JP4654693B2 - 検査画像撮像装置 - Google Patents
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Description
さらに、被検査物7の載置テーブル13は撮像実行中、一定速度(分解能20μm/1ライン撮像の周期)で所定の長さだけY軸方向に移動することで短冊状画像データが得られ、1つの短冊状画像を撮像し終えるとX軸方向駆動部19が、センサ部1をY軸方向に対して略直角方向のX軸方向に30mm移動させセンサ部は再び撮像を開始する。この動作を被検査物7全体が撮像できるまで繰り返し行い画像合成部20において短冊状画像の貼り合わせを行う。しかし、各短冊状画像は図6に示す通り撮像開始希望位置に対して前記時間差33に起因する1画素未満のズレを有しており、前記画素ズレを無視した状態で短冊状画像を貼り合わせると検査画像は図7のようにS軸方向の連続性が損なわれたものとなってしまう。ただし、撮像開始希望位置到達信号は各短冊状画像毎に1回入力され、S軸撮像開始位置告知信号は1ライン撮像毎に入力される互いに非同期なタイミング信号であるため1画素未満のズレは各短冊状画像毎に有する固有のズレ量である。
θ(%)=(ΔT/(60/kn))×100=5knΔT/3・・・(1)
で求めることができる。
する。また、S軸撮像開始位置に光ビームが到達する周期をr(秒)とすると即ち、r(秒)は一度に行うことのできるレーザ偏向時間でもあることより、S軸撮像開始位置告知信号時間差ΔT(秒)を用いてズレ率σ(%)は、
σ(%)=(ΔT/r)×100・・・(2)
で求めることができる。
部22にてS軸撮像開始位置告知信号時間差ΔTの演算を行う際、各短冊状画像毎に行え
ばよい。また、基準短冊状画像については撮像生データが画像バッファ部18から画像合成部20に直接出力される。
(A)ΔTが正のとき
(基準短冊状画像のS軸撮像開始位置告知信号が補正される短冊状画像のS軸撮像開始位置告知信号に対して進んでいるとき、図8のAとBの関係の場合)
N(s,y+1)=n(s,y)×β/100+n(s,y+1)×(100−β)/100
(B)ΔTが負のとき
(基準短冊状画像のS軸撮像開始位置告知信号が補正される短冊状画像のS軸撮像開始位置告知信号に対して遅れているとき、図8のAとCの関係の場合)
N(s,y+1)=n(s,y+1)×(100+β)/100−n(s,y+2)×β/100
前記補正においてy=0の座標に存在する画素は、補正調整用の画素であり補正後の短冊状画像におけるS軸方向の連続性は保障されない。そのため被検査物7の撮像開始希望位置のY座標は、検査画像として必要な範囲に対し少なくとも1ライン撮像分の画素を余分に設定しておかなければならない。また、同様の処理はy軸方向の1ライン撮像における最終行においても行わなければならない。したがって、短冊状画像の上下端にはそれぞれ1ライン撮像分以上の補正調整用の画像を撮像する必要がある。
ズレ補正部23における前記補正は撮像中の短冊状画像より前に撮像された短冊状画像、即ち、画像バッファ部18に記憶されている画像データを対象に行う。
3 鏡面(ポリゴンミラー)
6 受光素子
10 Y軸位置検知部
12 撮像制御部
14 Y軸方向駆動部
15 鏡面駆動部
16 S軸位置検知部
18 画像バッファ部
19 X軸方向駆動部
21 時間差測定部
22 位置ズレ量演算部
23 ズレ補正部
24 画像合成部
Claims (5)
- 鏡面により光ビームを偏向し被検査物に対しX軸方向と略一致するS軸方向に前記偏向された光ビームを走査して該被検査物からの反射光を受光素子にて受光するセンサ部と、
前記センサ部をX軸方向に駆動するX軸方向駆動部と、
前記被検査物をS軸方向に略直角なY軸方向に駆動させるY軸方向駆動部と、
前記鏡面により偏向された光ビーム走査開始位置のY軸方向位置と被検査物の撮像開始希望位置のY座標が一致したときに撮像開始希望位置到達信号を生成するY軸位置検知部と、前記光ビームがS軸撮像開始位置に到達したことを検知するとS軸撮像開始位置告知信号を出力するS軸位置検知部と、
S軸方向の1ライン撮像を順次行うことで得られるY軸方向の所定の長さの短冊状画像データを一時的に記憶する画像バッファ部と、
前記撮像開始希望位置到達信号と前記S軸撮像開始位置告知信号との時間差を測定する時間差測定部と、
を備え、
前記測定された時間差に基づいて前記短冊状画像データごとに位置ズレ率を算出し、当該位置ズレ率に対応して前記画像バッファ部からの画像データを補正することを特徴とする検査画像撮像装置。 - 前記鏡面は、ポリゴンミラーであって、該ポリゴンミラーを一定速度で回転して前記被検査物を走査することを特徴とする請求項1に記載の検査画像撮像装置。
- 前記時間差測定部は、前記撮像開始希望位置到達信号入力後最初に得られる基準となる前記短冊状画像データの開始位置に対応する前記S軸撮像開始位置告知信号までの時間差T1を測定し、その後、順次得られる短冊状画像データの開始時に相当するS軸撮像開始位置告知信号と前記撮像開始希望位置到達信号との時間差をTiとし、該T1と該Tiの時間差を測定し、該時間差に応じて前記位置ズレ率が算出されることを特徴とした請求項1或いは請求項2に記載の検査画像撮像装置。
- 前記時間差測定部は、基準となる前記短冊状画像データの前記S軸撮像開始位置告知信号入力後最初に得られる前記撮像開始希望位置到達信号入力までの時間差t1を測定し、その後、順次得られる短冊状画像データのS軸撮像開始位置告知信号と前記撮像開始希望位置到達信号との時間差をtiとし、該t1と該tiの時間差を測定し、該時間差に応じて前記位置ズレ率が算出されることを特徴とした請求項1或いは請求項2に記載の検査画像撮像装置。
- 前記位置ズレ率θ(%)は、前記撮像開始希望位置到達信号とS軸撮像開始位置告知信号との時間差をΔT、ポリゴンミラーの回転数をk(rpm)、ポリゴンミラーの面数をnとして、θ(%)=(ΔT/(60/kn))×100として算出することを特徴とする
請求項2に記載の検査画像撮像装置。
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---|---|---|---|---|
JPS60309A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 印刷物の絵柄検査方法および装置 |
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