TWI442016B - A light source for illumination and a pattern inspection device using it - Google Patents

Description

照明用光源及使用它的圖案檢查裝置

本發明是關於一種為了進行對象物的表面狀態的檢查，對於該表面從斜向照射照明光的照明用光源，及在形成於基板的圖案照射照明光，取得被照明的圖案畫像而自動地進行檢查的圖案檢查裝置。

眾知在被形成於光透射性的基板上的圖案照射照明光而依據所攝影的畫像來判定圖案的良否的圖案檢查裝置。

在此種圖案檢查裝置，從形成有基板的圖案的一邊藉由反射照明手段，對於檢查領域斜向地入射方式進行照明，而藉由攝影手段，來攝影基板的圖案，由被攝影的畫像的亮度分佈圖案，就可檢測出有沒有凹部或缺口。若在圖案上有凹部，則有產生斷線的情形之故，因而必須檢測作為不良品。

如上述的照明手段，對於檢查對象作為從全方向斜向地照射照明光所用的照明手段，常使用著環形照明手段。作為使用環狀照明手段的檢查裝置，例如有專利文獻1。

依照上述公報，如第14(a)圖所示地，習知的環形照明，在薄圓筒環狀的本體容器102中同心圓上地排列多數LED103者。

又，如同圖(a)的a箭視圖的同圖(b)，及b箭視圖的同圖(c)所示地，各LED103是以有角度地配置於圓的中心O方向，而對於欲進行檢查的工件，成為從斜向可照射照明光。

專利文獻1：日本特開2002-328094號公報

在上述圖案檢查裝置的的反射照明光，是在進行工件的檢查的領域的任意點上，從全方向(360°方向)入射有同一入射角度的光，而從各方向所入射的光強度是必須相同。

又，在檢查領域的任一點，其條件(從全方向入射有同的入射角度之光，而從各方向所入射的光強度必須相同)都必須相同。以下說明其理由。

(1)在上述的圖案檢查裝置，若在圖案上存在著凹部，則被攝影作為亮(亮度高)部分。若明亮(亮度)大則凹部的大小是大，而若明亮(亮度)小，則凹都是小。

若為小凹部，也有不作為不良的情形，這時候，藉由凹部的明亮(亮度)的大小來判定良否。

(2)在檢查領域的某一點，若入射於該點的照明光的強度藉由方向不相同，則即使凹部(缺口)的大小相同，利用缺口所產生的方向，明亮(亮度)也會變更。

例如，如第15圖所示地，若照明光從右邊以強度強，而從左邊以強度弱被照射。位於圖案P右邊的凹部，是反射強度強的照明光之故，因而變亮，相反地，位於圖案P左邊的凹部，反射強度弱的照明光之故，因而變暗。

亦即，缺口(凹部)的大小相同，明亮(亮度)也變不相同，而無法實施正確的檢查(良否判定)。因此，照明光是在檢查領域的任意點，必須從全方向(360°方向)以相同強度進行照明。

又，在圖案的表面有產生突起的情形。突起是產生斷線的可能性低之故，因而不必檢測出作為不良。為了區別產生在圖案表面的凹部與突起而加以檢測出，照明反射照明光，惟藉由角度，來區別凹部與突起會很難加以檢測出。為了將圖案表面的凹部與突起予以區別而加以檢測出，必須以最適當的角度範圍來照射照明光，與上述同樣地，不能有藉由產生缺口的方向而無法區別凹部與突起。因此，位在檢查領域的點，必須從全方向(360°方向)入射有同一入射度的光。

又，在檢查領域全體，若來自各方向的照明光的強度或入射角度有參差不齊，則在相同大小的凹都也藉由部位而明亮(亮度)的大小也會變更，或無法作出與突起的區別之故，因而無法做正確的檢查(良否判定)。因此，在檢查領域的任一部位(點)，都怭須從全方向(360°方向)入射同一的入射角度的光，而從各方向所入射的光強度也都必須相同。

在上述圖案檢查裝置，朝與線感測器延伸的方向正交的方向掃描CCD線感測器的攝影手段，進行攝影檢查領域全體。

第16圖是表示CCD線感測器(未圖示)同時地攝影的細長領域的俯視圖。攝影領域的大小是例如長18mm，寬度是2μm。

在同圖模式地表示，惟如上述所說明地，例如在攝影領域的中心部A，又在左端部B或右端部C，所入射的照明光，都從全方向(360°方向)以同一入射角度而從各方向所入射的光強度是必須相同。

但是，在第14圖所表示的習知的環形照明，各LED103是具有角度配置於圓的中心O方向。所以，如第17圖所示地，來自各LED的光並不是平光而照明光是朝向攝影領域的中心部A。

因此，檢查領域具有如第16圖的大小時，在中心部A，從全方向照射均勻的強度與角度的光，惟此以外之點，例如在兩端部B或C，所入射的光強度藉由方向不相同。

回到第17圖，在攝影領域的B，C，沒有例如從對於CCD線感測器所延伸的方向正交的方向所入射的照明光(a)，(b)(圖中以虛線表示)。所以，在B，C的位置，即使有缺口朝(a)或(b)的方向的凹部，也沒有從該方向入射照明光之故，因而無法檢測出凹部。

亦即，在上述圖案檢查裝置中，作為反射照明手段，無法仍然使用習知的環形照明。

本發明是鑑於上述事情而發明者，本發明的目的是在於提供一種在攝影的領域的任意點，從全方向(360°方向)入射有同一入射角度的光，從各方向所入射的光強度是相同，且在攝影領域的任一點，可得其條件都相同的反射照明手段，而且可進行使用該反射照明手段的凹部的正確檢查(良否判定)的圖案檢查裝置。

發明人等，專心檢討的結果，發現了在攝影的領域的任意點，從全方向(360°方向)入射有同一入射角度的光，從各方向所入射的光強度是相同，且在檢查領域的任一點，為了其條件(從全方向入射同一的入射角度的光，而從各方向所入射的光強度相同)都相同，對於所攝影的領域的縱橫大小，將與其相同或比其還要大且射出平行的光的面光源作為一個單位，而將被面光源複數環狀地圍繞攝影領域的方式配置在攝影領域上部的同一平面上就可以。使用第1圖來說明解決手段的原理。

第1(a)圖是表示從上方觀看線狀攝影領域R的俯視圖，準備與攝影領域R相同長度與寬度的6個線狀光源a，b，c，d，e，f，表示配置成在攝影領域R上方的同一平面上圍繞攝影領域R的狀態者。又，第1(b)圖是表示從側面觀看第1(a)圖的側視圖。

如第1圖所示地，從線狀的光源a～f以平行狀態射出照明光，而以所定入射角度入射於攝影領域R的各點BAC。亦即，從各光源的中央部A’所射出的光是入射於攝影領域R的中央部A。又從各光源的左端部B’所射出的光是入射於攝影領域R的左端部B，又從各光源的右端部C’所射出的光是入射於攝影領域R的右端部C。

如第1圖所示地，照明光的光路的A-A’及B-B’及C-C’是互相地平行，而各個長度從(光源至攝影領域為止的距離)也相等之故，因而在攝影領域R的A，B，C的各點，從各方向(第1圖的情形為6方向)入射有同一入射角度光，而從各方向所入射的光強度是相同。又，在攝影領域R的任一點，也從全方向入射同一入射角度的光而從各方向所入射的光強度是相同。

在第1圖中，為了不會把圖式成為煩雜，將配置於攝影領域R的周圍的光源數作成6個，惟其數量是愈多，從全方向入射有均勻的強度與角度的照明光。

第2圖是表示攝影領域為矩形狀的情形的例子。

第2(a)，(b)圖是與第1(a)圖同樣，從上方觀看長方形狀的攝影領域R觀看的俯視圖，準備與攝影領域R相同大小的8個長方形狀的面光源電弧，表示配置成在攝影領域R上方的同一平面上圍繞攝影領域R的狀態者。又，第3圖是表示從側面觀看第2(a)圖的側視圖。

由面光源a～h的A’，B’，C’，D’，照明光以平行的狀態射出，而以所定的入射角度入射在攝影領域R的ABCD各點。例如，如第2(a)圖所示地，在攝影領域R的圖中左下D，入射有來自各面光源的左下D’的光(圖中以虛線所表示)。又，如第2(b)圖所示地，在攝影領域R的右上B，入射有來自各面光源的右上B’的光(圖中以一點虛線所表示)。

同樣地，在攝影領域R的右下C，入射有來自面光源的右下C’的照明光，在攝影領域R的左上A，入射有來自面光源的左上A’的照明光。

第3圖是分別表示由面光源a與d的D’在攝影領域R的D入射有照射光，而由C’在攝影領域R的C入射有照明光的狀態。

照明光的光路的A-A’及B-B’及C-C’是互相地平行，而各個長度從(光源至攝影領域為止的距離)也相等之故，因而在攝影領域R的A，B，C的各點，從各方向(第2圖的情形為8方向)入射有同一入射角度光，而從各方向所入射的光強度是相同。又，在攝影領域R的任一點，也從全方向入射同一入射角度的光而從各方向所入射的光強度是相同。

配置於攝影領域R的周圍的面光源數，是愈多，成為從全方向入射有均勻的強度與角度的照明光。但是，如下述地，若增加面光源的數則其分量使得照明手段的直徑(大小)變大，而裝置會大型化。

依照以上，在本發明中，如下地解決上述課題。

(1)一種照明用光源，其特徵為：照射平行於被照射領域的光的面光源為環狀地配置複數於同一平面上，各面光源的大小，是來自被照射於被照明領域面上的各面光源的光的照射領域，為包含被照明領域全體的大小。

(2)在上述(1)中，上述複數面光源，是將複數LED排列複數於同一平面上者所構成。又，各面光源內的LED，是來自各面光源的平行的光，被照明於被照明領域的方式，朝向各面光源所配置的環狀內側傾斜地排列。

(3)在上述(1)中，上述複數的面光源，是將從複數LED所射出的光射出作為平行的光的稜鏡板環狀地配置複數於複數LED的光射出側者所構成，構成各面光源的稜鏡板，是來自各稜鏡板的平行光被照明在被照明領域的方式，朝配置各面光源所的環狀內側折射從各LED所射出的光者。

(4)一種圖案檢查裝置，是具備：對於形成有圖案的工件從斜向照射反射照明光的暗視野照明手段；及攝影藉由上述暗視野照明手段所照明的上述圖案的攝影手段；及保持工件的工件保持手段；及依據藉由上述攝影手段所攝影的圖像來判定圖案的良否的控制部，其特徵為：作為上述暗視野照明手段，使用上述(1)～(3)的照明用光源。

在本發明中，可得到以下的效果。

(1)在攝影的領域的任意點，從全方向(360°方向)入射有同一入射有同一入射角度的光，從各方向所入射的光強度是相同，且在檢查領域的任一點，其條件都成為相同，亦即，從全方向入射同一的入射角度的光，而從各方向所入射的光強度相同的方式就可照明。

所以，所攝影的領域內的明亮(亮度)不會藉由部位有所改變，而在檢查領域的任一點，都以同一條件可進行攝影。

(2)藉由將本發明的照明光源使用作為圖案檢查裝置的暗視野照明手段，在進行檢查的全領域，由攝影的畫像，來區別凹部與突起，而藉由凹部的明亮(亮度)的不相同就可判定良否。

以下，針對於本發明的實施形態的照明手段的光源部的具體性構成例加以說明。第4圖是表示構成本發明的第1實施例的照明手段的面光源的構成的圖式，傾斜地排列使得複數LED的方向成為平行，而照明光以平行狀態射出，表示以所定的入射角度入射於攝影領域的面光源的實施例。

第4(a)是從下方(攝影領域側)觀看照明用的面光源的俯視圖，第4(b)圖是表示從A方向觀看第4(a)圖的光源的側視圖，第4(c)圖是表示從B方向觀看第4(a)圖的光源的前視圖。又，這些圖式，是用以容易說明的模式圖，實際的LED是縮短間隔排列多數。

如同圖所示地，在本實施例中，來自各LED2的照明光的主光線以平行狀態射出，而以所定的入射角度θ入射於攝影領域R的方式構成面光源1。又，在LED2與攝影領域R之間，設置擴散板4成為表示於同圖的虛線也可以。

如第4(a)圖所示地，從各LED2射出多數LED2的光中，最強的光成分(主光線)互相地平行的方式排列於LED支撐構件3上。又，在攝影領域R，必須有平行光從該面光源1入射之故，因而排列LED2的領域大小，是作成比攝影領域R的大小還要大。

將如此構成的面光源1，圍繞攝影領域的方式環狀地配置複數於塊狀地攝影領域上的平面內。所以，支撐構件3是形成扇形較方便。

如第4(b)圖所示地，LED2是照明光對於攝影領域R的入射角度成為所期望的角度θ的方式，傾斜配置朝著攝影領域R。

從LED2所射出的光是指向性高之故，因而來自各LED2的光，是以大約平行的狀態入射於攝影領域R。

將如此所構成的面光源1，圍繞攝影領域R的方式環狀地配狀地配置複數攝影領域R上的同一平面內。

第5圖及第6圖是模式地表示將第4圖的面光源均等地配置8個，45°的狀態的圖式。第5(a)圖與第6圖是俯視圖，而第5(b)圖是側視圖。又，在LED2與攝影領域R之間，與第4圖同樣，如同圖的虛線所示地設置擴散板4也可以。

第5圖是表示對於線狀的攝影領域R，從8個各面光源a~h照射著照射光的狀態。在第1圖~第3圖中，將攝影領域R與面光源1的大小說明作為相同者，惟在本圖中，面光源1的面積比攝影領域R的面積還要大。

實際上，很難將攝影領域R的大小與面光源1的大小作成一致，為了以均勻照度入射平行於攝影領域R全體，將面光源1的面積作成比攝影領域的面積稍大較有利。

在第5圖中，從8個面光源有照明光以平行的狀態射出，以所定的角度θ入射於攝影領域R的全體。因此，在攝影領域R的BAC上的任意點中，從全方向(360°方向)有相同角度的照明光以相同照射強度入射，而在攝影領域任一點，其條件[從全方向(360°方向)有相同角度的照明光以相同照射照度入射的情形]也成為相同。

第6圖是表示對於矩形狀攝影領域R，從8個各面光源a～h照射著照明光的狀態。與第5圖的情形同樣地，從8個面光源，有照明光以平行狀態射出，而以所定角度θ入射於攝影領域R的全體。

因此，在以攝影領域R的ABCD所圍繞的領域的任意點中，從全方向(360°方向)有相同角度的照明光以相同照射強度入射，而在攝影領域R的任一點，其條件也成為相同。亦即，從全方向(360°方向)有相同角度的照明光以相同照射強度入射。

以下，針對於本發明的第2實施例的照明手段加以說明。

在本實施例中，組合LED與稜鏡板加以使用。

與第1實施例同樣地，將多數LED環狀排列在平面的支撐構件上，配置於攝影領域上。但是，LED是未給予角度，分別配置成為朝正下方。因此，從各LED所射出的光中，最強的光成分(主光線)是成為互相地平行。

第7(a)圖是表示從下方觀看如此地所配置的光源的俯視圖，第7(b)圖是第7圖的A-A側斷面圖。又，同圖是表示容易加以說明所用的模式圖，實際上，LED是縮短間隔排列多數。

如第7(b)圖所示地在本實施例中，LED2是對於支撐構件3，被安裝成從LED2所射出的光的主光線，對於包含有攝影領域的平面成為正交。

在該光源的光射出側，將稜鏡板予以分割而被安裝。如下述地，分割的稜鏡板是比攝影領域還要大，作成將光射出部分割成均等角度的形狀。

稜鏡板，是在透明的板的一邊，長軸方向成為平行地排列多數斷面呈三角形的稜鏡者，所謂山與谷直線狀地連續所形成者。稜鏡板是例如在液面顯示畫面，為了將液晶面板的明亮作成均勻，設於背面光與液晶面板之間。

如第8圖所示地，將此種稜鏡板切出成欲形成的面光源的大小，並將此準備複數，如第8圖所示地，稜鏡板，是被形成於稜鏡板5的稜鏡的長軸方向，與扇形面光源的中心軸r-r大約正交的方向被切出。

亦即，將稜鏡板安裝於上述光源時，從稜鏡板所射出的平行光以大約相等的入射角度入射於攝影領域R的方式被切出。

又，如第9圖所示地，安裝於表示於第7圖的光源的光射出側。在第9圖中，安裝有8枚稜鏡板5，照明手段是成為與第1實施例同樣的以45°均等配置8個面光源的狀態。

第10圖是擴大表示安裝有光源的1枚稜鏡板的部分的圖式。第10(a)圖是從下方觀看照明光源的俯視圖，第10(b)圖是從A方向觀看第10(a)圖的光源的側視圖，第10(c)圖是從B方向觀看第10(a)圖的光源的前視圖。

如第10(b)，(c)圖所示地，稜鏡板5是經由支柱6安裝於LED支撐構件3。又，如同圖的虛線所示地在稜鏡板5與LED2之間設置擴散板4也可以。

如第10(b)圖所示地，從各LED2所出的主光線呈平行的照明光，是入射於稜鏡板5的稜鏡斜面而折射，被保持平行的狀態下朝2方向分岐。所分岐的一方的光成分以入射角度θ照明著攝影領域R。所分岐的另一方的光成分是未被使用。稜鏡板5的稜鏡角度是設計成入射角度θ成為所期望的數值。

第11圖是表示在第10圖所使用的稜鏡板的變形例。第10圖的情形，入射於稜鏡板5的光是被分成2方向之故，因而從LED2所射出的光中，一半未被使用。所以光的利用效率較差。

為了解決此問題，將稜鏡板5的斷面形狀成為直角三角形。藉由此，入射於稜鏡的光是僅朝一方向折射，而可利用從LED2所射出的所有光。

在第12圖表示觀察使用表示於第10圖的第2實施例的照明手段產生於圖案上的凹部的實驗結果。又，在本實驗例中，如第12(c)圖所示地，使用稜鏡板5所分割的照明光源的數是12個，亦即，以30°均等配置12個面光源的狀態。

第12(a)圖是表示將產生於某一圖案的凹部(觀察物)，攝影手段(CCD線感測器)的視野左邊(相當於攝影領域R的B的位置)，視野的中央(相當於攝影領域R的A的位置)，視野的右邊(相當於攝影領域R的C的位置)的各個位置旋轉360°時，攝影手段顯像的凹部的亮度變化的圖表。在同圖中，縱軸是亮度(相對值)，橫軸是凹部(觀察物)的旋轉角度。

在攝影領域R的任意點，從全方向(360°方向)入射有同一入射角度的光，若從各方向所入射的光強度是相同，即使使之旋轉，在凹部的亮度應不會有變化。

藉由表示於第14圖的習知例的照明手段進行照明的情形，若在視野中央(A)旋轉凹部，亮度變化是大約±8%。對此，在本發明中，如第12(a)圖所示地，即使旋轉凹部，在視野右邊(B)，視野中央(A)，視野右邊(C)的任一部位，亮度變化也少。亮度的變化是在任一位置，都在大約±3%，而與習知例相比較可減低至一半以下。

第12(b)圖是表示將產生在某一圖案的凹部(觀察物)，變更在攝影手段的視野左邊(B)，視野中央(A)，視野右邊(C)時的亮度變化的圖表。在同圖中，縱軸是表示亮度(相對值，而橫軸是表示攝影手段的位置。從所標繪的點的左邊為視野左邊(B)，視野中央(A)，視野右邊(C)。亦即，在視野(B)，視野中央(A)，視野右邊(C)觀察相同凹部時的亮度不相同。

檢查領域全體以相同條件進行照明，即使變更放置凹部(觀察物)的位置(在檢查手段的視野的任一位置)，因所觀看者為相同凹部，因此其亮度應不會改變。

又，同圖中以一點鏈線所表示的「()」的圖表，是藉由表示於第14圖的習知例的照明手段進行照明的情形的實驗結果。

如第12(b)圖所示地，習知例的情形，當移動凹部的位置，則亮度有很大變大。尤其是，在視野中央(A)，亮度會上昇，而如在視野左邊(B)，視野右邊(C)地成為視野(攝影領域)的端，亮度會降低。亮度的變化是大約±8%。

對此，在本發明中，在視野中央(A)，亮度會上昇，而在視野左邊(B)，視野右邊(C)有降低的趨勢，惟其變化是大約上4.5%，則與習知例相比較，可減低至一半左右。

又，將照明光源以稜鏡板進行之際，亦即面光源的數是愈多會對於攝影領域愈多從全方向可照射均勻的照明光。

但是，如上述地，必須將平行的光照射在攝影領域全體之故，因而面光源的大小，是必須與攝影領域的大小相同或是比其還要大。

因此，若增加面光源數，則其份量會使照明手段的直徑(大小)變大，使得裝置變大型化。因此，欲分割照明手段的數(面光源的數)，防止裝置的大型化的觀點上有限制，而以上述實驗例中所表示的12分割(12個面光源)可能適當。

本發明的照明光源是可適用於用以檢查對象物的表面狀態的檢查裝置，以下，針對於本發明的照明用光源適用於圖案檢查裝置的情形加以說明。

第13圖是表示將本發明的照明手段適用於圖案檢查裝置的情形的實施例的圖式，同圖是從側面觀看本實施例的檢查裝置的圖式。

在第13圖中，照射反射照明光的暗視野照明手段(反射照明手段)10，是表示於第1或第2實施例的照明光源，而環狀地設於攝影單元11的周圍，由攝影單元的360°全方位來照射工件W。

攝影單元11是由：攝影元件的CCD線感測器11a，及具有將工件W的圖案予以成像在該CCD線感測器11a上的光學元件的透鏡單元11b所構成。

在攝影單元11，安裝有攝影單元驅動機構12，藉由掃描手段13來驅動攝影單元驅動機構12，由此，攝影單元11是朝同圖箭號方向被掃描。

設有檢查對象的配線等的圖案的工件W，是被載置於工件保持手段(工件平台)14上，而藉由攝影單元11在工件W上進行掃描，而形成於工件W上的配線等的圖案被攝影。

上述掃描手段13，攝影單元11，暗視野照明手段10等是藉由控制部15，被控制。

在第13圖中，當工件W被載置於工件保持手段(工件平台)14上，則暗視野照明手段(反射照明手段)10被點燈。

然後，攝影單元11是藉由掃描手段13，朝工件W的寬度方向，由一方的一邊朝另一方的一邊(同圖由右向左)被掃描。藉由暗視野照明手段10所照明的工件W上的配線圖案像，被顯像於攝影單元11的CCD線感測器11a，而在控制都15被記憶。

當完成配線圖案的攝影，則暗視野照明手段10被熄燈。

控制部15是畫像處理藉由攝影單元11被攝影的畫像圖案，俾檢測出有無圖案上的缺陷。又，若有異常就輸出警報等。

若完成該圖案的檢查，則進行下一檢查的工件W被載置於工件保持手段14上，以下，重複上述的動作。

又，在上述中，針對於基板的圖案檢查加以說明，惟在薄膜狀工件的圖案檢查的情形，設有薄膜狀工件的移送機構之處有所不同，惟以同樣的裝置可實現。

1．．．面光源

2．．．LED

3．．．支撐構件

4．．．擴散板

5．．．稜鏡板

6．．．支撐構件

10．．．暗視野照明手段(反射照明手段)

11．．．攝影單元

11a．．．CCD線感測器

11b．．．透鏡單元

12．．．攝影單元驅動機構

13．．．掃描手段

14．．．工件保持手段(工件平台)

15．．．控制部

R．．．攝影領域

W．．．工件

a～h．．．面光源

第1(a)，(b)圖是表示說明本發明的原理的圖式(攝影領域為線狀的情形)。

第2(a)，(b)圖是表示說明本發明的原理的圖式(攝影領域為矩狀的情形)。

第3(c)圖是表示第2(a)圖的側視圖。

第4(a)～(c)圖是表示構成本發明的第1實施例的照明手段的面光源的構成的圖式。

第5(a)，(b)圖是均等地配置8個第4圖的面光源的情形的圖式。

第6(a)，(b)圖是表示說明對於矩形狀的攝影領域R，從8個各面光源照射照明光的情形的圖式。

第7(a)，(b)圖是表示說明構成本發明的第2實施例的照明手段的光源的構成的圖式。

第8圖是表示說明的稜鏡板的切出的圖式。

第9圖是表示說明對於圖示於第7圖的光源的稜鏡板的安裝的圖式。

第10(a)～(c)圖是擴大表示構成第2實施例的照明手段的面光源的圖式。

第11(a)～(c)圖是表示在第10圖所使用的稜鏡板的變形例的圖式。

第12(a)～(c)圖是表示使用第2實施例的照明手段來觀察凹部的實驗結果的圖式。

第13圖是表示將本發明的照明手段適用於圖案檢查裝置的情形的實施例的圖式。

第14(a)～(c)圖是表示說明習知的環形照明手段的圖式。

第15圖是表示說明即使凹部(缺口)的大小相同，藉由產生缺口的方向，明亮(亮度)也變更的情形的圖式。

第16圖是表示CCD線感測器同時地攝影的細長領域的俯視圖。

第17圖是表示說明在習知的環形照明手段使得照明光朝攝影領域的中心部的圖式。

4．．．擴散板

R．．．攝影領域

a～h．．．面光源

Claims (4)

1. 一種照明用光源，其特徵為：照射平行於被照射領域的光的面光源為環狀地配置複數於同一平面上，各面光源的大小，是來自被照射於被照明領域面上的各面光源的光的照射領域，為包含被照明領域全體的大小。
2. 如申請專利範圍第1項所述的照明用光源，其中，上述複數面光源，是將複數LED排列複數於同一平面上者所構成，各面光源內的LED，是來自各面光源的平行的光，被照明於被照明領域的方式，朝向各面光源所配置的環狀內側傾斜地排列。
3. 如申請專利範圍第1項所述的照明用光源，其中，上述複數的面光源，是將從上述複數LED所射出的光射出作為平行的光的稜鏡板環狀地配置複數於複數LED的光射出側者所構成，構成各面光源的稜鏡板，是來自各稜鏡板的平行光被照明在被照明領域的方式，朝配置各面光源的環狀內側折射從各LED所射出的光者。
4. 一種圖案檢查裝置，是具備： 對於形成有圖案的工件從斜向照射反射照明光的暗視野照明手段；及攝影藉由上述暗視野照明手段所照明的上述圖案的攝影手段；及保持工件的工件保持手段；及依據藉由上述攝影手段所攝影的圖像來判定圖案的良否的控制部，其特徵為：暗視野照明手段是記載於如申請專利範圍第1項，第2項或第3項的照明用光源。