JP5572925B2 - Vaパターン欠損検査方法および検査装置 - Google Patents
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Description
このような背景の中、本発明の白色干渉の撮像技術を用いたVA欠損の検出は、VAパターン形成不良基板を早期に発見し、ラインの生産効率を向上させることが可能となり、収率改善に大きな効果をもたらすものである。
出力値100、下限出力値0の設定を行うことにより、図7の濃淡画像に対して白黒の切り分けを行う。
12・・・VAパターン(枝リブ) 13・・・VAパターン(枝リブ:単独)
14・・・部分VAパターン欠損 20・・・CCD
21・・・ピエゾユニット 22・・・基板ステージ 23・・・ステージ駆動機構25・・・顕微鏡ユニット 26・・・画像処理装置 30・・・白色光源 31・・・ハーフミラー 32・・・参照ミラー 33・・・対物レンズ 34・・・集光レンズ
Claims (1)
- 透明基板上に形成された突起状の構造物であるカラー液晶表示装置用カラーフィルタの特定箇所のVAパターンの欠損検査方法において、検出する手順が、
(1)VAパターンを形成したカラーフィルタを保持するXYステージに対し、前記XYステージのステージ面と直交するZ軸方向に設置した撮像手段の視野内に欠陥位置(検査対象領域)が入る様に、XY軸方向を移動し、次に、撮像した欠陥画像から画像処理により欠陥位置を取得する段階と、
(2)前記欠陥位置に対して検査エリアを設定し、前記検査エリアに対して白色干渉法を用いて、Z軸を一方向に位置を変えながらN枚の画像を撮像する段階と、
(3)前記N枚の画像について任意の同じ位置の画素の輝度を比較して最大値を得る段階と、
(4)前記最大値が得られた時の画像の枚数目情報aを得る段階と、
(5)前記枚数目情報aを、輝度情報Aに変換する段階と、
(6)前記検査区間エリア内の全ての画素に関して、前記(3)〜(5)の処理を行い、変換した輝度情報Aから、検査エリア内の濃淡情報からなる画像G1を形成する段階と、
(7)一方で、前記検査エリアの中で、予め設定したリファレンスエリアについて、前記撮像装置で撮像したN枚の画像から前記リファレンスエリア内の画素ごとに輝度の最大値を求め、その平均値を導出する段階と、
(8)前記平均値を(4)の段階と同様の処理をして、輝度情報Bに変換する段階と、
(9)前記輝度情報Bを2値化処理の閾値T1と定め、
(10)前記画像G1に対して、前記閾値で2値化した画像G2を取得する段階と、
(11)事前に、検査対象領域を正常部とした以外は前記(2)〜(10)と同様の段階で構成される処理手順で、正常部の2値化画像G3を取得する段階と、
(12)前記2値化画像G2と、前記2値化画像G3の差分を取り、得られた画像中の画素の数が予め設定した判定の閾値T2を超えた場合、VAパターン欠損ありと判定する段階と、の処理手順であることを特徴とするVAパターン欠損検査方法。
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