CN108732171B - 工件的检查结果判定方法 - Google Patents

工件的检查结果判定方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108732171B
CN108732171B CN201810338039.2A CN201810338039A CN108732171B CN 108732171 B CN108732171 B CN 108732171B CN 201810338039 A CN201810338039 A CN 201810338039A CN 108732171 B CN108732171 B CN 108732171B
Authority
CN
China
Prior art keywords
workpiece
inspection
determining
inspection result
evaluation value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810338039.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108732171A (zh
Inventor
菊地大树
横山嘉彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Weld Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Weld Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2017081547A external-priority patent/JP6999150B2/ja
Application filed by Tokyo Weld Co Ltd filed Critical Tokyo Weld Co Ltd
Publication of CN108732171A publication Critical patent/CN108732171A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108732171B publication Critical patent/CN108732171B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明涉及工件的检查结果判定方法。能够最佳地进行工件的合格品/不合格品的判定。工件的检查结果判定方法包括：对多个工件关于多个检查项目实施检查的步骤；关于各工件，基于全部检查项目的检查结果，使用将按各检查项目规定的函数相结合而得到的结合函数来求出各工件的评价值的步骤；以及将各工件的评价值配置于所希望空间的步骤。基于配置于所述所希望空间的评价值的分布状态，在该所希望空间中设定将该所希望空间划分为表示多个等级的区域的边界。

Description

工件的检查结果判定方法
技术领域
本发明涉及用于一边输送电子部件等工件、一边利用工件拍摄单元对其各表面进行拍摄来进行外观检查的工件的外观检查装置、并且基于检查结果来进行其判定的工件的检查结果判定方法。
背景技术
以往已知在旋转的圆盘状的透明的玻璃台的上表面载置6面体形状的电子部件等工件，使工件吸附于玻璃台的上表面地输送工件，利用工件拍摄单元对工件的各表面进行拍摄来进行外观检查的工件的外观检查装置(参照专利文献1)。
在这样的工件的外观检查装置中，对工件关于多个检查项目实施检查。并且，关于各检查项目设定OK/NG的阈值，将关于所有的检查项目判定为OK的工件判定为合格品。
但是，如何设定各检查项目的阈值，才能最佳地进行合格品/不合格品的判定是根据具体情况而规定的，因此，不容易确定该阈值。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2011-133458号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明是考虑到这些方面而提出的发明，其目的在于提供能够关于工件最佳地进行合格品/不合格品的判定的工件的检查结果判定方法。
用于解决课题的技术方案
本发明是一种工件的检查结果判定方法，是对多个工件关于多个检查项目实施检查，基于全部检查项目的检查结果来判定工件的等级的工件的检查结果判定方法，其特征在于，该方法包括：对所述多个工件关于多个检查项目实施检查的步骤；关于各工件，基于全部检查项目的检查结果，使用将按各检查项目规定的函数相结合而得到的结合函数来求出各工件的评价值的步骤；将各工件的评价值配置于所希望空间的步骤；以及基于配置于所述所希望空间的评价值的分布状态，在该所希望空间中设定将该所希望空间划分为表示多个等级的区域的边界的步骤。
本发明的工件的检查结果判定方法的特征在于，所述检查是图像检查。
本发明的工件的检查结果判定方法的特征在于，在求出所述评价值的步骤中，对检查结果项目规定的函数包含根据该检查项目的重要度分配规定的系数。
本发明的工件的检查结果判定方法的特征在于，在设定所述边界的步骤中，表示多个等级的区域包括合格品区域以及不合格品区域。
本发明的工件的检查结果判定方法的特征在于，在求出所述评价值的步骤中，按各所述工件求出的评价值包含合格得分和不合格得分。
本发明的工件的检查结果判定方法的特征在于，在设定所述边界的步骤之后，关于各工件进行合格品或不合格品的判定。
发明的效果
如以上那样，根据本发明，对于检查对象工件，能够恰当且容易地进行该检查对象工件的合格品/不合格品的判定。
附图说明
图1是表示工件的外观检查装置的俯视图。
图2的(a)、(b)是表示输送载置在输送台的上表面的工件的样态的图。
图3是表示本发明的工件的检查结果判定方法的流程图。
图4是表示在本发明的工件的检查结果判定方法中使用的二维空间的图。
图5是表示作为比较例的检查结果判定方法的图。
标号的说明
1线性供料器；2输送台；6离子发生器；7排列引导部；8侧表面摄像头部；9内表面摄像头部；10上表面摄像头部；11下表面摄像头部；12前表面摄像头部；13后表面摄像头部；20控制部；30工件的外观检查装置
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
图1至图5是表示本发明涉及的工件的检查结果判定方法的实施方式的图。
首先，利用图1说明使用工件的检查结果判定方法的、作为图像检查装置的工件的外观检查装置的概略。
如图1所示，工件的外观检查装置30具备：输送6面体形状的包括电极的电子部件等工件W的透明的玻璃制的输送台2；拍摄由输送台2输送的工件W的6个面的侧表面摄像头部8、内表面摄像头部9、上表面摄像头部10、下表面摄像头部11、前表面摄像头部12以及后表面摄像头部13。
其中，由输送台2构成输送单元，另外，由侧表面摄像头部8、内表面摄像头部9、上表面摄像头部10、下表面摄像头部11、前表面摄像头部12、后表面摄像头部13构成工件拍摄单元。
在图1所示的工件的外观检查装置30中，首先，工件W通过略有倾斜地下降的直线状的线性供料器1的振动的作用排列成一列而沿箭头N的方向输送。接着，工件W在线性供料器1的下游端，经由无振动的无振动部4被移载至在线性供料器1的下方水平地设置的透明的玻璃制的输送台2的上表面。并且，设置在无振动部4的位置的略靠跟前并且输送台2的正下的离子发生器6朝向输送台2的下表面喷出正离子。因此，输送台2的下表面带正电，通过由此产生的静电感应或电介质极化的作用，工件W被吸附于输送台2的上表面。
被吸附的工件W通过输送台2的旋转(中心轴3的周围的箭头X方向)被输送，之后，通过排列引导部7的作用排列于料想在输送台2的上表面的外缘部附近的工件输送圆弧5上。并且，工件W以该排列状态被输送并且在侧表面摄像头部8、内表面摄像头部9、上表面摄像头部10、下表面摄像头部11、前表面摄像头部12、后表面摄像头部13中通过与各面分别对应的拍摄单元来拍摄各面，进行外观检查。
结束了外观检查的工件W，与外观检查的结果对应地通过排出部14从工件输送圆弧5上被排出至未图示的收纳箱。
在此，作为立体图在图2的(a)中示出载置于输送台2的上表面的工件W被输送的样态。工件W是6面体形状，关于其各边的长度，如图2的(a)所示那样，沿着以箭头X表示的输送台2的旋转方向的长度方向的一边是WL，沿着从输送台2的中心轴3(图1)朝向外缘部的半径方向的宽度方向的一边是Ww，从输送台2的上表面朝向上方的高度方向的一边是WH。在此，各边的长度WL、Ww、WH都是大致1mm～10mm的程度。
另外，图2的(b)中示出从输送台2的上表面(箭头C的方向)观察图2的(a)的工件W的俯视图。在图2的(b)中，工件W以朝向输送台2的外侧的侧表面Ws成为工件输送圆弧5的切线的方式载置在输送台2的上表面。与侧表面Ws相对的内表面Wi面向输送台2的中心轴3(图1)。并且，前表面Wf面向以箭头X表示的输送台2的旋转方向，另外，后表面Wr面向旋转方向的逆方向。
如图2的(a)所示，长度WL与工件W的长边方向相对。这样，在工件的外观检查装置30中，通过图1中的线性供料器1以及排列引导部7的作用，6面体形状的工件W以其长边方向沿着输送台2的旋转方向并且侧表面Ws朝向输送台2的外侧成为工件输送圆弧5的切线方式被载置于输送台2的上表面。
在此，将工件W的各面和拍摄它们的各摄像头部的对应关系表示如下。首先，在图1的侧表面摄像头部8中，从图2的(a)的箭头A方向拍摄图2的(b)的侧表面Ws。接着，在图1的内表面摄像头部9中，从图2的(a)的箭头B方向拍摄图2的(b)的内表面Wi。接着，在图1的上表面摄像头部10中，从图2的(a)的箭头C方向拍摄图2的(a)的上表面Wt。接着，在图1的下表面摄像头部11中，从图2的(a)的箭头D方向拍摄图2的(a)的下表面Wb。接着，在图1的前表面摄像头部12中，从图2的(a)的箭头E方向拍摄图2的(b)的前表面Wf。最后，在图1的后表面摄像头部13中，从图2的(a)的箭头F方向拍摄图2的(b)的后表面Wr。
接着，通过侧表面摄像头部8、内表面摄像头部9、上表面摄像头部10、下表面摄像头部11、前表面摄像头部12以及后表面摄像头部13拍摄到的拍摄结果向控制部20发送。
在控制部20内，按以下的要领根据图3所示的流程图，进行工件的检查结果判定方法。
具体而言，首先，检查方法开始利用侧表面摄像头部8、内表面摄像头部9、上表面摄像头部10、下表面摄像头部11、前表面摄像头部12以及后表面摄像头部13拍摄各工件W的6个面，基于所拍摄到的工件W的6个面的拍摄结果，在控制部20中关于多个检查项目实施检查。
作为这些检查项目，具体而言，可以举出(1)工件的缺陷的大小，(2)电极的大小，(3)脏污情况。
接着，在控制部20内，关于各工件W基于上述全部检查项目(1)～(3)的检查结果，使用结合按各检查项目规定的函数而得到的结合函数求出其评价值。
接着，关于结合按各检查项目规定的函数而得到的结合函数，进行以下说明。
在此，作为结合函数F1，能够使用以下的(1)式。
F1＝Afa(OK，NG)+Bfb(OK，NG)+Cfc(OK，NG)+…(1)
结合函数F1生成为成为在求出各工件的评价值时的表示决定得分时的各检查项目的重要度分配的系数A、B、C…和根据各检查项目的阈值生成的函数Afa(OK，NG)、Bfb(OK，NG)、Cfc(OK，NG)的结合(在(1)式中1次结合)的函数。在(1)式中，“OK”表示合格得分(OK得分)，“NG”表示不合格得分(NG得分)。
此外，结合函数F1适用于借助数学式的记载容易的情况。另一方面，在结合函数F1的数学式的记载困难的情况下，也可以使具有学习功能的AI(人工知能)生成与F1相当的函数F2。
在(1)式中，如上述那样，F1表示结合函数，函数Afa(OK，NG)是按检查项目例如根据工件的缺陷的阈值生成的检查项目规定的函数，函数Afa(OK，NG)具有以阈值作为基准的OK(合格)或NG(不合格)的参数。另外，函数Afa(OK，NG)具有表示检查项目的重要度分配的系数A，在该检查项目的权重低的情况下，系数A取小的值，在权重高的情况下，系数A取大的值。
另外，在(1)式中，函数Bfb(OK，NG)是按检查项目例如根据工件的电极的大小的阈值生成的检查项目规定的函数，函数Bfb(OK，NG)具有以阈值作为基准的OK或NG的参数。另外，函数Bfb(OK，NG)具有表示检查项目的重要度分配的系数B，在该检查项目的权重低的情况下，系数B取小的值，在权重高的情况下，系数B取大的值。
在(1)式中，函数Cfc(OK，NG)是按检查项目例如根据工件的脏污情况的阈值生成的检查项目规定的函数，函数Cfc(OK，NG)具有以阈值作为基准的OK或NG的参数。另外，函数Cfc(OK，NG)具有表示检查项目的重要度分配的系数C，在该检查项目的权重低的情况下，系数C取小的值，在权重高的情况下，系数C取大的值。
这样，使用(1)式所示的将按各检查项目规定的函数结合而得到的结合函数F1，求出按各工件的评价值。
接着，控制部20将按各工件的评价值配置于图4所示的所希望的二维空间。
在该情况下，按各工件的评价值，如图4所示那样包含OK得分(合格得分)以及NG得分(不合格得分)。在此，在图4中，纵轴表示OK得分，横轴表示NG得分。
如图4所示，各工件的评价值中的OK得分的值大，则工件的评价为合格，NG得分的值大，则工件的评价为不合格。
接着，基于配置于二维空间的分布状态在二维空间中设定将二维空间划分为表示多个等级的区域α、β、γ、δ的边界A、B。
在图4中，二维空间通过直线状的边界A、B被划分为4个区域α、β、γ、δ，其中，区域α是合格品区域，进入该区域α的工件被判定为合格品。
区域δ是不合格品区域，进入该区域δ的工件被判定为不合格品。
区域β、γ是中间区域，进入该区域β、γ的工件成为目视检查的对象(中间品)。
这样，在二维空间配置各工件的包含OK得分和NG得分的评价值，基于该评价值的分布状态，设定将二维空间划分为4个区域α、β、γ、δ的边界A、B。接着，关于进入该4个区域α、β、γ、δ的工件，能够判定为合格品、不合格品或中间品。
接着，根据图5对本发明的比较例进行说明。在图5所示的比较例中，关于各工件，检查项目(1)：求出缺陷的大小，检查项目(2)：求出电极的大小，检查项目(3)：求出脏污情况。
在图5所示的比较例中，关于各工件，按各检查项目(1)～(3)设定阈值1～3，关于各检查项目(1)～(3)，以阈值1～3为基准，判定合格(OK)、不合格(NG)。并且，在关于各工件所有的检查项目1～3都判定为合格的情况下，该工件判定为合格品，在检查项目1～3中的任一个检查项目判定为不合格的情况下，该工件判定为不合格品。
但是，在该比较例的情况下，如何设定各检查项目的阈值才能恰当地进行合格品与不合格品的判定是不明确的，各检查项目的阈值与其他检查项目的阈值无关系地规定，因此，难以考虑检查项目整体的平衡来进行合格品和不合格品的判定。
对此，根据本申请发明，使用将按各检查项目规定的函数结合而得到的结合函数来求出其评价值，将该评价值配置于二维空间，基于评价值的分布状态将二维空间划分为4个区域α、β、γ、δ，关于进入该4个区域α、β、γ、δ的工件，判定其等级(合格品、不合格品、中间品)。因此，能够考虑检查项目整体的平衡地进行合格品和不合格品的判定。另外，各检查项目的函数包含根据该检查项目的重要度分配规定的系数，因此，能够重视重要度高的检查项目的检查结果地进行合格品、不合格品的判定，因此，能够根据实际情况恰当地判定工件的合格品、不合格品。
此外，在上述实施方式中，示出了各工件的评价值包含具有OK得分和NG得分这2个值，据此将评价值配置在二维空间上的例子，但是，不限于此，评价值也可以具有3个值，据此将评价值配置在三维空间上。
另外，示出了将评价值配置于二维空间并且基于评价值的分散状态使用2条直线状的边界A、B来划分二维空间的例子，但是，边界A、B不限定于直线状的边界，也可以是曲线状的边界。
此外，示出了使用2条直线状的边界A、B将二维空间划分为表示4个等级的区域α、β、γ、δ的例子，但是，不限于此，也可以将二维空间划分为表示5个、6个或其以上的等级的各区域。
另外，在以上的说明中，将本发明应用于外观检查装置，但是本发明也可以应用于外观检查装置以外的例如输送带装置等具有的图像处理装置。

Claims (7)

1.一种工件的检查结果判定方法，是对多个工件关于多个检查项目实施检查，基于全部检查项目的检查结果来判定工件的等级的工件的检查结果判定方法，其特征在于，该方法包括：
对所述多个工件关于多个检查项目实施检查的步骤；
关于各工件，基于全部检查项目的检查结果，使用将按各检查项目规定的函数相结合而得到的结合函数来求出各工件的评价值的步骤；
将各工件的评价值配置于所希望空间的步骤；以及
基于配置于所述所希望空间的评价值的分布状态，在该所希望空间中设定将该所希望空间划分为表示多个等级的区域的边界的步骤，
在求出所述评价值的步骤中，按各所述工件求出的评价值包含合格得分和不合格得分，
所述希望空间是具有所述合格得分和所述不合格得分作为轴的二维或三维的空间。
2.根据权利要求1所述的工件的检查结果判定方法，其特征在于，
所述检查是图像检查。
3.根据权利要求1所述的工件的检查结果判定方法，其特征在于，
在求出所述评价值的步骤中，对检查结果项目规定的函数包含根据该检查项目的重要度分配规定的系数。
4.根据权利要求2所述的工件的检查结果判定方法，其特征在于，
在求出所述评价值的步骤中，对检查结果项目规定的函数包含根据该检查项目的重要度分配规定的系数。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的工件的检查结果判定方法，其特征在于，
在设定所述边界的步骤中，表示多个等级的区域包括合格品区域以及不合格品区域。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的工件的检查结果判定方法，其特征在于，
在设定所述边界的步骤之后，关于各工件进行合格品或不合格品的判定。
7.根据权利要求5所述的工件的检查结果判定方法，其特征在于，
在设定所述边界的步骤之后，关于各工件进行合格品或不合格品的判定。
CN201810338039.2A 2017-03-28 2018-04-16 工件的检查结果判定方法 Active CN108732171B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017063160 2017-03-28
JP2017081547A JP6999150B2 (ja) 2017-03-28 2017-04-17 ワークの検査結果判定方法
JP2017-081547 2017-04-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108732171A CN108732171A (zh) 2018-11-02
CN108732171B true CN108732171B (zh) 2021-12-31

Family

ID=80469062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810338039.2A Active CN108732171B (zh) 2017-03-28 2018-04-16 工件的检查结果判定方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108732171B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1103978A (zh) * 1993-07-13 1995-06-21 夏普公司 平面型显示板检验设备
US5689581A (en) * 1994-02-28 1997-11-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Methods of inspection
CN103267834A (zh) * 2013-05-19 2013-08-28 山东出入境检验检疫局检验检疫技术中心 铸造锡铅焊料产品质量的综合检测评判系统及其方法
CN106126883A (zh) * 2016-06-16 2016-11-16 中国石油集团石油管工程技术研究院 油套管质量水平评价方法
CN106651656A (zh) * 2016-12-28 2017-05-10 国网江西省电力公司经济技术研究院 基于改进的隶属度函数的供电可靠性模糊综合评价方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1103978A (zh) * 1993-07-13 1995-06-21 夏普公司 平面型显示板检验设备
US5689581A (en) * 1994-02-28 1997-11-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Methods of inspection
CN103267834A (zh) * 2013-05-19 2013-08-28 山东出入境检验检疫局检验检疫技术中心 铸造锡铅焊料产品质量的综合检测评判系统及其方法
CN106126883A (zh) * 2016-06-16 2016-11-16 中国石油集团石油管工程技术研究院 油套管质量水平评价方法
CN106651656A (zh) * 2016-12-28 2017-05-10 国网江西省电力公司经济技术研究院 基于改进的隶属度函数的供电可靠性模糊综合评价方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108732171A (zh) 2018-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101271720B1 (ko) 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
US11972589B2 (en) Image processing device, work robot, substrate inspection device, and specimen inspection device
KR101631841B1 (ko) 3d 비전 검사 시스템
US11040447B2 (en) System and method for adaptive bin picking for manufacturing
CN104517877B (zh) 组件装载设备和方法
JP2019184380A (ja) 撮像装置及び撮像装置を用いた検査システム
JP2021512342A (ja) マスク欠陥検査装置及び方法
Yunardi Contour-based object detection in Automatic Sorting System for a parcel boxes
KR102109698B1 (ko) 영상처리분석을 이용한 대상물 자동 선별, 분류 시스템 및 자동선별 분류방법
CN108732171B (zh) 工件的检查结果判定方法
KR20170080910A (ko) 3d 형상 검사 시스템
CN111289521A (zh) 加工品的表面损伤检查系统
JP2015105429A (ja) 析出金属板の表面検査装置および析出金属板の仕分けとカソード板の仕分けシステム
US11378520B2 (en) Auto focus function for vision inspection system
US20210379624A1 (en) Vision inspection system and method of inspecting parts
JP6999150B2 (ja) ワークの検査結果判定方法
KR102297748B1 (ko) 워크의 검사 결과 판정 방법
JP5902067B2 (ja) 紙粉の付着量検査方法および紙粉付着量検査装置
US20180176549A1 (en) Multi-view-angle image capturing device and multi-view-angle image inspection apparatus using the same
TWI232297B (en) Apparatus and method for screening of works in response to inspection results
CN209139209U (zh) 一种应用于轴类零件的检测组件
CN111701884A (zh) 汇流式吸盘陶瓷瑕疵检测装置
CN113496177A (zh) 视觉检查系统和检查零件的方法
TWI624660B (zh) 元件處理器及視覺檢測方法
KR100909944B1 (ko) 실체 현미경을 이용한 렌즈 검사 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant