JP2002250696A

JP2002250696A - 平面表示パネルの欠陥検査装置

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Publication number: JP2002250696A
Application number: JP2001049685A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Saijo; 豊西條; Junichi Sakamoto; 淳一坂本; Fumitaka Fujii; 史高藤井; Yoshitaka Yamada; 芳孝山田; Toru Yonenami; 徹米浪; Toshio Fujii; 敏夫藤井
Original assignee: Horiba Ltd; Technos Co Ltd
Current assignee: Horiba Ltd; Technos Co Ltd
Priority date: 2001-02-26
Filing date: 2001-02-26
Publication date: 2002-09-06

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】平面表示パネルの欠陥検査装置を提供する。【解決手段】平面表示パネル１の各画素Ｒ，Ｇ，Ｂよ
り十分に小さい小領域Ｂ₀₁₀₁，Ｂ₀₂₀₁，…を検出視野Ａ
₁，Ａ₂…として一直線上に配列された受光素子からな
るラインセンサと、平面表示パネルとラインセンサとの
相対位置を受光素子の配列方向Ｘに直行する方向Ｙに走
査させる走査部と、このラインセンサに接続されて各受
光素子からの輝度データを演算処理することにより平面
表示パネル１の欠陥を検証する取込処理部とを有する平
面表示パネルの欠陥検査装置であって、前記取込処理部
が、輝度の閾値を設定して各画素Ｒ，Ｇ，Ｂ内で閾値以
上または以下の輝度を検出した小領域Ｂ₀₉₀₃，Ｂ₁₀₀₃，
Ｂ₁₀₀₄，Ｂ₁₁₀₄，Ｂ₁₂₀₄，Ｂ₁₂₀₅の輝度データのみをそ
の座標と共に記録する欠陥検知機能部を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、平面表示パネル
の欠陥検査装置、特に、カラー表示用の液晶セルやプラ
ズマディスプレイパネルなどにおける欠陥検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、各種の電子機器の表示装置とし
て、平面表示パネルを用いる場合が多くとりわけカラー
表示するものが多く用いられている。これに伴って、表
示装置の製造工程のより早い時期に平面表示パネルの輝
度分布や画像欠陥や異物の混入などの欠陥を検出するこ
とが求められており、この検査工程を自動的に行うため
の種々の平面表示パネルの欠陥検査装置が発明され、実
用化に至っている。

【０００３】そして、平面表示パネルにおける上記欠陥
を検出するために、ＣＣＤイメージセンサによる画像処
理検査、ＣＣＤイメージセンサによる画像処理検査方法
が用いられているが、従来においては、ＣＣＤイメージ
センサの分解能が、平面表示パネルの画素に比べて不足
するという問題があった。

【０００４】上記課題を解決するものとして、例えば特
開平６−１１４５５号公報に示されるものがある。この
公報に係る欠陥検査装置においては、セルあるいはモジ
ュールになった状態の液晶カラーディスプレイを点灯
し、それを光学的に読み取り、各画素情報をその寸法よ
りも広範囲なイメージセンサ出力を加算した結果として
いる。

【０００５】すなわち、ＣＣＤイメージセンサの方式で
格子状の画素を検査する場合にはモアレの影響を受ける
ことがあるが、画素情報としてその寸法よりも広範囲な
イメージセンサ出力を加算した結果を用いることによ
り、このモアレの影響を少なくすることが考えられてい
る。つまり、１画素のデータを一定にすることにより、
１画素単位の点灯の欠陥あるいは輝度むらなどの欠陥の
検出率を高めることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、近年は平面
表示パネルのより高いレベルの欠陥検知を行うことが求
められている。つまり、１つの画素の全体が輝点や滅点
になっていることを検知するだけにとどまらず１つの画
素の中の部分的な欠陥や異物の混入によって生じる欠陥
が発生している場合においても、その正確な欠陥の程度
を検証することが求められている。

【０００７】一方、近年は平面表示パネルの１画素に対
して十分に高い分解能を有するラインセンサが提供され
るに至っているが、このような高分解能のラインセンサ
を用いた場合には、信号の量が飛躍的に多くなるので、
解像度が高くなればなるほど信号処理のために多大の時
間を必要とすることが懸念される。また、検査結果を保
存するのに、より詳細な情報を蓄積するための膨大な記
憶装置が必要となる。このため、肥大化した検査結果を
信号処理するために高速演算を実行可能とする大容量の
専用の情報処理装置を必要としていた。

【０００８】これに加えて、一つの平面表示パネルをよ
り高速に検査して検査時間を短縮することが求められて
いる。つまり、高分解能化と高速処理の両立を達成する
ことが望まれている。

【０００９】この発明は、平面表示パネルを高分解能の
ラインセンサを用いて欠陥検査し、欠陥の程度を詳細か
つ精度よく検証することができ、効率よく測定を行うこ
とにより、検査時間を短縮する平面表示パネルの欠陥検
査装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の平面表示パネルの欠陥検査装置は、平面
表示パネルの各画素より十分に小さい小領域を検出視野
として一直線上に配列された受光素子からなるラインセ
ンサと、平面表示パネルとラインセンサとの相対位置を
受光素子の配列方向に直行する方向に走査させる走査部
と、このラインセンサに接続されて各受光素子からの輝
度データを演算処理することにより平面表示パネルの欠
陥を検証する取込処理部とを有する平面表示パネルの欠
陥検査装置であって、前記取込処理部が、輝度の閾値を
設定して各画素内で閾値以上または以下の輝度を検出し
た小領域の輝度データのみをその座標と共に記録する欠
陥検知機能部を有することを特徴としている（請求項
１）。

【００１１】上記請求項１に記載の発明においては、ラ
インセンサからのデータをそのまま用いるのではなく、
所定の閾値以上または以下の輝度を検出した小領域の輝
度データのみをその座標とともに記録する欠陥検知機能
を有するので、極めて高分解能でありながら、可及的に
高速処理を行うことができる。また、欠陥の生じている
面積や輝度に生じたムラの程度などを検証することがで
き、より高いレベルの欠陥検知を行うことが可能とな
る。すなわち、使用に問題のない程度の欠陥であるか、
重度の欠陥であるかを速やかに検査することができる。

【００１２】前記欠陥検知機能部が、前記小領域のうち
各画素内に位置する検査領域を特定するためのマスクデ
ータを記録してなる欠陥検出指示メモリと、この欠陥検
出指示メモリが指示する小領域の輝度を閾値と比較する
欠陥検出処理部と、閾値を越えた輝度とその座標を記憶
する詳細記録メモリとを有する場合（請求項２）には、
欠陥検知機能部の主要な処理を行なう部分を簡潔な論理
回路によって形成でき、ソフトウェアによる処理では到
底達成できない限界の高速処理で欠陥検出を行うことが
できる。

【００１３】欠陥検出指示メモリが、各受光素子に対応
するマスクデータを記録するセンサ配列方向のマスクメ
モリと、走査方向のマスクメモリとからなり、前記欠陥
検出処理部が両マスクメモリから検査領域を特定する機
能を有する場合（請求項３）には、マスクメモリの容量
を削減できるとともに、設定を容易に行うことができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】発明の実施の形態を、図面を参照
しながら説明する。図１〜図９は、この発明の一実施例
を示すもので、まず、図１はこの発明の平面表示パネル
の欠陥検査装置（以下、単に欠陥検査装置という）の全
体構成を概略的に示す図である。図１において、１は検
査対象となる平面視矩形状の平面表示パネルで、例えば
液晶表示装置の液晶セルで、その平面構造は、例えば図
２（Ａ）に模式的に示すように、複数（多数）の矩形状
の画素Ｒ（赤），Ｇ（緑）、Ｂ（青）を縦横に配列して
なるもので、これらの画素の大きさは、例えばＸ方向の
長さが６０μｍ、Ｙ方向の長さが２００μｍである。そ
して、ＢＭは、図７にも示すように、発光に寄与しない
ブラックマトリックスで、各画素Ｒ，Ｇ，Ｂを区画する
ように設けられている。また、前記液晶セル１の断面構
造は、図２（Ｂ）に示すように、上下２枚のガラス板
２，３間に液晶４を設けるとともに、ガラス板２，３の
上面、下面にそれぞれ上偏向板５、下偏向板６を設けて
なる。このように構成された液晶セル１は水平に保持さ
れる。なお、バックライト光源は、後述する欠陥検査装
置本体７側に設けられている。

【００１５】再び図１において、７は欠陥検査装置本体
で、大きくは、走査部の一例としてラインセンサユニッ
ト８とこれを水平に保持し直線的に移動させるユニット
載置フレーム９とからなる。

【００１６】前記ラインセンサユニット８は、保持部材
８ａに複数のカメラ１０Ａを垂直に配置してなる垂直ラ
インセンサユニット８Ａと、保持部材８ｂに複数のカメ
ラ１０Ｂを垂直方向のカメラ１０Ａに対してスキャン方
向Ｙにおいて所定の角度θだけ傾けた方向に配置してな
る斜めラインセンサユニット８Ｂとからなる。

【００１７】より詳しくは、前記カメラ１０Ａ，１０Ｂ
はそれぞれ筒体１１Ａ，１１Ｂの上方側にラインセンサ
１２を備えるとともに下方に検出視野を拡大するための
レンズ１３Ａ，１３Ｂを備えている。これらのカメラ１
０Ａ，１０Ｂは、常に、液晶セル１の同じ座標（同じポ
イント）を検出できるように、筒体１１Ａ，１１Ｂの長
さやレンズ１３Ａ，１３Ｂの焦点距離が設定されるよう
にしてある。そして、ラインセンサ１２は、図３に示す
ように、縦横の寸法が例えば７μｍ×７μｍの大きさの
モノクロの受光素子１２ａを例えば７５００個一直線状
に配置してなるものである。また、例えば垂直ラインセ
ンサユニット８Ａにおけるラインセンサ１２は、前記レ
ンズ１３Ａを通して液晶セル１を観察した場合、個々の
受光素子１２ａは、図７に示すように、縦横の寸法が各
画素Ｒ，Ｇ，Ｂより十分に小さい例えば１２μｍ×１２
μｍの検出視野Ａ₁……（総称するときはＡで表す）を
有する。

【００１８】そして、垂直ラインセンサユニット８Ａ
は、前記構成からなるカメラ１０Ａを例えば６台、それ
らのラインセンサ１２が複数の受光素子１２ａの配列方
向がＸ方向と一致するようにして保持部材８ａに一直線
状に並設して構成される。また、斜めラインセンサユニ
ット８Ｂは、前記構成からなるカメラ１０Ｂを例えば４
台、それらのラインセンサ１２が複数の受光素子１２ａ
の配列方向がＸ方向と一致するようにして保持部材８ｂ
に一直線状に並設して構成される。

【００１９】なお、後で説明するように、垂直ラインセ
ンサユニット８Ａは、液晶セル１の輝度を検出するもの
であり、斜めラインセンサユニット８Ｂは、垂直ライン
センサユニット８Ａと共働して、図９に示すように、ガ
ラス板２と上偏向板５との間の異物１４ｂまたはガラス
板３と下偏向板６との間の異物１４ｃ（これらの異物を
偏ゴミという）を検出するものである。なお、これらの
偏ゴミ１４ａ，１４ｂの検出原理については後述する。

【００２０】前記ユニット載置フレーム９は、上記構成
のラインセンサユニット８を、そのＸ方向の両端におい
て水平に保持し、これをＹ方向に直線的に移動させるも
のである。

【００２１】そして、図１において、１５はラインセン
サユニット８を動作させるためのセンサ駆動ユニット、
１６はセンサ載置フレーム９を動作させ、ラインセンサ
ユニット８を移動制御するためのフレーム駆動ユニッ
ト、１７は液晶セル１に所定のパターンを表示させるた
めの信号発生ユニットである。

【００２２】より詳しくは、前記フレーム駆動ユニット
１６は、センサ載置フレーム９を制御し、後述するクロ
ック同期信号Ｃ（図４参照）に合わせて指示された速度
でラインセンサユニット８を平行移動させる位置制御ユ
ニット１６ａと、ラインセンアユニット８の正確な位置
検出を行なう位置検出ユニット１６ｂとからなる。例え
ば、位置制御ユニット１６ａは、一つのクロック同期信
号Ｃに対して０．５μｍの移動距離を保つように等速度
の駆動を行なう。そして、位置検出ユニット１６ｂは、
ラインセンサユニット８が液晶セル１上を移動するとき
に所定の間隔（例えば１２μｍ）毎にスキャン同期信号
Ｓを出力する。

【００２３】また、図１において、１８は前記各ユニッ
ト１５〜１７を制御するための制御信号を出力する情報
処理装置（以下、パソコンという）、１９はパソコン１
８に接続されてパソコン１８からの制御信号を受けると
ともに前記位置検出ユニット６ｂからの信号Ｓ，Ｃおよ
びラインセンサ１２からの輝度データＤ₀を入力して画
像処理し、液晶セル１の各部の輝度を示す画像データＤ
をパソコン１８に出力する取込処理部である。

【００２４】前記取込処理部１９は、各ラインセンサ１
２の輝度データＤ₀のうち各画素に対応するものを割り
付けるセンサ出力割付機能部１９ａ、各画素に対応しな
い部分をブラックマトリックスとして設定するブラック
マトリックス設定機能部１９ｂ、各ラインセンサ１２の
位置補正を行なうセンサ位置補正機能部１９ｃ、各画素
内に生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部１９
ｄおよび前記欠陥部の深さ方向の位置を検知する偏ゴミ
検知機能部１９ｅを備えている。

【００２５】前記取込処理部１９は、例えば図４，５に
示すように構成されている。なお、図４は取込処理部１
９の機能を分かりやすく説明するためのブロック図であ
り、図５は取込処理部１９のより具体的なハードウェア
構成を説明するためのブロック図であって、両図４，５
は取込処理部１９の構成を互いに補い合って説明してい
る。したがって、以下の説明において、図４，５の何れ
か一方にだけその構成が開示されているものがある。

【００２６】図４において、取込処理部１９は、取込ボ
ード２０とこれに接続される演算処理部２１とからな
り、例えば、一つの演算処理部２１に対して適宜数（図
示例は１枚）の取込ボード２１が接続されている。そし
て、取込ボード２０は、ラインセンサ１２およびセンサ
載置フレーム９の位置検出ユニット１６ｂに接続されて
ラインセンサ１２を制御するとともに、このラインセン
サ１２から得られた画像データから液晶セル１の検査に
重要な情報だけを抽出する信号処理を行う。また、演算
処理部２１は、ＣＰＵ２１ａおよびメモリ２１ｂを備え
ている。

【００２７】そして、前記取込ボード２０は、例えば取
込タイミング補正部２２、シェーディング補正部２３、
平均化処理部２４および欠陥記録部２５を備えている。
また、２６は取込ボード２０を演算処理部２１に接続す
るための入出力制御部である。また、図５に示す、２０
ａは取込ボードの制御部であって、前記取込タイミング
補正部２２を含むと共に、前記各部２３〜２５に対する
制御を行うものである。

【００２８】前記取込タイミング補正部２２は、例えば
タイミング制御回路２２ａおよびタイミング制御指示レ
ジスタ２２ｂを備えている。そして、タイミング制御回
路２２ａは、位置検出ユニット１６ａから得られるスキ
ャン同期信号Ｓにタイミング制御指示レジスタ２２ｂに
示される時間だけの遅延時間を設けて各ラインセンサ１
２のためのスキャン同期信号Ｓ’の生成を行う。なお、
この実施例では遅延時間をクロック信号Ｃのカウント数
として表現するので、タイミング制御指示レジスタ２２
ｂには数値が入力される。すなわち、前記取込タイミン
グ補正部２２が前記カメラ位置補正機能部１９ｃの要部
を構成する。

【００２９】前記シェーディング補正部２３は、例えば
シェーディング補正回路２３ａおよびシェーディング補
正用メモリ２３ｂを備えている。そして、シェーディン
グ補正用メモリ２３ｂは、ラインセンサ１２の各受光素
子１２ａによる受光特性のばらつきを補正する補正値を
記憶する。また、シェーディング補正回路２３ａは、ラ
インセンサ１２から入力される輝度の測定値データＤ₀
をシェーディング補正用メモリ２３ｂに記憶された補正
値によって補正処理することによりその零レベルおよび
最大値レベルを補正する。そして、補正された輝度の生
画像データＤ₁は、平均化処理部２４および欠陥記録部
２５に出力される。

【００３０】前記平均化処理部２４は、例えば平均化演
算部２４ａおよび平均化指示メモリ２４ｂを備えてい
る。そして、平均化指示メモリ２４ｂは、ラインセンサ
１２によって測定される生画像データＤ₁のうち液晶セ
ル１のブラックマトリックスＢＭを除く部分を指示す
る。また、平均化演算部２４ａは、平均化指示メモリ２
４ｂに記録された指示にしたがって液晶セル１の画素
Ｒ，Ｇ，Ｂ毎に輝度の平均値を算出し、平均化画像デー
タＤ₂として出力する。

【００３１】さらに、前記平均化指示メモリ２４ｂに
は、各受光素子１２ａが輝度を検出する検出視野Ａの全
体が一つの画素Ｒ（もしくはＧ、またはＢ）内に入る場
合のみを平均化の対象として、それ以外の部分をブラッ
クマトリックスＢＭとする指示データを記憶する。すな
わち、平均化処理部２４が前記センサ出力割付機能部１
９ａおよびブラックマトリックス設定機能部１９ｂの要
部を構成する。

【００３２】前記欠陥記録部２５は、例えば欠陥検出処
理部２５ａ、欠陥検出指示メモリ２５ｂおよび詳細記録
メモリ２５ｃを備えている。そして、欠陥検出処理部２
５ｂは、ラインセンサ１２によって測定される生画像デ
ータＤ₁のうち液晶セル１のブラックマトリックスＢＭ
を除いた各画素Ｒ，Ｇ，Ｂ内に相当する部分を指示す
る。また、欠陥検出処理部２５ａは、欠陥検出処理部２
５ｂに記録された画素Ｒ，Ｇ，Ｂ内に相当する部分にお
いて、生画像データＤ₁が所定の閾値を超えた値となる
場合にこの生画像データＤ₁をその位置座標ｘ，ｙとと
もに欠陥部詳細データＤ₃として詳細記録メモリ２５ｃ
に記録する機能を有する。すなわち、欠陥記録部２５が
前記欠陥検知機能部１９ｄの要部を構成する。

【００３３】また、図５に示す、２０ｂ，２０ｃは前記
平均化指示メモリ２４ｂおよび欠陥検出指示メモリ２５
ｂを構成する各マスクメモリであり、２０ｂはセンサ配
列方向ＸのマスクデータＭｘを記憶し、２０ｃはスキャ
ン方向ＹのマスクデータＭｙを記憶するものである（図
７参照）。２４ｃ，２４ｄ，２４ｅは前記平均化演算部
２４ａを構成するものであり、２４ｃは平均化制御部、
２４ｄは累積演算用メモリ、２４ｅは除算処理用テーブ
ルメモリである。

【００３４】すなわち、前記平均化制御部２４ｃは、ラ
インセンサユニット１２がマスクメモリ２０ｃに記録さ
れたマスクデータＭｙによって検査領域（図７の左端
に”１”と記す）に指定された位置を検出しているとき
に、マスクメモリ２０ｂに記録されたマスクデータＭｘ
によって検査領域（図７の各検出視野Ａ内に”１”と記
す列）に指定された小領域Ｂ_02XX〜Ｂ_06XX，Ｂ_09XX〜Ｂ
_12XX，Ｂ_15XX〜Ｂ_19XX…の輝度を示す生画像データＤ₁
を累積演算用メモリ２４ｄを用いてＸ方向にそれぞれ累
積加算するように動作する。そして、ラインセンサユニ
ット１２が検査領域外（図７の左端に”０”と記す行）
を検知したときに、前記累積演算用メモリ２４ｄに記憶
している累積加算値をＸ方向に累積加算して各画素
Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ ₁₁…内の総和を求めると共に、求めた総
和を除算処理用テーブルメモリ２４ｅに記録された各画
素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁…毎の除算値によって除算して、各
画素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁毎の平均値とし、平均化画像デー
タＤ₂を生成すると共に、累積演算用メモリ２４ｄをク
リアするように構成している。

【００３５】図７に示す本例の場合は、画素Ｒ₁₁の中に
は８０の小領域Ｂ₀₂₀₁〜Ｂ₀₆₁₆が含まれているのに対
し、画素Ｇ₁₁の中には６４の小領域Ｂ₀₉₀₁〜Ｂ₁₂₁₆が含
まれている。そこで、両画素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁の総和をこれら
の数８０，６４で除算して、両画素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁共に輝度
の平均値を求め、データの精度を上げている。なお、実
際の回路では処理速度を上げるために除算処理用テーブ
ルメモリ２４ｅには前記数の逆数１／８０，１／６４に
比例した値が書き込まれており、平均化制御部２４ｃは
除算の代わりに掛け算を行うようにしている。

【００３６】本例のように構成することにより、各画素
Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁…の大きさに合わせてその中に入る小
領域だけを検出領域に指定し、その輝度の平均値を求め
るという複雑な演算処理を論理回路だけのフルロジック
で行うことができる。すなわち、これらの演算動作を各
論理回路の遅延時間だけによって定まる必要最小限の時
間で行うことができるので、膨大な情報量を可及的に高
速に圧縮して、欠陥検査装置に必要な平均値データのみ
を精度よく求めることができる。

【００３７】同様に、欠陥検出処理部２５ａは、ライン
センサユニット１２がマスクデータＭｙによって検査領
域に指定された位置を検出しているときに、マスクデー
タＭｘによって検査領域に指定された小領域Ｂ_02XX〜Ｂ
_06XX，Ｂ_09XX〜Ｂ_12XX，Ｂ₁₅ _XX〜Ｂ_19XX…の輝度を示す
生画像データＤ₁を予め設定した閾値と比較し、これが
閾値を越えるときに、その位置ｘ，ｙとそのときの生画
像データＤ₁を詳細記録メモリ２５ｃに記録する。

【００３８】例えば、図７に示す例のように、画素Ｇ₁₁
を点灯している状態で一部分に異物の混入、液晶の偏
析、キズ等さまざまな原因で、欠陥Ｅが生じているとす
る。このとき、欠陥検出処理部２５ａは、例えば平均輝
度の５０％を閾値とし、これを越えるとき（すなわち５
０％以下のとき）に、その小領域Ｂ₀₉₀₃，Ｂ₁₀₀₃，Ｂ₁₀
₀₄，Ｂ₁₁₀₄，Ｂ₁₂₀₄，Ｂ₁₂₀₅の座標（９，３），（１
０，３），（１０，４），（１１，４），（１２，
４），（１２，５）と、そのときの生画像データＤ₁を
詳細記録メモリ２５ｃに記録する。一方、輝点を検出す
るときは、画素Ｒ，Ｇ，Ｂを消灯している状態で、例え
ば輝度が３．９，４．１，５．５ｃｄ／ｍ²を閾値とし
て、これ以上の輝度を有するものを輝点として検出する
ことができる。

【００３９】何れにしても、前記欠陥検出処理部２５ａ
は、各画素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁…の大きさに合わせてその
中に入る検査領域において閾値を越えたもの、つまり、
望まれる輝度と異なる値を示した生画像データＤ₁だけ
を欠陥部詳細データＤ₃として記録するという、極めて
複雑なデータ処理を簡素化された論理回路だけのフルロ
ジックで行うことができる。すなわち、これらの演算動
作を各論理回路の遅延時間だけによって定まる必要最小
限の時間で行って、膨大な情報量を可及的に高速かつ効
率よく圧縮することができる。

【００４０】また、前記欠陥部詳細データＤ₃は欠陥が
あった部分だけのデータであると共に、その欠陥の詳細
な状態を元の輝度の生画像データＤ₁から確かめること
ができるものである。したがって、この欠陥部詳細デー
タＤ₃を用いて後で欠陥の程度を検証することができ、
どの程度の欠陥（目立つものか微細なものか）が、幾つ
存在するかによって平面表示パネル１の全体的な段階的
な評価を行うことができる。

【００４１】加えて、前記詳細記録メモリ１５ｃはその
容量を予め幾つかに分割して使用している。すなわち、
同じラインセンサ１２によって測定される各検出視野Ａ
₁，Ａ₂…を例えば３分割して、各部における欠陥部詳
細データＤ₃をそれぞれ別の領域に保存するようにして
いる。これによって、１枚の液晶パネル１内に幾つかの
液晶セルが形成される場合に、１つの液晶セルに固まっ
て欠陥が発生した場合においても、詳細記録メモリ１５
ｃの全体がオーバーフローすることを防いて、別の健全
な液晶セルに対しては検査を続行することができる。

【００４２】また、図５に示した例では、２つのマスク
メモリ２０ｂ，２０ｃには同じ内容のマスクデータＭ
ｘ，Ｍｙをそれぞれ記録するものであるから、これらの
マスクメモリ２０ｂ，２０ｃが、平均化制御部２４ｃと
欠陥検出処理部２５ａの両方から読みだせるように構成
した例を図示しているが、本発明はこれに限られるもの
ではない。すなわち、同じ内容のマスクデータＭｘ，Ｍ
ｙをそれぞれしてなる２つのメモリを平均化制御部２４
ｃと欠陥検出処理部２５ａから別々に読みだすことがで
きるように２対設けてもよい。とりわけ、マスクデータ
Ｍｘを記録するマスクメモリ２０ｂを平均化制御部２４
ｃと欠陥検出処理部２５ａから別々に読みだすことがで
きるように構成することにより、より高速な演算処理を
可能とすることができる。

【００４３】前記入出力制御部２６は、少なくとも演算
処理部２１からの指示にしたがって、タイミング制御指
示レジスタ２２ｂ、シェーディング補正メモリ２３ｂ、
各指示メモリ２４ｂ，２５ｂ（つまりマスクメモリ２０
ｂ，２０Ｃ）および、除算処理用テーブルメモリ２４ｅ
に対して各設定値を書き込む機能と、各種データＤ₁〜
Ｄ₃をパソコン側に転送する機能を備えている。そし
て、この実施例の入出力制御部２６には、各データＤ₁
〜Ｄ₃を演算処理部２１内のメモリ１１ｂにＤＭＡ転送
する機能を備えている。

【００４４】また、２０ｄは前記データＤ₁，Ｄ₂，Ｄ
₃を選択して入出力制御部２６に出力するセレクタであ
る。このセレクタ２０ｄを用いて生画像データＤ₁を演
算処理部２１側に転送するのはシェーディング補正の調
整や、後述するプレスキャンを行うときのみであり、通
常の測定においては、平均化画像データＤ₂が選択され
ている。

【００４５】すなわち、この発明の欠陥検査装置は、取
込ボード２０が、ラインセンサ１２からの生画像データ
Ｄ₁をそのまま演算処理部２１側に出力するのではな
く、液晶セル１を構成する画素Ｒ，Ｇ，Ｂ内にそれぞれ
位置する部分の測定値を、平均化処理部２４（ハードウ
ェア）において平均化演算を行って平均化画像データＤ
₂を求め、通常はこの平均化画像データＤ₂だけを演算
処理部２４に出力するようなハードウェア構成を備えて
いる。

【００４６】したがって、ラインセンサ１２の解像度を
液晶セル１の画素に対して十分に細かく設定したとして
も演算処理部２１に対して膨大なデータを転送する必要
も、演算処理部２１が膨大なデータを記憶したり、ソフ
トウェアによる演算処理を行なう必要もなくすことがで
きる。例えば、ＸＧＡ（ＥｘｔｅｎｄｅｄＧｒａｐｈ
ｉｃｓＡｒｒａｙ：１０２４×７６８ドッド表示）程
度の液晶セル１を検査した場合にも、全平均化画像デー
タＤ₂を合わせても２００万程度に抑えることができ
る。

【００４７】また、平均化画像データＤ₂の転送が終了
した時点で、前記欠陥検出処理部２５ａが何らかの欠陥
を検知した場合には、セレクタ２０ｄが切り換えられ
て、詳細記録メモリ２５ｃに記録された欠陥の生じた部
分（輝点、滅点、不純物の混入部分）の生画像データＤ
₁だけを欠陥部詳細データＤ₃としてパソコン３に転送
することができる。

【００４８】したがって、この欠陥部詳細データＤ₃を
解析することにより、演算処理部２１は、液晶セル１の
各画素Ｒ，Ｇ，Ｂに対して十分に細かい解像度で欠陥を
検査することができる。すなわち、一つの画素Ｒ，Ｇ，
Ｂ内の所定部分において生じている輝度の不均一や、不
純物の混入状態やその程度などを詳細に測定することが
可能となる。

【００４９】そして、前記演算処理部２１は、メモリ２
１ｂに記録されている各データＤ₂，Ｄ₃を解析し、液
晶セル１の欠陥の程度を検証し、検査結果データＤを例
えば前記パソコン８に出力する機能を有している。とり
わけ、前記欠陥部詳細データＤ₃を解析し、これが輝点
や滅点に相当するものか、異物（ゴミ）の混入によるも
のかを分析し、その欠陥の程度（欠陥数、欠陥ランクな
ど）に応じた多段階の評価を付ける機能を有している。

【００５０】また、ゴミの混入による欠陥が生じている
場合には、垂直ラインセンサユニット８Ａから得られた
欠陥部詳細データＤ₃と斜めラインセンサユニット８Ｂ
から得られた欠陥部詳細データＤ₃とを比較して、ゴミ
の深さ位置を示すデータを検査結果データＤとして出力
する。

【００５１】これによって、パソコン１８側では偏ゴミ
によって生じている欠陥が単に液晶セル１の表面や裏面
に付着した程度のゴミであるのか、内部に潜入したもの
であるのかを知ることができる。

【００５２】なお、パソコン１８の処理速度が早い場合
には、前記ユニット１５〜１７や取込処理部１９の機能
の一部または全部を、パソコン１８に内蔵させるように
してもよい。

【００５３】次に、上記欠陥検査装置の作動について、
図６および図９をも参照しながら詳細に説明する。今、
製造ラインから複数の液晶セル１が一つのロットとして
供給されるものとし、これらを順次検査する手順につい
て説明する。

【００５４】図８は、前記欠陥検査装置による検査手順
の一例を示すもので、まず、製造ラインから供給される
第１番目の液晶セル１が欠陥検査装置本体７のバックラ
イト光源の上方にローディング（載置）される（ステッ
プＳ１）。このとき、図２に示した液晶セル１のＸ方向
を、ラインセンサユニット８におけるラインセンサ１２
の配列方向Ｘと一致させる。

【００５５】前記ローディングされた液晶セル１は、そ
の載置位置が欠陥検査に適切な例えば精度５μｍの許容
範囲内のずれに収まるように、自動的にアライメント
（位置補正）される（ステップＳ２）。

【００５６】前記アライメントされた液晶セル１に形成
されている接触電極（電極パターン）に対して、信号発
生ユニット１７に接続された接触電極（電極ピン）をプ
ロービング（接続）する（ステップＳ３）。なお、この
実施例では、平面表示パネルの一例として液晶セル１を
例示しているので、電極パターンと電極ピンとを接続す
るようにしているが、平面表示パネルが液晶モジュール
やプラズマディスプレイなどの場合にはコネクタの接続
に置き換えることができることはいうまでもない。

【００５７】なお、この実施例のように、液晶セル１の
検査を行う場合には、裏面にバックライトを設けてある
が、反射型の液晶セル１の場合には、バックライトに代
えて液晶セル１の裏面に光反射板を設け、ラインセンサ
１２側に光源を設ける。

【００５８】前記プロービングされた液晶セル１に対し
て、信号発生ユニット１７から適宜の電力および電気信
号を供給し、液晶セル１に所定の検査パターンを表示さ
せる（ステップＳ４）。前記検査パターンは、画素Ｒ，
Ｇ，Ｂのそれぞれの点灯、全色（白色）点灯、黒色など
種々考えられるが、例えば、ロットの最初（第１番目）
の液晶セル１を検査する場合には、液晶セル１の周囲１
ドットと、中心を通る縦と横の１ドットの白線（赤、
緑、青の３画素の全てを点灯）を表示した田字型のパタ
ーンを表示させることができる。

【００５９】そして、前記液晶セル１は、ロットの最初
（第１番目）の液晶セル１であるので、ステップＳ５に
おいてＹＥＳ方向に進み、プレスキャンおよび原点確認
が行われる（ステップＳ６）。ここでいうプレスキャン
は、本測定の前に行うスキャンのことである。すなわ
ち、前記検査パターンを表示した状態で、ラインセンサ
ユニット８をスキャン方向Ｙに移動させて、各ラインセ
ンサ１２からの輝度データＤ₀を取り込み、液晶セル１
の全体を読み込んで同時に液晶セル１の大きさ、画素
数、ブラックマトリックスＢＭの大きさなどを確認する
のである。また同時に、液晶セル１の画素Ｒ，Ｇ，Ｂの
開始端部である原点位置を確認（原点確認）する。

【００６０】前記原点確認について、説明の便宜上、垂
直ラインセンサユニット８Ａについて述べる。図８に示
すように、ホームポジションに位置するラインセンサユ
ニット８を矢印Ｙ方向に移動させ、垂直ラインセンサユ
ニット８Ａの６個のラインセンサの検出視野１２１〜１
２６（１２５，１２６は図示していない）で、液晶セル
１をスキャンしたとき、ホームポジションからどれだけ
移動したときに液晶セル１の画素Ｒ，Ｇ，Ｂからの光を
最初に検出するかを確認する。そして、この確認した位
置を検査開始点（原点位置）ＳＰとして記録する。な
お、この原点位置ＳＰは、ラインセンサユニット８を移
動させるためにフレーム駆動ユニット９に供給されるク
ロック同期信号Ｃのパルス数または検出タイミングによ
って記録される。

【００６１】ところで、前記垂直ラインセンサユニット
８Ａの６個のラインセンサによる検出視野１２１〜１２
６は、保持部材８ａに対してその配列方向Ｘにおいて全
て（この場合６個）が、正しく一直線状になるように取
り付けられ、一つの一直線を形成するように配列される
のが理想的ではあるが、保持部材８ａなどにおける加工
寸法誤差や取付け誤差などによって、配列状態が図８に
示すように、スキャン方向Ｙにおいて多少の凸凹が生
じ、配置状態にバラツキが生じている。

【００６２】ちなみに、図示例では、検出視野１２２が
スキャン方向Ｘにおいて最も突出し、以下、１２４、１
２１，１２３の順に後退している。このような状態で
は、検出視野１２１〜１２６を有する複数のラインセン
サ１２における検出タイミングにズレが生じ、全てのラ
インセンサ１２が前記原点位置ＳＰで検査を開始するこ
とができない。

【００６３】そこで、複数のラインセンサ１２における
ズレ量を予め測定しておくことにより、そのズレ量に見
合った分だけずらして（遅延させて）各ラインセンサ１
２の検査を開始すればよい。なお、本例では、このズレ
量は図４に示すタイミング指示レジスタ２２ｂに記録さ
れるクロック同期信号Ｃのカウント数によって補正され
る。

【００６４】前記プレスキャンによって得られるデータ
に基づいて、各ラインセンサ１２のどの受光素子１２ａ
からの輝度データＤ₀が液晶セル１の各画素Ｒ，Ｇ，Ｂ
の内部に対応する検査領域であり、どの光検出素子から
の輝度データＤ₀が画素内に対応しないブラックマトリ
ックスの部分に位置するものであるかを割り付ける。こ
の割り付けは、プレスキャンによって得られる前記生画
像データＤ₁を用いて行われる。これについて、図７を
参照しながら説明する。

【００６５】すなわち、図７において、Ａ₁，Ａ₂，…
…はラインセンサ１２の各受光素子１２ａが輝度を検出
する検出視野を示しており、Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁，……は
それぞれ赤，緑，青の画素を示している。そして、ライ
ンセンサ１２をスキャン方向Ｙに移動させながらスキャ
ン同期信号Ｓ’（図４，５参照）による輝度データＤ ₀
の取り込みを行うことにより、検出視野Ａ₁，Ａ₂……
が、順次、液晶セル１上の所定の小領域Ｂ₀₂₀₁，〜Ｂ
₀₆₀₁，……，Ｂ₀₂₁₆〜Ｂ₀₆₁₆に位置した状態で、その光
量を測定する。

【００６６】この場合、小領域Ｂ₀₂₀₁，〜Ｂ₀₆₀₁，…
…，Ｂ₀₂₁₆〜Ｂ₀₆₁₆の大きさは、前記検出視野Ａ₁，Ａ
₂，……の大きさに等しい。そして、画素Ｒ₁₁について
は、検出視野Ａ₁，Ａ₂，……が、例えば画素Ｒ₁₁とブ
ラックマトリックスＢＭの部分の両方に跨がっているよ
うな小領域を除いた小領域Ｂ₀₂₀₁，〜Ｂ₀₆₀₁，……，Ｂ
₀₂₁₆〜Ｂ₀₆₁₆が、輝度を平均化するための領域として平
均化指示メモリ２４ｂに設定される。また同じ領域が欠
陥検出を行うための領域として欠陥検出指示メモリ２５
ｂに設定される。

【００６７】つまり、平均化処理および欠陥検出処理を
行う場合、前記ラインセンサの受光素子のセンサデータ
の取り扱いに際して、検出視野Ａ₁，Ａ₂，……が液晶
セル１の一つの画素Ｒ，Ｇ，Ｂおよびブラックマトリッ
クスＢＭの両方に跨がる受光素子１２ａからの輝度につ
いては、処理の対象から外すようにしているのである。

【００６８】他の画素Ｇ₁₁，Ｂ₁₁，……についてもそれ
ぞれそれらの輝度を平均化および欠陥検出を行なうため
の領域として平均化指示メモリ２４ｂおよび欠陥検出指
示メモリ２５ｂに設定される。そして、平均化演算部２
４ａはこの平均化指示メモリ２４ｂに設定された各小領
域における輝度の平均値をハードウェアによって順次求
めて平均化画像データＤ₂を生成する一方、欠陥検出処
理部２５ａは欠陥検出指示メモリ２５ｂに設定された各
小領域における輝度を所定の閾値と比較して欠陥部詳細
データＤ₃を生成するように構成している。

【００６９】そして、前記指示メモリ２４ｂ，２５ｂの
内容は、図７に示すように、センサ配置方向Ｘにおける
各１ビットのデータＭｘ（１または０）と、スキャン方
向Ｙにおける各１ビットのデータＭｙ（１または０）と
によって表すことができる。この場合、両データＭｘ，
Ｍｙの論理積を取ることにより、各画素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ
₁₁…内の小領域（以下、検査領域という）を特定するこ
とができる。また、基本的に平均化指示メモリ２４ｂと
欠陥検出指示メモリ２５ｂに記録される検査領域を特定
する両データＭｘ，Ｍｙは、同一の小領域を示すもので
あるから、前記データＭｘ，Ｍｙを単一のメモリに記憶
してもよいことはいうまでもない。

【００７０】なお、割り付けられたブラックマトリック
スＢＭや検査領域の割り付けは、次に同種の液晶セル１
を検査するときのために保存される。したがって、同じ
ロットの２番目以降の液晶セル１の検査においては、ス
テップＳ６を飛ばして、後述する本計測（ステップＳ
７）に移行する。

【００７１】上述のようにして、プレスキャンを行い、
原点確認および受光素子１２ａの割り付けを行った後、
ラインセンサユニット８を原点位置ＳＰから液晶セル１
の画素の終端部までスキャン方向Ｙに移動させながら輝
度データＤ₀を採取（輝度計測）し（ステップＳ７）、
計測した輝度データＤ₀を取り込み（ステップＳ８）、
液晶セル１の本計測が行われる。これらのステップＳ
７，８による本計測は、は１つの液晶セル１に対して繰
り返し行われる。

【００７２】前記計測動作（ステップＳ７）としては、
例えば、前記信号発生ユニット１７によって液晶セル１
の全面を白色点灯させながら輝度計測することにより、
赤、緑、青の三原色の各画素において生じる滅点（画素
の少なくとも一部が点灯しない点）やゴミの混入などを
検知することができる。また、信号発生ユニット１７に
よって液晶セル１の全面に黒を表示させながら輝度計測
することにより、赤、緑、青の三原色の各画素において
生じる輝点（画素の少なくとも一部が不必要に点灯する
点）やゴミの混入などを検知することができる。

【００７３】また、前記計測動作（ステップＳ７）にお
いては、液晶セル１の全面に赤のみ、緑のみ、青のみを
表示させながら、前記検査を行ったり、所定の絵柄やパ
ターンを表示させながら検査することもある。いずれに
しても輝点を検知する場合には、測定した輝度が上限と
なる閾値以上の閾値を越えるものを輝点として検知し、
滅点を検知する場合には測定した輝度が下限となる閾値
以下であるものを閾値を越えた滅点として検知するよう
に、検査動作のレシピ（項目や内容）を設定する。

【００７４】そして、前記データ取込動作（ステップＳ
８）においては、センサ位置補正機能部１９ｃが、プレ
スキャン原点確認動作（ステップＳ６）において確認し
た各ラインセンサ１２の位置ずれ量に合わせて輝度デー
タＤ₀を取り込むタイミングを合わせる。また、前記セ
ンサ出力割付機能部９ａは前記プレスキャン原点確認ス
テップＳ₅において確認した各画素内の全輝度データＤ
₀の平均値をリアルタイムに算出して、後述する平均化
画像データＤ₂を算出する。

【００７５】なお、欠陥検知機能部１９ｄは、前記プレ
スキャン原点確認動作（ステップＳ６）において確認し
た各画素内において輝度データＤ₀は前記レシピで定め
た設定を超えたときにこれを欠陥として検知して、その
ときの輝度データＤ₀から欠陥部詳細データＤ₃を記録
する。

【００７６】そして、前記データ取込動作（ステップＳ
８）によって取り込まれたんだデータＤ₂，Ｄ₃をまと
めて演算処理することにより、検査結果データＤ₄を求
める（ステップＳ９）。このデータ処理動作（ステップ
Ｓ９）においては、偏ゴミ検知機能部１９ｅが垂直ライ
ンセンサユニット８Ａおよび斜めラインセンサユニット
８Ｂからそれぞれ得られた欠陥部詳細データＤ₃を比較
することにより、液晶セル１に生じた偏ゴミ１４ｂ，１
４ｃの混入位置を判定し、これを前記検査結果データＤ
₄に含めるようにしている。

【００７７】ここで、前記偏ゴミ１４ｂ，１４ｃの混入
位置の検出原理を、図９を参照しながら説明する。な
お、図中、符号２７はバックライト光源である。まず、
図１に示す構成の液晶セル１に付着する異物としては、
図９に示すように、上偏向板５外面に付着する異物（ゴ
ミ）１４ａ，上偏向板５と上ガラス板２との間の異物１
４ｂ、液晶４内の異物１４ｃ、下ガラス板３と下偏向板
６との間の異物１４ｄ、下偏向板６の外面に付着する異
物１４ｅがある。これらの異物１４ａ〜１４ｅのうち、
異物１４ａ，１４ｅは予め拭き取るなどして除去するの
で、検出から除外する。また、異物１４ｃは仮に検出で
きたとしても、異物か他の欠陥かの判別が困難であるた
め、これも検出から除外する。このため、本検査におい
ては、異物１４ｂ，１４ｃのみの検出が行われる。

【００７８】すなわち、垂直ラインセンサユニット８Ａ
および斜めラインセンサユニット８Ｂで検出される液晶
セル１の画素Ｒ，Ｇ，Ｂの座標が一致するように調整す
る（光学的に一致してない場合は、ソフト処理で行
う）。ラインセンサユニット８をＹ方向に移動させてス
キャンを行ったとき、異物１４ｃについては、垂直ライ
ンセンサユニット８Ａおよび斜めラインセンサユニット
８Ｂの検出座標が互いに一致する。しかし、異物１４
ａ，１４ｂについては、斜めラインセンサユニット８Ｂ
による検出は、垂直ラインセンサユニット８Ａによる検
出よりも若干遅れる。また、異物１４ｄ，１４ｅについ
ては、斜めラインセンサユニット８Ｂによる検出は、垂
直ラインセンサユニット８Ａによる検出よりも若干進
む。この遅れ量また進み量は、ガラス基板２，３や偏向
板５，６の厚みによって一義的に決まる。したがって、
垂直ラインセンサユニット８Ａおよび斜めラインセンサ
ユニット８Ｂの検出タイミングの前後を判別することに
より、異物１４ｂ，１４ｃの深さ位置を特定することが
できる。

【００７９】上述のようにして取込処理部１９によって
得られたデータは、検査結果を表すデータＤとしてパソ
コン１８に入力され、パソコン１８に付設された表示装
置に表示されたり、プリンタなどによって印字出力され
る（ステップＳ１０）。この検査結果の出力は、上記出
力方法のほか、音声案内であっても生産ラインを監視す
る上位コンピュータに対するデータ通信であってもよ
い。

【００８０】そして、液晶セル１の検査結果は段階的な
採点によって行われることが望ましく、例えば、完全無
欠である場合を最上評価として、事実上全く問題になら
ない程度のものであるか、微細な欠陥が有るものの凝視
しなければ判別できない程度のものであるかなど多段階
に分けた採点を行うことが望ましい。さらに、欠陥が生
じている部分の欠陥部詳細データＤ₃を画面に表示する
などして出力することが望ましい。

【００８１】前記測定が終了した液晶セル１は、欠陥検
査装置本体７からアンローディングされて、例えば製造
工程の下流側に搬送される（ステップＳ１１）。

【００８２】そして、第２番目以降の液晶セル１を検査
する場合には、ステップＳ２における液晶セル１のアラ
イメントによる位置補正を確実に行うことにより、プレ
スキャン（ステップＳ６）が省略され、ステップＳ７以
降の本測定に入り、上記と同様にして欠陥の有無が検査
される。

【００８３】さらに、前記原点確認ステップＳ６におい
て上端部の位置ずれのみを検知するために、ラインセン
サユニット８を、例えば５００μｍ程度の僅かな距離だ
けスキャン方向Ｙに移動して行ってもよい。この場合
は、スキャン方向Ｙにおける位置ずれを厳密に合わせる
ことが可能となる。

【００８４】上記実施例では、液晶セル１を固定し、ラ
インセンサユニット８を直線的に移動させるものであっ
たが、この発明はこれに限られるものではなく、ライン
センサユニット８を固定し、液晶セル１を直線的に移動
させるようにしてもよい。

【００８５】そして、この発明の欠陥検査装置は、液晶
セルのほか、プラズマディスプレイパネルなど他の平面
表示パネルの欠陥検査にも同様に適用できることは言う
までもない。

【００８６】

【発明の効果】この発明の欠陥検査装置は、ラインセン
サからのデータをそのまま用いるのではなく、各画素内
で閾値以上または以下の輝度を検出した小領域の輝度デ
ータのみをその座標と記録する欠陥検知機能部を有する
ので、極めて高分解能でありながら、可及的に高速処理
を行うことができる。また、欠陥の生じている面積や輝
度に生じたムラの程度などを検証することができ、より
高いレベルの欠陥検知を行うことが可能となる。すなわ
ち、使用に問題のない程度の欠陥であるか、重度の欠陥
であるかを速やか且つ詳細に検査して、各平面表示パネ
ルの欠陥の程度を検証することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の平面表示パネルの欠陥検査装置の一
例を概略的に示す全体構成図である。

【図２】前記欠陥検査装置で検査される平面表示パネル
としての液晶セルの構成を概略的に示す図で、（Ａ）は
平面図、（Ｂ）は縦断面図である。

【図３】前記欠陥検査装置で用いられるラインセンサの
一例を概略的に示す図である。

【図４】前記欠陥検査装置における信号処理系統を概略
的に示す図である。

【図５】前記欠陥検査装置における取込処理部の構成を
概略的に示す図である。

【図６】前記欠陥検査装置による検査手順の一例を示す
図である。

【図７】前記欠陥検査装置の動作および機能を説明する
ための図である。

【図８】前記欠陥検査装置の動作および機能を説明する
ための図である。

【図９】前記欠陥検査装置の動作および機能を説明する
ための図である。

【符号の説明】

１…平面表示パネル、９…走査部、１２…ラインセン
サ、１２ａ…受光素子、１９…取込処理部、１９ｄ…欠
陥検知機能部、２０ｂ，２０ｃ…マスクメモリ、２５…
欠陥記録部、２５ａ…欠陥検出処理部、２５ｂ…欠陥検
出指示メモリ、２５ｃ…詳細記録メモリ、Ｒ，Ｇ，Ｂ…
画素、Ｄ₀…輝度データ、Ｄ₃…欠陥部詳細データ、Ａ
…検出視野、Ｂ₀₁₀₁，Ｂ₀₁₀₂…小領域、Ｍｘ，Ｍｙ…マ
スクデータ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０６Ｔ 7/00 Ｇ０６Ｔ 7/00 Ｔ５Ｃ０６１Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｚ５Ｌ０９６ (72)発明者坂本淳一京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内 (72)発明者藤井史高京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内 (72)発明者山田芳孝奈良県奈良市法蓮町197−１テクノス株式会社内 (72)発明者米浪徹奈良県奈良市法蓮町197−１テクノス株式会社内 (72)発明者藤井敏夫奈良県奈良市法蓮町197−１テクノス株式会社内Ｆターム(参考） 2F065 AA60 CC00 FF04 JJ02 JJ05 JJ08 JJ09 JJ25 MM14 QQ31 UU02 UU05 2G051 AA90 AB01 AB02 CA03 CA04 CA07 DA01 DA07 EA14 EA23 EB01 EC03 2H088 FA13 MA20 5B047 AA12 AB02 BB02 BC01 5B057 AA03 BA02 CA08 CA12 CA16 CB08 CB12 CB16 CE09 CE11 DA03 DB02 DB09 DC22 5C061 BB01 CC05 EE21 5L096 AA06 BA03 CA14 CA16 EA35 FA17 GA10 GA51

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平面表示パネルの各画素より十分に小さ
い小領域を検出視野として一直線上に配列された受光素
子からなるラインセンサと、平面表示パネルとラインセ
ンサとの相対位置を受光素子の配列方向に直行する方向
に走査させる走査部と、このラインセンサに接続されて
各受光素子からの輝度データを演算処理することにより
平面表示パネルの欠陥を検証する取込処理部とを有する
平面表示パネルの欠陥検査装置であって、前記取込処理
部が、輝度の閾値を設定して各画素内で閾値以上または
以下の輝度を検出した小領域の輝度データのみをその座
標と共に記録する欠陥検知機能部を有することを特徴と
する平面表示パネルの欠陥検査装置。
【請求項２】前記欠陥検知機能部が、前記小領域のう
ち各画素内に位置する検査領域を特定するためのマスク
データを記録してなる欠陥検出指示メモリと、この欠陥
検出指示メモリが指示する小領域の輝度を閾値と比較す
る欠陥検出処理部と、閾値を越えた輝度とその座標を記
憶する詳細記録メモリとを有する請求項１に記載の平面
表示パネルの欠陥検査装置。
【請求項３】欠陥検出指示メモリが、各受光素子に対
応するマスクデータを記録するセンサ配列方向のマスク
メモリと、走査方向のマスクメモリとからなり、前記欠
陥検出処理部が両マスクメモリから検査領域を特定する
機能を有する請求項２に記載の平面表示パネルの欠陥検
査装置。