KR100555013B1 - 광학 장치의 제조 방법 및 이에 이용하는 결함 판정용검사 도구 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 평면 표시 장치의 표시면에 나타나는 표시 불균일 그 밖의 표시 결함을 판정하는 데 이용하는 검사 도구 및 이를 이용하는 평면 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 표시 불균일 등의 판정을 숙련도나 다소의 작업 조건의 차이에 좌우되는 일 없이, 높은 정밀도 및 신뢰도로 행할 수 있는 것을 제공하는 데 있다.

직사각형의 투명 시트(15) 상에, 치수 30 ㎛인 흑색의 도트로 이루어지는 농담 표시 패턴(21, 22)을 인쇄에 의해 설치한다. 이들 농담 표시 패턴(21, 22)은 도트의 면적 점유율이 3 내지 45 ％의 각 설정치를 취하도록 각각 설치되고, 판정 대상의 표시 불균일 또는 그 후보와 비교 대조하는 농도의 기준으로서 이용된다. 또는, 판정 대상 표시 불균일을 덮도록 포갠 경우에 눈으로 확인 가능한지 여부에 의해 표시 불균일 등의 농도의 레벨을 판정한다.

Description

광학 장치의 제조 방법 및 이에 이용하는 결함 판정용 검사 도구 {MANUFACTURING METHOD OF OPTICAL DEVICE AND INSPECTING MEANS FOR DEFECT JUDGMENT USED FOR THE SAME}

본 발명은, 평면 표시 장치 등의 광학 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 또한 이에 이용되는 검사 도구에 관한 것이다.

최근, 액정 표시 장치 등의 평면 표시 장치는 박형, 경량, 저소비 전력의 특징을 살려 퍼스널 컴퓨터, 워드 프로세서 혹은 TV 등의 표시 장치로서, 또한 투사형 표시 장치로서 각종 분야에서 이용되고 있다.

그 중에서도 각 화소 전극에 스위치 소자가 전기적으로 접속되어 이루어지는 액티브 매트릭스형 표시 장치는 인접 화소 사이에서 누화(cross-talk)가 없는 양호한 표시 화상을 실현할 수 있으므로 왕성하게 연구 및 개발이 행해지고 있다.

평면 표시 장치의 제조에 있어서, 표시 패널 본체의 완성시 또는 평면 표시 장치 모듈의 완성시에 배선이나 도전 패턴에 대한 단선이나 단락 및 먼지나 부분적인 결함에 의한 휘도나 색도의 불균일 등의 표시 결함을 검출하기 위한 검사가 행해진다. 일반적으로는, 상기 신호선 패드 및 주사선 패드로부터 소정의 검사용 신호를 입력하여 화소의 표시 상태를 관찰함으로써, 단선이나 휘도 불균일 등의 결함을 검출하는 검사가 행해진다. 이와 같은 검사는 광원 장치를 점등시킨다는 점으로부터「점등 검사」라 불리우고 있다.

표시 패널의 점등 검사시에 CCD 카메라 및 화상 처리 기구를 구비한 자동 장치를 이용하는 것이 여러가지 제안되어 있다(예를 들어 일본 특허 공개 평8-145848, 일본 특허 공개 평11-101712). 그러나, 점등 검사에 있어서 단선, 단락이나 명확한 흑점(멸점) 등의 검출 및 판정이 용이한 데 반해, 스폿형 등의 영역에서 휘도가 주위보다 낮아지는 휘도 불균일(농담 불균일)에 대해 허용 범위인지 여부 등의 판정은 비교적 곤란하였다. 그로 인해, 기존에는 미묘한 표시 불균일의 검출이나 판정 능률이나 정밀도에 있어서 숙련 검사원에 의한 확인 검사에 미치지 못하는 경우가 많다.

표시면에 나타나는 휘도 불균일 정도(농도)나 수를 평가함으로써 출하 가능한 양품 패널과, 그렇지 않은 불량품 패널로 판별하는 것이지만, 이것에는 일반적으로 고도의 숙련을 필요로 하고, 숙련도가 낮은 검사원에서는 상당한 판정 에러가 생기게 되어 있었다.

불량 판정을 위한 휘도 불균일에 대한 확인 검사는 일반적으로 하기 중 어느 하나의 방법에 의해 행해진다.

① 비교용 기준으로서, 특정한 농도의 불균일이 발생하고 있는 표시 패널이며, 허용 한도를 조금 초과하고 있는 것(불량품의 한도 견본), 또는 간신히 허용 한도 내인 것(양품의 한도 견본)을 이용한다. 즉, 이들 한도 견본과 검사 대상의 표시 패널을 비교함으로써 양품 및 불량품의 판정을 행한다.

② 특정한 투과율의 ND 필터(Neutral Density filter)를 표시면 상의 표시 불균일의 부위에 포개어 표시 불균일이 보이는지 여부의 판별을 행한다. 보이지 않는 경우에는 허용 한도 내라 하여 양품이라 판정하고, 보이는 경우에는 불량품이라 판정한다.

③ 점등 검사 장치로부터 표시 패널로 입력하는 신호를 고안하여 표시면 상에 특정한 농도의 표시 불균일을 표시하게 한다. 즉, 표시 불균일과 같은 패턴을 특정한 소프트웨어를 이용하여 표시면에 나타낸다. 그리고, 이와 비교함으로써 표시 패널의 표시 불균일이 허용 한도 내의 농도인지 여부를 판정한다.

상기와 같은 종래의 표시 불균일 판정 방법에는 각각 다음과 같은 문제점이 있었다.

① 표시 패널의 현물을 한도 견본으로서 이용하는 방법

특정한 농도의 불균일을 갖는 표시 패널을 이용할 필요가 있지만, 그와 같은 적당한 것의 존재 확률은 낮다.

또한, 효율적인 검사를 행하기 위해서는 표시 패널을 구동시키기 위한 장치를 2대 나란히 설치할 필요가 있다. 구동 장치가 1대밖에 없는 경우에는 일단 한도 견본으로서의 표시 패널을 셋트하여 점등 표시시킨 후, 판정 대상 표시 패널을 셋트하여, 기억에 의존하여 비교하게 되는 작업이 필요해진다. 그로 인해, 상당한 숙련이 필요하고, 판정 에러의 가능성도 증가하게 된다.

또한, 한도 견본용 표시 패널에 나타나는 표시 불균일이 시간이 흐름에 따라 옅어져 가는 경우가 적지 않다. 그로 인해, 일정 시간 간격으로 표시 불균일의 농도를 확인하게 되는 확인 관리의 업무가 발생한다.

② ND 필터를 이용하는 판정

ND 필터를 이용하는 판정에서는 작업 장소의 환경 조명의 영향을 강하게 받으므로, 조도 관리를 엄밀하게 행할 필요가 있다.

또한, 일반적으로 시판되고 있는 ND 필터는 투과율의 변동이 크다. 그로 인해, 조도 관리를 엄밀하게 행한다고 해도 투과율의 변동에 기인하는 판정의 변동이 생겨 버린다.

③ 표시 불균일 유사의 패턴을 부드럽게 표시하는 방법

통상의 액정 패널 등의 표시 패널에 있어서는, 표시면에 대한 시선의 각도(시각)에 의해 농담이 예민하게 변화되어 버린다.

본 발명은 상기 문제점에 비추어 행해진 것이고, 광학 장치의 주면에 나타나는 표시 불균일의 결함 판정의 판정 정밀도를 향상시킬 수 있는 광학 장치의 제조 방법 및 검사 도구를 제공하는 것이다.

본 발명의 검사 도구는 평면 표시 장치의 표시면에 나타나는 표시 불균일의 농도를 판정하는 데 이용하는 검사 도구이며, 투명한 시트 또는 필름 상에 치수가 40 ㎛ 이하의 도트로 이루어지는 농담 표시 패턴을 설치한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 숙련도나 다소의 작업 조건의 차이에 좌우되는 일 없이, 높은 정밀도 및 신뢰도로 판정을 행할 수 있다.

바람직하게는, 상기 농담 표시 패턴이 1매의 시트 또는 필름 상에 복수 병렬되고, 이들은 면적당 도트 부분의 점유율이 서로 다르다. 이와 같은 구성이면, 농도의 판정을 신속하게 행할 수 있다.

또한, 더욱 바람직하게는, 표시 불균일의 직경 또는 폭을 계측하기 위한 복수의 폭의 슬릿 패턴 또는 선, 또는 복수의 직경의 빈 패턴 또는 꽉 찬 패턴이 상기 투명한 시트 또는 필름 상에 아울러 설치된다.

이와 같은 구성이면, 표시 불균일의 직경 또는 폭에 대해서도 농도를 판정하는 것과 거의 동시에 용이하게 평가할 수 있다.

본 발명의 평면 표시 장치의 제조 방법은 표시 패널의 주연부에 구동 회로 계통을 실장하기 전 또는 후에 상기 표시 패널을 동작시켜 표시 결함을 검사하는 점등 검사를 행하고, 상기 점등 검사에 있어서 표시 불균일을 검출하는 동시에, 검출된 표시 불균일이 농도 또는 치수의 관점으로부터 허용 범위 내인지를 판정하기 위한 판정 조작을 행하는 평면 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 투명한 시트 또는 필름 상에 치수가 40 ㎛ 이하인 도트로 이루어지는 농담 표시 패턴을 설치한 것을 미리 준비하고, 상기 농담 표시 패턴을 상기 표시 불균일과 비교 대조하여 농담 레벨이 동등하거나 혹은 대소 관계에 있는지를 판별함으로써 상기 표시 불균일의 농도를 판정하거나, 또는 상기 농담 표시 패턴을 상기 표시 불균일 위에 덮어씌웠을 때에 상기 표시 불균일이 눈으로 확인 가능한지 여부를 판별함으로써 상기 표시 불균일의 농도를 판정하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 이용하는 검사 도구는 광투과성을 갖고, 무색 투명한 시트 또는 필름 상에, 예를 들어 치수가 40 ㎛ 이하인 도트의 집합체로 이루어지는 농도 패턴을 설치한 것이다.

베이스가 되는 시트 또는 필름(이후, 두께가 작은 것도 포함하여 시트라 함)으로서는 적당한 투명도(광투과율 및 헤이즈) 및 내구성을 구비하고 있는 것이면 모두 사용 가능하다. 바람직한 것으로서는, 폴리메틸펜텐 수지 등의 올레핀계 수지, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트)나 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 포화 폴리에스테르계 수지, 메타크릴 수지나 아크릴계 수지 등으로 이루어지는 두께 50 내지 500 ㎛의 시트를 예로 들 수 있고, 무색 투명한 것이 바람직하다. 농도 패턴의 베이스로서 무색 투명한 시트를 이용하면, 절대적인 농도가 아닌 피검사물의 기초색에 대한 표시 불균일의 정도를 검사하는 것이 가능해진다.

이 베이스가 되는 투명 시트 상에 복수의 농도 패턴이 포토리소그래피 등의 일반적인 인쇄 방법에 의해 설치된다. 베이스의 투명 시트에는 필요에 따라서 인쇄 적성을 개선하기 위한 처리가 미리 실시된다. 또한, 경우에 따라서는 잉크젯 묘화법이나 오프셋 등의 방법으로 농도 패턴을 설치하는 것도 가능하다.

각 농도 패턴은, 바람직하게는 서로 비연속의 원형 또는 직사각 형상 등의 도트(그물점)가 균등하게 분포한 것이고, 패턴 배치 부위의 면적에 대한 도트 부분의 점유율을 다르게 함으로써 각 레벨의 농담을 표현한다. 이 도트는 체크 무늬 등이라도 좋다.

농도 패턴을 이루는 도트는 바람직하게는 흑색이고, 치수가 40 ㎛ 이하, 바람직하게는 20 내지 35 ㎛이다. 치수가 40 ㎛를 초과하면, 경우에 따라 모아레 패턴 등의 간섭 무늬가 나타나 표시에 악영향을 끼칠 우려가 있다. 한편, 20 ㎛보다 미소한 치수에서는 인쇄 등에 의해 농도 패턴을 형성하기 위한 비용이 상승하므로 바람직하지 않다. 또한, 이와 같이 치수를 작게 해도 성능상의 장점이 없다.

또한, 본 발명은 적어도 하나의 농도 패턴을 가지면 좋지만, 바람직하게는 복수의 다른 농도 레벨의 농도 패턴이 형성된다. 표시 불균일의 허용치가 항상 변동하지 않는 경우에는 그에 맞는 농도 레벨의 농도 패턴을 적어도 하나 설치하면 좋지만, 경우에 따라서 허용치가 변경이 되는 경우가 있고, 그에 맞는 복수의 농도 패턴을 구비하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 소정의 농도 간격으로 복수의 농도 레벨의 농도 패턴을 형성해도 좋고, 표시 불균일의 정도를 파악하기 위한 척도로 할 수 있다. 또한, 복수의 농도 패턴을 형성하는 경우, 각 농도 패턴의 배열 순서는 농도 레벨의 순서에 맞추어 배열하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 어떤 레벨 범위에 포함되어 있는지를 판단하는 것이 가능해진다. 여기서는, 허용치 부근의 농도 레벨에 대해서는 1 ％ 내지 3 ％ 눈금의 농도 간격의 농도 패턴을 배열하고, 45 ％에 이르기까지의 농도 간격은 5 ％ 눈금으로 하고 있다.

검사 도구를 이와 같이 형성함으로써, 복수의 다른 농도 레벨을 갖는 검사 도구를 이용하여 검사하는 경우에 비해 보다 용이하게 검사를 행하는 것이 가능해진다. 또한, 표시 불균일 불량 유무의 판단뿐만 아니라, 그 정도를 관리하는 것이 가능해진다.

본 발명의 검사 도구는, 바람직하게는 표시 불균일, 여기서는 표시 불균일 치수의 측정 또는 판정을 행하기 위한 패턴이 아울러 설치된다. 구체적으로는, 일정 폭의 슬릿을 이루는 패턴 또는 일정 폭의 선분에 의해 설치되거나, 혹은 꽉 찬 패턴 중 소정 직경의 직사각 형상 혹은 원 형상의 빈 패턴, 또는 소정 직경의 직사각 형상 혹은 원 형상의 꽉 찬 패턴에 의해 치수 결정용 패턴이 설치된다.

본 발명의 검사 도구를 이용한 표시 불균일의 판정은 표시 불균일 또는 그 후보를 검출한 후, 소정의 농도 패턴과 비교 대조하여 농도가 동등한지 여부 등을 조사함으로써 행할 수 있다.

예를 들어, 도3에 도시한 바와 같이 농도 불균일의 유무를 스텝 40에서 검사하고, 다음에 표시 불균일의 치수마다 허용 가능한 농도가 설정되어 있는 경우에는 그 소정 레벨의 농도 패턴에 비해 동등 이하의 농도인지, 또는 이보다 농도가 짙은지 여부를 비교 대조 스텝 41 내지 스텝 43에서 판별하고, 이에 의해 문제가 되는 정도의 표시 불균일을 특정한다. 그리고, 이와 같은 표시 불균일의 표시 패널당 개수가 허용 한도를 초과하는지 여부의 선별을 스텝 44에서 행한다. 표시 불균일의 표시 패널당 개수가 허용 한도를 초과하지 않으면, 양품이라 판정하여 스텝 46의 다음 공정으로 보낸다. 그렇지 않은 경우에는 불량이라 판정하여 리페어 스텝 45에서 수리하고, 다시 불균일의 유무 검사 스텝 40으로부터 같은 판정을 실행한다. 또는, 일정 레벨 이상의 농도의 표시 불균일의 수와, 치수나 농도의 레벨에 의해 결정되는 계수를 곱한 값이 설정 허용치를 초과하는지 여부에 의해 표시 패널이 불량인지를 결정할 수도 있다.

이 때의 비교 대조에 있어서, 도4에 도시한 바와 같이 광학 장치의 광출사면으로 이루어지는 주면(51) 상에 검사 도구(1)를 적재하고, 적당한 농도 패턴을 상기 표시 불균일(52)의 옆에 오도록 시트형 검사 도구(1)를 배치함으로써 용이하게 판정을 행할 수 있다. 특히, 도1에 도시되어 있는 바와 같이, 농담 게이지(2)로서 농도의 레벨이 단계적으로 다른 복수 농도 패턴을, 예를 들어 레벨의 순으로 일렬로 나열해 둠으로써 일련의 농도 패턴을 차례로 판정 대상 표시 불균일(52)의 옆에 두어 비교할 수 있고, 판정 조작을 용이하게 행할 수 있다. 게다가, 매우 신속하게 행하는 것이 가능하다.

상기와 같은 비교 대조에 의한 판정 대신에, 상기 농도 패턴을 판정 대상의 표시 불균일 상에 포개어 상기 표시 불균일이 눈으로 확인 가능한지 여부에 의해 표시 불균일의 농도의 판정을 행할 수도 있다. 이 경우도 농도의 레벨이 단계적으로 다른 농도 패턴의 열에 의해 차례로 포갬을 행함으로써, 용이하고 또한 신속하게 판정의 조작을 행할 수 있다.

비교 대조 또는 피복에 의한 판정은 작업자가 육안, 확대경 또는 실체 현미경을 통해 관찰함으로써 행할 수 있다. 경우에 따라서는, 화상 해석을 이용한 자동 장치에 의해 피복 상태에서의 눈으로 확인 가능한 가능성 등을 판별하는 것도 가능하다.

이와 같은 표시 불균일의 검사는 표시 패널 본체를 조립한 후, TCP(테이프 캐리어 패키지)나 구동 PCB를 조립 부착하기 전, 또는 후(즉 표시 패널의 완성 후)에 점등 검사에 의해 행할 수 있다. 경우에 따라, 후방 라이트 장치 등을 부착한 후에 행할 수도 있다.

또한, 평면 표시 장치에 있어서의 어레이 기판이나 대향 기판의 제작은, 예를 들어 일본 특허 공개 평9-160076호나 일본 특허 공개 제2000-267595호, 또는 일본 특허 공개 제2000-330484나 일본 특허 공개 제2001-339070에 기재된 방법에 의해 행할 수 있다.

본 발명의 검사 도구 및 검사 방법은 액정 표시 장치에 한정되지 않고, 유기 EL 형의 표시 장치 등에도 이용할 수 있다. 또한, 농담 레벨 또는 농도의 판정은 백색 표시인 경우의 휘도의 레벨뿐만 아니라, 특정한 색표시를 행하였을 때의 농담 레벨 등에 대해 행하는 것도 가능하다. 이 경우, 농도 패턴의 도트는 그 특정색의 패턴으로서 설치되어도 좋다.

또한, 본 실시 형태와 같이 흑색 도트를 이용하는 경우에는 중간조의 회색 표시 상태에서 검사하는 것이 바람직하다.

검출 및 판정의 대조의 표시 불균일로서, 일의적으로는 이물질에 의한 것이 상정되지만, 발생의 원인에 한정되지 않고 표시면 상에 같은 형태로 나타나는 것이면 좋고, 특히 스폿형에 한정되지 않고 선형 등의 것이라도 좋다.

다음에, 본 발명의 구체적인 실시예에 대해 도1 내지 도2 및 표 1 내지 표 3을 이용하여 설명한다.

우선, 실시예의 검사 도구에 대해 도1 내지 도2를 이용하여 설명한다.

도1에 도시한 바와 같이, 검사 도구(1)는 직사각형의 투명 시트(15) 상의 우측 절반부에 표시 불균일의 농도를 결정하기 위한 농담 게이지(2)가 설치되고, 좌측 절반부에 상기 표시 불균일의 개략 치수를 측정하기 위한 치수 게이지(3)가 설치되어 있다.

농담 게이지(2)는 각 레벨의 농도(휘도 레벨)를 표시하는 스크린톤형의 인쇄 패턴[농도 패턴(21, 22)]이 세로로 배열된 것이다. 구체적으로는, 5 ㎜ 각의 정사각형의 농도 패턴(21)과, 이 우측의 직경 0.5 ㎜인 원 형상의 농도 패턴(22)이 쌍으로 이루어지는 각 레벨의 농도의 패턴이 종방향으로 배열된 것이다. 이들 농도 패턴(21, 22)의 쌍은 도트의 면적 점유율이 3 내지 45 ％인 9단계로 설정되어 전방측으로 그리고 오름순으로 나열되어 있다.

도2에는 도트의 면적 점유율이 3 ％인 농도 패턴(21, 22)의 쌍과, 도트의 면적 점유율이 45 ％인 농도 패턴(21, 22)의 쌍에 대해 도트 구성을 모식적으로 도시한다. 도2에 도시한 바와 같이, 농도 패턴(21, 22)을 이루는 각 도트는 실시예에 있어서 모두 독립된 원 형상이다. 또한, 각 도트의 직경은 모두 30 ㎛로 통일되어 있다.

또한, 농도 패턴(21)의 좌측에는 도트 면적 점유율의 수치를 나타내는 문자인쇄(23)가 표시되어 있다.

이와 같이 각 농도 레벨의 농도 패턴에 있어서, 그 패턴 윤곽이 정사각형 패턴과 원 형상의 패턴을 형성함으로써, 불균일의 형상이나 정도에 따라 적절한 크기, 패턴의 농도 패턴을 이용하여 검사할 수 있어, 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.

한편, 투명 시트(15)의 좌측에 설치되는 치수 게이지(3)는 표시 불균일의 치수를 신속하게 평가 및 계측하기 위해 각 단계의 치수를 나타내는 패턴이 배열된 것이다. 구체적으로는, 0.03 내지 0.70 ㎜ 범위의 16단계로 설정된 치수마다 1세트의 치수 표시용 패턴(31 내지 34)이 설치되고, 이들이 종방향으로 배열되어 있다.

치수치마다 1세트의 치수 표시용 패턴은 각각 직사각형 도트형의 패턴(31)과, 이 우측에 위치하는 직선형 패턴(32)을 포함한다. 또는, 이들 패턴(31, 32)의 하측에 배치되어 직사각형(30) 속에 패턴(31, 32)의 흑백을 반전한 제거 도트 패턴(33) 및 제거 직선 패턴(슬릿 패턴)(34)을 포함한다. 또한, 각 세트의 치수 표시용 패턴(31 내지 34)의 좌측에는 치수를 나타내는 문자 인쇄(35)가 표시되어 있다.

치수 게이지(3)에 의한 표시 불균일의 치수의 측정을 하는 경우에는 직사각 형상의 도트(31) 또는 직선 패턴(32)이 측정 대상의 표시 불균일의 바로 옆에 오도록 검사 도구(1)를 배치한다. 그리고, 이와 같은 조작을 차례로 행함으로써 동등한 치수의 것을 발견하였을 때에, 그 좌측의 문자 인쇄(35)에 나타낸 치수를 표시 불균일의 치수로서 기록한다. 표시 불균일 치수의 측정은 상기 표시 불균일이 빈 패턴(33) 또는 슬릿 패턴(34) 속에「끼워 넣음」과 같이 검사 도구(1)를 배치하는 등의 조작에 의해 마찬가지로 행할 수도 있다.

표 1 내지 표 2에는 실시예의 검사 도구를 이용하는 방법의 효과 등에 대한 평가 결과를 나타낸다.

표 1에는 숙련도가 다른 5명의 검사원에 의해 10개의 표시 패널 샘플에 대해 소정의 단시간 내에 양품 및 불량품의 판정을 행한 경우의 판정 정해율의 평균치에 대해 나타낸다. 또한, 양품을 불량품이라 오판정한 양품 오판정율(오버킬) 및 불량품을 양품이라 오판정한 불량품 오판정율(언더킬)도 마찬가지로 나타낸다. 또한, 동일한 조건에서 종래 기술에 관한「한도 견본」을 이용한 결과에 대해 시험을 행하고, 표 1 속에 비교예로서 정리하여 나타내었다.

판정 정해율 등의 평가

	판정 정해율	오버킬	언더킬
실시예	84	2	14
비교예	64	20	16

표 1의 결과로부터 알려진 바와 같이,「한도 견본」을 이용하는 종래 기술에 비해 오버킬이 20 ％ 내지 2 ％로 매우 현저하게 감소하고, 이 결과 판정 정해율도 크게 향상되었다.

또한, 표 1에는 나타내지 않았지만, 실시예의 방법이면, 「한도 견본」을 이용하는 비교예에 비해 미숙련 검사원에 의한 판정 정해율이 현저하게 상승하고, 숙련 검사원에 의한 판정 결과의 차이가 현저하게 작아졌다. 또한, 숙련 및 미숙련에 한정되지 않고 검사원간의 개인차에 의한 판정 결과의 차이도 작아졌다.

다음에, 표 2에는 실시예의 검사 도구(1)를 이용하여 표시 패널 상에 표시된 실제의 2개의 표시 불균일에 대해 각 환경 조도로 판정한 결과를 나타낸다. 여기서는, 5 ㎜ 각의 농도 패턴(21)을 기준으로 하여 판정을 행하고, 동등한 농도로 보이는 농담 표시 패턴(21)의 도트 면적 점유율의 수치를 나타내었다. 또한, 표 1의 경우와 마찬가지로, 5명의 검사원에 의한 평가 결과의 평균치를 나타내었다.

농도 판정에 대한 환경 조도의 영향

환경 조도(lx)	11	40	130	195
진한 표시 불균일의 샘플	35 ％	35 ％	35 ％	35 ％
연한 표시 불균일의 샘플	5 ％	5 ％	5 ％	5 ％

어떠한 표시 불균일 샘플의 경우에도 농도의 판정에, 환경 조도에 의한 영향은 전혀 보이지 않았다. 즉, 실시예의 방법에 따르면, 검사 부위에 있어서의 환경 조도에 좌우되지 않고, 확실하게 검사를 행할 수 있어 환경 조도를 일정하게 하기 위한 노력을 줄일 수 있는 것이다.

농담 게이지(2)는 도트 인쇄에 의해 용이하고, 또한 안정되게 제작할 수 있다. 또한, 벗겨져 떨어지지 않는 한 농도 레벨에 변화가 없으므로, 농도 레벨의 변화를 감시하는 관리가 불필요하다. 또한, 인쇄 패턴이므로 시각에 의한 변동이 없다. 즉, 농도의 참조 기준의 작성과 준비, 및 보관과 관리에 대해 각별히 용이해지고, 또한 저비용이 된다.

또한, 검사 도구(1)를 표시 패널 상 또는 표시 패널에 근접시켜 배치한 상태에서 판정을 행하는 것이므로 표시 불균일의 농도를 검사원이 기억할 필요가 없어, 판정에 숙련을 필요로 하지 않는다. 또한, 실제로 특정 레벨의 표시 불균일이 표시된 표시 패널(한도 견본)을 준비할 필요가 없다. 또한, 복수의 거점에서 동일한 기준으로 판별할 수 있다. 표시 패널 상에 적재하여 이용하는 경우에는 표시 불균일 부위와 동등한 후방 라이트광 및 환경 조도의 영향을 받으므로, 통상의 조건에서는 조명 조건에 의해 농담의 평가가 좌우되는 일이 없다. 즉, 동일 조건에서 동시에 검사할 수 있고, 농도의 판정 신뢰성을 크게 향상시켜 평가의 변동을 현저하게 저감시킬 수 있다.

또한, 농도 패턴은 도트의 면적 점유율을 자유로이 설정함으로써, 원하는 농도의 레벨을 용이하게 실현할 수 있다. 그로 인해, 표시 패널의 제품 종류가 변경되어도 기민 또한 유연하게 대처할 수 있다. 또한, 농도의 레벨을 도트의 면적 점유율을 기준으로 하여 용이하게 수치화할 수 있으므로, 객관적인 평가에 의한 데이터화를 행할 수 있다.

또는, 판정에 필요로 하는 시간을 대폭으로 단축하여 검사의 작업 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 형태에 대해 표시 장치를 예로 들어 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 면형의 광출력을 행하는 광학 장치 전반에 적용할 수 있다. 예를 들어, 면형 광원 등의 조명 장치의 광출사면 내의 표시 불균일의 양부 판정 및 정도 판정에도 적용할 수 있다.

표시 불균일의 결함 판정의 정밀도를 현격하게 향상시킬 수 있다.

도1은 실시예의 검사 도구 전체를 모식적으로 도시하는 외관도.

도2는 실시예의 검사 도구의 농담 게이지를 이루는 각 스크린톤의 패턴(농담 표시 패턴)에 대해 설명하기 위한 모식적인 부분 확대도로, 도2의 (a)는 도트 점유율 3 ％의 스크린톤을, 도2의 (b)는 도트 점유율 45 ％의 스크린톤에 대해 도시하는 도면.

도3은 실시예의 표시 장치의 표시 불균일을 검사하는 흐름도.

도4는 실시예의 검사 도구를 표시 장치의 주표면(51)의 표시 불균일(52)에 인접하는 부분에 적재한 상태를 설명하기 위한 모식적인 부분 확대도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 표시 불균일 판정용 검사 도구

2 : 농담 게이지를 이루는 인쇄 패턴

3 : 치수 게이지를 이루는 인쇄 패턴

15 : 투명 필름

21 : 5 ㎜ 각의 정사각형의 농담 표시 패턴

22 : 0.5 ㎜ 직경의 원형의 농담 표시 패턴

Claims (16)

1. 광학 장치의 표시면 상의 면 내의 표시 불균일을 검출하는 동시에, 검출된 상기 표시 불균일 정도를 판정하기 위한 판정 조작을 행하는 광학 장치의 제조 방법에 있어서,

   투명한 시트 또는 필름에 적어도 하나의 농도 패턴을 설치한 검사 도구를 상기 광학 장치의 상기 표시면 상에 적재하고,

   상기 농도 패턴과 상기 표시 불균일을 비교 대조하여 그들 농도 레벨이 동등한지, 혹은 대소 관계에 있는지를 판별함으로써 상기 표시 불균일 정도를 판정하고,

   상기 광학 장치는 동작 상태에 있고, 상기 표시면으로부터 빛을 출사하고 있는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 농도 패턴이 상기 표시 불균일에 인접하도록 상기 검사 도구를 상기 광학 장치의 상기 표시면 상에 적재하는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 농도 패턴이 상기 표시 불균일을 덮도록 상기 검사 도구를 상기 광학 장치의 상기 표시면 상에 적재하는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 검사 도구는 농도 레벨이 다른 복수의 농도 패턴을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 농도 패턴은 농도 레벨 크기의 순서에 따라서 배열되는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 판정시 상기 배열된 일련의 상기 농도 패턴을 판정 대상의 상기 표시 불균일에 차례로 적용하여 농도 레벨의 비교 대조, 또는 시인 가능한지 여부의 판별을 행하는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
8. 제1항에 있어서, 상기 농도 패턴은 상기 시트 또는 필름에 설치된 복수의 도트에 의해 구성되고, 상기 농도 패턴의 상기 농도 레벨은 단위 면적당 상기 도트의 점유율로 표현되는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 농도 패턴은 서로 비연속의 원형 또는 직사각 형상의 도트가 균등하게 분산 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
10. 제8항에 있어서, 상기 농도 패턴을 구성하는 상기 도트의 크기는 통일되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
11. 제8항에 있어서, 상기 도트의 치수는 40 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
12. 제8항에 있어서, 상기 검사 도구는 상기 도트의 점유율이 다른 복수의 농도 패턴을 포함하여 구성되고, 상기 도트의 점유율이 2 ％ 내지 45 ％인 범위의 상기 농도 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
13. 제12항에 있어서, 상기 검사 도구는 상기 농도 레벨이 낮은 농도 레벨에 있어서는 1 내지 3 ％의 간격을 두고 형성되고, 높은 농도 레벨에 있어서는 5 ％의 간격을 두고 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
14. 제1항에 있어서, 상기 광학 장치는 표시 패널인 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
15. 제1항에 있어서, 상기 광학 장치는 조명 장치인 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
16. 광학 장치의 주표면에 나타나는 표시 불균일 정도의 정도를 판정하기 위한 검사 도구이며,

    무색 투명한 시트 또는 필름으로 이루어지는 베이스 기판과,

    상기 베이스 기판에 설치되어 치수가 40 ㎛ 이하인 도트의 집합체로 이루어지는 농도 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 도구.