JP5213607B2 - 基板表面変位測定装置 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記抽出手段は、前記所定間隔の数をカウントする間隔アドレスカウンタ(53c)と、該所定間隔内の前記周期タイミングの1周期分の前記変位測定部から出力される変位データをカウントするクロックアドレスカウンタ(53b)と、該間隔アドレスカウンタとクロックアドレスカウンタのカウント値で決定されるアドレス値に該当するタイミングの変位データを記憶することによって、該変位データを抽出するデータ記憶手段(53d)とを備えた。
請求項3に記載の発明は、基板の表面に光を照射させ、その反射光を受光する光センサを有し、該光センサの出力を受けて該表面の高さ方向の変位を示すデジタルの変位データをクロックごとに出力する変位測定部(30)と、該光センサと該基板とを相対的に移動させることにより、該基板に対する該光センサの相対位置を走査する走査部(40)とを有し、該基板の表面における変位を測定する基板表面変位測定装置において、前記走査部内に備えられ、モータを有し前記光センサ又は前記基板のいずれかを該基板に平行な第1の方向に移動させ、かつ該移動させる速度が変化する移動機構手段(42)を有し、前記光センサは、該第1の方向と略直交する第2の方向へ、該光センサ又は前記基板が該第1の方向へ移動する時間に比べ早い周期で繰り返し光学的走査をして前記変位を検出するとともに、その周期を表す周期タイミング信号を出力する構成を有し、さらに、前記モータによる移動量に応じた信号を出力する移動データ出力手段(51)と、該移動データ出力手段からの該信号をカウントして、該移動量の所定間隔を検出する間隔検出用カウンタ(52)と、前記所定間隔の数をカウントする間隔アドレスカウンタ(53c)と、前記周期タイミングに同期して前記クロックをカウントするクロックアドレスカウンタ(53b)を有し、該クロックアドレスカウンタの値と前記間隔アドレスカウンタの値とを、前記クロックに応答して前記変位測定部から出力される前記変位データに付して、又は対応させて前記一時記憶手段(54ey)に記憶させて、該一時記憶手段から読み出すときに、予め決められた前記所定間隔にある間隔アドレスカウンタの値に該当する変位データを読み出すことにより抽出する抽出手段(54)と、を含むデータ取得手段と、抽出された該所定間隔毎の変位データを基に、前記基板の表面上の形状を示す画像データを生成する画像生成手段(60)と、を備えた。
最小時間間隔minTw≧m×光学的走査の周期Ts(mは、2以上の整数)、
光学的走査の周期Ts≧n×クロック周期Tc(nは、2以上の整数)
なお、予めこの関係が成り立つように、モータ42a、偏光器4を構成するポリゴンミラー、クロックを発生するクロック発生器等の動作条件が設定されている。
この場合は光センサ31における光学的走査がないので、いわば図5(b)(ロ)の周期タイミングが無い。そのため例えば、図4の構成では、間隔検出用カウンタ52の出力がクロックアドレスカウンタ53bに送られる。そして、クロックアドレスカウンタ53bは、間隔検出用カウンタ52の出力を受けるたびに、リセットして測定手段32からの変位データをカウントする。
32 測定手段、32a 変位算出手段、32b A/D変換手段、40 走査部、
41 移動制御手段、42 移動機構手段、50、50a、50b データ取得部、
51 エンコーダ(移動データ出力手段)、52 間隔検出用カウンタ、
53 抽出手段、53a ゲート手段、53b クロックアドレスカウンタ、
53c 間隔アドレスカウンタ、53d データ記憶手段、54 抽出手段、
54e データ記憶手段、60 画像生成手段、70 判定手段、
80 設計情報記憶手段、90 ユーザインタフェース、91 表示制御手段、
92 表示手段、93 操作手段
Claims (3)
- 基板の表面に光を照射させ、その反射光を受光する光センサを有し、該光センサの出力を受けて該表面の高さ方向の変位を示すデジタルの変位データを出力する変位測定部(30)と、該光センサと該基板とを相対的に移動させることにより、該基板に対する該光センサの相対位置を走査する走査部(40)とを有し、該基板の表面における変位を測定する基板表面変位測定装置において、
前記走査部内に備えられ、モータを有し前記光センサ又は前記基板のいずれかを該基板に平行な第1の方向に移動させ、かつ該移動させる速度が変化する移動機構手段(42)を有し、
前記光センサは、該第1の方向と略直交する第2の方向へ、該光センサ又は前記基板が該第1の方向へ移動する時間に比べ早い周期で繰り返し光学的走査をして前記変位を検出するとともに、その周期を表す周期タイミング信号を出力する構成を有し、
さらに、
前記モータによる移動量に応じた信号を出力する移動データ出力手段(51)と、該移動データ出力手段からの該信号をカウントして、該移動量の所定間隔を検出する間隔検出用カウンタ(52)と、前記変位測定部から出力される変位データから、各前記所定間隔における特定の前記周期タイミングにおける前記光学的走査に基づく前記変位データを抽出する抽出手段(53)と、を含むデータ取得部(50)と、
抽出された該所定間隔毎の変位データを基に、前記基板の表面上の形状を示す画像データを生成する画像生成手段(60)と、を備えたことを特徴とする基板表面変位測定装置。 - 前記抽出手段は、前記所定間隔の数をカウントする間隔アドレスカウンタ(53c)と、該所定間隔内の前記周期タイミングの1周期分の前記変位測定部から出力される変位データをカウントするクロックアドレスカウンタ(53b)と、該間隔アドレスカウンタとクロックアドレスカウンタのカウント値で決定されるアドレス値に該当するタイミングの変位データを記憶することによって、該変位データを抽出するデータ記憶手段(53d)とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板表面変位測定装置。
- 基板の表面に光を照射させ、その反射光を受光する光センサを有し、該光センサの出力を受けて該表面の高さ方向の変位を示すデジタルの変位データをクロックごとに出力する変位測定部(30)と、該光センサと該基板とを相対的に移動させることにより、該基板に対する該光センサの相対位置を走査する走査部(40)とを有し、該基板の表面における変位を測定する基板表面変位測定装置において、
前記走査部内に備えられ、モータを有し前記光センサ又は前記基板のいずれかを該基板に平行な第1の方向に移動させ、かつ該移動させる速度が変化する移動機構手段(42)を有し、
前記光センサは、該第1の方向と略直交する第2の方向へ、該光センサ又は前記基板が該第1の方向へ移動する時間に比べ早い周期で繰り返し光学的走査をして前記変位を検出するとともに、その周期を表す周期タイミング信号を出力する構成を有し、
さらに、
前記モータによる移動量に応じた信号を出力する移動データ出力手段(51)と、該移動データ出力手段からの該信号をカウントして、該移動量の所定間隔を検出する間隔検出用カウンタ(52)と、前記所定間隔の数をカウントする間隔アドレスカウンタ(53c)と、前記周期タイミングに同期して前記クロックをカウントするクロックアドレスカウンタ(53b)を有し、該クロックアドレスカウンタの値と前記間隔アドレスカウンタの値とを、前記クロックに応答して前記変位測定部から出力される前記変位データに付して、又は対応させて前記一時記憶手段(54ey)に記憶させて、該一時記憶手段から読み出すときに、予め決められた前記所定間隔にある間隔アドレスカウンタの値に該当する変位データを読み出すことにより抽出する抽出手段(54)と、を含むデータ取得手段と、
抽出された該所定間隔毎の変位データを基に、前記基板の表面上の形状を示す画像データを生成する画像生成手段(60)と、を備えたことを特徴とする基板表面変位測定装置。
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JP2008242818A Expired - Fee Related JP5213607B2 (ja) | 2008-09-22 | 2008-09-22 | 基板表面変位測定装置 |
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---|---|---|---|---|
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