JP2009019942A - 形状測定方法、プログラム、および形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、光切断法による被検物の形状測定方法であって、光切断を行うためのシート光を被検物に投影する第1のステップ(S101)と、第1のステップでシート光が投影された被検物の表面を撮像する第2のステップ(S102)と、第2のステップで撮像した画像に対しシート光の延在方向と交差する方向に走査して、輝度のピーク位置を検出する第3のステップ(S103)と、ピーク位置が複数検出されたとき、複数のピーク位置から画像におけるシート光の多重反射による像を特定する第4のステップ(S104)とを有している。
【選択図】図3
Description
5 シート光(5a,5b シート光) 6 光切断面(6a,6b 光切断面)
7 ピーク位置 8 ゴースト像
10 被検物
Claims (6)
- 光切断法による被検物の形状測定方法であって、
前記光切断を行うためのシート光を前記被検物に投影する第1のステップと、
前記第1のステップで前記シート光が投影された前記被検物の表面を撮像する第2のステップと、
前記第2のステップで撮像した画像に対し前記シート光の延在方向と交差する方向に走査して輝度のピーク位置を検出する第3のステップと、
前記第3のステップにおいて前記ピーク位置が複数検出されたとき、前記複数のピーク位置から前記画像における前記シート光の多重反射による像を特定する第4のステップとを有していることを特徴とする形状測定方法。 - 前記第2のステップで撮像した前記画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する第5のステップと、
前記第4のステップで特定した前記多重反射による像に対応する部分の前記シート光を選択的に減光もしくは消光させる設定を行う第6のステップと、
前記第6のステップで前記減光もしくは消光させた前記シート光を前記被検物に投影する第7のステップと、
前記第7のステップで前記シート光が投影された前記被検物の表面を撮像する第8のステップと、
前記第8のステップで撮像した前記画像に基づいて、前記第5のステップで測定した前記被検物の三次元形状の補正を行う第9のステップとを有していることを特徴とする請求項1に記載の形状測定方法。 - 光切断法による被検物の形状測定方法であって、
既知である前記被検物の形状データから、前記被検物表面で多重反射が生じるおそれのあるシート光の部分を選択的に減光もしくは消光させる設定を行う第1のステップと、
前記第1のステップで前記減光もしくは消光させた前記シート光を前記被検物に投影する第2のステップと、
前記第2のステップで前記シート光が投影された前記被検物を撮像する第3のステップと、
前記シート光における前記多重反射が生じるおそれのある部分を除く他の部分を減光もしくは消光させる設定を行う第4のステップと、
前記第4のステップで前記減光もしくは消光させた前記シート光を前記被検物に投影する第5のステップと、
前記第5のステップで前記シート光が投影された前記被検物を撮像する第6のステップと、
前記第3のステップおよび前記第6のステップでそれぞれ撮像した画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する第7のステップとを有していることを特徴とする形状測定方法。 - 請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の形状測定方法を実行可能であることを特徴とするプログラム。
- 被検物にシート光を照射する照射部と、
前記シート光が照射された前記被検物を観察する観察部と、
前記観察部の観察結果に基づいて前記シート光が前記被検物で多重反射したことを検出する検出部と、
前記検出部で前記多重反射を検出した場合に、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を他の部分と判別可能にするシート光制御部と、
前記観察部の観察結果に基づいて前記被検物の形状を測定する測定部とを備えることを特徴とする形状測定装置。 - 前記シート光制御部は、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を選択的に減光もしくは消光させることを特徴とする請求項5に記載の形状測定装置。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012141964A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-26 | Canon Inc | 画像処理装置、画像処理装置の制御方法、距離計測装置、およびプログラム |
JP2014115109A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Canon Inc | 距離計測装置及び方法 |
JP2014115107A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Canon Inc | 距離計測装置および方法 |
US9857166B2 (en) | 2012-09-19 | 2018-01-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Information processing apparatus and method for measuring a target object |
CN107883954A (zh) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 空中客车运营简化股份公司 | 用于生成旨在供飞行器遵循的最佳飞行路径的方法和设备 |
JP2019090782A (ja) * | 2017-06-20 | 2019-06-13 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 |
JP2020046229A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6410109A (en) * | 1987-07-03 | 1989-01-13 | Toshiba Corp | Position detecting device |
JPH03257307A (ja) * | 1990-03-08 | 1991-11-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 三次元形状認識方法及び装置 |
JPH04238205A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-26 | Toshiba Corp | 溶接位置検出装置 |
JP2000193438A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Suzuki Motor Corp | 三次元形状を計測する方法および装置並びに三次元形状計測用プログラムを記憶した記憶媒体 |
JP2004219154A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Hitachi Ltd | 物体の表面形状計測方法及び自動溶接装置 |
-
2007
- 2007-07-11 JP JP2007181720A patent/JP5170622B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6410109A (en) * | 1987-07-03 | 1989-01-13 | Toshiba Corp | Position detecting device |
JPH03257307A (ja) * | 1990-03-08 | 1991-11-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 三次元形状認識方法及び装置 |
JPH04238205A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-26 | Toshiba Corp | 溶接位置検出装置 |
JP2000193438A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Suzuki Motor Corp | 三次元形状を計測する方法および装置並びに三次元形状計測用プログラムを記憶した記憶媒体 |
JP2004219154A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Hitachi Ltd | 物体の表面形状計測方法及び自動溶接装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012141964A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-26 | Canon Inc | 画像処理装置、画像処理装置の制御方法、距離計測装置、およびプログラム |
US9857166B2 (en) | 2012-09-19 | 2018-01-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Information processing apparatus and method for measuring a target object |
JP2014115109A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Canon Inc | 距離計測装置及び方法 |
JP2014115107A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Canon Inc | 距離計測装置および方法 |
US9835438B2 (en) | 2012-12-06 | 2017-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Distance measuring apparatus and method |
CN107883954A (zh) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 空中客车运营简化股份公司 | 用于生成旨在供飞行器遵循的最佳飞行路径的方法和设备 |
CN107883954B (zh) * | 2016-09-29 | 2022-11-11 | 空中客车运营简化股份公司 | 用于生成旨在供飞行器遵循的最佳飞行路径的方法和设备 |
JP2019090782A (ja) * | 2017-06-20 | 2019-06-13 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 |
JP7186019B2 (ja) | 2017-06-20 | 2022-12-08 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 |
JP2020046229A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
JP7219034B2 (ja) | 2018-09-14 | 2023-02-07 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
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