JP2006208174A - 表面形状計測方法及び計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定の波長幅を有する計測光を供給する計測光供給部10と、計測対象面S1からの反射光及び参照光を干渉させる計測光学系20と、干渉光強度を検出する検出手段であるCCDカメラ15と、計測制御装置50とを備えて計測装置1Aを構成する。そして、反射光と参照光との光路長差について微小計測間隔及び広域計測間隔を設定するとともに、広域計測間隔でn個の光路長差を設定し、そのそれぞれの近傍において微小計測間隔で光路長差を変化させて干渉光強度の変化を計測し、得られた計測結果から求められるn個の干渉強さに基づいて、計測対象面S1の照射方向の高さを導出する。
【選択図】 図1
Description
Claims (10)
- 所定の波長幅を有する計測光を計測対象面に照射し、前記計測対象面からの反射光、及び前記反射光に対する光路長差が制御可能な参照光を干渉させて、得られる干渉光強度の前記光路長差についての変化から前記計測対象面の形状を計測する計測方法であって、
前記計測対象面における前記計測光の照射方向からみた計測位置に対して、前記反射光と前記参照光との前記光路長差について、前記計測光の波長に基づく微小計測間隔、及び前記微小計測間隔よりも大きい広域計測間隔を設定する設定ステップと、
前記計測位置に対して、前記光路長差として前記広域計測間隔でn個の光路長差(nは3以上の整数)を設定し、そのそれぞれの近傍において前記微小計測間隔で光路長差を変化させて前記干渉光強度の変化を計測する計測ステップと、
前記計測ステップで得られた前記干渉光強度の変化のn個の計測結果から求められる前記n個の光路長差のそれぞれでの干渉強さに基づいて、前記計測位置における前記計測対象面の前記照射方向の高さを導出する導出ステップと
を備えることを特徴とする表面形状計測方法。 - 前記計測ステップにおいて、前記n個の光路長差のそれぞれの近傍において、前記微小計測間隔で光路長差を3回以上変化させて前記干渉光強度の変化を計測することを特徴とする請求項1記載の表面形状計測方法。
- 前記導出ステップにおいて、前記n個の光路長差のそれぞれについて、前記干渉光強度の変化の計測結果に対してフィッティング計算を行って前記干渉強さを求めることを特徴とする請求項1または2記載の表面形状計測方法。
- 前記導出ステップにおいて、前記n個の光路長差のそれぞれについて、前記干渉光強度の変化の計測結果でのばらつきによって前記干渉強さを求めることを特徴とする請求項1または2記載の表面形状計測方法。
- 所定の波長幅を有する計測光を供給する計測光供給手段と、
前記計測光を計測対象面に照射するとともに、前記計測対象面からの反射光、及び前記反射光に対する光路長差が制御可能な参照光を干渉させる計測光学系と、
前記計測光学系によって前記反射光及び前記参照光を干渉させて得られる干渉光強度を検出する検出手段と、
前記反射光と前記参照光との前記光路長差を制御する光路長差制御手段と、
前記検出手段によって検出された前記干渉光強度の前記光路長差についての変化から前記計測対象面の形状を導出する表面形状導出手段とを備え、
前記光路長差制御手段は、前記計測対象面における前記計測光の照射方向からみた計測位置に対して、前記光路長差について、前記計測光の波長に基づく微小計測間隔、及び前記微小計測間隔よりも大きい広域計測間隔を設定するとともに、前記光路長差として前記広域計測間隔でn個の光路長差(nは3以上の整数)を設定し、そのそれぞれの近傍において前記微小計測間隔で光路長差を変化させて前記干渉光強度の変化を計測するn個の計測条件で前記光路長差を制御し、
前記表面形状導出手段は、前記n個の計測条件で得られた前記干渉光強度の変化のn個の計測結果から求められる前記n個の光路長差のそれぞれでの干渉強さに基づいて、前記計測位置における前記計測対象面の前記照射方向の高さを導出する
ことを特徴とする表面形状計測装置。 - 前記光路長差制御手段は、前記n個の光路長差のそれぞれの近傍において、前記微小計測間隔で光路長差を3回以上変化させて前記干渉光強度の変化を計測する前記計測条件で前記光路長差を制御することを特徴とする請求項6記載の表面形状計測装置。
- 前記表面形状導出手段は、前記n個の光路長差のそれぞれについて、前記干渉光強度の変化の計測結果に対してフィッティング計算を行って前記干渉強さを求めることを特徴とする請求項6または7記載の表面形状計測装置。
- 前記表面形状導出手段は、前記n個の光路長差のそれぞれについて、前記干渉光強度の変化の計測結果でのばらつきによって前記干渉強さを求めることを特徴とする請求項6または7記載の表面形状計測装置。
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