KR100844830B1 - Ｌｃｄ패널 검사장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은LCD패널의 검사 작업속도를 개선할 수 있는 LCD패널 검사장치에 관한 것이다.
본 발명의 LCD패널 검사장치는 베이스 프레임(50)의 일측에 설치되는 제1촬상부(10)와, 베이스 프레임(50)의 타측에 제1촬상부(10)와 이격되어 설치되는 제2촬상부(20)와, 베이스 프레임(50)의 하측에 설치되어 제1 및 제2촬상부(10,20)로 LCD패널(10)을 이송시키는 이송부(30)로 구비되며, 이송부(30)는 LCD패널(1)의 분할 및 선단위치(1f,1g)를 각각 제1 및 제2촬상부(10,20)의 검사영역으로 이송시키고, 제1 및 제2촬상부(10,20)에서 촬상작업을 개시하면 제1 및 제2촬상부(10,20)가 LCD패널(1)을 연속적으로 촬상할 수 있도록 LCD패널(1)을 이송시키도록 구성된다.
Figure R1020060027081
LCD, 패널, 검사, 촬상, 카메라, 반사

Description

ＬＣＤ패널 검사장치 및 방법{Apparatus and Method for Inspecting a LCD Panel}
도 1은 종래의 LCD패널 검사장치의 구성도,
도 2는 본 발명의 LCD패널 검사장치의 측면도,
도 3은 도 2에 도시된 LCD패널 검사장치의 평면도,
도 4는 도 2에 도시된 제1 및 제2촬상부의 부분 확대 측면도,
도 5는 도 2에 도시된 분리 및 반사부재의 사시도,
도 6은 제1 및 제2촬상부에서 촬상된 다수개의 프레임 이미지를 나타낸 도,
도 7은 본 발명의 LCD패널 검사장치의 다른 실시예를 나타낸 측면도,
도 8은 본 발명의 LCD패널을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호설명 *
1: LCD패널 10: 제1촬상부
20: 제2촬상부 11,21: 카메라
12,22: 조명 13,23: 분리부재
14,24: 제1반사부재 30: 이송부
31: 롤러 40: 제어부
50: 베이스 프레임
본 발명은 LCD패널 검사장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD패널의 결함검사 작업속도를 개선할 수 있는 LCD패널 검사장치에 관한 것이다.
LCD패널(Liquid Crystal Display panel)은 개략적으로 TFT 글라스(Thin Film Transistor glass)기판, 액정층, 칼라필터 글라스(Color Filter)기판, 상부 편광필름 및 하부 편광필름으로 구성되며, 액정은 TFT 글라스기판과 칼라필터 글라스기판 사이에 주입되며, 상/하부 편광필름은 TFT 글라스기판과 칼라필터 글라스기판의 외측면에 각각 조립된다.
편광필름이 TFT 글라스기판과 칼라필터 글라스기판의 외측면에 각각 조립한 후 LCD패널의 조립과정에서 이물이 부착되거나 스크래치(scratch) 등으로 인한 결함이 발생되었는지 여부를 검사하게 되며, 이러한 검사작업을 위한 종래의 LCD패널 검사장치를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 LCD패널 검사장치의 구성도이다. 도시된 바와 같이 종래의 LCD패널 검사장치는 제1 및 제2카메라부(3)는 서로 대칭이 되도록 설치되어 스테레오 광학계를 구성하고, 제1 및 제2카메라부(3,4) 사이에 점조명을 발생하는 점조명부(5)가 설치되며, LCD 패널(1)의 하측에는 면조명부(6)가 설치되어 LCD 패널(1)의 하측으로 면조명을 발생하여 조사하게 된다.
LCD패널(1)의 하측으로 면조명이 조사되고, LCD패널(1)의 상측으로 점조명이 조사되며, 서로 대칭이 되도록 설치되고, 제1 및 제2카메라부(3,4)에서 이송 중 LCD 패널(1)을 각각 촬상하게 된다. 제1 및 제2카메라부(3,4)에서 각각 촬상된 LCD패널(1)의 이미지를 이용하여 발생된 결함(2)의 높이를 산출하기 위해 촬상된 LCD 패널(1)의 이미지에서 액정층(1c)에 설정된 액정층 기준선(a4)과 점조명의 위치를 이용하여 먼저 위치오차를 산출하게 된다.
예를 들어, LCD패널(1)의 상부 편광필름(1a), 칼라필터 글라스기판(1b), TFT 글라스기판(1d) 및 하부 편광필름(1e) 중 적어도 어느 한 곳에서 결함(2)이 발생되는 경우에 LCD패널(1)의 이송 중에 발생될 수 있는 위치오차를 산출하기 위해 제어부(도시 않음)는 제1 및 제2카메라부(3,4)에서 각각 촬상된 LCD패널(1)의 이미지에서 액정층 기준선(a4)과 점조명의 위치를 기준으로 스테레오 매칭 알고리즘(stereo matching algorithm)를 이용하여 위치오차를 산출하게 된다. 위치오차가 산출되면 제어부는 과 산출된 위치오차 정보를 이용하여 LCD패널(1)에서 발생된 결함(2)의 높이를 산출하고 산출된 결함(2)의 높이를 이용하여 LCD패널(1)의 어느 층에서 결함(2)이 발생되었는지 여부를 산출하게 된다.
종래와 같이 LCD패널(1)의 결함(2)을 검사하기 위해 제1 및 제2카메라부(3,4)를 서로 대칭이 되도록 설치하는 경우에 스테레오 광학계의 구성이 복잡하며, 검사작업 시간에 따른 생산성을 개선하고자 스테레오 광학계를 다수개로 구성하는 경우에 LCD패널 검사장치가 커지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 컴팩트(compact) 한 구성을 가지면서 LCD패널의 검사작업의 생산성을 개선할 수 있는 LCD패널 검사장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 LCD패널 검사장치의 구성을 컴팩트하게 구성할 수 있도록 하여 LCD패널 검사장치의 제조원가를 절감할 수 있도록 함에 있다.
본 발명의 LCD패널 검사장치는 베이스 프레임(base frame)의 일측에 설치되는 제1촬상부와, 베이스 프레임의 타측에 제1촬상부와 이격되어 설치되는 제2촬상부와, 베이스 프레임의 하측에 설치되어 제1 및 제2촬상부로 LCD패널을 이송시키는 이송부로 구비되며, 이송부는 LCD패널의 분할 및 선단위치를 각각 제1 및 제2촬상부의 검사영역으로 이송시키고, 제1 및 제2촬상부에서 촬상작업을 개시하면 제1 및 제2촬상부가 LCD패널을 연속적으로 촬상할 수 있도록 LCD패널을 이송시킴을 특징으로 한다.
본 발명의 LCD패널 검사방법은 LCD패널의 선단 및 분할위치를 이송부에 의해 각각 제1 및 제2촬상부의 검사영역으로 이송시키는 단계와, LCD패널의 선단 및 분할위치가 각각 제1 및 제2촬상부의 검사영역으로 이송되면 제1 및 제2촬상부에 의해 LCD패널을 촬상하는 단계와, 제1 및 제2촬상부가 LCD패널의 선단 및 분할위치를 각각 촬상하면 이송부에 의해 LCD패널을 한 스텝(step) 이송시키는 단계와, LCD패널이 한 스텝 이송되면 제1 및 제2촬상부에 의해 LCD패널을 촬상하는 단계와, LCD패널을 한 스텝 이송시켜 LCD패널의 촬상하는 단계가 완료되면 제어부는 LCD패널의 촬상작업이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계와, LCD패널을 분할하여 촬상하는 작업이 완료되면 제어부는 촬상된 다수개의 프레임 이미지에서 위치오차가 발생되면 발생된 위치오차에 따른 위치오차 정보를 산출하는 단계와, 다수개의 프레임 이미지에서 위치오차가 발생되지 않거나 발생된 위치오차에 따른 위치오차 정보가 산출되면 제어부는 산출된 위치오차 정보와 촬상된 다수개의 프레임 이미지에서의 결함의 위치를 이용하여 결함이 발생된 높이를 산출하는 단계로 구비됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
(제1실시예)
도 2는 본 발명의 LCD패널 검사장치의 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 LCD패널 검사장치의 평면도이며, 도 4는 도 2에 도시된 제1 및 제2촬상부의 부분 확대 측면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 제1실시예에 따른 LCD패널 검사장치는 베이스 프레임(50)의 일측에 설치되는 제1촬상부(10)와, 베이스 프레임(50)의 타측에 제1촬상부(10)와 이격되어 설치되는 제2촬상부(20)와, 베이스 프레임(50)의 하측에 설치되어 제1 및 제2촬상부(10,20)로 LCD패널(10)을 이송시키는 이송부(30)로 구비되며, 이송부(30)는 LCD패널(1)의 분할 및 선단위치(1f,1g)를 각각 제1 및 제2촬상부(10,20)의 검사영역으로 이송시키고, 제1 및 제2촬상부(10,20)에서 촬상작업을 개시하면 제1 및 제2촬상부(10,20)가 LCD패널(1)을 연속적으로 촬상할 수 있도록 LCD패널(1)을 이송시킴을 특징으로 한다.
본 발명의 LCD패널 검사장치의 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 LCD패널 검사장치는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 제1촬상부(10), 제2촬상부(20) 및 이송부(30)로 구성되며, 각각의 구성을 순차적으로 설명하면 다음과 같다.
제1촬상부(10)는 베이스 프레임(50)의 일측에 설치되며, 제2촬상부(20)는 베이스 프레임(50)의 타측에 제1촬상부(10)와 이격 설치되어 대화면을 갖는 큰 LCD패널(1)의 검사작업 속도를 향상시키기 위해 LCD패널(1)을 길이방향으로 분할하여 촬상하게 된다. LCD패널(1)을 분할하여 촬상하는 제1 및 제2촬상부(10,20)는 각각 다수개의 카메라(11,21), 조명(12,22), 반사부재(13,23) 및 분리부재(14,24)로 구성된다.
제1 및 제2촬상부(10,20)를 구성하는 다수개의 카메라(11,21)는 각각 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스 프레임(50)의 상측에 경사지게 설치되며, 각각의 동일한 간격(a3)으로 이격되어 설치되며, 경사각도(a1)는 기준선(51)을 기준으로 45도로 경사지도록 설치되어 LCD패널(1)을 촬상하게 된다. 다수개의 카메라(11,12)가 LCD패널(1)에 포함된 결함(2: 도 4에 도시됨)을 촬상할 수 있도록 LCD패널(1)의 저면으로 빛을 조사하는 조명(12,22)은 각각 베이스 프레임(50)의 하측에 설치되며, 조명은 평판형 램프와 같은 면조명이 적용된다. 여기서, 베이스 프레임(50)은 베이스 프레임(50)을 지지하는 하측 베이스 프레임(52)의 상측에 설치된다.
면조명이 적용되는 조명이 LCD패널(1)의 저면으로 조사되어 투과된 상태에서 다수개의 카메라(11,21)에서 각각 하나의 검사영역을 두 번 촬상한 것과 같은 프레임 이미지(100: 도 6에 도시됨)를 얻기 위해 반사부재(13,23)와 분리부재(14,24)는 각각 베이스 프레임(50)의 하측에 설치된다. 즉, 반사부재(13,23)와 분리부재(14,24)를 이용하여 LCD패널(1)을 투과한 빛을 다수개의 카메라(11,21)로 조사시킴으로써 종래의 도 1에서와 같이 제1 및 제2카메라부(3,4)를 서로 대칭이 되도록 설치하여 촬상된 이미지와 같은 프레임 이미지(100)를 얻을 수 있어 스테레오 매칭 알고리즘을 이용하여 LCD패널(1)에서 발생된 결함(2)의 높이를 산출하기 위한 위치오차를 산출할 있게 된다.
스테레오 매칭 알고리즘을 이용하여 결함(2)의 높이를 산출하기 위한 위치오차를 산출하기 위해 LCD패널(1)을 투과한 빛을 반사시키는 반사부재(13,23)는 분리부재(14,24)의 일측에 위치되도록 설치된다. 베이스 프레임(50)의 하측에 각각 설치되며 거울과 같이 반사면을 갖는 반사부재(13,23)의 하측은 도 5에 도시된 바와 같이 LCD패널(1)의 이송에 방해되지 않은 범위에서 LCD패널(1)과 최대한 서로 인접되도록 설치된다. 즉, 도 4 및 도 5에서와 같이 이격간격(a5)은 반사부재(13,23)와 LCD패널(1)이 서로 접하지 않는 범위에서 최대한 인접되도록 반사부재(13,23)를 베이스 프레임(50)의 하측에 설치된다.
반면에 분리부재(14,24)의 하측은 LCD패널(1)에서 투과되는 빛이 직접 다수개의 카메라(11,21)로 조사되거나 반사부재(13,23)에 의해 반사되는 빛이 다수개의 카메라(11,21)로 조사되도록 LCD패널(1)과 이격되어 설치되며, 상측은 적어도 반사부재(13,23) 보다 낮도록 형성되어, 반사부재(13,23)에서 반사되는 빛이 다수개의 카메라(11,21)로 조사되도록 한다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이 조명(12,22)에서 조사된 빛이 LCD패널(1)을 투 과하면 투과된 빛이 분리부재(14,24)에 의해 분리되어 직접 다수개의 카메라(11,21)로 조사되며, LCD패널(1)에서 투과된 빛이 분리부재(14,24)에 의해 분리된 후 반사부재(13,23)에서 반사되어 다수개의 카메라(11,21)로 조사시킨다.
LCD패널(1)을 투과한 빛을 분리부재(14,24)와 반사부재(13,23)를 이용하여 분리하여 다수개의 카메라(11,21)로 조사시킴으로써 다수개의 카메라(11,21)는 LCD패널(1)의 하나의 검사영역을 두 번 촬상한 것과 같이 도 6에 도시된 프레임 이미지(110)를 촬상할 수 있게 된다. 이와 같이 LCD패널(1)의 동일한 검사영역을 다수개의 카메라(11,21)가 각각 한 번 촬상으로 두 번 촬상한 것과 같이 하나의 검사영역을 분리하여 촬상하기 위해 다수개의 카메라(11,21)의 경사각도(a1)는 기준선(52)을 기준으로 45도로 경사지게 설치되며, 반사부재(13,23)의 경사각도(a2)는 기준선(51)을 기준으로 직각이 되도록 설치된다.
LCD패널(1)의 검사영역을 두 번 촬상한 것과 같이 한 번에 촬상함과 아울러 검사작업의 개선을 위해 LCD패널(1)을 동일한 영역으로 분할한 후 각각의 분할된 영역을 동시에 검사할 수 있도록 하기 위해 LCD패널(1)을 화살표(b) 방향으로 이송시키는 이송부(30)는 베이스 프레임(50)의 하측에 설치되며, 벨트(도시 않음)로 연결되는 다수개의 롤러(roller)(31)로 구성된다. 즉, 다수개의 롤러(31)로 구성되는 이송부(30)는 LCD패널(1)의 검사작업 속도를 개선하기 위해 LCD패널(1)의 선단위치(1f)를 제2촬상부(20)의 검사영역으로 이송함과 아울러 LCD패널(1)의 분할위치(1g)를 제1촬상부(10)의 검사영역을 이송하게 된다.
다수개의 롤러(31)로 구성된 이송부(30)에 의해 LCD패널(1)을 분할 이송하여 LCD패널(1)에 위치한 결함(2)을 검사하는 작업속도를 개선하기 위해 제1 및 제2촬상부(10,20)가 구비되는 본 발명의 LCD패널 검사장치를 이용한 LCD패널 검사방법을 첨부된 도 8을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명은 대화면을 갖는 LCD패널(1)과 같이 길이가 큰 LCD패널(1)의 검사작업의 속도를 개선하기 위해 도 3에서와 같이 LCD패널(1)의 표면적을 적어도 두 개 이상의 동일한 영역으로 분할하여 분할위치(1g)를 설정한다.
LCD패널(1)이 분할위치(1g)로 분할되어 설정되면, LCD패널(1)의 선단 및 분할위치(1f,1g)를 이송부(30)에 의해 각각 제1 및 제2촬상부(10,20)의 검사영역으로 이송시키는 단계(S10)를 실시한다. 여기서, 검사영역은 별도로 표시하지 않았지만 제1 및 제2촬상부(10,20)에서 각각 조명(12,22)에서 발생된 빛이 LCD패널(1)의 저면으로 조사되는 영역을 의미한다.
LCD패널(1)의 선단 및 분할위치(1f,1g)가 각각 제1 및 제2촬상부(10,20)의 검사영역으로 이송되면 제1 및 제2촬상부(10,20)에 의해 LCD패널(1)을 촬상하는 단계(S20)를 실시한다. 제1 및 제2촬상부(10,20)에 의해 LCD패널(1)을 촬상하기 위해 제1 및 제2촬상부(10,20)에 각각 구비되는 조명(12,22)에서 빛이 발생되어 LCD패널(1)의 하측으로 조사된 상태에서 촬상하게 된다.
제1 및 제2촬상부(10,20)가 각각 LCD패널(1)의 선단 및 분할위치(1f,1g)를 각각 촬상하면 이송부(30)에 의해 LCD패널(1)을 한 스텝(step) 이송시키는 단계(S30)를 실시한다. 즉, 이송부(30)는 LCD패널(1)의 선단 및 분할위치(1f,1g)의 검사영역의 촬상이 완료되면 LCD패널(1)의 선단 및 분할위치(1f,1g)와 인접된 다음 검사영역을 제1 및 제2촬상부(10,20)가 각각 촬상할 수 있도록 LCD패널(1)을 한 스텝 이송시킨다.
LCD패널(1)이 한 스텝 이송되면 제1 및 제2촬상부(10,20)에 의해 LCD패널(1)을 촬상하는 단계(S40)를 실시한다. LCD패널(1)을 한 스텝 이송시켜 LCD패널(1)의 촬상하는 단계(S40)가 완료되면 제어부(40: 도 4에 도시됨)는 LCD패널(1)의 촬상작업이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계(S50)를 실시한다. 확인 결과, LCD패널(1)의 촬상작업이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계(S50)에서 LCD패널(1)의 촬상작업이 완료되지 않으면 LCD패널(1)을 한 스텝 이송시키는 단계(S40)로 리턴(return)한다. 반대로, LCD패널(1)을 분할하여 촬상하는 작업이 완료되면 제어부(40)는 촬상된 다수개의 프레임 이미지(100)에서 위치오차가 발생되면 위치오차에 따른 위치오차 정보를 산출하는 단계(S60)를 실시한다.
위치오차는 LCD패널(1)이 이송부(30)에 의해 이송 중에 튀거나 하여 LCD패널(1)의 액정층(1c)을 기준으로 설정된 액정층 기준선(a4)의 위치를 이용하여 위치오차 정보를 제어부(40)에서 산출한다. 예를 들어, 제어부(40)는 이송부(30)에 의해 한 스텝씩 이송되면서 촬상된 다수개의 프레임 이미지(100)에서 이송 중에 LCD패널(1)이 튀거나 하여 비정상적으로 이송된 검사영역이 발생되어 위치오차가 발생되면 도 6에 도시된 액정층 기준선(a4)의 위치를 이용하여 위치오차 정보를 산출하게 된다. 위치오차 정보는 정상적으로 LCD패널(1)이 이송하였을 경우에 제1 및 제2촬상부(10,20)에서 촬상된 프레임 이미지(100)에 위치한 액정층 기준선(a4)의 위치와 비정상적인 경우의 액정층 기준선(a4)의 위치를 가감하여 산출하게 된다.
다수개의 프레임 이미지(100)에서 위치오차가 발생되지 않거나 발생된 위치오차에 따른 위치오차 정보가 산출되면 제어부(40)는 산출된 위치오차 정보와 촬상된 다수개의 프레임 이미지(100)에서의 결함(2)의 위치를 이용하여 결함(2)이 발생된 높이를 산출하는 단계(S70)를 실시한다.
결함(2)이 발생된 높이를 산출하기 위해 제어부(40)는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 및 제2촬상부(10,20)의 다수개의 카메라(11,21)가 분리부재(14,24)에 의해 LCD패널(1)의 동일한 검사영역을 한 번 촬상으로 두 번 촬상한 것과 같이 발생된 프레임 이미지(100)를 이용하게 된다. 여기서, 도 6의 (가) 내지 (라)에 도시된 프레임 이미지(100)는 LCD패널(1)의 동일한 검사영역에서 촬상된 프레임 이미지(100)를 나타낸다.
예를 들어, 결함(2)이 도 4에서와 같이 LCD패널(1)을 구성하는 상부 편광필름(1a), 칼라필터 글라스기판(1b), TFT 글라스기판(1d) 및 하부 편광필름(1e)에서 각각 동일한 위치에 발생되면, 이 발생된 결함(2)을 제1 및 제2촬상부(10,20)에서 촬상하는 경우에 도 6의 (가) 내지 (라)와 같은 프레임 이미지(100)로 촬상된다. 도 6의 (가) 내지 (라)에 각각 도시된 프레임 이미지(100)는 각각 제1프레임 이미지 영역(110), 제2프레임 이미지 영역(120) 및 분할영역(130)으로 구성된다. 여기서, 분할영역(130)은 분리부재(14,24)에 의해 형성되며, 제1프레임 이미지 영역(110)은 LCD패널(1)을 투과한 빛이 분리부재(14,24)에 의해 분리된 후 직접 다수개의 카메라(11,21)로 조사된 이미지라면 제2프레임 이미지 영역(120)은 빛이 반사부재(13,23)에 반사되어 다수개의 카메라(11,21)로 조사되어 다수개의 카메라(11,21) 에서 결상된 이미지를 나타낸다.
상기와 같이 구성된 프레임 이미지(100)가 다수개의 카메라(11,21)에서 촬상되면 제어부(40)는 도 4 및 도 5에 도시된 액정층 기준선(a4)을 기준으로 하여 스테레오 매칭 알고리즘을 이용하여 위치오차가 산출되면 산출된 위치오차 정보를 이용하여 발생된 LCD패널(1)에 발생된 결함(2)의 높이를 산출하게 된다.
결함(2)의 높이가 산출되면 제어부(40)는 높이 정보를 이용하여 LCD패널(1)을 구성하는 상부 편광필름(1a), 칼라필터 글라스기판(1b), TFT 글라스기판(1d) 및 하부 편광필름(1e) 중 어느 곳에서 결함(2)이 발생되었는지 판단하여 LCD패널(1)의 결함(2)의 발생여부를 용이하게 검사할 수 있게 된다. 이를 위해 제어부(40)는 상부 편광필름(1a), 칼라필터 글라스기판(1b), TFT 글라스기판(1d) 및 하부 편광필름(1e)으로 구성되는 LCD패널(1)의 높이 정보를 미리 저장하고 있으며, 여기서 제어부(40)는 LCD패널 검사장치를 전반적으로 제어하게 된다.
(제2실시예)
이러한 본 발명의 LCD패널 검사장치의 제2실시예를 첨부된 도 7을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 7에 도시된 LCD패널 검사장치는 도 2 내지 도 5에 도시된 LCD패널 검사장치와 구성 및 작용은 동일하며, 다만 제1 및 제2촬상부(10,20)의 다수개의 카메라(11,21)의 경사각(a1)은 기준선(52)을 기준으로 45 내지 70 도 범위 내로 경사지도록 설치된다. 다수개의 카메라(11,21)를 예각으로 경사지도록 설치됨으로써 조명(12,22)으로부터 조사되어 LCD패널(1)을 투과한 빛이 분리부재(14,24)를 기준으로 분리하여 다수개의 카메라(11,21)로 반사시키기 위해 반사부재(13,23)의 경사각도(a2)는 기준선(51)을 기준으로 90 내지 160도 범위 내로 경사지게 설치된다. 즉, 반사부재(13,23)를 90 내지 160도 범위에서 100도 경사지게 설치되는 경우에 다수개의 카메라(11,21)는 각각 반사부재(13,23)에서 반사되는 빛을 조사받기 위해 반사부재(13,23)의 경사각도(a2)에 대응되도록 경사각도(a1)이 설정되어 설치된다.
이상에 설명한 바와 같이 본 발명의 LCD패널 검사장치는 제1 및 제2촬상부에서 각각 다수개의 카메라를 대칭적으로 설치하지 않음으로써 광학계의 구성을 컴팩트하게 구성할 수 있으며, 본 발명의 LCD패널 검사방법은 제1 및 제2촬상부를 이용하여 LCD패널을 분할하여 검사함으로써 검사작업의 생산성을 개선할 수 있는 이점을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 LCD패널 검사장치의 구성을 컴팩트하게 구성할 수 있음으로써 LCD패널 검사장치의 제조원가를 절감할 수 있는 이점을 제공한다.

Claims (9)

  1. 베이스 프레임의 일측에 설치되는 제1촬상부와,
    상기 베이스 프레임의 타측에 상기 제1촬상부와 이격되어 설치되는 제2촬상부와,
    상기 베이스 프레임의 하측에 설치되어 상기 제1 및 제2촬상부로 LCD패널을 이송시키는 이송부로 구비되며,
    상기 제1 및 제2촬상부는 각각 상기 베이스 프레임의 상측에 경사지게 설치되는 다수개의 카메라와, 상기 베이스 프레임의 하측에 설치되어 이송되는 상기 LCD패널의 저면으로 빛을 발생하여 조사하는 조명과, 상기 다수개의 카메라가 상기 LCD패널을 촬상시 LCD패널을 투과하는 빛을 반사되도록 베이스 프레임의 하측에 설치되는 반사부재와, 상기 LCD패널을 투과한 빛이 상기 반사부재에 의해 반사되어 상기 다수개의 카메라로 조사시킴과 아울러 LCD패널에서 투과되는 빛이 직접 다수개의 카메라로 조사시키기 위해 상기 반사부재의 일측에 위치되도록 상기 베이스 프레임의 하측에 설치되는 분리부재로 이루어지며,
    상기 이송부는 상기 LCD패널의 분할 및 선단위치를 각각 상기 제1 및 제2촬상부의 검사영역으로 이송시키고, 제1 및 제2촬상부에서 촬상작업을 개시하면 제1 및 제2촬상부가 LCD패널을 연속적으로 촬상할 수 있도록 LCD패널을 이송시킴을 특징으로 하는 LCD패널 검사장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 다수개의 카메라는 기준선을 기준으로 45도로 경사지도록 설치됨을 특징으로 하는 LCD패널 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 다수개의 카메라는 기준선을 기준으로 45 내지 70도 범위 내로 경사지도록 설치됨을 특징으로 하는 LCD패널 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 반사부재는 기준선과 직각이 이루어지도록 설치됨을 특징으로 하는 LCD패널 검사장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 반사부재는 기준선을 기준으로 90 내지 160도 범위 내로 경사지게 설치됨을 특징으로 하는 LCD패널 검사장치.
  7. LCD패널의 선단 및 분할위치를 이송부에 의해 각각 제1 및 제2촬상부의 검사영역으로 이송시키는 단계와,
    상기 LCD패널의 선단 및 분할위치가 각각 제1 및 제2촬상부의 검사영역으로 이송되면 제1 및 제2촬상부에 의해 LCD패널을 촬상하는 단계와,
    상기 제1 및 제2촬상부가 LCD패널의 선단 및 분할위치를 각각 촬상하면 이송 부에 의해 상기 LCD패널을 한 스텝 이송시키는 단계와,
    상기 LCD패널이 한 스텝 이송되면 제1 및 제2촬상부에 의해 LCD패널을 촬상하는 단계와,
    상기 LCD패널을 한 스텝 이송시켜 LCD패널의 촬상하는 단계가 완료되면 제어부는 LCD패널의 촬상작업이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계와,
    LCD패널을 분할하여 촬상하는 작업이 완료되면 제어부는 촬상된 다수개의 프레임 이미지에서 위치오차가 발생되면 발생된 위치오차에 따른 위치오차 정보를 산출하는 단계와,
    상기 다수개의 프레임 이미지에서 위치오차가 발생되지 않거나 발생된 위치오차에 따른 위치오차 정보가 산출되면 제어부는 산출된 위치오차 정보와 촬상된 다수개의 프레임 이미지에서의 결함의 위치를 이용하여 결함이 발생된 높이를 산출하는 단계로 구비됨을 특징으로 하는 LCD패널 검사방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 LCD패널의 상기 분할위치는 LCD패널의 표면적을 적어도 두 개 이상의 동일한 영역으로 분할하는 위치에 설정됨을 특징으로 하는 LCD패널 검사방법.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 LCD패널의 촬상작업이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계에서 LCD패널의 촬상작업이 완료되지 않으면 상기 LCD패널을 한 스텝 이송시키는 단계로 리턴함을 특징으로 하는 LCD패널 검사방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100994305B1 (ko) 2009-11-10 2010-11-12 엘지디스플레이 주식회사 표시장치용 검사장치 및 그의 검사방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0727714A (ja) * 1993-07-13 1995-01-31 Sharp Corp 平面型表示パネル検査装置
JPH08145901A (ja) * 1994-11-21 1996-06-07 Hitachi Electron Eng Co Ltd 透明金属薄膜基板の異物検査装置
KR19990085257A (ko) * 1998-05-15 1999-12-06 서두칠 음극선관용 패널의 광반사식 자동검사장치 및 자동검사방법
KR20040063131A (ko) * 2001-11-05 2004-07-12 올림푸스 가부시키가이샤 기판 검사 장치
KR20050025287A (ko) * 2003-09-05 2005-03-14 파비테 잉크 경사진 시야각으로 플랫 패널을 광검사하는 방법 및 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0727714A (ja) * 1993-07-13 1995-01-31 Sharp Corp 平面型表示パネル検査装置
JPH08145901A (ja) * 1994-11-21 1996-06-07 Hitachi Electron Eng Co Ltd 透明金属薄膜基板の異物検査装置
KR19990085257A (ko) * 1998-05-15 1999-12-06 서두칠 음극선관용 패널의 광반사식 자동검사장치 및 자동검사방법
KR20040063131A (ko) * 2001-11-05 2004-07-12 올림푸스 가부시키가이샤 기판 검사 장치
KR20050025287A (ko) * 2003-09-05 2005-03-14 파비테 잉크 경사진 시야각으로 플랫 패널을 광검사하는 방법 및 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100994305B1 (ko) 2009-11-10 2010-11-12 엘지디스플레이 주식회사 표시장치용 검사장치 및 그의 검사방법

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