JP2009186217A - 3次元形状測定装置および3次元形状測定方法 - Google Patents
3次元形状測定装置および3次元形状測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 所定のパターンを有するパターン光を、被検物体に対して第1の方向から投光する投光手段と、2次元光電変換素子を備え、被検物体から反射したパターン光の像を、第1の方向と異なる方向から2次元光電変換素子により撮像する撮像手段と、被検物体の表面の凹凸に起因するテキスチャを推定する推定手段と、撮像手段により生成した画像を、推定手段により推定したテキスチャに基づいて補正する補正手段と、補正手段による補正後の補正画像に基づいて、被検物体の3次元形状を演算する演算手段とを備える。
【選択図】 図1
Description
以下、図面を用いて本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
Claims (8)
- 所定のパターンを有するパターン光を、被検物体に対して第1の方向から投光する投光手段と、
2次元光電変換素子を備え、前記被検物体から反射した前記パターン光の像を、前記第1の方向と異なる方向から前記2次元光電変換素子により撮像する撮像手段と、
前記被検物体の表面の凹凸に起因するテキスチャを推定する推定手段と、
前記撮像手段により生成した画像を、前記推定手段により推定した前記テキスチャに基づいて補正する補正手段と、
前記補正手段による補正後の補正画像に基づいて、前記被検物体の3次元形状を演算する演算手段と
を備えたことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 請求項1に記載の3次元形状測定装置において、
前記推定手段は、複数の前記画像を合成して生成した合成画像と、予め前記撮像手段により撮像したテキスチャ画像との少なくとも一方に基づいて、前記テキスチャを推定する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 請求項2に記載の3次元形状測定装置において、
前記投光手段と前記被検物体との相対位置を変更する変更手段をさらに備え、
前記投光手段は、スリット形状を有する前記パターン光を投光し、
前記推定手段は、複数の異なる前記相対位置における前記画像を合成した前記合成画像に基づいて、前記テキスチャを推定する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 請求項3に記載の3次元形状測定装置において、
前記画像に基づいて、スリット形状を有する前記パターン光の画像を抽出する抽出手段をさらに備え、
前記推定手段は、複数の異なる前記相対位置において前記抽出手段により抽出した前記パターン光の画像を合成した前記合成画像に基づいて、前記テキスチャを推定する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 所定のパターンを有するパターン光を、被検物体に対して第1の方向から投光する投光手順と、
前記被検物体から反射した前記パターン光の像を、前記第1の方向と異なる方向から2次元光電変換素子により撮像する撮像手順と、
前記被検物体の凹凸に起因するテキスチャを推定する推定手順と、
前記撮像手順により生成した画像を、前記推定手順により推定した前記テキスチャに基づいて補正する補正手順と、
前記補正手順による補正後の補正画像に基づいて、前記被検物体の3次元形状を演算する演算手順と
を備えたことを特徴とする3次元形状測定方法。 - 請求項5に記載の3次元形状測定方法において、
前記推定手順では、複数の前記画像を合成して生成した合成画像と、予め撮像したテキスチャ画像との少なくとも一方に基づいて、前記テキスチャを推定する
ことを特徴とする3次元形状測定方法。 - 請求項6に記載の3次元形状測定方法において、
前記パターン光を投光する投光手段と前記被検物体との相対位置を変更する変更手順をさらに備え、
前記投光手順では、スリット形状を有する前記パターン光を投光し、
前記推定手順では、複数の異なる前記相対位置における前記画像を合成した前記合成画像に基づいて、前記テキスチャを推定する
ことを特徴とする3次元形状測定方法。 - 請求項7に記載の3次元形状測定方法において、
前記画像に基づいて、スリット形状を有する前記パターン光の画像を抽出する抽出手順をさらに備え、
前記推定手順では、複数の異なる前記相対位置において前記抽出手順により抽出した前記パターン光の画像を合成した前記合成画像に基づいて、前記テキスチャを推定する
ことを特徴とする3次元形状測定方法。
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JP2016161513A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | キヤノン株式会社 | 計測装置および計測方法 |
WO2018211663A1 (ja) * | 2017-05-18 | 2018-11-22 | 株式会社Pfu | 測定装置、測定方法、判断方法及びプログラム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03289505A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Nippondenso Co Ltd | 3次元形状測定装置 |
JP2002357408A (ja) * | 2001-03-25 | 2002-12-13 | Omron Corp | 光学式計測装置 |
JP2003083730A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | 3次元情報取得装置、3次元情報取得における投影パターン、及び、3次元情報取得方法 |
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---|---|---|---|---|
JPH03289505A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Nippondenso Co Ltd | 3次元形状測定装置 |
JP2002357408A (ja) * | 2001-03-25 | 2002-12-13 | Omron Corp | 光学式計測装置 |
JP2003083730A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | 3次元情報取得装置、3次元情報取得における投影パターン、及び、3次元情報取得方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016161513A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | キヤノン株式会社 | 計測装置および計測方法 |
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