JP5770495B2 - 形状計測装置および格子投影装置 - Google Patents
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また、格子の位相シフトを高速に行うことは困難であり、例えば高速で移動する物体の形状を計測することができない点に課題を残していた。
また、撮像部11は、計測対象物体21を斜め方向から撮影することになるため、形状を計測しようとする計測対象物体21上の領域を適切に撮影できない虞もある。
図5は、本発明による計測対象物体の形状計測装置を示す図である。この形状計測装置200は、光源用基板32と該光源用基板32上に配置された複数の格子投影用LED33とからなる格子投影用光源31と、1次元格子が描かれた格子面を含む、前記光源用基板32に平行に配置された格子プレート34とを有する格子投影部30と、1次元格子が投影された計測対象物体21を撮影する撮影部11と、撮影された画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体21の形状を求める解析装置12とを備える。ここで、複数の格子投影用LED33の各々の光軸が、光源用基板32の法線に対して、計測対象物体21側に傾斜していることが肝要である。以下、形状計測装置200の各構成について説明する。
上述のように、格子投影用LED33の光軸を、光源用基板32の法線に対して平行に向けて配置すると、格子投影用光源31から照射された光が、計測対象物体21に有効に届かない。そこで、本発明においては、複数の格子投影用LED33の各々の光軸を、計測対象物体21側に傾斜させるように構成する。これにより、格子投影用LED33から照射された光の使用効率を格段に向上させることができ、その結果、形状計測の精度も向上させることができる。
また、格子投影用LEDの光軸を、光源用基板の法線に対して計測対象物体側に傾斜させて配置したため、格子投影用LEDから照射された光を計測対象物体に有効に照射して、照射光の使用効率、ひいては形状計測の精度を向上させることができる。
更に、複数の撮像用LED45の間隔についても特に限定されず、必要に応じて適切に設定すればよい。
(基準面を用いない場合)
図12は、本発明による形状計測装置200を用いて、光ステッピング法により計測対象物体21の形状計測を行う原理を示す図である。この形状計測装置200は、光源用基板32と該光源用基板32上に等間隔かつ一列に並べられた5つの格子投影用LED33であるL-2、L-1、L0、L1およびL2からなる格子投影用光源31と、1次元格子が描かれた格子面34aを有する格子プレート34とを有する格子投影部30と、撮影部11とを備える。なお、図12において、解析制御装置12は省略されている。
ここで、5つの格子投影用LED33であるL-2、L-1、L0、L1およびL2における両端のLED間の中央位置(すなわち、L0の位置)を原点Oとし、5つのLEDを通る方向にX軸を、該X軸に直交する方向に、互いに直交するY軸およびZ軸をとる(以下、LED面からZ軸方向の位置を「高さ」と称する)。計測対象物体21は、Z軸方向に配置される。
なお、原点Oの位置は、LEDの数が5以外の場合にも上記と同様の方法、すなわち、4つ以上の光源における両端の光源間の中央位置として規定される。
まず、5つのLEDのうち、中央のL0の点灯により1次元格子が投影された計測対象物体21上の位置S(x,y,z)における輝度I0は、近似的に次式で表される。
LEDであるL1による位置S(x,y,z)における輝度I1は,次のようにして求められる。
すなわち、LEDをL0からL1に切り替えたことにより、計測対象物体21に投影される1次元格子の位相(アンラッピングされた位相)は、以下の式(4)で与えられる量だけシフトする。
こうして、Lnを点灯したときの、位置S(x,y,z)における輝度Inを求めることができた。
なお、計測対象物体21の反射率rを考慮する場合は、aおよびbに反射率rを掛ければよいが、ここでは説明を簡単化するために省略する。
次に、高さzを求めるために、高さzと位相シフト量Ψまたは位相Φとの関係を求める。位相シフト量Ψが求められると、式(8)から、
また、式(12)から、
次いで、基準面を用いる場合の形状計測の原理について説明する。この形状計測方法は、4つ以上の光源からなる格子投影用光源と、1次元格子を有する格子面を含む、格子投影用光源に平行に配置された格子プレートと、撮影部であって、該撮影部のレンズの中心が格子投影用光源を含み格子プレートに平行な光源面上に配置された撮影部とを備える形状計測装置と、格子面に平行に配置された、基準面を含む基準平板とを用いて計測対象物体の形状を計測する方法であって、4つ以上の光源を順次点灯させて基準面に投影される1次元格子の位相をシフトさせながら、撮影部により基準面を撮影するステップと、計測対象物体を格子プレートと基準平板との間に配置し、4つ以上の光源を順次点灯させて計測対象物体に投影される1次元格子の位相をシフトさせながら、撮影部により計測対象物体を撮影するステップと、撮影された基準面の画像および計測対象物体の画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体の形状を求めるステップとを含む。ここで、4つ以上の光源は1次元格子を構成する直線に垂直な方向に等間隔に配置されており、光源面からの距離は、投影された1次元格子の、所定の位置での位相と、レンズ中心と所定の位置とを通る直線と基準面との交点における位相とに依存することを特徴とするものである。
以下、格子投影用光源を構成する光源の数が5つの場合を例に、本発明による別の形状計測方法の原理について説明するが、この場合についても5つの光源の場合に限定されないことに注意する。
この形状計測装置200を用いて、まず、この基準面13aに1次元格子を投影し、その位相ΦR分布を記録し、次いで、基準面13aの前に計測対象物体21を配置し、該計測対象物体21上の点Sにおける、投影された1次元格子の位相ΦSを求める。これにより、撮影部11の各画素において、基準面13aと計測対象物体21上の点Sとの位相差(ΦS−ΦR)から、zまたは基準面13aからの高さhs=zR−zを求めることができる。以下に、その原理について説明する。
こうして、式(21)から、カメラの画素の基準面13aにおける位相ΦRおよび計測対象物体21上の点Sの位相ΦSから、点Sのz座標を求めることができる。また、等位相差(ΦS−ΦR)線は等高線となる。
なお、図12の場合と同様に、図13において、5つのLED以外の構成(X、YおよびZ軸も含む)の配置を全て固定した状態で、5つのLEDをZ=0の面内において原点Oを中心にしてX軸に対して傾けて配置することができる。つまり、5つのLEDは、X軸に対して平行である必要はない。この場合、上記の説明における5つのLED間の間隔lとしては、X軸方向(すなわち、1次元格子を構成する直線に垂直な方向)のLED間の間隔(すなわち、5つのLED間の間隔のX軸方向の成分)を用いる。LED間の間隔を物理的に狭めることは困難であるが、上記のように5つのLEDをX軸に対して傾けることにより、X軸方向のLED間の間隔を容易に狭めることができるようになる。
続いて、高さzを求めるために必要な、位相Φおよび位相シフト量Ψを求める方法について説明する。
上述のように、従来の位相シフト法が、図12または図13の格子を直接動かすことにより、位相2πを整数Nで割って、全ての位置にて位相を2π/Nずつシフトさせるのに対し、本発明の位相シフト法においては、5つのLEDを順次点灯および消灯させることにより、計測対象物体21に投影される1次元格子の位相を、式(14)で示される位相シフト量Ψにて等間隔に5回シフトさせる(初期位置を含めて)位相シフトを行う。この位相シフト量Ψは、通常、2πを5等分したものでない。また、式(14)から明らかなように、zの値によって位相シフト量Ψは異なる。
なお、式(13)を解くのに、式(22)〜(26)の5つの式を用いたが、未知数の数が4つであるため、この5つの式のうちの4つを用いれば、4つの未知数を求めることができるのは言うまでもない。
上記の本発明の形状計測方法に、全空間テーブル化手法を適用することにより、計測対象物体21の形状計測を更に高速に行うことができる(例えば、特開2008−281491参照)。すなわち、図13に示すように、格子面34aに平行に配置された2次元格子が描かれた(または投影された)基準面13aを有する基準平板13を用意し、該基準平板13をZ軸方向に所定の微少量だけ移動させながら基準面13aを撮影し、撮影された画像に対して位相解析処理を施すことにより、撮影部11の各画素に対して、Ψ、Φおよび(ΦS−ΦR)とzとの関係をテーブルとして予め求めておく。こうして予め用意しておいた各画素に対するテーブルを参照することにより、各画素に対して得られた位相から高さzの値を求めることができる。
また、本発明による形状計測方法では、光源や格子面の配置等に、種々の拘束条件を設けたが、このような基準面13aを用いた位相解析により、5個のLEDの明るさ分布に多少のムラがある場合、点光源が完全な点ではなくて多少の面積がある場合、1次元格子やLEDの間隔が一定ではなく少々異なる場合、撮影部11のレンズの位置がLED面から少々外れる場合、平行に配置された各構成が平行から多少ずれる場合、および1次元格子の輝度分布が余弦波から多少ずれる場合のように、計測された位相と高さzとの関係が単調に変化して1対1の対応関係がありさえすれば、これらの誤差を打ち消し、計測対象物体21の形状を精度良く求めることができる。
2 基板
2a 基板表面
3 LED
31,41,51 格子投影用光源
32,42,52 光源用基板
32a 光源用基板表面
3,33,43,53 L―2,L―1,L0,L1,L2 格子投影用LED
4,34,44,54 格子プレート
10,30,40,50 格子投影部
11 撮像部
12 解析制御装置
13 基準平板
13a 基準面
21 計測対象物体
32b 凹部
32c 凸部
34a 格子面
45,55 撮像用LED
100,200,300,400,500,600 形状計測装置
U 撮影装置の画素
V 撮影装置のレンズの中心
Claims (8)
- 計測対象物体の形状を計測する装置であって、
光源用基板と、該光源用基板上に配置され、前記計測対象物体に1次元格子を投影するための複数の格子投影用発光ダイオードとからなる格子投影用光源と、前記1次元格子が描かれた格子面を含む、前記光源用基板に平行に配置された格子プレートとを有する格子投影部と、
前記1次元格子が投影された前記計測対象物体を撮像する撮像部と、
前記撮影された画像に対して位相解析処理を施して前記計測対象物体の形状を求める解析装置と、
を備え、前記複数の格子投影用発光ダイオードの各々の光軸が、前記光源用基板の法線に対して、前記計測対象物体側に傾斜していることを特徴とする形状計測装置。 - 前記光源用基板の表面が凹部または凸部を有し、前記複数の格子投影用発光ダイオードの各々は、前記凹部または前記凸部に配置されている、請求項1に記載の形状計測装置。
- 前記格子投影用光源が、前記計測対象物体を照明するための複数の撮像用発光ダイオードを更に備える、請求項1または2に記載の形状計測装置。
- 前記撮像用発光ダイオードの各々の光軸が前記格子プレートを通過し、前記複数の撮像用発光ダイオードは、該複数の撮像用発光ダイオードの全てを同時に点灯させた際に前記計測対象物体に前記1次元格子が投影されない間隔で配置されている、請求項3に記載の形状計測装置。
- 前記複数の撮像用発光ダイオードと前記格子プレートとの間に光拡散板を更に備える、請求項4に記載の形状計測装置。
- 前記複数の撮像用発光ダイオード間の間隔は、前記格子投影用発光ダイオードの間隔よりも小さい、請求項4または5に記載の形状計測装置。
- 計測対象物体に1次元格子を投影するための形状計測装置用の格子投影装置であって、
光源用基板と、該光源用基板上に配置され、前記計測対象物体に前記1次元格子を投影するための複数の格子投影用発光ダイオードとからなる格子投影用光源と、前記1次元格子が描かれた格子面を含む、前記光源用基板に平行に配置された格子プレートとを有し、
前記複数の格子投影用発光ダイオードの各々の光軸は、前記光源用基板の法線に対して傾斜していることを特徴とする格子投影装置。 - 前記光源用基板の表面が凹部または凸部を有し、前記複数の格子投影用発光ダイオードの各々は、前記凹部または前記凸部に配置されている、請求項7に記載の格子投影装置。
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