JP4922962B2 - 回路パターンの検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 回路パターンが形成された被検査試料に荷電粒子線を照射する照射手段と、
該照射する荷電粒子線をX方向に走査させる走査手段と、
前記被検査試料を載置し、前記X方向と異なるY方向に該被検査試料を移動させるステージ移動手段と、
前記荷電粒子線の照射により前記被検査試料から発生する信号を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された信号を画像にして記憶する記憶手段と、
該記憶手段に記憶された前記画像を、前記回路パターンに対応する他の回路パターンから得られた画像と比較する比較手段と、
該比較手段による比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する判別手段と、を備えた回路パターンの検査装置において、
前記ステージ移動手段により前記被検査試料を前記Y方向に移動させるとともに、前記走査手段により前記荷電粒子線を前記X方向に走査させるに当たって、前記被検査試料における前記信号を検出する位置の前記X方向の間隔に対応するX方向画素サイズと、前記被検査試料における前記信号を検出する位置の前記Y方向の間隔に対応するY方向画素サイズとを、それぞれ別々に、かつ、互いに独立に設定する設定手段を有する回路パターンの検査装置。 - 前記設定手段が、前記走査手段の走査により検査するX方向の画素数を設定する手段をさらに有する請求項1に記載の回路パターン検査装置。
- 回路パターンが形成された被検査試料に、荷電粒子線をX方向に走査しながら照射することで該被検査試料から発生する信号を画像化して得られる画像を、前記回路パターンに対応する他の回路パターンから得られた画像と比較し、該比較結果から前記回路パターン上の欠陥を判別する回路パターンの検査方法において、
前記被検査試料を前記X方向と異なるY方向に移動させるとともに、前記荷電粒子線をX方向に走査させるに当たって、前記被検査試料における前記信号を検出する位置の前記X方向の間隔に対応するX方向画素サイズと、前記被検査試料における前記信号を検出する位置の前記Y方向の間隔に対応するY方向画素サイズとを、それぞれ別々に、かつ、互いに独立に設定して検査する回路パターンの検査方法。 - 前記回路パターンの構造に応じて、または前記回路パターンの構造及び材質に応じて、前記X方向画素サイズ及び前記Y方向画素サイズをそれぞれ任意に設定して検査する請求項3に記載の回路パターンの検査方法。
- 前記X方向の画素数をさらに設定して検査する請求項4に記載の回路パターンの検査方法。
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