JP2010008066A - Vaパターン欠損検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板10上に、少なくともブラックマトリクス(BM)、着色層、透明導電膜、フォトスペーサ及びVAパターンが形成されたカラーLCD用カラーフィルタの特定箇所のVAパターン欠損を検出するVAパターン欠損検査方法において、白色光源30から特定箇所に白色光を照射し、その同軸反射照明光を、白色干渉法または、白色共焦点法を用いて、モノクロCCDセンサ20を搭載した顕微鏡ユニット25からなる撮像手段にて撮像を行う。VA欠損検出には特定のアルゴリズムロジックを適用する。
【選択図】図4
Description
用いて、被検査対象サンプルまでの光路長を、1/4波長、1/2波長、3/4波長だけ一方向に変化させて、前記CCDセンサに取り込まれた干渉縞明暗情報を処理することを特徴とする請求項1に記載するVAパターン欠損検査方法である。
さらに、本発明の請求項3に係る発明は、少なくとも、以下の(1)〜(12)の段階で構成される欠損を検出する処理手順を有することを特徴とする請求項1または2に記載するVAパターン欠損検査方法である。
(1)前記撮像手段で視野内に入る範囲の欠陥位置(検査対象領域)に、XY軸を移動し、次に、CCDに映像化された欠陥を画像処理により欠陥位置を取得する段階。
(2)その欠陥位置に対して検査区間を設定し、設定した検査区間について、白色干渉・共焦点法を用いて、Z軸を走査しN枚撮像する段階。
(3)任意の1Pixelに着目し、輝度分布が正規関数であることを利用して、輝度のサーチを行う段階。
(4)前記任意の1Pixelの輝度ピークがN枚中のa枚目であるならば、枚数情報をaとする段階。
(5)前記aの枚数情報を、濃淡値情報0〜255に変換する段階。
(6)全Pixelに関して、上記(3)〜(5)の処理を行い、得られた濃淡値情報から、対象物の形状情報を有した濃淡画像を形成する段階。
(7)これとは別に、前記(2)で設定した区間の中で、予め設定しているリファレンスエリアの濃度平均のピークを導出する段階。
(8)このリファレンスエリアのピークが、輝度サーチの結果(2)で撮像したN枚の中でb枚目であるならば、枚数情報をbとし、このbの枚数情報を、濃淡値情報0〜255に変換する段階。
(9)リファレンスエリアの濃淡値情報をもとに、2値化処理の閾値を定め、この閾値に対し上限と下限の設定を設ける段階。
(10)(6)で形成取得した濃淡画像に対して、2値化処理を行い、2値化画像を取得する段階。
(11)事前に、検査対象領域を正常部とした以外は(2)〜(10)と同様の段階で構成される処理手順で、正常部の2値化画像を取得する段階。
(12)最後に、正常部の2値化画像と(10)で取得した測定部の2値化画像を差分し、その結果、片側の画素数が閾値を超えた場合、VAパターン欠損ありと判定する段階。
出力値100、下限出力値0の設定を行うことにより、図7の濃淡画像に対して白黒の切り分けを行う。
12・・・VAパターン(枝リブ) 13・・・VAパターン(枝リブ:単独)
14・・・部分VAパターン欠損 20・・・CCD
21・・・ピエゾユニット 22・・・基板ステージ 23・・・ステージ駆動機構25・・・顕微鏡ユニット 26・・・画像処理装置 30・・・白色光源 31・・・ハーフミラー 32・・・参照ミラー 33・・・対物レンズ 34・・・集光レンズ
Claims (6)
- 透明基板上に、少なくともブラックマトリクス(BM)、着色層、透明導電膜、フォトスペーサ(PS:Photo Spacer)及びVA(Vertical Alignment)パターンが形成されたカラー液晶表示装置用カラーフィルタの特定箇所のVAパターン欠損を検出するVAパターン欠損検査方法において、
白色光源(キセノン・メタルハライド光源)から特定箇所に白色光を照射し、その同軸反射照明光を、白色干渉法または、白色共焦点法を用いて、モノクロCCDセンサを搭載した顕微鏡ユニットからなる撮像手段にて撮像を行い、欠損を検出することを特徴とするVAパターン欠損検査方法。 - 前記撮像手段のZ軸の駆動にピエゾ光学素子を用いて、被検査対象サンプルまでの光路長を、1/4波長、1/2波長、3/4波長だけ一方向に変化させて、前記CCDセンサに取り込まれた干渉縞明暗情報を処理することを特徴とする請求項1に記載するVAパターン欠損検査方法。
- 少なくとも、(1)〜(12)の段階で構成される欠損を検出する処理手順を有することを特徴とする請求項1または2に記載するVAパターン欠損検査方法。
(1)前記撮像手段で視野内に入る範囲の欠陥位置(検査対象領域)に、XY軸を移動し、次に、CCDに映像化された欠陥を画像処理により欠陥位置を取得する段階。
(2)その欠陥位置に対して検査区間を設定し、設定した検査区間について、白色干渉・共焦点法を用いて、Z軸を走査しN枚撮像する段階。
(3)任意の1Pixelに着目し、輝度分布が正規関数であることを利用して、輝度のサーチを行う段階。
(4)前記任意の1Pixelの輝度ピークがN枚中のa枚目であるならば、枚数情報をaとする段階。
(5)前記aの枚数情報を、濃淡値情報0〜255に変換する段階。
(6)全Pixelに関して、上記(3)〜(5)の処理を行い、得られた濃淡値情報から、対象物の形状情報を有した濃淡画像を形成する段階。
(7)これとは別に、前記(2)で設定した区間の中で、予め設定しているリファレンスエリアの濃度平均のピークを導出する段階。
(8)このリファレンスエリアのピークが、輝度サーチの結果(2)で撮像したN枚の中でb枚目であるならば、枚数情報をbとし、このbの枚数情報を、濃淡値情報0〜255に変換する段階。
(9)リファレンスエリアの濃淡値情報をもとに、2値化処理の閾値を定め、この閾値に対し上限と下限の設定を設ける段階。
(10)(6)で形成取得した濃淡画像に対して、2値化処理を行い、2値化画像を取得する段階。
(11)事前に、検査対象領域を正常部とした以外は(2)〜(10)と同様の段階で構成される処理手順で、正常部の2値化画像を取得する段階。
(12)最後に、正常部の2値化画像と(10)で取得した測定部の2値化画像を差分し、その結果、片側の画素数が閾値を超えた場合、VAパターン欠損ありと判定する段階。 - 透明基板上に、少なくともブラックマトリクス(BM)、着色層、透明導電膜、フォトスペーサ(PS:Photo Spacer)及びVA(Vertical Alignment)パターンが形成されたカラー液晶表示装置用カラーフィルタの特定箇所のVAパターン欠損を検出するVAパターン欠損検査装置において、
白色光源(キセノン・メタルハライド光源)から特定箇所に白色光を照射し、その同軸反射照明光を、白色干渉法または、白色共焦点法を用いて撮像を行う機構を有した、モノクロCCDセンサを搭載した顕微鏡ユニットからなる撮像手段を備えることを特徴とするV
Aパターン欠損検査装置。 - 前記撮像手段のZ軸の駆動にピエゾ光学素子を用いて、被検査対象サンプルまでの光路長を、1/4波長、1/2波長、3/4波長だけ一方向に変化させて、前記CCDセンサに取り込まれた干渉縞明暗情報を処理する機構を有することを特徴とする請求項4に記載するVAパターン欠損検査装置。
- 請求項3に記載するVAパターン欠損検査方法の処理機構を備えることを特徴とする請求項4または5に記載するVAパターン欠損検査装置。
Priority Applications (1)
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JP2010008066A true JP2010008066A (ja) | 2010-01-14 |
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