JP4083854B2 - 画像検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば種類の異なる複数の電子部品を配設し、該各電子部品の電極をはんだ付けして実装された配線基板実装構造体等からなる被画像検出対象に対して、はんだ付け部のはんだ付けの状態等の外観検査をする装置等のような、被画像検出対象から画像信号を検出しその画像信号を処理して被画像検出対象の状態を判断する画像検出装置に関し、特に高速に画像信号を検出し、短いタクトタイムで状態の判定を可能にする画像検出装置および外観検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
画像信号を検出し、その画像を処理して検出対象の状態を判断する装置としては、たとえば“Toshifumi Honda、 Automated Visual Inspection Algorithm for SolderJoint of Surface Mount Devices Basedon Three−Dimensional Shape Analysis、 MVA96”(従来技術1)に記載されているように、ポリゴンミラーを回転させてレーザビームを走査しx方向の線状の画像データを検出し、走査方向と鉛直なY方向に検査対象を移動させ、前記線状の画像データを蓄積して2次元画像を検出し、画像処理を行うことではんだ付部の検査を行う装置が知られている。
【0003】
また、特開平5−249047号公報(従来技術2)には、被検査対象に光を照射する光源と、前記被検査対象上に前記光を走査させる光走査手段と、前記被検査対象を移動させる移動手段と、前記被検査対象からの反射光の位置を検出する光検出手段と、該光検出手段によって検出された反射光の位置に基づいて前記被検査対象の配線パターンを認識し、かつ前記被検査パターンの検査に係る画像処理をする画像処理手段を具備するパターン検査装置において、検査パターンの密度を検出する検査パターン密度検出手段と、該検査パターン密度検出手段で検出された検査パターンの密度に基づいて前記移動手段による前記被検査対象の移動速度を調整する移動速度調整手段とを設け、画像処理手段の画像処理能力の範囲内で被検査対象を移動制御することができ、その結果、パターン検査の信頼性を向上させることが記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、通常、プリント基板上には0.3mmのリードピッチのQFPのように電極部が極めて微細なものから部品サイズが3.2mm×2.6mmのチップ部品のように電極部が大きなものまで様々なものがはんだ付けされて実装される。
従来技術1では、このような被画像検出対象に対して、もっとも微細なものを検出するのに必要な解像度をもとに検査する検出解像度を決定していたため、サイズが大きく、粗い解像度での検出でもかまわないものも高い解像度で検出することになり、この結果、画像信号の検出時間の増大が発生していた。
また、従来技術2においては、被画像検出対象を移動させる移動手段の速度を制御することによって微細なパターンについては画像検出器から画素サイズを小さくした画像信号を検出し、粗いパターンについては画像検出器から画素サイズを大きくした画像信号を検出する点について考慮されていない。
【0005】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、種類の異なる複数の検出対象要素または検出パターンを配設または形成して構成された被画像検出対象に対して、上記各検出対象要素または各検出対象パターンについて画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出することができる画像検出装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、種類の異なる複数の検出対象要素または検出パターンを配設または形成して構成された被画像検出対象に対して、上記各検出対象要素または各検出対象パターンについて画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出して、各検出対象要素または各検出対象パターンの欠陥または欠陥候補を見逃しすることなく高速で検査できるようにした検査装置を提供することにある。
【0006】
また、本発明の他の目的は、種類の異なる複数の電子部品を配設し、該複数の電子部品の電極をはんだ付けして実装して構成された配線基板実装構造体に対して、各電子部品のはんだ付け部について画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出して、はんだ付け部の欠陥または欠陥候補を見逃しすることなく高速で検査できるようにした画像検出装置または検査装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出して処理する画像処理手段と、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された画像検出領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、該演算手段によって決定された画像検出領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、前記演算手段によって決定された画像検出領域毎のY方向の画素サイズに対応する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置である。
【0008】
また、本発明は、被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出して処理する画像処理手段と、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された画像検出領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、該演算手段によって決定された画像検出領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、前記コントロール手段において算出された画像検出領域毎のYステージの移動速度にほぼ反比例する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置である。
【0009】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記画像処理手段において処理する画像検出領域毎のデジタル画像信号について、X方向の画素サイズをY方向の画素サイズに調整させるX方向画素サイズ調整手段を備えたことを特徴とする。
【0010】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記X方向画素サイズ調整手段を、前記画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出してX方向について圧縮処理または伸長処理するように構成したことを特徴とする。
【0011】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に細分割し、該細分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、前記所望の画像検出領域において、前記演算手段によって決定された画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、前記所望の画像検出領域において、前記演算手段によって決定された画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする。
【0012】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に分割し、該分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、前記所望の画像検出領域において、該演算手段によって決定された画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、前記所望の画像検出領域において、前記コントロール手段において算出された画像検出要素領域毎のYステージの移動速度にほぼ反比例する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記画像処理手段において処理する前記所望の画像検出領域における画像検出要素領域毎のデジタル画像信号について、X方向の画素サイズをY方向の画素サイズに調整させるX方向画素サイズ調整手段を備えたことを特徴とする。
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記X方向画素サイズ調整手段を、前記画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出してX方向について圧縮処理または伸長処理するように構成したことを特徴とする。
【0013】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に細分割し、前記分割された画像検出領域毎および細分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、該演算手段によって決定された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、前記同期信号発生手段から得られる同期信号を基にして、前記演算手段によって決定された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする。
【0014】
また、本発明は、前記画像検出装置において、被画像検出対象を画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に細分割し、前記分割された画像検出領域毎および細分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、該演算手段によって決定された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、前記コントロール手段において算出されたYステージの移動速度にほぼ反比例する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記画像処理手段において処理する前記画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のデジタル画像信号について、X方向の画素サイズをY方向の画素サイズに調整させるX方向画素サイズ調整手段を備えたことを特徴とする。
【0015】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記X方向画素サイズ調整手段を、前記画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出してX方向について圧縮処理または伸長処理するように構成したことを特徴とする。
また、本発明は、前記画像検出装置において、被画像検出対象を、種類の異なる複数の検出対象要素または検出対象パターンを配設または形成して構成し、前記種類の異なる各検出対象要素または各検出対象パターンについて、配設または形成位置座標に対応させて前記画像処理手段で処理する画素サイズを記載したテーブルを格納するテーブル格納手段を備えたことを特徴とする。
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記テーブル格納手段には、更に前記画像処理手段で処理する処理パラメータを前記画素サイズに対応させて記載したテーブルを格納することを特徴とする。
【0016】
また、本発明は、前記画像検出装置において、前記被画像検出対象を、種類の異なる複数の電子部品を配設し、該各電子部品の電極をはんだ付けして実装された配線基板実装構造体で構成し、前記画像処理手段において、前記各電子部品のはんだ付け部のはんだ付け欠陥または欠陥候補を検査するように構成したことを特徴とする。
また、本発明は、前記画像検出装置において、予め画像検出器における画像信号としての出力値の変動を、蓄積時間の変化あるいは検出特性の変化をもとに求めておき、該蓄積時間の変化あるいは検出特性の変化が生じた際、この蓄積時間の変化あるいは検出特性の変化に応じて画像検出器における画像信号としての出力値の増減を補正する検出値補正手段を備えたことを特徴とする。
【0017】
以上説明したように、前記構成によれば、種類の異なる複数の検出対象要素または検出パターンを配設または形成して構成された被画像検出対象に対して、上記各検出対象要素または各検出対象パターンについて画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出することができる画像検出装置を実現することができる。
また、前記構成によれば、種類の異なる複数の検出対象要素または検出パターンを配設または形成して構成された被画像検出対象に対して、上記各検出対象要素または各検出対象パターンについて画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出して、各検出対象要素または各検出対象パターンの欠陥または欠陥候補を見逃しすることなく高速で検査できるようにした検査装置を実現することができる。
また、前記構成によれば、種類の異なる複数の電子部品をはんだ付けして実装して構成された配線基板実装構造体に対して、各電子部品のはんだ付け部について画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出して、はんだ付け部の欠陥または欠陥候補を見逃しすることなく高速で検査できるようにした画像検出装置または検査装置を実現することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、図1〜図9を用いて説明する。
図1は本発明に係るプリント基板上に実装された電子部品のはんだ付状態を検査する装置の一実施の形態の概略構成を示す図である。被画像検出対象である検査対象の配線基板実装構造体101は、Yステージ102上に保持される。Yステージ102は、演算手段であるCPUを内蔵したシーケンスコントローラ(コントロール手段)103により制御される。同期信号発生手段(エンコーダ)104は、Yステージの移動量に応じてパルスを発生させるもの、即ち、Yステージ102が一定距離移動する度に同期信号を発生させるものである。イメージセンサ等で構成される画像検出器105は、同期信号発生手段106から得られる同期信号305、306、307によってアクティブに作用してサンプリングされて、Yステージ102が移動するY方向と直交するX方向の線状の1次元の画素列からなる1次元の画像信号を検出するものである。この画像検出器105から検出されるX方向の線状の1次元画像信号は、同期信号305、306、307とYステージ102の移動速度Vとの関係に応じてY方向の画素サイズ(画素幅)が変化することになる。検出光学系120は、はんだ付け部から得られる反射光を集光させる集光レンズ121と画像検出器105とによって構成される。なお、この検出光学系120には、上記画素幅の最大のものより大きいスポット幅を有するスリット状の照明光を照射する照明光学系(図示せず)が備えられている。
【0019】
同期信号生成手段106は、同期信号発生手段(エンコーダ)104が発生するパルスに同期して画像検出器105に対してサンプリングする同期信号を与えるものである。メモリ(画像格納手段)107は、画像検出器105により検出された1次元画像信号111を蓄積し、2次元の画素列からなる2次元画像信号とするものである。画素サイズ一致手段108は、XおよびY方向それぞれの画素サイズを一致させるように画素サイズを修正(変更)させるものである。画像処理手段109は、画素サイズ一致手段108により、XおよびY方向それぞれの画素サイズを一致させた2次元の画像信号からはんだ付け部の欠陥または欠陥候補を抽出するものである。110は、画像処理パラメータ蓄積手段である。なお、シーケンスコントローラ(コンロール手段)103、画像処理手段109、画像処理パラメータ蓄積手段110、およびキーボードやマウスやネットワーク等で構成された入力手段125は、例えばバス126によって接続されている。
【0020】
従って、画素サイズ一致手段108は、メモリ107に蓄積された2次元画像信号のXおよびY方向それぞれの画素サイズが一致するよう修正(変更)する。次に、画像処理手段109は、XおよびY方向それぞれの画素サイズが一致するよう修正された2次元の画素列からなる2次元画像信号に対して、画像処理パラメータ蓄積手段110に蓄積された画像処理パラメータを用いて画像処理をしてはんだ付け部の欠陥または欠陥候補が抽出される。
110にて処理する方法としては、たとえば特願平8−300467号はんだ付検査装置の画像処理・検査対象物形状検出手段と同様の方法が適用される。即ち、画素サイズ一致手段108によって、X方向にも画素サイズを一致させた状態で出力される2次元の画像信号から、画像処理手段109においてはんだ付け部に対してウインドウを設定し、該設定されたウインドウ内における高さ情報を抽出し、該高さ情報からはんだの過不足を判定し、不足によるリードの浮きや過剰によるリード間の短絡等の欠陥や欠陥候補を抽出する。はんだ付け部の高さ情報を抽出する方法としては、光切断法や合焦点法がある。
【0021】
光切断法の場合には、はんだ付け部に対してY方向の斜め方向からスリット光束を照射し、上方からこのスリット光束とYステージ102の走査とによる2次元画像信号を画像検出器105によって検出することによって、はんだ付け部の光切断による高さ情報を示す2次元の画像信号が得られる。はんだ付け部に対してスリット光束をY方向の斜め方向から照射した場合、画像検出器105は高さに応じてY方向にシフトした画像信号を検出することになる。
合焦点法の場合、最も焦点が合った部分から焦点の合った特徴ある画像信号が得られる。これによって、画像検出器105によって検出される画像信号からはんだ付け部の高さ情報を抽出することができる。
【0022】
図2は、検査対象プリント板101への電子部品の実装と画像スキャン単位を示している。検査対象プリント板101上には、様々な部品が実装されている。201はリードピッチが0.3mmのQFP、202は1.27mmピッチのSOP、203は部品サイズが3.2mm×2.6mmのチップ部品である。QFP201は、電極部が微細であるため、そのはんだ付の良否を正確に判定するためには小さい画素サイズでの画像検出が必要であるが、SOP202の部品に関しては中程度、チップ部品203に対しては粗い画素サイズでの検出で正確な判定を行うことができる。イメージセンサ等の画像検出器105が検出する線状の1次元画像は、一般にプリント板の幅に比較して小さい。よって、Yステージ102が1回移動する毎に連続して検出される領域は、204、205、206、207に示すように、画像検出器101が検出可能な長さと等しい幅を持つ短冊形の領域となる。ここで、204〜207に示すそれぞれの領域において、同一のスピードでYステージ102を移動させるものとする。
【0023】
ここで、2次元画像信号のY方向の画素サイズは、画像検出器105に対する検出タイミングとYステージ102のスピードVとの相関によって決定される。このため、Yステージ102のスピードが同一である1つの画像検出領域において画素サイズは一定となる。よって、シーケンスコンロール103内の演算手段であるCPU(図示せず)は、メモリ110に格納されたはんだ付部位置テーブルデータ401と画像検出器101が検出可能なX方向の長さとに基づいて、1つの画像検出領域の中においてもっとも小さな画素サイズでの検出が必要な検出対象要素または検出対象パターン(各電子部品のはんだ付け部)を求め、この求めた画素サイズでその画像検出領域における画像信号111を検出すればよいことになる。
領域204ではQFP201の画像が検出される。同様に領域205ではQFP201とSOP202、領域206ではSOP202、領域207ではチップ部品203の画像が検出される。このため、領域204と領域205とでは小さい画素サイズで画像を検出する必要があるが、領域206では中程度、領域207では粗い画素サイズでの画像の検出でよい。
【0024】
図3には、同期信号生成手段106の詳細な構成および動作を示している。図3(a)には、同期信号生成手段106における入出力信号の関係を示す。Yステージ102のスピードは標準の速度以外に標準速度の2倍、3倍の速度を設定することが可能になっている。なお、本実施の形態では、標準速度とその2、3倍の速度でYステージを動作可能としているが、この速度は任意に決定することが可能である。図3(b)に示すように、301、302、303の各々は、シーケンスコントローラ(コントロール手段)103の駆動制御に基づいて移動されるYステージ102の移動量に応じて同期信号発生手段(Yステージ位置パルス発生手段)104で発生して同期信号生成手段106に入力される同期パルスであり、301は標準速度、302は2倍速、303は3倍速でYステージを動作させた場合のパルスを示している。エンコーダ等から構成された同期信号発生手段104は、ある一定距離Yステージ102が移動する毎にパルスを発生させるため、Yステージ102の速度とパルスの間隔とは比例の関係になる。
【0025】
304は、同期信号生成手段106に設けられたステージ速度設定レジスタで、画像取り込み開始前にYステージの速度Vと相関関係にある値がシーケンスコンローラ103内のCPUから算出されて設定される。すなわち、ステージ速度設定レジスタ304に対して、Yステージのスピードが標準の速度の場合は1、2倍の速度の場合は2というようにYステージスピードと比例関係にある値を設定する。このようにステージ速度設定レジスタ304に設定されたステージ速度Vに応じた信号310に基づいて、シーケンスコントローラ103は、Yステージ102を駆動制御して移動させる。
このとき、同期信号生成手段106において、同期信号発生手段104で発生させる各同期パルス301、302、303を基準として、ステージ速度設定レジスタ304に設定されたステージ速度値Vに逆比例するY方向の画素幅に応じた時間間隔毎に、図3(c)に示す画像検出外部同期信号305、306、307を発生させて画像検出器105に与える。画像検出器105は、画像検出外部同期信号305、306、307によりアクティブに作用して画像動作して、Y方向の画素幅が決まり、1次元画像信号111が検出されることになる。
【0026】
即ち、各画像検出外部同期信号305、306、307は、画像検出器105における各線状の画像の取り込みタイミングを示している。305は304に1が設定してある状態で同期パルス301が同期信号生成手段106に入力された場合における画像検出外部同期信号である。同様に306は304に2が設定してある状態で302が入力された場合、307は304に3が設定してある状態で303が入力された場合における画像検出外部同期信号を示している。各画像検出外部同期信号305、306、307における時間間隔T1、T2、T3は、全て同一となって、画像検出器105に対して与えられることになる。
一般に画像検出レートは、画像検出器105の最大画像検出レートか、または画像処理手段109の最大処理レートをもとに決定され、これをもとに画像検出外部同期信号305、306、307は決定される。上記の如く、画像検出外部同期の信号305〜307において、アクティブになる時間間隔T1、T2、T3をすべて同一にすれば、すべての場合において最大画像検出レートによる画像検出、あるいは最大処理レートによる画像処理を実現することができる。
【0027】
画像信号111におけるステージ移動方向、すなわちY方向の画素サイズは、画像の取り込みタイミングTとYステージの移動速度Vとの相関により決定される。画像検出外部同期305〜307は、ある一定距離移動する毎に発生するパルス信号301〜303を基準としているため、画像検出器105から画像信号111をY方向の画素サイズを正確にして抽出することが可能となる。図3(c)に示すように、画像検出外部同期305〜307の時間間隔T1、T2、T3が、一定の場合、画像信号111におけるY方向の画素サイズ(画素幅)は、YステージのスピードVと比例関係になる。
図2で説明したように、画像検出領域毎204、205、206、207に、同期信号生成手段106のYステージ速度設定レジスタ304に対してステージ速度が設定されるので、検出領域毎204、205、206、207に、画像検出器105から検出される画像信号111に対して必要とされるY方向の画素サイズ(画素幅)が決定されることになる。即ち、高速に画像を検出するためには複数ある短冊形の領域204〜207をすべて同一のスピードで画像を検出するのではなく、各領域の画素サイズに合わせてYステージのスピードを決定すればよい。たとえばQFPの検出領域204および205を標準の速度、SOPの検出領域206を標準の2倍速、チップ部品の検出領域207を標準の3倍速というように移動させる。
【0028】
図4には、画像処理パラメータ蓄積手段(記憶装置)110のデータ構成を示している。
はんだ付部位置テーブルデータ401は、検査対象プリント基板101上のすべてのはんだ付部の種類のパラメータ(i1,i2,i3,i1,i2・・・・)に対し、それぞれの代表位置(基準位置)((x1,y1),(x2,y2),(x3,y3),(x4,y4),(x5,y5)・・・・)で示され、例えばプリント基板のCADシステムから得られるCADデータに基づいて入力されて格納される。すべてのはんだ付部の種類のパラメータ(i1,i2,i3,i1,i2・・・・)には、実装される電子部品の種類に応じた形状データが含まれることになる。
はんだ付部検査パラメータテーブルデータ402は、はんだ付部の種類(i1,i2,i3・・・・)毎に、画像処理手段109にて用いる画像処理パラメータ((p1,p2,p3,p4,p5),(p1’,p2’,p3’,p4’,p5’),(p1”,p2”,p3”,p4”,p5”)・・・・)とはんだ付部の画像を検出するのに必要な画像検出画素サイズ(psize1,psize2,psize3,・・・・)とが記載されて構成され、例えば、入力手段125を用いて入力されて格納される。画像処理パラメータとしては、リードピッチ、リード幅、リード厚さ、はんだのリードからのはみ出し量、および正常にはんだ付けされた場合における基板電極からのリードの高さ等の情報である。
【0029】
シーケンスコントローラ103内に設けられたCPUは、記憶装置110に格納されたデータ401および電子部品の形状データ(QFP1,i1;SOP1,i2;チップ部品1,i3;・・・・)403を読みだすことによって、図2に示すプリント基板101上に実装された電子部品(QFP201、SOP202、チップ部品203等)の配置情報を算出し、該電子部品の配置情報が算出されたプリント基板に対して、検査装置の仕様である画像検出器105のスキャン幅のデータ404を基に204〜207に示すように画像検出領域を決定する。次いで、シーケンスコントローラ103内に設けられたCPUは、各画像検出領域毎に、その領域内にあるすべてのはんだ付部に関し、検出するのに必要な画像検出画素サイズ(psize)をデータ402より読みだすことによって求め、もっとも小さい画素サイズでの検出が必要なはんだ付部の画素サイズで決定し、該決定された画像検出領域毎の画素サイズを画像処理手段109へ送信すると共に決定された画像検出領域毎の画素サイズに基づいてYステージ速度を求めて同期信号生成手段106のYステージ速度設定レジスタ304に格納して設定する。
【0030】
図1に示す実施の形態では、既に説明したようにY方向の画像の画素サイズはYステージの移動速度と画像の取り込みタイミングより決定される。しかし、X方向の画像の検出画素サイズはYステージの移動スピードとの相関はない。このため、Yステージの移動速度を変更しただけではX方向とY方向との画素サイズが異なってしまい、画像処理手段109における画像処理を行いにくくなってしまう。
この課題を解決する1つの方法としては、X方向画素サイズ調整手段である検出光学系120における集光レンズ121を各画像検出領域205〜207毎に変え、X方向とY方向の画素サイズを合わせる調整方法が考えられる。この場合、集光レンズ121の特性の変化により画像検出器105の検出光量が変化し、後段の画像処理が難しくなる場合がある。一般に集光レンズ121を変化させて画素サイズを変化させた場合、検出光量は画素サイズの2乗に比例する。また、集光レンズ121のNAが変化した場合、光量はNAの2乗に比例する。光量の変化を受けなくするためには、画像検出器105の後段にゲイン可変のアンプ(図示せず)を挿入し、そのゲインを変化させれば良い。本アンプはYステージの移動速度を変更させた場合に画像検出器105の検出光量が変化した場合にもゲインを変化させることで光量の変化を抑える効果を持つ。予め画像検出器105における画像信号としての出力値の変動を、例えばY方向の画素サイズの変化による蓄積時間の変化あるいは検出特性の変化をもとに求めておき、該Y方向の画素サイズの変化による蓄積時間の変化あるいは検出特性の変化が生じた際、この蓄積時間の変化あるいは検出特性の変化に応じて画像検出器105における画像信号としての出力値の増減を、例えばゲイン可変のアンプからなる検出値補正手段によって補正をすれば良い。
【0031】
Yステージ102の移動速度Vの変更とともに集光レンズ121を変更するという方法には、機械的に集光レンズ121を装着し直す必要があるため、時間的ロスが発生する可能性が高いという問題がある。よって、時間的ロスが小さい場合には機械的に集光レンズ121を変更する方式をとればよいが、そうでない場合はX方向の画素サイズはそのままで検出を行い、画像処理手段109で画像処理の前にX、Y方向の画素サイズを修正(変更)する。図1に示した実施の形態では、X方向画素サイズ調整手段である画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、XおよびY方向の画素サイズを一致させる。図5には、画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108への入力画像信号と出力画像信号との関係を示す。画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、標準速度の場合、メモリ107から読み出された入力画像信号502は、X、Y方向の画素サイズが一致しているため、何も処理せず出力画像信号503を出力する。しかし、画像検出領域206のように、Yステージ102の移動速度Vが2倍速になった場合、画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、メモリ107から読み出された入力画像信号504はY方向の画素サイズが2倍となっているため、X方向の画素サイズとY方向の画素サイズとが一致しない。このため、画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、間引き、あるいは内挿補間等による圧縮処理をおこない、X方向の画素サイズとY方向の画素サイズとを一致させる。出力画像信号505は、入力画像信号504に対して画素サイズを一致させたものである。
【0032】
入力画像信号を2次元配列i1(x,y)で表した場合、画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、この入力画像信号i1(x,y)に対して、次に示す(数1)式に基づいて間引き変換により画素サイズを一致させて出力画像信号i2(x,y)を生成する。即ち、間引き変換は、2倍速の2xに亘る画素をx画素とする変換である。
i2(x,y)=i1(2x,y) (数1)
同様に3倍速になった場合、間引き変換は、次に示す(数2)式の関係となる。
【0033】
i2(x,y)=i1(3x,y) (数2)
また、入力画像信号を2次元配列i1(x,y)で表した場合、画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、この入力画像信号i1(x,y)に対して、次に示す(数3)式に基づいて内挿補間変換により画素サイズを一致させて出力画像信号i2(x,y)を生成する。即ち、内挿補間変換は、例えば、2倍速の2xに亘る画素信号を例えば平均化する変換である。
【0034】
同様に3倍速になった場合、補間変換は、次に示す(数4)式の関係となる。
このように、画素サイズ一致手段(分解能一致手段)108において、X方向についても、画素サイズを一致させることが可能となる。
【0035】
図1に示した実施の形態では、Yステージ102のスピードVをもとに画像検出タイミングを決定しているが、画像検出タイミングを容易には制御できないときには本方式は適用できない。この場合には、同期信号生成手段106から画像検出器105に提供する画像検出タイミング305、306、307を基に、シーケンスコントローラ103は、Yステージ102のスピードVを決定して制御すればよい。
【0036】
次に、画像検出タイミング305、306、307を基に、Yステージ102のスピードVを制御する実施の形態について図6を用いて説明する。
101は電子部品201、202、203をはんだ付けして実装された検査対象プリント基板である。Yステージ102は、検査対象プリント基板101を保持する。103は、シーケンスコントローラ(演算手段であるCPUを内蔵したコントロール手段)で、全体の画像検出シーケンスを制御するものである。
【0037】
レーザ光源604から出射されたレーザ光束を、ポリゴンミラー605により一度反射させ、その後f−θレンズ606で集光し、検査対象プリント基板101(特にはんだ付け部)に照射する。検査対象プリント基板101からの反射光は、f−θレンズ606を介して一度ポリゴンミラー605で反射され、その後にハーフミラー612を介してフォトセンサ(画像検出器)607で受光されて画像信号に変換される。ポリゴンミラー605が回転することによりレーザ光束は、Y方向と直交するX方向にスキャンされ、フォトセンサ(画像検出器)607によってX方向の1次元画像が検出される。フォトセンサ607で検出された光は、電気信号に変換された後、画像入力手段608に入力され、メモリ108に蓄積される。ポリゴンミラー605を回転させるとともにYステージ102を移動させることによりメモリ108には2次元画像信号として蓄積されることになる。
【0038】
ポリゴンミラー回転角度に応じた同期信号生成手段610は、ポリゴンミラー605がn面あった場合、1回転につきn回パルスを発生させるように構成される。ステージコントロール手段611は、上記同期信号生成手段610からのパルス信号を基準にして、Yステージ102に制御パルスを与える。メモリ108に蓄積された2次元の画像信号は、読みだされてX方向の画素サイズ調整手段である画素サイズ一致手段108によりX方向について画素サイズが一致され、その結果、画像検査領域毎205〜207に必要な分解能を持った2次元画像信号が得られることになる。このように、画像検査領域毎205〜207に、必要な分解能を持った2次元画像信号は、画像処理手段109で処理され、はんだ付け部についてはんだ過不足等の欠陥または欠陥候補についての判定が行われる。
【0039】
レーザ光源604から出射されたレーザ光束の被検査対象物101への照射位置は、ポリゴンミラー605の角度に依存するため、画像入力手段608によるフォトセンサ607から得られる画像信号の検出タイミング(取り込みタイミング)は、同期信号生成手段610の出力する同期信号を基準にする必要がある。画像信号のY方向の画素サイズ(画素幅)は、図1に示す実施の形態と同様に、画像信号の検出タイミングとYステージ102のスピードVによって決定される。図1に示す実施の形態では、画像信号の検出タイミングをYステージ102の移動タイミングをもとに変化させ、各画像検出領域毎205〜207に画素サイズが一定になるようにしていた。しかし、図6に示す実施の形態では、画像信号の検出タイミングT1、T2、T3はポリゴンミラー605の回転角で決定されており、ポリゴンミラーの回転はイナーシャが大きいため、画像の検出タイミングは容易には変更できない。このため、図6に示す実施の形態では、ステージコントロール手段131が、画像の検出タイミング、すなわち、同期信号生成手段610の出力する同期信号を基準にしてYステージ102のスピードVを制御する。
【0040】
図7には、ステージコントロール手段131の詳細な構成および動作を示している。図7(a)には、ステージコントロール手段131における入出力信号の関係を示す。図7(b)には、同期信号生成手段610からステージコントロール手段131に入力される同期信号701を示す。図7(c)には、ステージコントロール手段131から出力されるYステージ102への駆動制御パルス703、704、705を示す。ステージコントロール手段131は、Yステージ102のスピードVを標準の速度以外に標準速度の2倍、3倍の速度を設定することが可能になっている。701は同期信号生成手段610が発生させる同期パルスである。702はステージ速度設定レジスタで、画像取り込み開始前に、Yステージ102の速度Vと相関関係にある値が、画像処理パラメータ蓄積手段110からバス126を介して読み出される画素サイズに応じて設定される。すなわち、画素サイズpsize1に応じたYステージ102のスピードVが標準の速度の場合は1、画素サイズpsize2に応じた2倍の速度の場合は2というように速度に比例した値を設定する。このとき、ステージコントロール手段131が発生させるYステージ102への駆動制御パルスは、同期信号701を基準としてステージ速度設定レジスタ702に設定された値にほぼ逆比例する時間間隔毎に発生するようにしてある。703、704、705は、ステージコントローラ131に同期信号701が入力された状態で、ステージ速度設定レジスタ702にそれぞれ1、2、3が設定された場合におけるYステージ102への駆動制御パルスである。Yステージ102の速度Vは、Yステージ102への駆動制御パルスの周波数と比例する。画像信号を検出するタイミングが一定で、Yステージ102の速度Vのみが変化するため、検出画像のY方向の画素サイズは、ステージ速度設定レジスタ702に設定した値に比例することになる。Yステージ102の駆動制御パルスは、同期信号生成手段610が発生させる同期パルスを基準にしているため、画素サイズを正確に決定することが可能である。
【0041】
図1、および図6に示す実施の形態では、図2の204〜207で示した、1回のYステージの移動で連続的に検出する画像検出領域は、同じ画素サイズで検出することを前提としていた。しかし、1回のYステージ102の移動中にYステージ102のスピードを変化させ、画像を検出することも可能である。図8において205は一度のYステージの移動により連続的に画像を検出する領域である。802は小さい画素サイズで検出する必要があるはんだ付け部、803は大きい画素サイズでも検出可能なはんだ付け部である。ところで、シーケンスコントローラ103内に備えられたCPUは、画像検出領域205を、更に細分化した複数の画像検出要素領域205a、205bに分割する。いま、205aの画像検出要素領域は小さい画素サイズで検出を行い、205bの画像検出要素領域領域を大きい画素サイズで検出することを考える。ここで、画像検出要素領域205aは標準の画素サイズ、画像検出要素領域205bは例えばその2倍の画素サイズで検査が可能とする。このとき、205aの画像検出要素領域区間は標準の速度でYステージ102を移動させ、205bの画像検出要素領域に入るとYステージ102の速度を上げて標準に対して例えば2倍のスピードとなったところで一定速度になる。ここでは205aを標準の画素サイズ、205bを例えばその2倍の画素サイズと述べたが、シーケンスコントローラ103内のCPUにおいて、各画像検出要素領域の画素サイズの決定は、図4に示すデータ構造よりその領域内にあるすべてのはんだ付部に関し、検出するのに必要な画像検出画素サイズをはんだ付け部検査パラメータテーブルデータ402より求め、もっとも小さい画素サイズでの検出が必要なはんだ付部の画素サイズで前記画像検出要素領域を検出することにより自動的に決定可能である。
【0042】
正確な検査を行うためには、はんだ付け部の位置が正確に画像信号より特定できなければならない。このためには画素サイズが変更されるタイミングが正確に特定できるようにすることが必要である。このため、図1で示した実施の形態そのままでは正確に検査することはできず、正確な検査を実現するためには図3で説明した同期信号生成手段106を多少変更することが必要である。図9は変更した同期信号生成手段の説明図である。同期信号生成手段106は、Yステージ位置と検出画素サイズとの組の配列からなるステージ速度設定レジスタテーブル902を有している。Y1(903)、psize1(904)およびY2(904)、psize2(905)のそれぞれの組は1回のYステージの移動において検出する画素サイズが等しい領域の開始位置(Y1、Y2)とその画素サイズ(psize1、psize2)を示している。901はYステージ位置パルス発生手段104が発生させる同期パルスである。
【0043】
図8に示す画像検出領域205の画像信号を検出する場合を考える。Y1(903)は、画像検出要素領域205aの開始点を示す値であり、画像処理パラメータ蓄積手段110から読みだされてセットされる。画像検出要素領域205aの画素サイズは標準サイズであるので、標準画素サイズpsize1が画像処理パラメータ蓄積手段110から読みだされてセットされる。また、Y2(905)は、画像検出要素領域205bの開始点を示す値であり、画像処理パラメータ蓄積手段110から読みだされてセットされる。画像検出要素領域205bの画素サイズは例えば標準サイズの2倍であるので、2倍の画素サイズpsize2が画像処理パラメータ蓄積手段110から読みだされてセットされる。ステージ速度設定レジスタテーブル902には、各画像検出要素領域毎205a、205bの開始点と画素サイズとがセットされることになる。
【0044】
907と908との各々は、画像検出要素領域205aの開始点を示す値Y1および画像検出要素領域205bの開始点を示す値Y2に基づいて算出される各画像検出要素領域毎205a、205bの検出開始点と検出終了位置を示す。カウンタ909は、Yステージ位置パルス発生手段104から得られる同期パルス901をカウントするものである。カウンタ909でカウントされた値が画像検出要素領域毎205aの検出開始点907と一致すると、同期信号生成手段106から画像検出器105に対して画像信号を検出するための外部同期信号910の出力を開始する。カウンタ909でカウントされた値が、画像検出領域205aの開始点を示す値Y1(903)と一致すると、Yステージ速度設定レジスタ304に設定された画素サイズpsize1(904)の値と同様の画像信号を検出するための外部同期信号910が出力される。Yステージ102が移動を続け、カウンタ909でカウントされた値が、画像検出要素領域205bの開始点を示す値Y2(905)と一致すると、Yステージ速度設定レジスタ304に設定された画素サイズpsize2(906)の値と同様の画像信号を検出するための外部同期信号911が出力される。Yステージ102はカウンタ値がY2(905)と一致するのと同時に加速を開始し、2倍のスピードになって一定速になる。911に示すようにYステージ102がカウンタ値がY2(905)と一致した直後の加速期間においても画像信号が検出されるが、Yステージ102のスピードVが一定速度になると画像検出器105に対して同期信号910と同じ時間間隔毎にアクティブになる。従って、画像検出要素領域毎205a、205bに、Y方向については、電子部品201、202のリードの密度に応じた分解能(画素サイズ)で画像検出器105から画像信号を検出することができる。
【0045】
X方向については、X方向の画素サイズ調整手段である画素サイズ一致手段108により、画像検出要素領域毎205a、205bに、Y方向と同様に電子部品201、202のリードの密度に応じた分解能(画素サイズ)に合わせることで、X方向およびY方向共に電子部品201、202のリードの密度に応じた分解能を保ってはんだ付け部の欠陥や欠陥候補を見逃しすることなく、検査時間の大幅な短縮を実現することができる。
なお、図6に示す実施の形態の場合には、図9に示す同期信号生成手段106の機能を、ステージコントロール手段131に持たせることによって、実現することができる。
【0046】
以上説明した本発明に係る実施の形態は、プリント基板に実装された電子部品のはんだ付け部から得られる反射光に基づく画像信号を検出してはんた付け欠陥又は欠陥候補を検査するものであるが、光以外のものを検出して検査するシステムにも適用することは可能である。たとえば電子線をスキャンし、その2次電子を検出するSEMのようなシステムでも上記に説明した原理により画像検出領域毎に異なった画素サイズで検出することが可能である。即ち、被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器を備えた画像検出装置に適用することが可能である。
【0047】
【発明の効果】
本発明によれば、様々な検出対象要素または検出対象パターンが基板上に配置されているときに、それぞれの検出対象または検出対象パターンに好適な検出画素サイズにより画像を検出することにより高速な画像検出を実現する効果を奏する。
また、本発明によれば、種類の異なる複数の検出対象要素または検出パターンを配設または形成して構成された被画像検出対象に対して、上記各検出対象要素または各検出対象パターンについて画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出することができる画像検出装置を実現することができる効果を奏する。
【0048】
また、本発明によれば、種類の異なる複数の検出対象要素または検出パターンを配設または形成して構成された被画像検出対象に対して、上記各検出対象要素または各検出対象パターンについて画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出して、各検出対象要素または各検出対象パターンの欠陥または欠陥候補を見逃しすることなく高速で検査できるようにした検査装置を実現することができる効果を奏する。
また、本発明によれば、種類の異なる複数の電子部品をはんだ付けして実装して構成された配線基板実装構造体に対して、各電子部品のはんだ付け部について画像検出器から必要最大限の解像度を確保しつつ短時間で画像信号を検出して、はんだ付け部の欠陥または欠陥候補を見逃しすることなく高速で検査できるようにした画像検出装置または検査装置を実現することができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る画像検出装置であるはんだ付け検査装置の一実施の形態を示す主要部簡略構成図である。
【図2】本発明に係るはんだ付け検査装置が画像検出対象とする配線基板実装構造体に対して画像検出方法の一実施例を説明するための図である。
【図3】図1に示すはんだ付け検査装置において画像検出タイミングを制御する同期信号生成手段の一実施例を説明するための図である。
【図4】本発明に係るはんだ付け検査装置の画像処理パラメータ格納手段に格納された検出画像の画素サイズを自動設定するために用いるデータの構造を説明するための図である。
【図5】本発明に係るはんだ付け検査装置の画素サイズ一致手段によってX方向の画素サイズをY方向の画素サイズに一致させるための説明図である。
【図6】本発明に係る画像検出装置であるはんだ付検査装置の他の一実施の形態を示す主要部簡略構成図である。
【図7】図6に示すはんだ付検査装置において画像検出タイミングを制御するステージコントロール手段の一実施例について説明するための図である。
【図8】本発明に係るはんだ付け検査装置が画像検出対象とする配線基板実装構造体に対して画像検出方法の他の一実施例を説明するための図である。
【図9】はんだ付け検査装置において画像検出タイミングを制御する手段の他の一実施例について説明するための図である。
【符号の説明】
101…配線基板実装構造体、102…Yステージ、103…シーケンスコントローラ(コントロール手段)、104…同期信号発生手段(エンコーダ)、105…画像検出器、106…同期信号発生手段、107…メモリ、108…画素サイズ一致手段、109…画像処理手段、110…画像処理パラメータ蓄積手段、120…検出光学系、121…集光レンズ、131…ステージコントロール手段、202〜207…画像検出領域、205a、205b…画像検出要素領域、604…レーザ光源、605…ポリゴンミラー、606…f−θレンズ、607…フォトセンサ(画像検出器)、608…画像入力手段、610…同期信号生成手段
Claims (15)
- 被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、
少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、
前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、
該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、
該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出して処理する画像処理手段と、
前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された画像検出領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、
該演算手段によって決定された画像検出領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、
前記演算手段によって決定された画像検出領域毎のY方向の画素サイズに対応する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置。 - 被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、
少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、
前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、
該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、
該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出して処理する画像処理手段と、
前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された画像検出領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、
該演算手段によって決定された画像検出領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、
前記コントロール手段において算出された画像検出領域毎のYステージの移動速度にほぼ反比例する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置。 - 前記画像処理手段において処理する画像検出領域毎のデジタル画像信号について、X方向の画素サイズをY方向の画素サイズに調整させるX方向画素サイズ調整手段を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の画像検出装置。
- 前記X方向画素サイズ調整手段を、前記画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出してX方向について圧縮処理するように構成したことを特徴とする請求項3記載の画像検出装置。
- 被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、
少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、
前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、
該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、
該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を処理する画像処理手段と、
前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に細分割し、該細分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、
前記所望の画像検出領域において、前記演算手段によって決定された画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、
前記所望の画像検出領域において、前記演算手段によって決定された画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置。 - 被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、
少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、
前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、
該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、
該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を処理する画像処理手段と、
前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に分割し、該分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、
前記所望の画像検出領域において、該演算手段によって決定された画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、
前記所望の画像検出領域において、前記コントロール手段において算出された画像検出要素領域毎のYステージの移動速度にほぼ反比例する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された画像検出用の同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置。 - 前記画像処理手段において処理する前記所望の画像検出領域における画像検出要素領域毎のデジタル画像信号について、X方向の画素サイズをY方向の画素サイズに調整させるX方向画素サイズ調整手段を備えたことを特徴とする請求項5または6記載の画像検出装置。
- 前記X方向画素サイズ調整手段を、前記画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出してX方向について圧縮処理するように構成したことを特徴とする請求項7記載の画像検出装置。
- 被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、
少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、
前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、
該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、
該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を処理する画像処理手段と、
前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に細分割し、前記分割された画像検出領域毎および細分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、
該演算手段によって決定された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出されたYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、
前記演算手段によって決定された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置。 - 被画像検出対象に対してある線状の区間の物理量を検出し、画像信号に変換する画像検出器と、
少なくとも、前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出する線状の区間と直交する方向に移動させるYステージと、
前記画像検出器から得られる画像信号をデジタル画像信号に変換するA/D変換器と、
該A/D変換器から得られるデジタル画像信号を格納する画像格納手段と、
該画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を処理する画像処理手段と、
前記被画像検出対象を前記画像検出器が検出可能な線状の区間の幅をもつ複数の画像検出領域に分割し、該分割された所望の画像検出領域について更に複数の画像検出要素領域に細分割し、前記分割された画像検出領域毎および細分割された画像検出要素領域毎に前記画像検出器から抽出される画像信号におけるY方向の画素サイズを決定する演算手段と、
該演算手段によって決定された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のY方向の画素サイズに対応する前記Yステージの移動速度を算出し、該算出された画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のYステージの移動速度に基づいて前記Yステージを駆動制御するコントロール手段と、
該コントロール手段において算出されたYステージの移動速度にほぼ反比例する時間間隔の同期信号を生成し、該生成された同期信号で前記画像検出器から画像信号をサンプリングして抽出する同期信号生成手段とを備えたことを特徴とする画像検出装置。 - 前記画像処理手段において処理する前記画像検出領域毎および画像検出要素領域毎のデジタル画像信号について、X方向の画素サイズをY方向の画素サイズに調整させるX方向画素サイズ調整手段を備えたことを特徴とする請求項9または10記載の画像検出装置。
- 前記X方向画素サイズ調整手段を、前記画像格納手段に格納されたデジタル画像信号を読み出してX方向について圧縮処理するように構成したことを特徴とする請求項11記載の画像検出装置。
- 前記被画像検出対象を、種類の異なる複数の検出対象要素または検出対象パターンを配設または形成して構成し、
前記種類の異なる各検出対象要素または各検出対象パターンについて、配設または形成位置座標に対応させて前記画像処理手段で処理する画素サイズを記載したテーブルを格納するテーブル格納手段を備えたことを特徴とする請求項1または2または3または4または5または6または7または8または9または10または11または12記載の画像検出装置。 - 前記テーブル格納手段には、更に前記画像処理手段で処理する処理パラメータを前記画素サイズに対応させて記載したテーブルを格納することを特徴とする請求項13記載の画像検出装置。
- 前記被画像検出対象を、種類の異なる複数の電子部品を配設し、はんだ付けして実装された配線基板実装構造体で構成し、
前記画像処理手段において、前記各電子部品のはんだ付け部のはんだ付け欠陥または欠陥候補を検査するように構成したことを特徴とする請求項1または2または3または4または5または6または7または8または9または10または11または12記載の画像検出装置。
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