JP4874893B2 - 点灯検査装置、および点灯検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、ディスプレイ等表示機器の点灯検査に用いる点灯検査装置、および点灯検査方法に関する。

液晶パネルなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、その品質を確保するために、表示面内にある微小な点欠陥、線欠陥、異物の混入による欠陥、シミあるいはムラなどによる欠陥に対する点灯検査がおこなわれている。

微小な点欠陥には、液晶パネルの表示素子を構成するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｅｒ）の異常により、表示信号を与えて駆動した際に所望の輝度レベルよりも輝度の高い点または輝度の低い点が表示されてしまう欠陥や、液晶層もしくは偏光板群とＴＦＴ基板との間に混入した微小異物、または、偏光板群とＣＦ（Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅｒ）基板との間に混入した微小異物により偏光状態が乱れて、所望の輝度レベルよりも輝度の高い点または輝度の低い点が表示されてしまう欠陥がある。

図８に、ＴＦＴの異常により所望の輝度レベルよりも輝度の高い点が表示されている例を示す。液晶パネル２００の中に、微小な点欠陥２０１、２０２が含まれている。点欠陥２０１、２０２を含む微小な領域を拡大したものが液晶パネル２０３、２０４である。液晶パネル２０３では、輝度の低い点に混じって１つだけ輝度の高い点が表示されている。カラー液晶パネルの１つの絵素２０５は、液晶パネル２０３の図中白枠に示すように３つのドット２１０ｒ、２１０ｇ、２１０ｂから構成され、これらのドットは一般的に１つの絵素内に赤（Ｒ）ドット２１０ｒ、緑（Ｇ）ドット２１０ｇ、青（Ｂ）ドット２１０ｂの３色を持つ。たとえば、左から順にＲ、Ｇ、Ｂと並んでいるとすると、液晶パネル２０３では、赤（Ｒ）ドット２１０ｒに異常があり、赤色の輝度の高い点欠陥が発生していることとなる。一方、液晶パネル２０４では、赤（Ｒ）ドット２２０ｒに異常があり、赤色の輝度が他の色よりも低くなった点欠陥を示している。

線欠陥は、前記ＴＦＴを駆動するドライバーの異常や信号線の断線あるいはショートなどにより、所望の輝度レベルより輝度の高い線または輝度の低い線が表示されるものである。また、シミあるいはムラなどは、ＴＦＴ基板やＣＦ基板の製造工程での薄膜の膜厚異常や、ＴＦＴ基板とＣＦ基板との間にある液晶層のセルギャップの異常などにより発生する。

これらの欠陥を検出するためには、欠陥の種類ごとに液晶パネルの被検査画面パターンを変更して検査をおこなっている。

たとえば、液晶パネル２０３に示すような輝度の高い点欠陥を検出する場合には、被検査画面パターンを黒色にして検査をおこなう。被検査画面パターンを黒色にするには、液晶パネル２０３に示す赤ドット２１０ｒ、緑ドット２１０ｇ、青ドット２１０ｂのいずれにおいても、輝度が最も低い状態となるようにカラー液晶パネルの全絵素２０５を制御することによって実現する。

また、液晶パネル２０４に示す赤色の輝度の低い点欠陥を検出するには、被検査画面パターンを赤色にして検査をおこなう。被検査画面パターンを赤色にするには、液晶パネル２０４に示す赤ドット２２０ｒのみを輝度が最も高い状態とし、緑ドット２２０ｇおよび青ドット２２０ｂは輝度が最も低い状態となるようにカラー液晶パネルの全絵素２０５を制御することによって実現する。なお、同様に緑色の輝度の低い点欠陥を検出するには、被検査画面パターンを緑色にし、青色の輝度の低い点欠陥を検出するには被検査画面パターンを青色にして検査をおこなう。

このように検査したい色に応じて被検査画面パターンを変えて検査する理由は、被検査画面パターンを白色（赤ドット２１０ｒ、緑ドット２１０ｇ、青ドット２１０ｂのいずれにおいても輝度が最も高い状態となるようにカラー液晶パネルの全絵素２０５を制御する）にして、全色の輝度の低い点欠陥の検査を同時におこなうと、輝度の低い点欠陥があったとしても、輝度が最も高い状態に制御された周辺のドットからの光の回り込みにより、輝度の低い点欠陥の観察が困難になるためである。このように、点灯検査では複数の被検査画面パターンを用いて種々の検査をおこなっている。

従来、これらの検査は、ディスプレイを点灯状態にして目視によっておこなわれていたが、近年の、ＦＰＤの大型化に伴い、大画面の中に存在する微小な点欠陥や異物欠陥を目視によって検出することには、多くの時間を必要とし、加えて、目視検査員の疲労によって微小欠陥を見逃すなどの問題が発生していた。そこで、最近では、点灯させた被検査パネルの表示面をＣＣＤカメラなどの撮像装置を用いて読み取って、画像処理技術により被検査パネルに生じた種々の欠陥を自動的に検出する方法が採用されている。

図９は、ＣＣＤカメラなどの検出センサを利用した一般的な点灯検査装置の構成を示す模式図である。

図９に示す点灯検査装置１００は、検出センサ１０２と被検査パネル１０１との相対位置を変化させることが可能な走査ステージ１０３を備えており、検出センサ１０２によって被検査パネル１０１の全面が走査される。走査ステージ１０３は、検出センサ１０２もしくは被検査パネル１０１のいずれを移動させてもその機能に差異はないものである。走査ステージ１０３は、ステージ制御装置１０４によって制御される。信号発生器１０５は被検査パネル１０１に被検査画面パターンを表示させるための信号を送信する。画像処理装置１０６は、被検査パネル１０１を走査撮像する検出センサ１０２からの画像データを入力データとして、それを画像処理することによって欠陥部の検出をおこない、検査を実現する。

上述した種々の欠陥を検出する方法の具体的な例として、検出センサと被検査パネルの相対位置を変化させながら、被検査パネルの表示画面を検出する装置が特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の点灯状態検査装置では、駆動信号を与えて点灯状態とした被検査パネルと、検出センサとの相対位置を連続的に変化させながら、検出センサが被検査パネルの表示画面を検出している。点灯状態検査装置は、検出画像を信号処理部において処理することにより、表示画素の欠陥を検査している。被検査パネルまたは検出センサの移動、表示画面の検出、画像処理といった各工程は自動化されており、それにより被検査パネルの迅速な検出を図っている。

また、撮影素子（ＣＣＤ）を利用することによって、表示装置における動画表示特性の評価時間の短縮を図った装置が特許文献２に開示されている。特許文献２に記載の評価装置では、動画像を時系列静止画として撮影し、複数の時系列静止画をずらしながら重ね合わせて合成することにより、動画表示特性を評価している。表示装置への動画像信号の供給方法としては、背景と異なる階調の矩形領域を縦方向に表示し、これを横方向にスクロールさせる方法である。

また、被検査パネルの表示画面を複数の領域に分割し、分割後の各領域に輝度測定装置を割り当てることにより、高速化を測っている方法が特許文献３に開示されている。特許文献３に記載の検査装置では、画像表示装置の表示領域を、それぞれ複数の画素を含む複数のブロックに分割し、各ブロック上に一つの輝度測定装置を逐次移動することにより、表示画面全域にわたって計測を可能にしている。さらに、分割後の各ブロックにそれぞれ輝度測定装置を配置することにより、表示画面全域にわたる輝度の測定時間の短縮化を図っている。
特開２００２−０９８６５１号公報（平成１４年４月５日公開） 特開２００１−２０４０４９号公報（平成１３年７月２７日公開） 特開２００４−０７１５５７号公報（平成１６年３月４日公開）

しかし、特許文献１から特許文献３に開示された技術では、大型のパネルを検査する場合あるいは検査画像のパターンが複数ある場合には、大幅な高速化は見込めないという課題がある。上記課題に関して、具体的に説明すれば以下の通りである。

たとえば特許文献１に記載の点灯状態検査装置では、検出センサを被検査パネルに対して相対移動させる方向に複数台並べることにより、往復の走査距離を短縮して高速化を実現することが可能である。しかし、相対移動を開始および終了する際の加減速時間を短縮することはできない。また検査画像のパターンが複数ある場合には、往復走査をパターンごとにおこなわなければならない。大型の液晶パネルを検査する場合は、被検査パネルおよび検出センサのいずれを移動させるにしても大きく、重くなるため加速時間および減速時間は無視できないものとなる。したがって、検査画像のパターンが複数ある場合には、その数に比例した加減速時間が必要となり、大幅な高速化は見込めない。

また特許文献２に記載の評価装置は、表示装置の動画表示特性を評価するための装置である。動画表示特性の評価は、表示装置の性能を評価するためのものであって、取得する画像は全表示領域に示された画像である必要はなく、表示領域の一部領域を検査対象とすればよいものである。したがって、全表示領域を検査する場合における高速化に関する知見、およびパネルが大型化した場合の高速化に関する知見は特許文献２に記載の装置からは得られない。

また特許文献３に記載の従来技術では、被検査パネルの表示画面を複数の領域に分割し、分割後の領域に各々輝度測定装置を割り当てることによって、表示画面全域にわたっての測定をおこなっており、測定時間の更なる短縮化を図っている。しかし、この場合でも、検査画像のパターンが複数あって、そのパターンごとに駆動測定素子をそれぞれ点灯させて測定をおこなう場合では、各素子の測定ごとに、輝度測定装置の移動のために加速および減速をおこなう必要があり、さらなる高速化は見込めない。

そこで、本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の検査画面パターンの点灯検査を、検出センサまたは被検査パネルを移動させる際の加速および減速にかかる時間を増加させること無く実現することができる点灯検査装置および点灯検査方法を提供することにある。

本発明に係る点灯検査装置は、上記の問題を解決するために、被検査パネルに信号を供給し、被検査パネルの表示画面に検査画像を表示させる信号発生器と、前記検査画像を前記表示画面に対向する位置から検出する複数のセンサが、直列に並んだ検出手段と、前記被検査パネルと前記検出手段とを、前記センサの配列方向に沿って相対移動させる移動手段とを備えた点灯検査装置であって、隣り合う前記センサ同士の検出位置の間隔は、１つの被検査パネルにおける前記配列方向の全長よりも短く、前記信号発生器は、或る前記センサによる検出対象位置と、該或るセンサとは異なる他の前記センサによる検出対象位置とに、互いに異なる画像を表示させるとともに、前記被検査パネルと前記検出手段とが前記相対移動している間、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させ、前記移動手段は、前記或るセンサと前記他のセンサとを、１つの被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端まで相対移動させることを特徴とする。なお、ここで検出対象位置とは、前記センサによって検出される被検査パネルにおける検査画面の部位のことである。

前記構成によれば、移動手段によって被検査パネルと検出手段との相対位置が変化し、かつ、センサは被検査パネルの一端から他端まで相対移動することができる。したがって、検出手段に配置されているセンサは、被検査パネルの表示画面を全面にわたって検査できる。その際に、信号発生器は、センサの検出対象位置が変化している間、センサごとに、センサの検出対象位置に同じ種類の検査画像を表示させる。したがって、任意のセンサによって、ある種類の検査画像について被検査パネルの表示画面全面を、検査することができる。

さらに前記構成によれば、隣り合うセンサ同士は、各々の検査対象位置の間隔が、同時に被検査パネルの表示画面を検査できる長さほどあけて配置されている。また、隣り合うそれぞれのセンサは、被検査パネル表示画面の異なる領域に表示された異なる種類の検査画像を検査することができる。すなわち、或るセンサが、ある種類の検査画像について表示画面の検査をおこなう間に、別のセンサが、別の種類の検査画像について、表示画面の別の領域において検査をおこなっている。そして、被検査パネルと検出手段との相対位置は一方向に変化するので、センサが表示画面上で往復して検査をおこなう必要がない。したがって、検査画像が複数であっても、被検査パネルまたは検出手段を移動させる際の加速および減速は、それぞれ一度しかおこなわれず、加速および減速にかかる時間を短縮することができる。また、往復走査をおこなわないため、装置の構成を簡略化することができ、それにより、コストを削減することができる。

なお、上記の相対移動とは、固定された被検査パネルに対して、検出手段（センサ）が移動する場合であってもよく、または、固定された検出手段（センサ）に対して、被検査パネルが移動する場合であってもよく、あるいは、被検査パネルおよび検出手段（センサ）の双方が移動する場合であってもよい。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記信号発生器は、前記表示画面を前記配列方向に沿って複数に分割した領域ごとに或る種類の前記検査画像を表示させ、前記センサは、前記配列方向に沿って所定の検出幅を有しており、前記領域の前記配列方向に沿った幅は、前記センサの前記所定の検出幅よりも広いことが好ましい。

前記構成によれば、検査画像の表示領域は、被検査パネルの表示画面において、移動方向に沿ったセンサの検出幅よりも広い幅を有しており、任意の領域内を検査している間は、その領域内には同じ検査画像が表示されている。したがって、センサの検出対象位置が変化している間に、検出対象位置と、検出すべき検査画像を表示している表示画面との間にずれが生じにくくなる。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記信号発生器は、前記或るセンサの検出対象位置に対応した前記領域と、該或るセンサと隣り合うセンサの検出対象位置に対応した領域との間に、前記配列方向に沿って所定の幅を有するブランク画像を表示させることが好ましい。

前記構成によれば、被検査パネルとセンサとの相対位置が変化している間、ある領域において、任意のセンサによる第一の検査画像の検査が終了すると、該任意のセンサの検出対象位置を含まなくなり、いずれのセンサにも検出されない領域になり、ブランク画像が表示される。その後、該任意のセンサに隣り合うセンサの検出対象位置を含むようになり、第二の検査画像の検査が開始される。ブランク画像を検査画像に切り替えることにより、第二の検査画像の検査を開始するよりも前に、予め第二の検査画像の表示を完了させることができる。それにより、第二の検査画像の検査を開始する際に、残像などの、第一の検査画像の影響を受けにくくなる。また検出を開始した際に、検査画像が表示されていないということを防ぐことができる。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記ブランク画像は、黒色画像であることが好ましい。

前記構成によれば、検査がおこなわれている領域と隣り合う領域は、表示画面に黒色が表示されている。検査画像が黒点灯などの暗い表示である場合には、周囲の光の影響を受けやすい。したがってこの場合に、隣り合う領域の表示画面を黒色表示にして暗くすることにより、黒点灯といった暗い表示の検査画像も良好に検査することができる。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記信号発生器は、前記或るセンサの検出対象位置に対応した前記領域と、該或るセンサと隣り合うセンサの検出対象位置に対応した領域との間を、前記配列方向に沿った所定の幅において非点灯状態とすることが好ましい。

前記構成によれば、被検査パネルがノーマリブラックのパネルである場合には、検査がおこなわれている領域と隣り合う領域は、画像が表示されず表示画面は黒色の状態となっている。検査画像が黒点灯などの暗い表示である場合には、周囲の光の影響を受けやすい。したがってこの場合に、隣り合う領域の表示画面をいずれの画像も表示させない非点灯状態として黒色の状態にすることにより、黒点灯といった暗い表示の検査画像も良好に検査することができる。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記センサの数は、前記領域の数によって決定されることが好ましい。なお、検出手段に配置するセンサの数は、前記領域の数によって決定される数でもよく、あるいは、予め複数のセンサを配置しておき、分割数に応じて、その中のいくつかのセンサを使用するものであってもよい。

前記構成によれば、領域の数によって決定される数のセンサを配置する場合には、検出に使用されないセンサは存在せず、使用するセンサを選択するプロセスを必要としないので、装置のコストダウンを図ることができる。また、予め複数のセンサを配置しておき、分割数に応じて、使用する台数を調整する場合には、往路走査時と復路走査時の被検査画面のパターン数を等しくして、画像処理に対する負荷を均等化することができる。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記信号発生器は、前記センサと前記被検査パネルとの相対位置に基づいて、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させることが好ましい。

前記構成によれば、信号発生器は、センサの検出対象位置に応じた検査画像を、表示画面に表示させる。つまり、センサが撮像すべき検査画像は、センサの検出対象位置に必ず表示されている。したがって、任意のセンサは、ある検査画像について表示画面の全面にわたって確実に検査できる。

さらに本発明の点灯検査装置において、前記信号発生器は、予め定められた時間に基づいて、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させることが好ましい。

前記構成によれば、検査が開始されると、検査画像は一定の時間で自動に順次切り替わる。したがって、被検査パネルとセンサとの相対位置を認識する機構を必要とせず、装置の構成を簡略化できる。

さらに本発明の点灯検査装置は、前記センサの数をｍ、前記移動手段の加速にかかる時間をａ、前記移動手段の減速にかかる時間をｄ、前記移動手段が、前記或るセンサを前記被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端まで相対移動させるのにかかる時間をｔとすると、隣り合う前記センサ同士の検出対象位置の間隔は、前記被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端までの幅をｗとし、ｐを正の整数とすると、ｗ／ｐｍであり、前記信号発生器は、前記検査画像の前記配列方向に沿った幅がｗ／２ｐｍとなるように、前記検査画像を表示させ、ｗ／ｐｍは、前記センサの、前記配列方向に沿って有する所定の検出幅の値よりも大きく、（ａ＋ｄ）＞（ｔ／ｐｍ）を満たすことが好ましい。なお、移動手段の加速にかかる時間とは、被検査パネルを等速で検査するために、その速度までに達する時間であり、移動手段の減速にかかる時間とは、等速での検査が終了し、移動手段を停止するまでにかかる時間である。また、前記検査画像の前記配列方向に沿った幅とは、任意の検査画像が表示画面に表示されているときの、その検査画像を表示している表示画面の配列方向に沿った幅のことである。

前記構成によれば、例えば検査画像の種類がｍ種類である場合には、すべての検査画像の検査に要する時間は、[ａ＋（１＋（ｍ−１）／ｐｍ）ｔ＋ｄ]である。そして、信号発生器が、検査画像１種類のみを表示画面全面に表示し、１つの検査画像の検査が終了するたびに移動手段の加速および減速をおこない、次の検査画像の検査をおこなう従来技術においては、全検査画像の検査に要する時間は、[（ａ＋（ｔ／ｍ）＋ｄ）ｍ]である。（ａ＋ｄ）＞（ｔ／ｐｍ）の関係を満たす前記構成によれば、[（ａ＋（ｔ／ｍ）＋ｄ）ｍ]＞[ａ＋（１＋（ｍ−１）／ｐｍ）ｔ＋ｄ]の関係を常に満たす。すなわち、全検査画像の検査に要する時間が、従来技術よりも本発明に係る点灯検査装置のほうが、常に短くなっている。したがって、被検査パネルが大型化して、検査区間が長くなっても、常に従来技術よりも検査の高速化を達成できる。

さらに、ｐの値が大きくなると、[ａ＋（１＋（ｍ−１）／ｐｍ）ｔ＋ｄ]の値が小さくなり、全検査画像の検査に要する時間が短くなる。すなわち、隣り合うセンサ同士の検出対象位置の間隔を小さくし、かつ、検査画像の配列方向に沿った幅も狭くした場合には、全検査画像の検査に要する時間を短くすることができる。

本発明に係る点灯検査方法は、直列に配列した複数のセンサによって、被検査パネルの表示画面に表示された検査画像を走査して、該表示画面の点灯検査を行う点灯検査方法であって、或る前記センサによる検出対象位置と、該或るセンサとは異なる他の前記センサによる検出対象位置とに、互いに異なる画像を表示させ、且つ、前記或るセンサと前記他のセンサとを１つの被検査パネルにおける前記センサの配列方向の一端から他端まで相対移動させる間、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させることを特徴とする。

前記構成によれば、センサは、被検査パネルの表示画面全面を検査することができる。また、センサの検出対象位置が変化している間、センサごとに、センサの検出対象位置に同じ種類の検査画像が表示される。したがって、任意のセンサによって、ある検査画像について被検査パネルの表示画面全面を、検査することができる。

さらに前記構成によれば、隣り合うセンサは、同時に被検査パネルの表示画面を検査できる間隔で配置されている。したがって、被検査パネル表示画面の異なる領域に表示された複数の検査画像について、複数のセンサによって同時に検査することができる。すなわち、あるセンサが、ある検査画像について表示画面の検査をおこなっている間に、別のセンサが、別の検査画像について、表示画面の別の領域において検査をおこなっており、各検査画像について検査する方向は常に同じである。つまり、複数の検査画像について検査をおこなうときに、被検査パネルとセンサとの相対位置の変化は常に一方向であり、センサは表示画面を往復検査する必要がない。したがって、検査画像が複数であっても、被検査パネルまたはセンサを移動させる際の加速および減速は、それぞれ一度しかおこなわれず、加速および減速にかかる時間を短縮することができる。

以上のように、本発明にかかる点灯検査装置は、或る前記センサによる検出対象位置と、該或るセンサとは異なる他の前記センサによる検出対象位置とに、互いに異なる画像を表示させるとともに、前記被検査パネルと前記検出手段とが前記相対移動している間、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させる信号発生器を備えているので、本発明にかかる点灯検査装置を用いることにより、複数の検査画像を検査する場合においても、１つの検査画像の検査が終了するよりも前に、別の検査画像に対する検査が開始することができる。よって、移動手段の加速および減速の回数を削減することができ、加速および減速にかかる時間を短縮することができる。また、装置のフットプリントの拡大を抑えることができる。

また、本発明に係る点灯検査方法は、或る前記センサによる検出対象位置と、該或るセンサとは異なる他の前記センサによる検出対象位置とに、互いに異なる画像を表示させ、且つ、前記或るセンサと前記他のセンサとを１つの被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端まで相対移動させる間、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させるので、複数の検査画像を検査する場合においても、１つの検査画像の検査が終了するよりも前に、別の検査画像に対する検査が開始することができる。よって、移動手段の加速および減速の回数を削減することができ、加速および減速にかかる時間を短縮することができる。

〔実施の形態１〕
本発明に係る点灯検査装置、およびそれを用いた点灯検査方法の一実施形態について、図１〜図７に基づいて説明すれば以下の通りである。

なお、以下の実施形態では、被検査対象として、液晶分子の配向変化を用いて画像表示させる表示画面を有する液晶パネルを用いて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は種々の表示機器に対して適用可能であり、たとえば、プラズマディスプレイ、ＳＥＤディスプレイ、およびＥＬディスプレイなどのＦＰＤ（フラットパネルディプレイ）を被検査対象とすることも可能である。

（点灯検査装置）
まず、本実施形態における点灯検査装置の構成について、図１および図２を参照して説明する。なお、以下の説明では、４つのセンサを用いて、４つの異なる被検査画面パターン（検査画像）の検査をおこなう場合を例に説明するが、センサの数、および被検査画面パターンの数（種類）は、必ずしもこれに限定されるものではない。

図１は、点灯検査装置１の構成を示す図である。図１に示すように、点灯検査装置１は、４つの走査型センサ（センサ）２Ａ〜２Ｄを有する検出手段３と、液晶パネル８に信号を供給する信号発生器６と、液晶パネル８を移動方向１１へ移動させる移動手段７と、画像処理装置１０とを備えている。

[検出手段]
走査型センサ２Ａ〜２Ｄは、移動方向１１と直交する方向に検出画素が配列されてなるラインセンサである。走査型センサ２Ａ〜２Ｄは、公知のセンサを用いればよく、本実施形態では、被写体が移動している場合に好適に用いることができる９６段のＴＤＩセンサを用いている。走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出幅とは、各センサが一度に検出（撮像）することのできる、液晶パネルの移動方向１１に沿った長さである。

検出手段３は、走査型センサ２Ａ〜２Ｄを有しており、走査型センサ２Ａ〜２Ｄは、直列で一列に並んで配置されている。走査型センサ２Ａ〜２Ｄの並んでいる方向（配列方向）は、移動方向１１と平行な方向である。隣り合う走査型センサ同士の検出対象位置の間隔は、液晶パネル８における移動方向１１に沿った長さ（幅）１８よりも短くなるように配置され、好ましくは、一列に並んだ走査型センサのうちの一方の端に位置する走査型センサ（走査型センサ２Ａ）の検出対象位置と、他方の端に位置する走査型センサ（走査型センサ２Ｄ）の検出対象位置との距離が、長さ１８よりも短くなるように配置される。このように走査型センサ２Ａと走査型センサ２Ｄとの検出対象位置の距離が長さ１８よりも短くなるように構成することによって、検出手段３と液晶パネル８との相対移動距離を短くすることができる。本実施形態では、検出対象位置９Ａと９Ｂとの間隔１７ａ、検出対象位置９Ｂと９Ｃとの間隔１７ｂ、および検出対象位置９Ｃと９Ｄとの間隔１７ｃが、いずれも、液晶パネル８における移動方向１１に沿った長さ１８の１／４の長さとなるように、走査型センサ２Ａ〜２Ｄは配置されている。

[移動手段]
移動手段７は、全ての走査型センサが液晶パネル８の一端から他端までを検出できるように、液晶パネル８を移動方向１１へ移動させる。これにより、走査型センサ２Ａ〜２Ｄのいずれもが、液晶パネル８の表示画面全面を検出することが可能となる。移動手段としては、例えば１軸ステージおよびコンベアなどが挙げられる。
なお、本実施形態においては、移動手段７は、液晶パネル８を移動させる構成となっているが、本発明はこれに限定されるものではなく、検出手段３を移動させるようにしてもよい。すなわち、液晶パネル８を移動方向１１へ移動させる場合には、液晶パネル８の紙面右側端部１３から、走査型センサ２Ａによる検出が開始する。逆に、検出手段３を移動方向１１へ移動させる場合には、液晶パネル８の紙面左側端部１４から、走査型センサ２Ｄによる検出が開始する。

走査型センサ２Ａ〜２Ｄによる検出は、液晶パネルが移動手段７によって等速移動している状態でおこなう。そのため、センサによる検出が開始する前に、液晶パネル８を、移動手段７によって所望の速度まで加速しておく必要がある。また、全てのセンサの検出が終了した後には、液晶パネル８の移動を停止させるために、移動手段７によって減速させる必要がある。

[信号発生器]
信号発生器６は、点灯検査用の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを液晶パネル８の表示画面に表示させるための信号を、液晶パネル８に供給するためのものである。

本実施形態の被検査対象である液晶パネルは、各絵素が、赤（Ｒ）ドット、緑（Ｇ）ドット、青（Ｂ）ドットの３つのドットから構成されている。また、本実施形態において説明している被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄとは、上述したように欠陥種類に応じて設定される。すなわち、各被検査画面パターンでは、図８において説明した構成と同じく、絵素を、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、黒（ＢＬ）のいずれかの色にする。これらの色の表示方法は、従来公知の手法を用いておこなうことができる。そして、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色について検査する場合には、検査する色のドットの輝度を最も高くするとともに、他の色のドットの輝度を低くする。一方、黒（ＢＬ）について検査する場合には、絵素内の全色のドットの輝度を最も低くする。具体的には、図８を用いて説明した通りである。

信号発生器６は、上述したように異なる被検査画面パターンを液晶パネル８の表示画面に表示させるが、このとき、被検査画面パターンにかかる信号を、液晶パネル８の移動方向１１に沿った所定の長さを有する領域ごとに供給する。本実施形態では、移動方向１１に沿って液晶パネル８の表示画面の１／８の長さずつに区画して、それを１領域（以下、分割領域１５と記載する）として、これらの領域ごとに或る被検査画面パターンを表示させたり、後述するように、ブランク画像を表示させたりする。

また、信号発生器６は、各々の分割領域の移動方向に沿った長さ（表示幅）１６が、上述した走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出幅よりも広くなるように信号を供給する。表示幅１６をこのように設定しておくことによって、センサの検出対象位置が変化している間に、検出対象位置と、検出すべき被検査画面パターンを表示している表示画面との間にずれが生じにくくなる。

このように、液晶パネル８の表示画面を領域に区画する手法としては、後述するように、被検査画面パターンを表示するための信号を与える液晶パネル８の配線をブロックごとにまとめておくことにより、液晶パネル８の表示領域を複数に区画する手法が挙げられる。

また本発明の特徴的構成として、信号発生器６は、移動手段７によって走査型センサと液晶パネル８との相対位置が変化している間、任意の走査型センサと対向している分割領域１５には、常に同じ（種類の）被検査画面パターンが表示されるように信号を供給する。具体的には、移動手段７によって上述したように液晶パネル８と検出手段３との相対位置が変化して、まず走査型センサ２Ａが液晶パネル８の紙面右側端部１３から検出を開始し、続いて走査型センサ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄがこの順で液晶パネル８の表示画面と対向する。走査型センサ２Ａの検出対象位置が変化しても、走査型センサ２Ａの検出対象位置には、常に、赤なら赤というように同じ被検査画面パターン４Ａが表示されるように、信号発生器６は、信号を供給する。同じように、走査型センサ２Ｂが液晶パネル８の紙面右側端部１３から検出を開始し、走査型センサ２Ｂの検出対象位置が変化しても、走査型センサ２Ｂの検出対象位置には、同じ被検査画面パターン４Ｂが表示されるように、信号発生器６は、信号を供給する。同じように、走査型センサ２Ｃが液晶パネル８の紙面右側端部１３から検出を開始し、走査型センサ２Ｃの検出対象位置が変化しても、走査型センサ２Ｃの検出対象位置には、同じ被検査画面パターン４Ｃが表示されるように、信号発生器６は、信号を供給する。同じように、走査型センサ２Ｄが液晶パネル８の紙面右側端部１３から検出を開始し、走査型センサ２Ｄの検出対象位置が変化しても、走査型センサ２Ｄの検出対象位置には、同じ被検査画面パターン４Ｄが表示されるように、信号発生器６は、信号を供給する。上記のように信号発生器６は、走査型センサの検出対象位置の変化に応じて、被検査画面パターンの表示領域を変化させる。詳細は、図２を用いて後述する。

信号発生器６が、上述したように走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出対象位置の変化に応じて被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを表示する分割領域１５の位置を変化させる手法としては、下記の２つの手法が考えられる。

１つ目は、液晶パネル８と検出手段３との相対位置に基づいて、被検査画面パターンの種類を切り替える手法である。この場合には、信号発生器６は、センサの検出対象位置に応じた被検査画面パターンを、表示画面に表示させる。なお、この場合には、信号発生器６は、移動手段７と通信することにより、検出対象位置と表示画面の切り替えとを同期させることができる。

また、２つ目の手法として、信号発生器６は、撮像開始トリガを受けた後、すなわち撮像開始時に最初の被検査画面パターンを表示させた後は、予め定められた時間で被検査画面パターンの種類を切り替える手法である。この場合には、検査が開始されると、被検査画面パターンは一定のシーケンス（時間）で自動に順次切り替わる。また、信号発生器６は、図１に示すように、或る被検査画面パターンが表示されている領域と、該或る被検査画面パターンと隣り合う被検査画面パターンとが表示されている領域との間に、ブランク領域を形成するように構成されている。図１を用いて説明すると、隣り合う２つの被検査画面パターンの間に、ブランク画像５Ａ〜５Ｄが表示されている領域がある。ブランク画像５Ａ〜５Ｄを表示している領域は、走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出対象位置９Ａ〜９Ｄに対応しない領域である。ブランク画像は、つぎに検査すべき被検査画面パターンであることが好ましい。検査すべき被検査画面パターンを予め表示させておくことにより、検出対象位置と被検査画面パターンを表示している領域とのずれを防ぐとともに、前に表示されていた被検査画面パターンによる残像の影響を受けることを防ぐことができる。

図４は、点灯検査中の液晶パネル８の表示画面を表した図である。図４に示すように、表示画面に被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを表示している領域に隣接する領域に表示されているブランク画像５Ａ〜５Ｄは、黒色であってもよい。被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄが黒点灯などの暗い表示である場合には、周囲の光の影響を受けやすい。したがってこの場合には、隣接して表示されるブランク画像を黒色にして表示画面を暗くすることにより、黒点灯といった暗い表示の被検査画面パターンも良好に検査することができる。

また、被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを表示している領域に隣接する領域は、いずれの画像も表示していない非点灯状態であってもよい。被検査パネルがノーマリブラックのパネルである場合には、非点灯状態において表示画面が黒色となる。したがって、黒色のブランク画像を表示させなくても、被検査画面パターンが黒点灯といった暗い表示の場合でも良好に検査することができる。

[画像処理装置]
走査型センサ２Ａ〜２Ｄは、検出した画像を信号として画像処理装置１０に出力する。画像処理装置１０は、走査型センサ２Ａ〜２Ｄからの画像信号を入力データとして、それを処理することによって欠陥部の検出をおこない、検査を実現する。画像処理装置１０では、周囲のドットと比較をして差が大きいドットを欠陥部として検出する。なお、欠陥部の検出手法としては、このほかにも２値化処理やフィルタ処理などによる手法が挙げられる。また、検査結果データをモニターに表示したり、ネットワークを通じて上位ホストに送信したりすることもできる。なお、画像処理による欠陥部の検出は、逐次画像データが撮像されるごとに実施する。

（点灯検査方法）
次に、上述した構成を備えた点灯検査装置１を用いておこなう、液晶パネル８の点灯検査方法について説明する。本実施形態の点灯検査方法では、上述したように、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、黒（ＢＬ）の４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄについて液晶パネル８の表示画面を検査する。

図２（ａ）は、図１に示した点灯検査装置１を用いて、被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄについて検査をおこなった場合の、液晶パネル８に表示される被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄ、および走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出対象位置の変遷を表した図である。なお、説明の便宜上、液晶パネル８のサイズは縦方向（液晶パネル８の移動方向と直交する方向）を短縮して示している。また、図２（ａ）は図１に示す点灯検査装置１のうち、説明のために液晶パネル８と走査型センサ２Ａ〜２Ｄのみを抜粋したものである。

図２（ａ）は、液晶パネル８が紙面左から右に等速移動している状態における、走査型センサ２Ａ〜２Ｄに対する液晶パネル８の移動方向に関する相対的な位置を表したものであり、液晶パネル８ａから液晶パネル８ｑまでのそれぞれの間隔は一定である。

液晶パネル８は、図２（ａ）に示す液晶パネル８ａより前の状態（不図示）で、加速を完了しており、液晶パネル８ａの状態では、液晶パネル８は等速移動している。

液晶パネル８ｂの状態では、信号発生器６（図１）が、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａに対応する領域に被検査画面パターン４Ａを表示させる信号を供給している。

液晶パネル８ｂの状態よりも検査が進んだ状態である液晶パネル８ｃの状態では、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａは液晶パネル８ｂの状態よりもさらにパネル上紙面左方向へ移動しており、検出センサ２Ａの検出対象位置９Ａに対応する領域には、被検査画面パターン４Ａが表示されている。

さらに検査状態が進んだ液晶パネル８ｄの状態では、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａは液晶パネル８ｃの状態よりもさらにパネル上紙面左方向へ移動しており、検出センサ２Ａの検出対象位置９Ａに対応する領域には、被検査画面パターン４Ａが表示されている。また、走査型センサ２Ｂによる検査も開始しており、走査型センサ２Ｂの検出対象位置９Ｂに対応する領域には、被検査画面パターン４Ｂが表示されている。

なお、上述したように、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａに対応する領域と、走査型センサ２Ａと隣り合う走査型センサ２Ｂの検出対象位置９Ｂに対応する領域との間には、ブランク画像を表示する領域がある。ブランク画像は、上述したように、次に検査されるべき被検査画面パターンであってもよく、また、黒色であってもよい。ブランク画像を表示している領域については、走査型センサによる検出はおこなわれない。

さらに検査状態が進んだ液晶パネル８ｅの状態では、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａは液晶パネル８ｄの状態よりもさらにパネル上紙面左方向へ移動しており、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａに対応する領域には、被検査画面パターン４Ａが表示されている。また、走査型センサ２Ｂの検出対象位置９Ｂも液晶パネル８ｄの状態よりもパネル上紙面左方向へ移動しており、走査型センサ２Ｂの検出対象位置９Ｂに対応する領域には、被検査画面パターン４Ｂが表示されている。走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａに対応する領域と、走査型センサ２Ｂの検出対象位置９Ｂに対応する領域との間には、ブランク画像を表示している領域が設けられている。

このように、本実施形態における点灯検査装置１を用いておこなう点灯検査方法は、各走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出対象位置９Ａ〜９Ｄの変化に応じて、検査パネル８の被検査画面パターンを順次切り替えて表示する。そして、図２（ａ）に示す液晶パネル８ｉの状態では、図２（ｂ）に示すような画面状態となっている。すなわち、走査型センサ２Ａ〜２Ｄの検出対象位置９Ａ〜９Ｄに対応するそれぞれの領域には、被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄがそれぞれ表示されている。また、各被検査画面パターンを表示している領域の間には、ブランク画像５Ａ〜５Ｄを表示する領域がある。

液晶パネル８ａから液晶パネル８ｊに移動するまでに、走査型センサ２Ａは液晶パネル８の紙面右端部から紙面左端部までを検出し、その間、走査型センサ２Ａの検出対象位置９Ａには、常に被検査画面パターン４Ａが表示されている。すなわち、被検査画面パターン４Ａについて、液晶パネル８の表示画面全面にわたる検査がおこなわれる。

同様に、液晶パネル８ｃから液晶パネル８ｌに移動するまでに、走査型センサ２Ｂは液晶パネル８の紙面右端部から紙面左端部までを検出し、その間、走査型センサ２Ｂの検出対象位置９Ｂには、常に被検査画面パターン４Ｂが表示されている。すなわち、被検査画面パターン４Ｂについて、液晶パネル８の表示画面全面にわたる検査がおこなわれる。

同様に、液晶パネル８ｅから液晶パネル８ｎに移動するまでに、走査型センサ２Ｃは液晶パネル８の紙面右端部から紙面左端部までを検出し、その間、走査型センサ２Ｃの検出対象位置９Ｃには、常に被検査画面パターン４Ｃが表示されている。すなわち、被検査画面パターン４Ｃについて、液晶パネル８の表示画面全面にわたる検査がおこなわれる。

同様に、液晶パネル８ｇから液晶パネル８ｐに移動するまでに、走査型センサ２Ｄは液晶パネル８の紙面右端部から紙面左端部までを検出し、その間、走査型センサ２Ｄの検出対象位置９Ｄには、常に被検査画面パターン４Ｄが表示されている。すなわち、被検査画面パターン４Ｄについて、液晶パネル８の表示画面全面にわたる検査がおこなわれる。

上記のように、液晶パネル８ａから液晶パネル８ｐに移動するまでに、全ての被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄについて、液晶パネル８の表示画面全面にわたる検査を完了することができる。そして、この間、移動手段７は、加速および減速をそれぞれ一度しかおこなわなくてよい。

（点灯検査時間）
次に点灯検査装置１を用いて、４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄについて液晶パネル８の表示画面を検査するときに要する時間について説明する。

移動手段７を用いて液晶パネルを所定の速度まで加速させるのにかかる時間をａ、それぞれの走査型センサ２Ａ〜２Ｄが液晶パネル８の端部から反対の端部までを所定の速度で移動し、表示画面全体を検出するのに要する時間をｔ、液晶パネルが所定の速度から停止するまでにかかる減速時間をｄとする。

加速時間ａが経過した後、走査型センサ２Ａによる検出が開始する。等速移動が進み、走査型センサ２Ｂ〜２Ｄの検出対象位置が液晶パネル８に含まれる位置に到達すると、各センサによる検出が開始する。検出を開始してから時間ｔが経過した時点では、走査型センサ２Ａによる検出が終了し、すでに走査型センサ２Ｂ、２Ｃおよび２Ｄによる検出が開始しており、走査型センサ４Ｄは、４番目の被検査画面パターン４Ｄについて、液晶パネル８の１／４の検出が終了している。したがって、残りの画面を検出するのに要する時間は３ｔ／４である。すなわち、検出を開始してから７ｔ／４が経過すると、すべての被検査画面パターンの検査が終了し、減速時間ｄが経過すると移動手段を停止し検出が完了する。したがって、図２（ｃ）に示すように、点灯検査装置１を用いて検査をおこなった場合に要する時間は、［ａ＋（７／４）ｔ＋ｄ］となる。

（比較構成（１）による点灯検査に要する時間）
一方、上述した従来構成のものと同様の点灯検査装置（以下、比較構成（１）の点灯検査装置と記載する）を用いて、４種類の被検査画面パターンによる検査および検査時間について図９および図１０（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。なお、図１０（ａ）は図９に示す比較構成（１）の点灯検査装置１００のうち、説明のために被検査パネル１０１と走査型センサ１０２のみを抜粋したものである。

比較構成（１）の点灯検査装置１００は、被検査画面パターンを被検査パネル１０１の全面に表示させ、走査型センサ１０２が被検査パネル１０１全面を検出することにより被検査パネル１０１全面の画像データを撮像することにより、検査を実行する。その際に要する時間を図１０（ｂ）に示す。図１０（ｂ）は横軸に時間、縦軸に速度を示すグラフである。この場合には、被検査パネル１０１全面を１回走査するために、［ａ＋ｔ＋ｄ］の時間を要する。

４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを検査する場合には、まず１番目の被検査画面パターン４Ａを被検査パネル１０１に表示させた後、走査型センサ１０２が被検査パネル１０１全面を検出することにより被検査パネル１０１全面の画像データを得る。次に、被検査画面パターン４Ａとは異なる２番目の被検査画面パターン４Ｂを被検査パネル１０１に表示させた後、走査型センサ１０２が被検査パネル１０１全面を先ほどと反対の方向へ移動しながら検出することにより被検査パネル１０１全面の画像データを得る。なお、２番目の被検査画面パターンの表示処理は、１番目の被検査画面パターンを走査する際の減速時間と、２番目の被検査画面パターンを走査する際の加速時間内におこなわれる。これを繰り返して、２往復の走査をおこなうことにより４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄの検査が可能となる。このときの検査時間は、図１０（ｃ）に示すように、［４ａ＋４ｔ＋４ｄ］となる。

図１１は、上記の処理を高速化するために、複数の走査型センサを配置して検査をおこなう従来と同様の手法である。図１１（ａ）に示す点灯検査装置１１０は、走査型センサ１０２を走査する方向に４台並べ、被検査パネル１０１の検査対象画面を４つの区画に分割して、１つの走査型センサあたりの走査距離を４分の１にすることによって検査時間の短縮を図っている。各走査型センサ１０２は、隣り合う検出センサの撮像部位の間隔が走査方向に沿ったパネルの長さの１／４となるように配置されている。

図１１（ｂ）は、点灯検査装置１１０を用いて、１つの被検査画面パターンの検査に要する時間を示したものである。被検査パネル１０１全面を１回検査するために［ａ＋（１／４）ｔ＋ｄ］の時間を要している。図１０（ａ）に示す点灯検査装置１００の場合と比較して１回の走査あたり、（３／４）ｔの時間が削減されている。

図１１（ｃ）は、点灯検査装置１１０を用いて、４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを検査する場合に要する時間を示している。図１１（ｃ）に示すように、４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを検査する場合に要する時間は［４ａ＋ｔ＋４ｄ］となる。この方式は、カメラ数の増加に反比例して等速区間が短縮される。

（点灯検査時間の比較）
図１に示した本実施形態の点灯検査装置１を用いたときに要する検査時間と、図１１（ａ）に示す点灯検査装置１１０を用いたときに要する検査時間とを比べると、（ａ＋ｄ）＞（ｔ／４）である場合には、常に[４ａ＋ｔ＋４ｄ]＞[ａ＋（７／４）ｔ＋ｄ]を満たしている。すなわち、この場合には、点灯検査装置１１０と比して、点灯検査装置１による点灯検査にかかる時間の高速化が達成されている。

ここで、例えば加速時間ａを１秒、等速区間における時間ｔを２秒、減速時間ｄを１秒とした場合には、点灯検査装置１１０では検査時間は１０秒であり、点灯検査装置１では５．５秒となり、本発明の構成のほうが高速化を実現できていることがわかる。

ここでは、４種類の被検査画面パターン４Ａ〜４Ｄを用いて、４台の走査型センサを配置した構成での比較をおこなったが、被検査画面パターンの数および走査型センサの数はこれに限定されるものではない。たとえば、８種類の被検査画面パターンを用いて、８台の走査型センサを配置した構成で比較すると、従来の構成では［８ａ＋ｔ＋８ｄ］で１８秒である。一方、本発明の点灯検査装置では［ａ＋（１５／８）ｔ＋ｄ］であり、およそ５．８秒である。すなわち本発明の構成のほうが高速化を実現している。

一般に、ｍ種類の被検査画面パターンについて、ｍ台の走査型センサを用いて、走査型センサの配列方向に沿った被検査パネルの幅をｗとし、走査型センサ同士の検出対象位置の間隔をｗ／ｍとし、走査型センサの配列方向に沿った検査画像の幅がｗ／２ｍとなるようにして検査をおこなう場合には、本発明の点灯検査装置においては、すべての検査画像の検査に要する時間は、[ａ＋（２−（１／ｍ））ｔ＋ｄ]である。そして、信号発生器が、検査画像１種類のみを表示画面全面に表示し、１つの検査画像の検査が終了するたびに移動手段の加速および減速をおこない、次の検査画像の検査をおこなう比較構成（１）においては、全検査画像の検査に要する時間は、[（ａ＋（ｔ／ｍ）＋ｄ）ｍ]である。よって、（ａ＋ｄ）＞（ｔ／ｍ）を満たしていれば、[（ａ＋（ｔ／ｍ）＋ｄ）ｍ]＞[ａ＋（２−（１／ｍ））ｔ＋ｄ]の関係を常に満たすことになる。すなわち、本発明の点灯検査装置は、比較構成（１）よりも常に検査時間が短くなる。したがって、被検査パネルが大型化して、検査区間が長くなっても、常に従来技術よりも検査の高速化を達成できる。ただし隣り合う走査型センサ同士の検出対象位置の間隔は、ｗ／ｍであり、信号発生器は、被検査画面パターンの検査方向に沿った幅がｗ／２ｍとなるように、被検査画面パターンを表示させるものとする。

（比較構成（２）との点灯検査時間の比較）
図５（ａ）は、走査型センサ３２Ａ〜３２Ｄが、液晶パネル８の検査方向の幅よりも広い間隔で配置されている従来と同様の点灯検査装置（以下、比較構成（２）の点灯検査装置と記載する）である。この比較構成（２）の点灯検査装置は、液晶パネル８を一方向に搬送しながら、被検査画面パターンごとに検査をおこなっている。図５（ｂ）は本実施形態である。図５（ａ）および図５（ｂ）に示す構成はともに、複数の被検査画面パターンを検査する際に、往復走査を必要としない。ここで、図５（ａ）の構成と図５（ｂ）の構成とを比較した場合には、被検査画面パターン１種類あたりに要する検査時間（スループット）はどちらも同じである。しかし、図５（ｂ）に示す本発明の実施形態では、被検査画面パターンのすべての種類を検査するのに要する時間（リードタイム）および装置のフットプリントを、図５（ａ）に示す従来の点灯検査装置と比較してそれぞれ１／４に削減できている。

近年は、液晶パネルの大型化に伴い、走査型センサを構成する光学系および液晶パネル８自体の重量増加が顕著である。よって、これらを移動させるための走査ステージは大型化の一途をたどり、加速および減速に要する時間が増大し、検査のためのエネルギーコストの増大につながっている。そのため、図５（ｂ）に示す本発明の実施形態は、加速および減速に要する時間が減少しているとともに、装置の構成を簡略化し、エネルギーコストの抑制を実現している。すなわち、図５（ｂ）に示す本発明の実施形態は、大型化する液晶パネルに適した形態である。

（走査型センサの配置パターン）
なお、別の実施形態においては、走査型センサの配置間隔を以下のようにすることも可能である。

図６（ａ）〜（ｃ）は、別の実施形態における走査型センサ１９の配置位置を模式的に表した図である。図６（ａ）は、２台の走査型センサ１９が配置しており、それぞれの検出対象位置の間隔２０が、液晶パネル８の移動方向に沿った長さ１８の２／３となるように配置している。この場合、信号発生器６は、表示画面を３分割して被検査パターンを表示することが好ましい。図６（ｂ）は、３台の走査型センサ１９が配置しており、隣り合うセンサの検出対象位置の間隔２０が、液晶パネル８の移動方向に沿った長さ１８の２／５となるように配置している。この場合、信号発生器６は、表示画面を５分割して被検査パターンを表示することが好ましい。図６（ｃ）は、４台の走査型センサ１９が配置しており、隣り合うセンサの検出対象位置の間隔２０が、液晶パネル８の移動方向に沿った長さ１８の２／７となるように配置している。この場合、信号発生器６は、表示画面を７分割して被検査パターンを表示することが好ましい。

本発明の点灯検査装置を使用して、表示画面をｎ分割して検査をおこなう場合には、（ｎ＋１）／２以下の走査型センサを配置することが好ましい。

また、予め複数の走査型センサを配置しておき、表示画面の分割数を検査情報データより入手し、分割数に応じて検査時に用いる走査型センサの台数を調整することも可能である。

（液晶パネル）
図７は、配線をブロックごとにまとめている液晶パネルの模式図である。液晶パネルの製造工程における初期の段階では、被検査画面パターンを表示するための信号を与える配線２１をブロックごとにまとめており、図７（ａ）に示すように液晶パネル８の左右２画面でしか被検査画面パターンを変更できないものもある。本発明の検査方法を適用するためには、被検査画面パターン数に応じて表示ブロックを増やすように、パネルを設計することが好ましい。

〔実施の形態２〕
本発明に係る他の実施形態について、図３に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、上記実施の形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施の形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。

本実施形態における点灯検査装置は、上記した実施の形態１の点灯検査装置よりもさらに高速化を実現することができる。

上記した実施の形態１では、隣り合う走査型センサの検出対象位置の間隔が、液晶パネル８の移動方向に沿った長さの１／４の長さとなるように、走査型センサ２Ａ〜２Ｄを配置している構成であった。これに対して、本実施形態の点灯検査装置１２は、図３（ａ）に示すように走査型センサ２Ａ〜２Ｄを移動方向に４台並べているが、各センサ間の距離が短くなるように設置されており、図１示す点灯検査装置１と比較すると走査型センサ２Ａと２Ｄとの距離が半分となっている。すなわち、本実施形態の点灯検査装置１２は、隣り合う走査型センサの検出対象位置の間隔が、液晶パネル８の移動方向に沿った長さの１／８の長さとなるように、走査型センサ２Ａ〜２Ｄを配置している。

この場合には、図１に示した点灯検査装置１と比べて、加速および減速に要する時間に変化はない。しかし、走査型センサ２Ａが１番目の被検査画面パターン４Ａの検出を完了した時点、すなわち検査を開始してから時間（ａ＋ｔ）経過後では、走査型センサ２Ｄは、４番目の被検査画面パターン４Ｄについて、表示画面の５／８に対して検出が完了しており、残りの表示画面を検出するのに要する時間は３ｔ／８である。したがって、この場合の検査時間は図３（ｂ）に示すように［ａ＋（１１／８）ｔ＋ｄ］となる。ここで、加速時間ａを１秒、等速区間ｔを２秒、減速時間ｄを１秒とした場合、点灯検査装置１２による検査時間は４．８秒となり、図１に示した点灯検査装置１よりもさらに高速が図れている。

一般に、ｍ種類の被検査画面パターンについて、ｍ台の走査型センサを用いて、走査型センサの配列方向に沿った被検査パネルの幅をｗとし、走査型センサ同士の検出対象位置の間隔をｗ／ｐｍとし、走査型センサの配列方向に沿った検査画像の幅がｗ／２ｐｍとなるようにして検査をおこなう場合には、本発明の点灯検査装置においては、すべての検査画像の検査に要する時間は、[ａ＋（１＋（ｍ−１）／ｐｍ））ｔ＋ｄ]である。この時間は、ｐの値が大きくなるに従い、小さくなる。すなわち、本発明の点灯検査装置は、ｐの値を大きくすることにより、つまり走査型センサ間の設置距離を小さくし、検査画像の幅を小さくすることにより、検査時間の短縮を図ることが可能となる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲において種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲において、適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

（付記事項）
なお、本発明の点灯検査装置は、以下の点を特徴点としていると換言することも可能である。すなわち、複数の走査型センサを直列に並べた点灯検査装置において、同センサの各撮像対象部位の間隔が走査方向パネルサイズよりも小さい間隔となるように設置されたセンサ群と、被検査パネルと前記センサ群の相対的移動に対応して各センサの撮像対象部位における被検査画面パターンの種類を維持するように相対的移動の方向と逆方向に順次切り替える信号発生器と、を備えていると換言することができる。

本発明にかかる点灯検査装置は、液晶パネルなどフラットパネルディスプレイの製造工程において、表示画面内の点灯状態を検査する点灯検査に好適に用いることができる。

本発明の実施形態における点灯検査装置の構成を示す模式図である。 （ａ）は、図１に示した点灯検査装置を用いた場合の、検査の変遷を模式的に表した図であり、（ｂ）は、検査中のある時点における点灯検査装置および液晶パネルを模式的に表した図であり、（ｃ）は、図１に示した点灯検査装置を用いた場合の検査に要する時間を示した図である。 （ａ）は、本発明の別の実施形態における点灯検査装置を模式的に表した図であり、（ｂ）は、（ａ）の点灯検査装置を用いた場合の検査に要する時間を示した図である。 本発明の実施形態における点灯検査装置および液晶パネルを模式的に表した模式図である。 （ａ）は、従来の点灯検査装置の走査手法を表す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態における点灯検査装置を表す模式図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態における走査型センサの配置パターンを表した図である。 （ａ）および（ｂ）は、ブロックごとに配線をまとめた液晶パネルを示す模式図である。 液晶パネルの欠陥を示す模式図である。 従来の点灯検査装置の基本構成を示す模式図である。 （ａ）は、従来の点灯検査装置の走査手法を表す模式図であり、（ｂ）および（ｃ）は、（ａ）の点灯検査装置を用いた場合の検査に要する時間を示した図である。 （ａ）は、別の従来の点灯検査装置の走査手法を表す模式図であり、（ｂ）および（ｃ）は、（ａ）の点灯検査装置を用いた場合の検査に要する時間を示した図である。

符号の説明

１ 点灯検査装置
２Ａ〜２Ｄ 走査型センサ（センサ）
３ 検出手段
４Ａ〜４Ｄ 被検査画面パターン（検査画像）
５Ａ〜５Ｄ ブランク画像
６ 信号発生器
７ ステージ制御装置（移動手段）
８ 液晶パネル（被検査パネル）
８ａ〜８ｅ、８ｇ、８ｉ、８ｊ、８ｌ、８ｎ、８ｐ 液晶パネル（被検査パネル）
９Ａ〜９Ｄ 検出対象位置
１０ 画像処理装置
１１ 移動方向
１２ 点灯検査装置
１３ 右側端部
１４ 左側端部
１５ 分割領域
１６ 表示幅
１７ａ〜１７ｃ 検出対象位置の間隔
１８ パネルの長さ（幅）
１９ 走査型センサ（センサ）
２０ 検出対象位置の間隔
２１ 配線
３２Ａ〜３２Ｄ 走査型センサ
１００ 点灯検査装置
１０１ 被検査パネル
１０２ 検出センサ
１０３ 走査ステージ
１０４ ステージ制御装置
１０５ 信号発生器
１０６ 画像処理装置
１１０ 点灯検査装置
２００ 液晶パネル
２０１、２０２ 点欠陥
２０３、２０４ 液晶パネル
２０５ 絵素
２１０ｒ、２２０ｒ 赤ドット
２１０ｇ、２２０ｇ 緑ドット
２１０ｂ、２２０ｂ 青ドット

Claims (10)

1. 被検査パネルに信号を供給し、該被検査パネルの表示画面に検査画像を表示させる信号発生器と、
   前記検査画像を前記表示画面に対向する位置から検出する複数のセンサが、直列に並んだ検出手段と、
   前記被検査パネルと前記検出手段とを、前記センサの配列方向に沿って相対移動させる移動手段とを備えた点灯検査装置であって、
   隣り合う前記センサ同士の検出対象位置の間隔は、１つの被検査パネルにおける前記配列方向の全長よりも短く、
   前記信号発生器は、或る前記センサによる検出対象位置と、該或るセンサとは異なる他の前記センサによる検出対象位置とに、互いに異なる画像を表示させるとともに、前記被検査パネルと前記検出手段とが前記相対移動している間、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させ、
   前記移動手段は、前記或るセンサと前記他のセンサとを、１つの被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端まで相対移動させることを特徴とする点灯検査装置。
2. 前記信号発生器は、前記表示画面を前記配列方向に沿って複数に分割した領域ごとに或る種類の前記検査画像を表示させ、
   前記センサは、前記配列方向に沿って所定の検出幅を有しており、
   前記領域の前記配列方向に沿った幅は、前記センサの前記所定の検出幅よりも広いことを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
3. 前記信号発生器は、前記或るセンサの検出対象位置に対応した前記領域と、該或るセンサと隣り合うセンサの検出対象位置に対応した領域との間に、前記配列方向に沿って所定の幅を有するブランク画像を表示させることを特徴とする請求項２に記載の点灯検査装置。
4. 前記ブランク画像は、黒色画像であることを特徴とする請求項３に記載の点灯検査装置。
5. 前記信号発生器は、前記或るセンサの検出対象位置に対応した前記領域と、該或るセンサと隣り合うセンサの検出対象位置に対応した領域との間を、前記配列方向に沿った所定の幅において非点灯状態とすることを特徴とする請求項２に記載の点灯検査装置。
6. 前記センサの数は、前記領域の数によって決定されることを特徴とする請求項２から５のいずれか１項に記載の点灯検査装置。
7. 前記信号発生器は、前記センサと前記被検査パネルとの相対位置に基づいて、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の点灯検査装置。
8. 前記信号発生器は、予め定められた時間に基づいて、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の点灯検査装置。
9. 前記センサの数をｍ、前記移動手段の加速にかかる時間をａ、前記移動手段の減速にかかる時間をｄ、前記移動手段が、前記或るセンサを前記被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端まで相対移動させるのにかかる時間をｔとすると、
   隣り合う前記センサ同士の検出対象位置の間隔は、前記被検査パネルにおける前記配列方向の一端から他端までの幅をｗとし、ｐを正の整数とすると、ｗ／ｐｍであり、
   前記信号発生器は、前記検査画像の前記配列方向に沿った幅がｗ／２ｐｍとなるように、前記検査画像を表示させ、
   ｗ／ｐｍは、前記センサの、前記配列方向に沿って有する所定の検出幅の値よりも大きく
   （ａ＋ｄ）＞（ｔ／ｐｍ）を満たすことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の点灯検査装置。
10. 直列に並んだ複数のセンサによって、被検査パネルの表示画面に表示された検査画像を走査して、該表示画面の点灯検査を行う点灯検査方法であって、
    或る前記センサによる検出対象位置と、該或るセンサとは異なる他の前記センサによる検出対象位置とに、互いに異なる画像を表示させ、且つ、前記或るセンサと前記他のセンサとを１つの被検査パネルにおける前記センサの配列方向の一端から他端まで相対移動させる間、前記センサごとに、前記検出対象位置に同じ前記検査画像を表示させることを特徴とする点灯検査方法。