JPH10185832A - 外観検査方法及び外観検査装置 - Google Patents
外観検査方法及び外観検査装置Info
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- JPH10185832A JPH10185832A JP34283996A JP34283996A JPH10185832A JP H10185832 A JPH10185832 A JP H10185832A JP 34283996 A JP34283996 A JP 34283996A JP 34283996 A JP34283996 A JP 34283996A JP H10185832 A JPH10185832 A JP H10185832A
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- light
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】欠陥の検出精度が高い外観検査方法及び外観検
査装置を提供する。 【解決手段】外観検査は、照明手段３０によって被検査
物１０表面を照明した状態で、ハーフミラー４０を介し
て被検査物１０の所定検査領域を撮像手段２０により撮
像し、撮像手段２０により撮像された画像を前記画像処
理手段によって画像処理することで行われる。照明手段
３０は、被検査物１０を中心として球面状に配置された
複数の光源からなり、これら複数の光源は被検査物１０
の鉛直上方の位置を光源中心として対称な位置に配置さ
れている。
査装置を提供する。 【解決手段】外観検査は、照明手段３０によって被検査
物１０表面を照明した状態で、ハーフミラー４０を介し
て被検査物１０の所定検査領域を撮像手段２０により撮
像し、撮像手段２０により撮像された画像を前記画像処
理手段によって画像処理することで行われる。照明手段
３０は、被検査物１０を中心として球面状に配置された
複数の光源からなり、これら複数の光源は被検査物１０
の鉛直上方の位置を光源中心として対称な位置に配置さ
れている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外観検査方法及び
外観検査装置に関し、特に印刷回路基板などの外観検査
方法及び外観検査装置に関するものである。
外観検査装置に関し、特に印刷回路基板などの外観検査
方法及び外観検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、印刷回路基板などよりなる被検
査物の外観検査は、図１２に示すように光源３０’によ
り被検査物１０の表面に一方向から光を照射して、所定
検査領域をＣＣＤカメラ等の撮像手段２０によって撮像
し、撮像手段２０からの画像を画像処理手段（図示せ
ず）により画像処理することによって、前記所定検査領
域に存在する傷、しみ、異物などの欠陥を検出して良品
・不良品の判定を行っている。なお、被検査物１０に光
を照射する方法としては、光源からの光を半透明部材を
通して拡散させ、この拡散光を被検査物体に照射する方
法も知られている（特開平７−２７０８６４号公報参
照）。
査物の外観検査は、図１２に示すように光源３０’によ
り被検査物１０の表面に一方向から光を照射して、所定
検査領域をＣＣＤカメラ等の撮像手段２０によって撮像
し、撮像手段２０からの画像を画像処理手段（図示せ
ず）により画像処理することによって、前記所定検査領
域に存在する傷、しみ、異物などの欠陥を検出して良品
・不良品の判定を行っている。なお、被検査物１０に光
を照射する方法としては、光源からの光を半透明部材を
通して拡散させ、この拡散光を被検査物体に照射する方
法も知られている（特開平７−２７０８６４号公報参
照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
外観検査方法では、撮像手段２０により得られる画像に
おいて、表面の傷、しみ、異物等の欠陥と、欠陥以外の
微小な凹凸（微小な研磨キズを含む）とのコントラスト
差がでないため、欠陥の検出精度が低いという不具合が
あった。すなわち、被検査物１０表面に傷、しみ、異物
のような欠陥と、微小な凹凸と、平坦部とが混在してい
る場合、例えば図１３に示すように、微小な凹部１０ａ
で反射された光や平坦部１０ｂで正反射された光や欠陥
１０ｄの内周面で反射された光は撮像手段２０に入射せ
ず、微小な凹部１０ｃで反射された光のみが撮像手段２
０に入射されるので、欠陥１０ｄと、平坦部１０ｂや微
小な凹部１０ａとのコントラストが悪く、欠陥１０ｄの
検出精度が低くなってしまうのである。
外観検査方法では、撮像手段２０により得られる画像に
おいて、表面の傷、しみ、異物等の欠陥と、欠陥以外の
微小な凹凸（微小な研磨キズを含む）とのコントラスト
差がでないため、欠陥の検出精度が低いという不具合が
あった。すなわち、被検査物１０表面に傷、しみ、異物
のような欠陥と、微小な凹凸と、平坦部とが混在してい
る場合、例えば図１３に示すように、微小な凹部１０ａ
で反射された光や平坦部１０ｂで正反射された光や欠陥
１０ｄの内周面で反射された光は撮像手段２０に入射せ
ず、微小な凹部１０ｃで反射された光のみが撮像手段２
０に入射されるので、欠陥１０ｄと、平坦部１０ｂや微
小な凹部１０ａとのコントラストが悪く、欠陥１０ｄの
検出精度が低くなってしまうのである。
【０００４】本発明は上記事由に鑑みて為されたもので
あり、その目的は、欠陥の検出精度が高い外観検査方法
及び外観検査装置を提供することにある。
あり、その目的は、欠陥の検出精度が高い外観検査方法
及び外観検査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、印刷回路基板などよりなる被検
査物の所定検査領域における傷や異物等の欠陥を検出す
る外観検査方法であって、所定検査領域における微小な
凹凸の全面に均一な光が照射されるように輝度分布させ
た照明手段により被検査物を照明し、被検査物体からの
反射光をハーフミラーにより撮像手段に対する向きへ反
射させ、前記撮像手段により所定検査領域を撮像するこ
とを特徴とし、微小な凹凸と欠陥とでコントラスト差を
得ることができるから、微小な凹凸を欠陥として誤認す
るのを防止でき、欠陥の検出精度を高めることができ
る。
目的を達成するために、印刷回路基板などよりなる被検
査物の所定検査領域における傷や異物等の欠陥を検出す
る外観検査方法であって、所定検査領域における微小な
凹凸の全面に均一な光が照射されるように輝度分布させ
た照明手段により被検査物を照明し、被検査物体からの
反射光をハーフミラーにより撮像手段に対する向きへ反
射させ、前記撮像手段により所定検査領域を撮像するこ
とを特徴とし、微小な凹凸と欠陥とでコントラスト差を
得ることができるから、微小な凹凸を欠陥として誤認す
るのを防止でき、欠陥の検出精度を高めることができ
る。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、照明手段が、被検査物を中心として球面状に配置さ
れた光源よりなるので、光源を球面状に配置するだけの
簡単な構成で、被検査物の微小な凹凸の全面に均一な光
を照射できる。請求項３の発明は、請求項１の発明にお
いて、照明手段は被検査物の表面からの法線に直交する
面に光源が配置され、被検査物と光源との位置関係に基
づいて光源の輝度を調整するので、被検査物に合わせて
輝度分布を自在にコントロールできる。
て、照明手段が、被検査物を中心として球面状に配置さ
れた光源よりなるので、光源を球面状に配置するだけの
簡単な構成で、被検査物の微小な凹凸の全面に均一な光
を照射できる。請求項３の発明は、請求項１の発明にお
いて、照明手段は被検査物の表面からの法線に直交する
面に光源が配置され、被検査物と光源との位置関係に基
づいて光源の輝度を調整するので、被検査物に合わせて
輝度分布を自在にコントロールできる。
【０００７】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、光源を発光ダイオード又はブラウン管で構成するの
で、光源の輝度分布を簡単に設定できる。請求項５の発
明は、請求項１の発明において、照明手段を、被検査物
の表面からの法線に直交する面に配置された光源と、光
源と被検査物との間に配置された拡散板とで構成するの
で、光源の輝度分布の設定が不要となる。
て、光源を発光ダイオード又はブラウン管で構成するの
で、光源の輝度分布を簡単に設定できる。請求項５の発
明は、請求項１の発明において、照明手段を、被検査物
の表面からの法線に直交する面に配置された光源と、光
源と被検査物との間に配置された拡散板とで構成するの
で、光源の輝度分布の設定が不要となる。
【０００８】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、拡散板が中央部から周部にかけて徐々に厚みが薄く
なっているので、拡散板の厚みを調整するだけで簡単に
所望の輝度分布を実現できる。請求項７の発明は、請求
項５の発明において、拡散板に、中央部から周部にかけ
て透過率が大きくなっているフィルタを被着してあるの
で、被検査物の微小な凹凸の全面に照射される光の輝度
を均一にでき、拡散板を薄くすることができる。
て、拡散板が中央部から周部にかけて徐々に厚みが薄く
なっているので、拡散板の厚みを調整するだけで簡単に
所望の輝度分布を実現できる。請求項７の発明は、請求
項５の発明において、拡散板に、中央部から周部にかけ
て透過率が大きくなっているフィルタを被着してあるの
で、被検査物の微小な凹凸の全面に照射される光の輝度
を均一にでき、拡散板を薄くすることができる。
【０００９】請求項８の発明は、請求項５の発明におい
て、光源をリング状に配置し、照明手段は光源と拡散板
との距離又は拡散板と被検査物との距離を調整するの
で、光源の位置と拡散板の位置を調整するだけで被検査
物に照射される光の輝度分布を調整することができる。
請求項９の発明は、被検査物を撮像する撮像手段と、被
検査物の微小な凹凸の全面に略均一な光を照射する照明
手段と、照明手段から照射された光の被検査物からの反
射光を撮像手段へ導くためのハーフミラーとを備えてな
ることを特徴とするものであり、微小な凹凸と欠陥とで
コントラスト差を得ることができ、微小な凹凸を欠陥と
して誤認するのが防止されるので、欠陥の検出精度が高
い。
て、光源をリング状に配置し、照明手段は光源と拡散板
との距離又は拡散板と被検査物との距離を調整するの
で、光源の位置と拡散板の位置を調整するだけで被検査
物に照射される光の輝度分布を調整することができる。
請求項９の発明は、被検査物を撮像する撮像手段と、被
検査物の微小な凹凸の全面に略均一な光を照射する照明
手段と、照明手段から照射された光の被検査物からの反
射光を撮像手段へ導くためのハーフミラーとを備えてな
ることを特徴とするものであり、微小な凹凸と欠陥とで
コントラスト差を得ることができ、微小な凹凸を欠陥と
して誤認するのが防止されるので、欠陥の検出精度が高
い。
【００１０】請求項１０の発明は、請求項９の発明にお
いて、照明手段が、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置され被検査物との位置関係に基づいて輝度が
調整された光源よりなるので、照明手段から照射される
光の輝度分布の設定が容易である。請求項１１の発明
は、請求項９の発明において、照明手段は、被検査物の
表面からの法線に直交する面に配置された光源と、光源
と被検査物との間に配置される拡散板及びフィルタとで
構成されるので、光源を一様な輝度分布にして拡散板と
フィルタとを設けるだけの簡単な構成で照明手段から照
射される光の輝度分布を調整できる。
いて、照明手段が、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置され被検査物との位置関係に基づいて輝度が
調整された光源よりなるので、照明手段から照射される
光の輝度分布の設定が容易である。請求項１１の発明
は、請求項９の発明において、照明手段は、被検査物の
表面からの法線に直交する面に配置された光源と、光源
と被検査物との間に配置される拡散板及びフィルタとで
構成されるので、光源を一様な輝度分布にして拡散板と
フィルタとを設けるだけの簡単な構成で照明手段から照
射される光の輝度分布を調整できる。
【００１１】請求項１２の発明は、請求項９の発明にお
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離を変えることができ、被検査物に照射され
る光の輝度分布を調整できる。
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離を変えることができ、被検査物に照射され
る光の輝度分布を調整できる。
【００１２】
（実施形態１）図１に示すように、被検査物１０の上方
に配置され被検査物１０へ光を照射する照明手段３０
と、被検査物１０を撮像する例えばＣＣＤカメラのよう
な撮像手段２０と、撮像手段２０により撮像された画像
を画像処理して良否の判定を行う画像処理手段（図示せ
ず）と、被検査物１０の上方に配置され被検査物１０か
らの反射光を撮像手段２０の受光部の方向へ導くための
ハーフミラー４０とで外観検査装置を構成している。こ
こで、照明手段３０は、被検査物１０を中心として球面
状に配置された複数の光源からなり、これら複数の光源
は被検査物１０の鉛直上方の位置を光源中心として対称
な位置に配置されている。したがって、被検査物１０
は、照明手段３０によって被検査物１０上方のあらゆる
方向から照明され、被検査物１０表面の微小な凹凸の全
面に略均一な光が入射されるのである。つまり、照明手
段３０は、複数の同一の光源を球面状に配置して同じ強
度で点灯させるだけで、被検査物１０表面の微小な凹凸
の全面に略均一な光を入射させることができるのであ
る。
に配置され被検査物１０へ光を照射する照明手段３０
と、被検査物１０を撮像する例えばＣＣＤカメラのよう
な撮像手段２０と、撮像手段２０により撮像された画像
を画像処理して良否の判定を行う画像処理手段（図示せ
ず）と、被検査物１０の上方に配置され被検査物１０か
らの反射光を撮像手段２０の受光部の方向へ導くための
ハーフミラー４０とで外観検査装置を構成している。こ
こで、照明手段３０は、被検査物１０を中心として球面
状に配置された複数の光源からなり、これら複数の光源
は被検査物１０の鉛直上方の位置を光源中心として対称
な位置に配置されている。したがって、被検査物１０
は、照明手段３０によって被検査物１０上方のあらゆる
方向から照明され、被検査物１０表面の微小な凹凸の全
面に略均一な光が入射されるのである。つまり、照明手
段３０は、複数の同一の光源を球面状に配置して同じ強
度で点灯させるだけで、被検査物１０表面の微小な凹凸
の全面に略均一な光を入射させることができるのであ
る。
【００１３】外観検査は、この照明手段３０によって被
検査物１０表面を照明した状態で、ハーフミラー４０を
介して被検査物１０の所定検査領域を撮像手段２０によ
り撮像し、撮像手段２０により撮像された画像を前記画
像処理手段によって画像処理することで行われる。つま
り、照明手段３０から照射された光は被検査物１０表面
で反射され、この反射光のほとんどがハーフミラー４０
を介して撮像手段２０の受光部に入射されるのである。
すなわち、図２に示すように被検査物１０の表面に微小
な凹凸が存在する場合、微小な凸部１０ｅに入射された
光はハーフミラー４０の方向へ反射され、ハーフミラー
４０を介して撮像手段２０の受光部に入射される。これ
に対し、例えば図３に示すように図２の凸部１０ｅに比
べて突出高さが比較的大きな凸部１０ｆに入射された光
はハーフミラー４０の方向へは反射されない。つまり、
本実施形態では、微小な凹凸に対してはコントラストの
変化が小さな撮像画像が得られ、欠陥のようなある程度
の大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明になるの
で、被検査物１０の所定検査領域に微小の凹凸が存在し
ても欠陥の検出精度を高めることができるのである。ま
た、本実施形態では、被検査物１０上方にハーフミラー
４０を設け、ハーフミラー４０によって被検査物１０表
面からの反射光を撮像手段２０に導いているので、被検
査物１０表面の平坦な鏡面状の部分で正反射した光も撮
像手段２０に導くことができる。
検査物１０表面を照明した状態で、ハーフミラー４０を
介して被検査物１０の所定検査領域を撮像手段２０によ
り撮像し、撮像手段２０により撮像された画像を前記画
像処理手段によって画像処理することで行われる。つま
り、照明手段３０から照射された光は被検査物１０表面
で反射され、この反射光のほとんどがハーフミラー４０
を介して撮像手段２０の受光部に入射されるのである。
すなわち、図２に示すように被検査物１０の表面に微小
な凹凸が存在する場合、微小な凸部１０ｅに入射された
光はハーフミラー４０の方向へ反射され、ハーフミラー
４０を介して撮像手段２０の受光部に入射される。これ
に対し、例えば図３に示すように図２の凸部１０ｅに比
べて突出高さが比較的大きな凸部１０ｆに入射された光
はハーフミラー４０の方向へは反射されない。つまり、
本実施形態では、微小な凹凸に対してはコントラストの
変化が小さな撮像画像が得られ、欠陥のようなある程度
の大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明になるの
で、被検査物１０の所定検査領域に微小の凹凸が存在し
ても欠陥の検出精度を高めることができるのである。ま
た、本実施形態では、被検査物１０上方にハーフミラー
４０を設け、ハーフミラー４０によって被検査物１０表
面からの反射光を撮像手段２０に導いているので、被検
査物１０表面の平坦な鏡面状の部分で正反射した光も撮
像手段２０に導くことができる。
【００１４】（実施形態２）図４に示すように、被検査
物１０の上方において被検査物１０表面からの法線に直
交する面に配置され被検査物１０へ光を照射する照明手
段３０と、被検査物１０を撮像する例えばＣＣＤカメラ
のような撮像手段２０と、撮像手段２０により撮像され
た画像を画像処理して良否の判定を行う画像処理手段
（図示せず）と、被検査物１０の上方に配置され被検査
物１０からの反射光を撮像手段２０の受光部の方向へ導
くためのハーフミラー４０とで外観検査装置を構成して
いる。本外観検査装置の基本構成は実施形態１と略同じ
であって、照明手段３０を被検査物１０表面からの法線
に直交する面に配置し、照明源３０の輝度分布を以下の
原理を利用して調整してある点に特徴がある。
物１０の上方において被検査物１０表面からの法線に直
交する面に配置され被検査物１０へ光を照射する照明手
段３０と、被検査物１０を撮像する例えばＣＣＤカメラ
のような撮像手段２０と、撮像手段２０により撮像され
た画像を画像処理して良否の判定を行う画像処理手段
（図示せず）と、被検査物１０の上方に配置され被検査
物１０からの反射光を撮像手段２０の受光部の方向へ導
くためのハーフミラー４０とで外観検査装置を構成して
いる。本外観検査装置の基本構成は実施形態１と略同じ
であって、照明手段３０を被検査物１０表面からの法線
に直交する面に配置し、照明源３０の輝度分布を以下の
原理を利用して調整してある点に特徴がある。
【００１５】いま図５に示すように、被検査物１０の所
定検査領域における中央の点を点Ｃとし、点Ｃの鉛直上
方に位置する照明手段３０の光源の中心点を点Ｏとし、
照明手段３０において点Ｏから距離ｒだけ離れた点を点
Ｒとする。また、点Ｏにおける鉛直下方への光度をＩ、
点Ｒにおける鉛直下方への光度をＩ”、点Ｒにおける点
Ｃの方向への光度をＩ’、点Ｏと点Ｃとの距離をｈ、点
Ｒと点Ｃとの距離をｈ’、点Ｏ，Ｃを結ぶ直線と、点
Ｒ，Ｃを結ぶ直線とのなす角をθとすると、点Ｃにおい
て、点Ｏからの光束量と、点Ｒからの光束量とが等しく
なるためには、 Ｉ／ｈ2 ＝Ｉ’／ｈ’2 という関係が成り立つ必要がある。ここで、 Ｉ’＝Ｉ”cos θ ｈ’2 ＝ｈ2 ＋ｒ2 cos θ＝ｈ／ｈ’ という関係を用いると、 Ｉ”＝（ｒ2 ／ｈ2 ＋１）3/2 Ｉ＝（１／cos3θ) Ｉ となる。したがって、点Ｏの光度Ｉと点Ｒの光度Ｉ”と
の関係がこのような関係を満たすようにすれば、被検査
物１０の所定検査領域における微小な凹凸の全面に略均
一な光を入射することができるのである。
定検査領域における中央の点を点Ｃとし、点Ｃの鉛直上
方に位置する照明手段３０の光源の中心点を点Ｏとし、
照明手段３０において点Ｏから距離ｒだけ離れた点を点
Ｒとする。また、点Ｏにおける鉛直下方への光度をＩ、
点Ｒにおける鉛直下方への光度をＩ”、点Ｒにおける点
Ｃの方向への光度をＩ’、点Ｏと点Ｃとの距離をｈ、点
Ｒと点Ｃとの距離をｈ’、点Ｏ，Ｃを結ぶ直線と、点
Ｒ，Ｃを結ぶ直線とのなす角をθとすると、点Ｃにおい
て、点Ｏからの光束量と、点Ｒからの光束量とが等しく
なるためには、 Ｉ／ｈ2 ＝Ｉ’／ｈ’2 という関係が成り立つ必要がある。ここで、 Ｉ’＝Ｉ”cos θ ｈ’2 ＝ｈ2 ＋ｒ2 cos θ＝ｈ／ｈ’ という関係を用いると、 Ｉ”＝（ｒ2 ／ｈ2 ＋１）3/2 Ｉ＝（１／cos3θ) Ｉ となる。したがって、点Ｏの光度Ｉと点Ｒの光度Ｉ”と
の関係がこのような関係を満たすようにすれば、被検査
物１０の所定検査領域における微小な凹凸の全面に略均
一な光を入射することができるのである。
【００１６】ところで、外観検査時における被検査物１
０と照明手段３０との位置関係は予め分かっているか
ら、照明手段３０を図６に示すように円盤状の設置板３
０ａに複数個の発光ダイオード３０ｂを配置することに
より構成し、上述のＩ”とＩとの関係を満たすように各
発光ダイオード３０ｂの位置に応じて個別に輝度を調整
すればよいのである。ここで、上述のＩ”とＩとの関係
から、発光ダイオード３０ｂが、照明手段３０の中央か
ら外周部にかけて輝度が大きくなるように調整されるこ
とは勿論である。なお、図６においては光源として発光
ダイオード３０ｂを用いているが、発光ダイオード３０
ｂの替わりにブラウン管（ＣＲＴ）を用いてもよい。
０と照明手段３０との位置関係は予め分かっているか
ら、照明手段３０を図６に示すように円盤状の設置板３
０ａに複数個の発光ダイオード３０ｂを配置することに
より構成し、上述のＩ”とＩとの関係を満たすように各
発光ダイオード３０ｂの位置に応じて個別に輝度を調整
すればよいのである。ここで、上述のＩ”とＩとの関係
から、発光ダイオード３０ｂが、照明手段３０の中央か
ら外周部にかけて輝度が大きくなるように調整されるこ
とは勿論である。なお、図６においては光源として発光
ダイオード３０ｂを用いているが、発光ダイオード３０
ｂの替わりにブラウン管（ＣＲＴ）を用いてもよい。
【００１７】しかして、本実施形態においても、実施形
態１と同様に、微小な凹凸に対してはコントラストの変
化が小さな撮像画像が得られ、欠陥のようなある程度の
大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明になるの
で、被検査物１０の所定検査領域に微小の凹凸が存在し
ても欠陥の検出精度を高めることができるのである。ま
た、本実施形態における外観検査装置は、照明手段３０
を実施形態１の球面状のものに比べてコンパクトにする
ことができ、装置全体を小型化することができる。特
に、照明手段３０を発光ダイオードやブラウン管で構成
した場合には、輝度分布を簡単に設定できるという利点
を有する。
態１と同様に、微小な凹凸に対してはコントラストの変
化が小さな撮像画像が得られ、欠陥のようなある程度の
大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明になるの
で、被検査物１０の所定検査領域に微小の凹凸が存在し
ても欠陥の検出精度を高めることができるのである。ま
た、本実施形態における外観検査装置は、照明手段３０
を実施形態１の球面状のものに比べてコンパクトにする
ことができ、装置全体を小型化することができる。特
に、照明手段３０を発光ダイオードやブラウン管で構成
した場合には、輝度分布を簡単に設定できるという利点
を有する。
【００１８】外観検査は、実施形態１と同様に照明手段
３０によって被検査物１０表面を照明した状態で、ハー
フミラー４０を介して被検査物１０の所定検査領域を撮
像手段２０により撮像し、撮像手段２０により撮像され
た画像を前記画像処理手段によって画像処理することで
行われる。 （実施形態３）図７に示すように、被検査物１０の上方
において被検査物１０表面からの法線に直交する面に配
置され被検査物１０へ光を照射する光源３０’と、被検
査物１０を撮像する例えばＣＣＤカメラのような撮像手
段２０と、撮像手段２０により撮像された画像を画像処
理して良否の判定を行う画像処理手段（図示せず）と、
被検査物１０の上方に配置され被検査物１０からの反射
光を撮像手段２０の受光部の方向へ導くためのハーフミ
ラー４０と、光源３０’とハーフミラー４０との間に配
置された拡散板５０とで外観検査装置を構成している。
本外観検査装置の基本構成は実施形態１と略同じであっ
て、光源３０’を被検査物１０表面からの法線に直交す
る面に配置して面内で一様な輝度分布とし、光源３０’
から照射された光を拡散板５０を介して被検査物１０に
照射している点に特徴がある。
３０によって被検査物１０表面を照明した状態で、ハー
フミラー４０を介して被検査物１０の所定検査領域を撮
像手段２０により撮像し、撮像手段２０により撮像され
た画像を前記画像処理手段によって画像処理することで
行われる。 （実施形態３）図７に示すように、被検査物１０の上方
において被検査物１０表面からの法線に直交する面に配
置され被検査物１０へ光を照射する光源３０’と、被検
査物１０を撮像する例えばＣＣＤカメラのような撮像手
段２０と、撮像手段２０により撮像された画像を画像処
理して良否の判定を行う画像処理手段（図示せず）と、
被検査物１０の上方に配置され被検査物１０からの反射
光を撮像手段２０の受光部の方向へ導くためのハーフミ
ラー４０と、光源３０’とハーフミラー４０との間に配
置された拡散板５０とで外観検査装置を構成している。
本外観検査装置の基本構成は実施形態１と略同じであっ
て、光源３０’を被検査物１０表面からの法線に直交す
る面に配置して面内で一様な輝度分布とし、光源３０’
から照射された光を拡散板５０を介して被検査物１０に
照射している点に特徴がある。
【００１９】本実施形態では、光源３０’と被検査物１
０との間に拡散板５０が介在することによって、光源３
０’からの光が拡散板５０を通過することであらゆる方
向に拡がり、被検査物１０表面の微小な凹凸の全面に光
が照射されるのである。また、拡散板５０として、例え
ば図８に示すように中心部から周部にかけて厚みが薄く
なるような形状のものを用いれば、光源３０’を面内で
一様な輝度分布にしたまま、実施形態２の照明手段３０
の輝度分布（照明手段３０の中心部の輝度が外周部の輝
度に比べて小さい）と同様の輝度分布の光を被検査物１
０に照射することができる。
０との間に拡散板５０が介在することによって、光源３
０’からの光が拡散板５０を通過することであらゆる方
向に拡がり、被検査物１０表面の微小な凹凸の全面に光
が照射されるのである。また、拡散板５０として、例え
ば図８に示すように中心部から周部にかけて厚みが薄く
なるような形状のものを用いれば、光源３０’を面内で
一様な輝度分布にしたまま、実施形態２の照明手段３０
の輝度分布（照明手段３０の中心部の輝度が外周部の輝
度に比べて小さい）と同様の輝度分布の光を被検査物１
０に照射することができる。
【００２０】また、図９に示すように一様な厚さの拡散
板５０の下面に、周部ほど透過率が大きくなるようなフ
ィルタとして例えばＮＤフィルタ６０を被着することに
よっても実施形態２と同様の輝度分布を実現できる。な
お、ＮＤフィルタ６０は蒸着などによって拡散板５０に
容易に被着でき、その中心部が厚くなるように蒸着する
ことで、周部の透過率を中心部の透過率に比べて大きく
することができる。なお、図９の構成では図８の構成に
比べて拡散板５０を薄くできるので、装置全体を小型化
できる。ここで、光源３０’と、拡散板５０と、ＮＤフ
ィルタ６０とで照明手段を構成している。
板５０の下面に、周部ほど透過率が大きくなるようなフ
ィルタとして例えばＮＤフィルタ６０を被着することに
よっても実施形態２と同様の輝度分布を実現できる。な
お、ＮＤフィルタ６０は蒸着などによって拡散板５０に
容易に被着でき、その中心部が厚くなるように蒸着する
ことで、周部の透過率を中心部の透過率に比べて大きく
することができる。なお、図９の構成では図８の構成に
比べて拡散板５０を薄くできるので、装置全体を小型化
できる。ここで、光源３０’と、拡散板５０と、ＮＤフ
ィルタ６０とで照明手段を構成している。
【００２１】しかして、本実施形態においても、被検査
物１０表面の微小な凹凸の全面に略均一な光が照射され
るので、実施形態１、２と同様に、微小な凹凸に対して
はコントラストの変化が小さな撮像画像が得られ、ある
程度の大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明にな
り、欠陥の検出精度を高めることができる。外観検査
は、光源３０’からの光を拡散板５０を通して被検査物
１０表面に照明した状態で、ハーフミラー４０を介して
被検査物１０の所定検査領域を撮像手段２０により撮像
し、撮像手段２０により撮像された画像を前記画像処理
手段によって画像処理することで行われ、実施形態１と
同様に欠陥の検出精度を高めることができる。
物１０表面の微小な凹凸の全面に略均一な光が照射され
るので、実施形態１、２と同様に、微小な凹凸に対して
はコントラストの変化が小さな撮像画像が得られ、ある
程度の大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明にな
り、欠陥の検出精度を高めることができる。外観検査
は、光源３０’からの光を拡散板５０を通して被検査物
１０表面に照明した状態で、ハーフミラー４０を介して
被検査物１０の所定検査領域を撮像手段２０により撮像
し、撮像手段２０により撮像された画像を前記画像処理
手段によって画像処理することで行われ、実施形態１と
同様に欠陥の検出精度を高めることができる。
【００２２】（実施形態４）図１０に示すように、被検
査物１０の上方において被検査物１０表面からの法線に
直交する面に配置され被検査物１０へ光を照射するリン
グ状光源からなる光源３０’と、被検査物１０を撮像す
る例えばＣＣＤカメラのような撮像手段２０と、撮像手
段２０により撮像された画像を画像処理して良否の判定
を行う画像処理手段（図示せず）と、被検査物１０の上
方に配置され被検査物１０からの反射光を撮像手段２０
の受光部の方向へ導くためのハーフミラー４０と、光源
３０’とハーフミラー４０との間に配置された拡散板５
０とで外観検査装置を構成している。ここで、光源３
０’と拡散板５０とで照明手段を構成している。本外観
検査装置の基本構成は実施形態３と略同じであって、光
源３０’をリング状光源により構成した点に特徴があ
る。また、本外観検査装置は、光源３０’と拡散板５０
の両方の位置が可変自在となっており、光源３０’と拡
散板と被検査物１０との各距離が調整できるようになっ
ている。
査物１０の上方において被検査物１０表面からの法線に
直交する面に配置され被検査物１０へ光を照射するリン
グ状光源からなる光源３０’と、被検査物１０を撮像す
る例えばＣＣＤカメラのような撮像手段２０と、撮像手
段２０により撮像された画像を画像処理して良否の判定
を行う画像処理手段（図示せず）と、被検査物１０の上
方に配置され被検査物１０からの反射光を撮像手段２０
の受光部の方向へ導くためのハーフミラー４０と、光源
３０’とハーフミラー４０との間に配置された拡散板５
０とで外観検査装置を構成している。ここで、光源３
０’と拡散板５０とで照明手段を構成している。本外観
検査装置の基本構成は実施形態３と略同じであって、光
源３０’をリング状光源により構成した点に特徴があ
る。また、本外観検査装置は、光源３０’と拡散板５０
の両方の位置が可変自在となっており、光源３０’と拡
散板と被検査物１０との各距離が調整できるようになっ
ている。
【００２３】本実施形態では、光源３０’としてリング
状光源を用いているので、光源３０’から照射される光
の輝度分布を、実施形態２の照明手段３０の輝度分布と
同様に、外周部に比べて中心部の輝度を小さくすること
ができる（図１１参照）。ここで、光源３０’と拡散板
５０との第１の距離や、拡散板５０と被検査物１０との
第２の距離や、第１の距離と第２の距離の両方や、光源
３０’の輝度を変えることにより、被検査物１０表面に
照射される光の輝度分布を容易に調整することができ
る。
状光源を用いているので、光源３０’から照射される光
の輝度分布を、実施形態２の照明手段３０の輝度分布と
同様に、外周部に比べて中心部の輝度を小さくすること
ができる（図１１参照）。ここで、光源３０’と拡散板
５０との第１の距離や、拡散板５０と被検査物１０との
第２の距離や、第１の距離と第２の距離の両方や、光源
３０’の輝度を変えることにより、被検査物１０表面に
照射される光の輝度分布を容易に調整することができ
る。
【００２４】しかして、本実施形態においても、被検査
物１０表面の微小な凹凸の全面に略均一な光が照射され
るので、実施形態１、２、３と同様に、微小な凹凸に対
してはコントラストの変化が小さな撮像画像が得られ、
ある程度の大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明
になり、欠陥の検出精度を高めることができる。なお、
各実施形態において、撮像手段２０の位置と照明手段と
の位置を入れ替えても同様の効果が得られることは勿論
である。
物１０表面の微小な凹凸の全面に略均一な光が照射され
るので、実施形態１、２、３と同様に、微小な凹凸に対
してはコントラストの変化が小さな撮像画像が得られ、
ある程度の大きさをもつ凹凸のコントラスト変化が鮮明
になり、欠陥の検出精度を高めることができる。なお、
各実施形態において、撮像手段２０の位置と照明手段と
の位置を入れ替えても同様の効果が得られることは勿論
である。
【００２５】
【発明の効果】請求項１の発明は、印刷回路基板などよ
りなる被検査物の所定検査領域における傷や異物等の欠
陥を検出する外観検査方法であって、所定検査領域にお
ける微小な凹凸の全面に均一な光が照射されるように輝
度分布させた照明手段により被検査物を照明し、被検査
物体からの反射光をハーフミラーにより撮像手段に対す
る向きへ反射させ、前記撮像手段により所定検査領域を
撮像するので、微小な凹凸と欠陥とでコントラスト差を
得ることができるから、微小な凹凸を欠陥として誤認す
るのを防止でき、欠陥の検出精度を高めることができる
という効果がある。
りなる被検査物の所定検査領域における傷や異物等の欠
陥を検出する外観検査方法であって、所定検査領域にお
ける微小な凹凸の全面に均一な光が照射されるように輝
度分布させた照明手段により被検査物を照明し、被検査
物体からの反射光をハーフミラーにより撮像手段に対す
る向きへ反射させ、前記撮像手段により所定検査領域を
撮像するので、微小な凹凸と欠陥とでコントラスト差を
得ることができるから、微小な凹凸を欠陥として誤認す
るのを防止でき、欠陥の検出精度を高めることができる
という効果がある。
【００２６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、照明手段が、被検査物を中心として球面状に配置さ
れた光源よりなるので、光源を球面状に配置するだけの
簡単な構成で、被検査物の微小な凹凸の全面に均一な光
を照射できるという効果がある。請求項３の発明は、請
求項１の発明において、照明手段は被検査物の表面から
の法線に直交する面に光源が配置され、被検査物と光源
との位置関係に基づいて光源の輝度を調整するので、被
検査物に合わせて輝度分布を自在にコントロールできる
という効果がある。
て、照明手段が、被検査物を中心として球面状に配置さ
れた光源よりなるので、光源を球面状に配置するだけの
簡単な構成で、被検査物の微小な凹凸の全面に均一な光
を照射できるという効果がある。請求項３の発明は、請
求項１の発明において、照明手段は被検査物の表面から
の法線に直交する面に光源が配置され、被検査物と光源
との位置関係に基づいて光源の輝度を調整するので、被
検査物に合わせて輝度分布を自在にコントロールできる
という効果がある。
【００２７】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、光源を発光ダイオード又はブラウン管で構成するの
で、光源の輝度分布を簡単に設定できるという効果があ
る。請求項５の発明は、請求項１の発明において、照明
手段を、被検査物の表面からの法線に直交する面に配置
された光源と、光源と被検査物との間に配置された拡散
板とで構成するので、光源の輝度分布の設定が不要にな
るという効果がある。
て、光源を発光ダイオード又はブラウン管で構成するの
で、光源の輝度分布を簡単に設定できるという効果があ
る。請求項５の発明は、請求項１の発明において、照明
手段を、被検査物の表面からの法線に直交する面に配置
された光源と、光源と被検査物との間に配置された拡散
板とで構成するので、光源の輝度分布の設定が不要にな
るという効果がある。
【００２８】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、拡散板が中央部から周部にかけて徐々に厚みが薄く
なっているので、拡散板の厚みを調整するだけで簡単に
所望の輝度分布を実現できるという効果がある。請求項
７の発明は、請求項５の発明において、拡散板に、中央
部から周部にかけて透過率が大きくなっているフィルタ
を被着してあるので、被検査物の微小な凹凸の全面に照
射される光の輝度を均一にでき、拡散板を薄くすること
ができるという効果がある。
て、拡散板が中央部から周部にかけて徐々に厚みが薄く
なっているので、拡散板の厚みを調整するだけで簡単に
所望の輝度分布を実現できるという効果がある。請求項
７の発明は、請求項５の発明において、拡散板に、中央
部から周部にかけて透過率が大きくなっているフィルタ
を被着してあるので、被検査物の微小な凹凸の全面に照
射される光の輝度を均一にでき、拡散板を薄くすること
ができるという効果がある。
【００２９】請求項８の発明は、請求項５の発明におい
て、光源をリング状に配置し、照明手段は光源と拡散板
との距離又は拡散板と被検査物との距離を調整するの
で、光源の位置と拡散板の位置を調整するだけで被検査
物に照射される光の輝度分布を調整することができると
いう効果がある。請求項９の発明は、被検査物を撮像す
る撮像手段と、被検査物の微小な凹凸の全面に略均一な
光を照射する照明手段と、照明手段から照射された光の
被検査物からの反射光を撮像手段へ導くためのハーフミ
ラーとを備えてなることを特徴とするものであり、微小
な凹凸と欠陥とでコントラスト差を得ることができ、微
小な凹凸を欠陥として誤認するのが防止されるので、欠
陥の検出精度が高いという効果がある。
て、光源をリング状に配置し、照明手段は光源と拡散板
との距離又は拡散板と被検査物との距離を調整するの
で、光源の位置と拡散板の位置を調整するだけで被検査
物に照射される光の輝度分布を調整することができると
いう効果がある。請求項９の発明は、被検査物を撮像す
る撮像手段と、被検査物の微小な凹凸の全面に略均一な
光を照射する照明手段と、照明手段から照射された光の
被検査物からの反射光を撮像手段へ導くためのハーフミ
ラーとを備えてなることを特徴とするものであり、微小
な凹凸と欠陥とでコントラスト差を得ることができ、微
小な凹凸を欠陥として誤認するのが防止されるので、欠
陥の検出精度が高いという効果がある。
【００３０】請求項１０の発明は、請求項９の発明にお
いて、照明手段が、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置され被検査物との位置関係に基づいて輝度が
調整された光源よりなるので、照明手段から照射される
光の輝度分布の設定が容易であるという効果がある。請
求項１１の発明は、請求項９の発明において、照明手段
は、被検査物の表面からの法線に直交する面に配置され
た光源と、光源と被検査物との間に配置される拡散板及
びフィルタとで構成されるので、光源を一様な輝度分布
にして拡散板とフィルタとを設けるだけの簡単な構成で
照明手段から照射される光の輝度分布を調整できるとい
う効果がある。
いて、照明手段が、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置され被検査物との位置関係に基づいて輝度が
調整された光源よりなるので、照明手段から照射される
光の輝度分布の設定が容易であるという効果がある。請
求項１１の発明は、請求項９の発明において、照明手段
は、被検査物の表面からの法線に直交する面に配置され
た光源と、光源と被検査物との間に配置される拡散板及
びフィルタとで構成されるので、光源を一様な輝度分布
にして拡散板とフィルタとを設けるだけの簡単な構成で
照明手段から照射される光の輝度分布を調整できるとい
う効果がある。
【００３１】請求項１２の発明は、請求項９の発明にお
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離を変えることができ、被検査物に照射され
る光の輝度分布を調整できるという効果がある。
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離を変えることができ、被検査物に照射され
る光の輝度分布を調整できるという効果がある。
【図１】実施形態１を示す概略構成図である。
【図２】同上の原理説明図である。
【図３】同上の他の原理説明図である。
【図４】実施形態２を示す概略構成図である。
【図５】同上の原理説明図である。
【図６】同上の照明手段の概略外観斜視図である。
【図７】実施形態３を示す概略構成図である。
【図８】同上の要部の他の概略構成図である。
【図９】同上の要部の別の概略構成図である。
【図１０】実施形態４を示す概略構成図である。
【図１１】同上の原理説明図である。
【図１２】従来例を示す概略構成図である。
【図１３】同上の原理説明図である。
１０ 被検査物 ２０ 撮像手段 ３０ 照明手段 ４０ ハーフミラー
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年３月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】請求項１２の発明は、請求項９の発明にお
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離又は拡散板と被検査物との距離を変えるこ
とができ、被検査物に照射される光の輝度分布を調整で
きる。
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離又は拡散板と被検査物との距離を変えるこ
とができ、被検査物に照射される光の輝度分布を調整で
きる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】（実施形態４）図１０に示すように、被検
査物１０の上方において被検査物１０表面からの法線に
直交する面に配置され被検査物１０へ光を照射するリン
グ状光源からなる光源３０’と、被検査物１０を撮像す
る例えばＣＣＤカメラのような撮像手段２０と、撮像手
段２０により撮像された画像を画像処理して良否の判定
を行う画像処理手段（図示せず）と、被検査物１０の上
方に配置され被検査物１０からの反射光を撮像手段２０
の受光部の方向へ導くためのハーフミラー４０と、光源
３０’とハーフミラー４０との間に配置された拡散板５
０とで外観検査装置を構成している。ここで、光源３
０’と拡散板５０とで照明手段を構成している。本外観
検査装置の基本構成は実施形態３と略同じであって、光
源３０’をリング状光源により構成した点に特徴があ
る。また、本外観検査装置は、光源３０’と拡散板５０
の少なくとも一方の位置が可変自在となっており、光源
３０’と拡散板５０又は拡散板５０と被検査物１０との
距離が調整できるようになっている。
査物１０の上方において被検査物１０表面からの法線に
直交する面に配置され被検査物１０へ光を照射するリン
グ状光源からなる光源３０’と、被検査物１０を撮像す
る例えばＣＣＤカメラのような撮像手段２０と、撮像手
段２０により撮像された画像を画像処理して良否の判定
を行う画像処理手段（図示せず）と、被検査物１０の上
方に配置され被検査物１０からの反射光を撮像手段２０
の受光部の方向へ導くためのハーフミラー４０と、光源
３０’とハーフミラー４０との間に配置された拡散板５
０とで外観検査装置を構成している。ここで、光源３
０’と拡散板５０とで照明手段を構成している。本外観
検査装置の基本構成は実施形態３と略同じであって、光
源３０’をリング状光源により構成した点に特徴があ
る。また、本外観検査装置は、光源３０’と拡散板５０
の少なくとも一方の位置が可変自在となっており、光源
３０’と拡散板５０又は拡散板５０と被検査物１０との
距離が調整できるようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】請求項１２の発明は、請求項９の発明にお
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離又は拡散板と被検査物との距離を変えるこ
とができ、被検査物に照射される光の輝度分布を調整で
きるという効果がある。
いて、照明手段は、被検査物の表面からの法線に直交す
る面に配置されたリング状の光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板とで構成され、光源と拡散板の
うち少なくとも一方の位置が可変自在なので、光源と拡
散板との距離又は拡散板と被検査物との距離を変えるこ
とができ、被検査物に照射される光の輝度分布を調整で
きるという効果がある。
Claims (12)
- 【請求項１】 印刷回路基板などよりなる被検査物の所
定検査領域における傷や異物等の欠陥を検出する外観検
査方法であって、所定検査領域における微小な凹凸の全
面に均一な光が照射されるように輝度分布させた照明手
段により被検査物を照明し、被検査物体からの反射光を
ハーフミラーにより撮像手段に対する向きへ反射させ、
前記撮像手段により所定検査領域を撮像することを特徴
とする外観検査方法。 - 【請求項２】 照明手段は、被検査物を中心として球面
状に配置された光源よりなることを特徴とする請求項１
記載の外観検査方法。 - 【請求項３】 照明手段は、被検査物の表面からの法線
に直交する面に光源を配置し、被検査物と光源との位置
関係に基づいて光源の輝度を調整することを特徴とする
請求項１記載の外観検査方法。 - 【請求項４】 光源を発光ダイオード又はブラウン管で
構成することを特徴とする請求項３記載の外観検査方
法。 - 【請求項５】 照明手段は、被検査物の表面からの法線
に直交する面に配置された光源と、光源と被検査物との
間に配置された拡散板とで構成されることを特徴とする
請求項１記載の外観検査方法。 - 【請求項６】 拡散板は、中央部から周部にかけて徐々
に厚みが薄くなっていることを特徴とする請求項５記載
の外観検査方法。 - 【請求項７】 拡散板は、中央部から周部にかけて透過
率が大きくなっているフィルタが被着されて成ることを
特徴とする請求項５記載の外観検査方法。 - 【請求項８】 光源をリング状に配置し、照明手段は光
源と拡散板との距離又は拡散板と被検査物との距離を調
整することを特徴とする請求項５記載の外観検査方法。 - 【請求項９】 被検査物を撮像する撮像手段と、被検査
物の微小な凹凸の全面に略均一な光を照射する照明手段
と、照明手段から照射された光の被検査物からの反射光
を撮像手段へ導くためのハーフミラーとを備えてなるこ
とを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項１０】 照明手段は、被検査物の表面からの法
線に直交する面に配置され被検査物との位置関係に基づ
いて輝度が調整された光源よりなることを特徴とする請
求項９記載の外観検査装置。 - 【請求項１１】 照明手段は、被検査物の表面からの法
線に直交する面に配置された光源と、光源と被検査物と
の間に配置される拡散板及びフィルタとで構成されるこ
とを特徴とする請求項９記載の外観検査装置。 - 【請求項１２】 照明手段は、被検査物の表面からの法
線に直交する面に配置されたリング状の光源と、光源と
被検査物との間に配置される拡散板とで構成され、光源
と拡散板のうち少なくとも位置が可変自在であることを
特徴とする請求項９記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34283996A JPH10185832A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34283996A JPH10185832A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185832A true JPH10185832A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18356899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34283996A Pending JPH10185832A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10185832A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329696A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | ラインライトガイド |
| JP2009229158A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Laser Solutions Co Ltd | 撮像装置 |
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1996
- 1996-12-24 JP JP34283996A patent/JPH10185832A/ja active Pending
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