에 있어서는 우선, 메모리부에 기입된 제1화소 세트의 데이타와 기준 화소 세트의 데이타 간의 휘도 레벨차에 대한 연산이 연산부에서 행해진다. 두 번째로, 상기 차의 절대치가 메모리부에 기입되며, 이때 오직 결함이 있는 화소 세트들만 모니터부에 표시된다. 이 방법에 있어서, 제1화소 세트에 대한 데이타가 메모리부에 기입된 다음, 동일한 방식으로 설정된 제2화소 세트에 대해 데이타 재기입이 행해진다. 따라서, 모든 화소 세트들에 대한 검사가 완료될 경우, 이는 컬러 액정 표시 패널의 전체 표시면의 검사를 끝내는 것을 의미하며, 이에 따라 다음 컬러 액정 패널의 다른 검사 동작으로 진행한다.
한편, 현재 시판중인 액정 패널 제품들은 크기(대각선 치수)가 예컨대 0.7-15인치로 폭넓게 존재하며, 장차 보다 큰 크기의 제품들이 개발되어 시장에 출하될 것이다. 이와 같은 각종 크기의 액정 패널을 1대의 촬상 카메라 및 화상 처리기를 포함하는 장치로 검사하고 화상 처리를 행하여 액정 패널상의 결함을 검출하는 경우에는, 장치는 간단하게 되나 액정 패널이 커짐에 따라 해상도가 저하된다. 어떠한 경우에 있어서도, 액정 패널상에 발생된 문자, 패턴, 그림 등의 흠이나 농도, 표시 얼룩 등을 검출하는 데는 별다른 문제가 없다. 그러나, 작은 흑점 및 휘점 또는 이들이 연결된 선 결함을 검출하고자 하는 경우에는, 어떤 크기 이상의 액정 패널에서는 그 결함 검출의 목적을 달성할 수 없게 된다.
또한, 액정 패널의 검사 항목은 흑점(백 표시 상때에서는 광을 투과시키지 않는 흑결함), 휘점(흑 표시 상태에서는 광을 투과시키는 백결함), 선 형태로 흑점이나 휘점이 생기는 선 결함, 화상의 일부가 콘트라스트나 색도가 다르게 되는 표시 얼룩 등과 같은 여러 항목이 있다.
본 발명은 상기 관점에 비추어 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 검사될 표시 패널의 크기에 관계없이 결함을 확실하게 검출함과 동시에, 검사에 요하는 시간을 단축하여 표시 패널의 생산 라인에서의 효율적인 검사를 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제 1 태양에 의하면, 복수의 화소를 평면상에 배치하고, 상기 화소를 선택적으로 구동함으로써 화상 표시를 행하는 평면형 표시 패널의 표시 결함을 잠사하는 평면형 표시 패널 검사 장치는, 검사 항목에 따라 상기 평면형 표시 패널상의 검사 패턴을 표시하기 위한 표시 제어 수단; 상기 평면형 표시 패널상에 표시된 검사 패턴의 화상을 독취하기 위한 복수의 독취 수단; 상기 검사 항목에 따라 상기 독취 수단으로부터 얻어진 화상 신호를 처리함으로써 상기 표시 패널상에 표시 결함의 위치를 측정하기 위한(locate) 검사 수단을 포함하며, 상기 표시 제어 수단은 소정의 복수의 검사 항목에 대해, 상기 평면형 표시 패널의 영역을 분할한 각 부분에 복수의 검사 패턴을 동시에 표시하도록 구성된다.
본 발명의 제 2 태양에 있어서, 복수의 화소를 평면상에 배치하고, 상기 화소를 선택적으로 구동함으로써 화상 표시를 행하는 평면형 표시 패널의 표시 결함을 검사하는 평면형 표시 패널 검사 장치는, 검사 항목에 따라 상기 평면형 표시 패널상의 검사 패턴을 표시하기 위한 표시 제어 수단; 상기 평면형 표시 패널 상에 표시된 검사 패턴의 화상을 독취하기 위한 복수의 독취 수단; 상기 검사 항목에 따라 상기 독취 수단으로부터 얻어진 화상 신호를 처리함으로써 상기 표시 패널상에 표시 결함의 위치를 측정하기 위한 검사 수단을 포함하며, 상기 검사 수단은 소정의 복수의 검사 항목에 대해, 표시 패널의 임의의 소정 영역에 속하는 화상 신호를 처리함으로써 표시 패널상의 표시 결함들의 위치를 측정하도록 구성 된다.
상기 구성에 따르면, 복수의 독취 수단이 결함들을 검출하기 위해 표시 패널상에 화상을 독취하기 때문에, 표시 패널이 큰 경우, 표시 패널의 영역이 분할된 복수의 부분이 각 독취 수단에 의해 부분적으로 독취된다. 따라서, 해상도가 향상되어 표시 패널이 크더라도 표시 결함을 확실히 검출할 수 있게 된다.
또한, 어떤 검사 항목에 대해, 표시 패널의 영역을 복수개의 섹션으로 분할하여 복수의 검사 패턴을 각 섹션에 동시에 표시함으로써, 복수의 검사 항목을 동시에 검사할 수 있도록 하기 때문에, 검사에 필요한 시간을 절감할 수 있다. 또한, 어떤 검사 항목에 대한 결함의 검사는 표시 패널의 미리 지정된 영역, 즉 표시 영역의 일부에서 얻어진 화상 신호를 처리하여 검사를 행하므로 검사에 요하는 시간이 단축된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 따라 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명에 따른 액정 패널 검사 장치의 한 실시예를 도시한 개략도이다.
촬상부(10)는 촬상 위치에 세트된 검사 대상의 TFT 액정 패널(50)의 표시 패턴을 촬상하여, 화상 처리부(100)에 화상 데이타를 제공한다. 이 촬상부(10)는 액정 패널(50)을 촬상하는 독취 수단으로 4대의 모노크롬 카메라(20)와, 암실(150) 외부의 화상 모니터(30)와, 검사 개시나 긴급 정지용 조작 스위치(60)를 구비한다.
화상 처리부(100)는, 고속 화상 처리 장치(80)와 검사 패턴 발생 장치(70)를 갖는다. 표시 제어 수단으로 기능하는 검사 패턴 발생 장치(70)는 검사 항목, 예컨대 흑점, 휘점, 선 결함 또는 계조 불량 등에 따른 검사 패턴을 발생시켜, 드라이버 IC(40)를 통해 액정 패널(50) 상에 표시한다. 검사 수단으로 기능하는 고속 화상 처리 장치(80)는 촬상부(10)의 각 카메라(20)로부터의 화상 신호에 따라 규정 위치에 화상이 표시되어 있는지의 여부 및 흑점,휘점, 선 결함, 표시 얼룩, 계조 불량 등의 결함이 없는지 여부를 후술하는 바와 같이 검출한다. 즉, 고속 화상 처리 장치(80)는 TFT 액정 패널(50)의 품질을 판정하는 검사 수단으로서의 기능을 갖는다.
데이타 처리부(110)는 화상 처리부(100)의 고속 화상 처리 장치(80)에서 검출된 검사 정보와 합격(acceptance)/불합격(rejection)판정 정보를 컴퓨터(140)내에 일체로 수집하고, 모니터(120)와 프린터(130)로 출력한다. 본 검사 장치의 동작은 상기 데이타 처리부(110)와 조작 스위치(60)에 의해 수행된다.
카메라 위치 자동 조정 기구(90)는 검사될 액정 패널(50)의 크기에 따라 각 카메라(20)를 미리 정한 대응하는 위치로 자동적으로 이동시키기 위한 것이다. 특히, 이 기구는 수평으로 놓인 액정 패널(50)에 대해 각 카메라(50)를 수평 방향(즉, X 및 Y 방향) 및 수직 방향(Z 방향)으로 이동시킨다.
본 실시예에서는, 액정 패널(50)의 크기가 크더라도 확실히 결함을 검출할 수 있도록, 촬상부(10)의 4대의 카메라(20)에 의해 검사 대상인 액정 패널(50)의 화상(200)을 제2도에 도시한 바와 같이 4개의 영역 (1)∼(4)로 분할하여 촬상한다. 또한, 제3도와 같이 4 대의 독취 카메라(20)의 시야(a X b)의 일부를 서로 중첩(중첩 위치는 폭 c, d로 표시)시켜 촬상한다. 액정 패널(50)은 그 크기와 무관하게 그 패널 중심이 4대의 모든 카메라(20)의 시야가 오버랩 되는 부분의 중심 A에 위치하도록 설정된다.
카메라의 초점, 조리개 및 위치를 조정하기 위한 자동 조정 기구(90)는 화상의 독취 조건이 동일하게 되도록 4대의 카메라(20)렌즈의 초점과 조리개를 조정한다. 즉, 각 카메라(20)의 촬상 화면이 동일하게 되는 소정의 화면을 액정 패널(50)에 표시하고, 그 때 각 카메라(20)로부터의 화상 신호의 레벨이 동일하게 되도록 카메라(20)의 초점 및 조리개가 조정된다.
한편, 화상 처리부(100)에 있어서의 카메라(20)의 독취 시야가 중첩되는 부분을 처리하는 데에서,그 중에 결함이 있는 경우 관련된 카메라(20)에 의해 결함의 존재를 확인하여 상기 관련 카메라(20) 중 1대의 소정 카메라(20)에 의한 독취 시야를 통해 얻어진 화상을 처리하도록 하고 있다.
또한, 4대의 카메라(20)에 의해 촬상되는 액정 패널(50)의 표시면은 주위의 암실(15)에서의 광누출이나 백라이트 시스템의 조도의 불규칙한 분포로 인해 위치에 따라 또는 중앙부에서 주변부까지 휘도가 다르게 된다. 따라서,이 실시예에서는 제4도에 도시된 바와 같이 액정 패널(50)의 표시면에 복수의 윈도우(W1-Wl54)를 설치하고, 각 윈도우(W1-Wl54) 마다 결함 검출을 위한 개별적인 임계치를 미리 설정하여, 이에 따라 검사 조건이 균일하도록 한다. 또한, 본 발명의 다른 실시예로서 화소 20 × 20도트로 영역 단위로 분할할 수 있다.
검사 패턴 발생 장치(70)는 액정 패널상에 표시될 수개의 패턴을 발생시킨다. 각 패턴은 각 카메라(20)의 초점 및 조리개를 상술한 바와 같이 조정하기 위한 표시 패턴이나 제5도에 도시된 바와 같은 위치를 검사하기 위한 기준 패턴, 및 검사 항목에 따른 검사 패턴을 후술하는 바와 같이 포함한다. 이러한 검사 패턴은 예컨대, 흑점을 검사하기 위한 R, G, B의 각 화면을 순차 표시할 수 있다.
이 실시예의 검사 패턴 발생 장치(70)는 검사 시간을 단축하기 위해, 계조 검사용의 복수의 검사 패턴을 액정 패널(50)의 영역을 분할하여 동시에 표시한다. 즉, 일반적으로, R, G, B 각각에 대한 8 계조를 갖는 수평 화면을 검사하는 경우, 제6도에 도시된 바와 같이 R, G, B의 각각에 대해 8 계조의 검사 패턴을 순차 표시한다. 그러나, 이 실시예는 모든 컬러 R, G, B에 대해 계조 검사를 위한 하나의 패턴만을 채용한다. 특히, 이 실시예에서는 제7도에 도시된 바와 같이, 액정 패널(50)의 패널 중심으로 계조 검사 패턴을 분할하여 R 및 G에 대한 8계조 영역을 갖는 절반부와 B에 대한 8계조 영역을 갖는 다른 절반부를 형성한다. 따라서, 종래에는 연속 3화면의 표시가 필요하나, 본 방법은 모든 컬러에 대한 계조를 검사하는데 단지 하나의 화면만을 필요로 한다.
검사 시간을 더 단축하기 위해, 이 실시예의 고속 화상 처리 장치(80)는 선 결함의 검사를 액정 패널(50)의 모든 표시 영역에 대해 행하지 않고, 소정 영역에 대해서만 행하도록 하고 있다.
즉, 제8도에 도시된 바와 같이, 모든 선 결함(23)은 액정 패널(50)의 상측에서 하측으로 및 좌측에서 우측으로와 같이 단부에서 단부로 표시되므로 제9도에 도시된 바와 같이 액정 패널(50)의 화상(200)의 주위부(30)와 관련된 화상 신호만 처리하도록 한다. 또한, 제8도에서 부호(22)는 점 결함이다.
제10도는 이 실시예에 사용된 액정 모듈을 나타낸다. 제10도에 도시된 바와 같이, 액정 모듈은 소스 드라이버(24), 게이트 드라이버(25), 콘트롤러(26), 수평 방향으로 640 × 3(RGB) 도트 및 수직 방향으로 480 도트를 갖는 액정 패널(27)을 포함한다. 상기 소스 드라이버(24)는 복수개의 IC 소자가 예컨대, 상하측에 각 8 개씩 제공된다. 각 쌍의 상하 소스 드라이버(IC)들은 수평 80 도트내에서 각각 기수 및 우수로 도트들을 구동하도록 설계되어 있다.
따라서, 우수 또는 기수로 도트들을 검사하기 위한 검사 패턴을 사용하는 검사를 행함으로써, 결함이 있는 경우에는 어떤 소스 드라이버 IC가 이상이 있는지를 발견할 수 있다.
다음, 상기와 같이 구성된 검사 장치의 검사 절차를 제11도에 도시된 플로우차트를 참조하여 설명한다.
생산 라인에서 팔렛(pallet) 상에 장착된 액정 패널(50)이 촬상부(10)로 이송됨에 따라, 팔렛에 명시되어 있는 바코드를 독취하여 액정 패널(50)의 치수 및 기종 등을 확인한다(단계 n1).
현재 액정 패널(50)이 미리 검사된 액정 패널(50)과 치수나 기종이 다른 경우, 카메라의 위치 조정을 위한 자동 조정 기구(90)에 의해 각 카메라(20)의 위치가 자동 조정된다(단계 n2),
다음, 검사 개시 신호를 발생하고(단계 n3), 검사 항목을 선정 한다(단계 n4). 그 후, 선택된 검사 항목에 따른 검사 패턴을 액정 패널(50)에 표시한다(단계 n5). 이에 따라, 휘도가 일정 범위 내에 해당될 수 있도록 렌즈의 조리개를 변화시켜 자동 휘도 조정을 행하면서 4대의 카메라(20)로 화상을 독취한다(단계 n6). 다음 상기 독취 화상 정보를 처리한다(단계 n7). 그 후,검사 위치 측정용 기준점을 측정한 후(단계 n8), 결함을 추출하여 종류, 개수, 위치 등을 측정한다(단계 n9). 그리고 나서, 미리 정해진 검사기준에 따라 검사될 액정 패널(50)이 양품인지 불량품인지를 판정한다.
특히, 검사의 체크 순서에 있어서, 다음 (a), (b) 및 (c)의 시퀸스가 그 순서대로 수행된다.
(a) 각 블럭 에 대한 IC 결함의 식별;
(b) 선 결함의 식별; 및
(c) 점결함, 표시 얼룩 및 기타 결함의 식별
이 경우에, (a)에서 결함(들)이 식별되면, 검사 단계 (b) 및 (c)는 결함의 존재가 식별되는 부분 이외의 부분에서 수행된다. 한편, (a)에서 결함(들)이 식별되지 않고 선 결함(들)이 검사 단계 (b)에서 발견되면, 단계 (c)는 결함의 존재가 식별되는 부분 이외의 부분에서 수행된다.
예를 들면, 흑점 결함을 검사하는 경우, R, G 및 B 화상을 연속적으로 검사함으로써 흑점의 위치 및 색을 식별할 수 있다.
휘점 결함을 검출하고자 하는 경우, 휘점 검출 화소의 계조가 변경되지 않는 것에 착안하여, R, G, B의 각각에 대해 계조의 차분(gradation difference)을 취하도록 하고 있다. 예컨대, R에 대해 A계조의 화면과 B계조의 화면을 순차 표시하고, 그 차분을 각 화소당 취한다. 그 차분이 일정 이하인 점은 계조의 변화가 없으며, 즉, 휘점이 있는 것으로 된다. G 및 B에 대해서도 동일한 동작이 수행된다.
계조 검사의 경우에는, 상기 제7도에 도시된 바와 같이 액정 패널(50)의 영역을 여러 섹션으로 분할하여 형성된 상기 계조 검사 패턴을 표시하여 계조 검사를 행한다.
또한, 선 결함을 검사하는 경우, 상기 제9도를 참조하여 기술한 바와 같이, 액정 패널(50)주위의 영역만 검사한다. 이 실시예에서는 흑점이나 휘점이 선 형태로 형성되는 선 결함을 검사하고, 그 후 선 결함이 없는 것에 대해서만 흑점 및 휘점 검사를 행한다. 상기 검사 항목 이외에, 표시 얼룩이나 콘트라스트차 등의 검사를 행한다.
모든 검사 항목이 상술한 방식으로 완료되었을때, 검사 완료의 판단은 단계(n11)에서 예로 나타나며, 데이타가 저장되는 단계(n12)로 동작이 진행된다.
한편, 선택된 검사 항목 중 미검사 항목이 남아 있는 경우, 체크 완료의 판단이 아니오로 나타나며, 단계(n5)로 되돌아가 검사 완료의 판단이 예로 될 때까지 같은 단계를 반복한다.
단계(n12)에서 저장된 데이타의 내용은 예컨대 다음과 같다.
검사 개시 일자 및 시간;
검사된 모듈의 제어수;
모듈 위치에 대한 데이타;
모듈 표면의 평균 휘도; 및
각각의 선택된 검사 항목 및 합격/불합격 판정 정보.
이상과 같이, 4대의 카메라(20)로 액정 패널(50)을 부분적으로 촬상하여 화상 처리를 하는 것에 의해 결함을 검출하므로, 액정 패널(50)의 크기가 크더라도 확실히 결함을 검출할 수 있다. 또한, 계조검사의 경우에는 액정 패널(50)의 영역을 분할하고 상기 분할된 단지 하나의 패턴으로 모든 원색 계조를 동시에 표시함으로써, 검사 시간을 단축할 수 있다. 또한, 선 결함의 경우에는 액정 패널(50)의 주위의 영역만 검사하기 때문에 검사 시간이 단축될 수 있다.
검사하는 액정 패널(50)의 크기가 작은 경우에는 반드시 4대의 카메라(20)를 사용하여 분할된 화상을 부분적으로 촬영하여 검사를 행할 필요는 없다. 이 경우에는, 각각 액정 패널(50)의 전체 화상을 개별적으로 촬상하고, 1대의 소정의 카메라(20)로부터 얻어진 화상 신호를 처리하여 결함을 검출하도록 하여도 좋다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 복수의 독취 수단으로 표시 패널의 화상을 독취하여 결함을 검출하므로, 표시 패널의 크기가 크더라로 결함을 확실히 검출할 수 있게 된다.
또한, 검사 항목에 따라, 표시 패널의 영역을 복수의 영역으로 분할하고 복수의 검사 패턴을 각 영역에 동시에 표시하여 복수의 검사 항목을 동시에 검사하기 때문에 검사에 필요한 시간을 단축할 수 있다. 또한, 어떤 검사 항목에 대한 결함 검출에 대해서는 표시 패널의 지정 부분에서 얻어진 화상 신호만 처리하여 검사를 수행하므로, 검사 시간이 단축될 수 있다.

Claims (2)

  1. 복수의 화소를 평면상에 배치하고, 상기 화소를 선택적으로 구동함으로써 화상 표시를 행하는 평면형 표시 패널의 표시 결함을 검사하는 장치에 있어서, 상기 검사 장치는, 검사 항목에 따라 상기 평면형 표시 패널상의 검사 패턴을 표시하기 위한 표시 제어 수단; 상기 평면형 표시 패널상에 표시된 상기 검사 패턴의 화상을 독취하기 위한 복수의 독취 수단(pickup means); 및 상기 검사 항목에 따라 상기 독취 수단으로부터 얻어진 화상 신호를 처리함으로써, 상기 표시 패널상에 표시 결함들의 위치를 측정하기 위한 검사 수단(checking means); 을 포함하며, 상기 표시 제어 수단은 소정의 복수의 검사 항목에 대해, 상기 평면형 표시 패널의 영역이 분할되는 각각의 부분 상에 복수의 검사 패턴을 동시에 표시하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 평면형 표시 패널 검사 장치.
  2. 복수의 화소를 평면상에 배치하고, 상기 화소를 선택적으로 구동함으로써 화상 표시를 행하는 평면형 표시 패널의 표시 결함을 검사하는 장치에 있어서, 상기 검사 장치는, 검사 항목에 따라 상기 평면형 표시 패널 상의 검사 패턴을 표시하기 위한 표시 제어 수단; 상기 평면형 표시 패널 상에 표시된 상기 검사 패턴의 화상을 독취하기 위한 복수의 독취 수단; 및 상기 검사 항목에 따라 상기 독취 수단으로부터 얻어진 화상 신호를 처리함으로써 상기 표시 패널상에 표시 결함의 위치를 측정하기 위한 검사 수단; 을 포함하며, 상기 검사 수단은 소정의 검사 항목에 대해, 상기 표시 패널의 임의의 소정 영역에 속하는 화상 신호를 처리함으로써, 표시 패널 상의 표시 결함의 위치를 측정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 평면형 표시 패널 검사 장치.
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