JP2020153992A - 白色干渉計による形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
の干渉縞の振幅が最大になった位置z0(x,y)を記録することで、測定対象物8の形状を測定することができる。
φ(x,y)によって次式で表される。
。位相φ(x,y)と対物レンズ位置zとの関係は、測定対象物面上の各点で光路長差ゼロ
になる位置z0(x,y)を用いると、光路長差を波長λの2倍で割り算し、その端数部分に2πをかけた値となり、次式で表される。
渉縞画像を取得し、演算を行えば、干渉縞強度Ii(x,y,z)を構成するバイアスB(x,
y)と振幅A(x,y,z)と位相φ(x,y)の3つの未知数を算出することができる。
幅A(x,y,z)と位相φ(x,y)は以下の式により計算することができる。
走査した場合に図2に示したように強度が変化をする中で、図3に示すようにz1、z2、…といった具合で、対物レンズを干渉縞の明暗が1周期以上変化するように大きく移動させて、離散的に干渉縞を測定する。このようにして得られたデータから振幅変化の曲線を算出して、ピークとなるz0の位置を決定する際の流れを図4に示す。まず、ステップ1
00で、z1、z2、…のそれぞれの位置において、図5(A)に示すように、式(3)から式(6)で示した計算アルゴリズムに準じて、δi=−α,0,+αに相当する位相シフ
トした干渉縞を取り込む。そして、ステップ110で、各々の点で図5(B)に示すように、式(5)を用いて振幅A1(z1)、A2(z2)、A3(z3)、A4(z4)を算出する。そして、ステップ120で、干渉縞1周期分の移動量よりも大きな移動間隔で得られた離散的な振幅測定値から、図5(C)に示すように、光路長差に対する振幅変化の関数にフィッティングをかける。ステップ130で、フィッティング曲線から、光路長差がゼロ点となるz座標軸上の位置z0を測定対象物面上のxy座標上の各点で推定する。
10、11…光源
12、16、17…ビームスプリッタ
14…対物レンズ
18…参照鏡
30…撮像部
32、32A、32B、32C…カメラ
33…集束レンズ
34…λ/4板
36…無偏光ビームスプリッタ
38A、38B、38C…偏光板
39…マイクロポラライザ
40…偏光ビームスプリッタ
40A…偏光ビームスプリッタ面
40B…無偏光ビームスプリッタ面
R…参照光束
M…測定光束
Claims (3)
- 低コヒーレンスの光源からの光束を参照光束と測定光束に分割して干渉させ、白色干渉計に対して対象物を相対的に光軸方向に走査して干渉縞を測定し、対象物の形状を測定する白色干渉計による形状測定装置において、
干渉縞の明暗変化の1周期分より小さい走査量に相当する干渉縞の位相シフトによる測定と、1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定の組み合わせにより、光軸方向の座標を変数とする振幅変化の曲線を求めて、この曲線から対象物の形状を測定する際に、
前記1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定により得られた測定値より、予め特定された対象物の光軸方向の位置に対する振幅変化に、物理的な根拠に基づく曲線によるフィッティングをかけて、振幅が最大となる光軸方向の座標上の点を、対象物面上の各点において算出し、対象物の形状を測定することを特徴とする、白色干渉計による形状測定装置。 - 低コヒーレンスの光源からの光束を参照光束と測定光束に分割して干渉させ、白色干渉計に対して対象物を相対的に光軸方向に走査して干渉縞を測定し、対象物の形状を測定する白色干渉計による形状測定装置において、
干渉縞の明暗変化の1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定により、光軸方向の座標を変数とする振幅変化の曲線を求めて、この曲線から対象物の形状を測定する際に、
前記低コヒーレンスの光源を特定の偏光成分を有する光源とし、前記参照光束に対して異なる偏光面で測定光束を発生させて、前記参照光束と前記測定光束からなる二つの光束を複数の光束又は領域に分割し、分割した各々の前記参照光束と前記測定光束からなる二つの光束に対して、位相をシフトさせて干渉縞を発生させ、各々の干渉縞を複数の異なるカメラ又は同じカメラの異なる領域で測定すると共に、
前記1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定により得られた測定値より、予め特定された対象物の光軸方向の位置に対する振幅変化に、物理的な根拠に基づく曲線によるフィッティングをかけて、振幅が最大となる光軸方向の座標上の点を、対象物
面上の各点において算出し、対象物の形状を測定することを特徴とする、白色干渉計による形状測定装置。 - 前記複数の領域が、マイクロポラライザによって区分された、単位セル内の微小領域であることを特徴とする、請求項2に記載の白色干渉計による形状測定装置。
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-
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Patent Citations (5)
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