JP5303911B2 - X線利用の自動検査装置における撮影制御の調整方法、およびx線利用の自動検査装置 - Google Patents
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Description
明るさの「基準の状態」とは、画像が欠陥の検出に適した明るさになっている状態をいう。たとえば、検査対象物と検出対象の欠陥との間のX線吸収率の差を明確にするのに適した量のX線がX線検出器に到達したときに得られる画像の明るさを、「基準レベルの明るさ」として、この基準レベルに対する実際の画像の明るさの相違量が所定の許容値以内である状態を、「基準の状態」と定義することができる。
この基板検査装置は、外観検査が困難な箇所を対象に、X線による断層画像を生成し、生成された画像を用いて検査を行うもので、検査対象の基板1を支持する基板ステージ2、X線管3、フラットパネルディテクタ4(以下、「FPD4」と略す。)などを具備するものである。
この基板検査装置は、前出のX線管3、FPD4、基板ステージ2、ディテクタ支持用ステージ5のほか、X線管コントローラ6、ディテクタコントローラ7、制御装置8などを具備する。
また12は、基板1を挟んではんだ電極10に対向する位置に実装されている部品である(以下、「裏面部品12」という。)。
そこでこの実施例のキャリブレーションでは、同じ環境設定でX線透視撮影を実行したときのX線透過画像の明るさが一定のレベル付近になるように、X線管3に対する駆動パルス(以下、「X線管駆動パルス」という。)の長さを調整するようにしている。
この実施例では、ローリングシャッタ方式の2次元X線検出器であるFPD4を使用するため、このFPD4の各走査ライン(以下、単に「ライン」という。)の電荷蓄積動作を考慮してX線管3を駆動する必要がある。
ディテクタコントローラ7は、各ラインに対し、それぞれ、(S+S1)の値に相当する時間をおいて、電荷蓄積の開始指示および終了指示を出すことにより、各ラインの電荷蓄積動作を制御する。X線管コントローラ6は、最後のN番目のラインの電荷蓄積の開始に同期するタイミングでX線駆動パルスを立ち上げ、TPの値に相当する時間が経過した時点でX線駆動パルスを立ち下げる。よってX線管3とFPD4との間に何も物体をおかずに、またはX線吸収率が均一の物体を配置して上記の制御を行った場合には、FPD4の各ラインに均一な量のX線を与えることができる。
図5の例では、1フレーム目のX線管駆動パルスの長さTPは初期値のTP0であるが、2フレーム目のパルスの長さTPは、初期値TP0より所定時間tだけ長くなっている。これは、1フレーム目の撮影で得られた画像の明るさが基準の状態より暗かったことを意味する。この例とは反対に、画像の明るさが基準の状態より明るかった場合には、次のフレームにおけるX線管駆動パルスの長さTPは、前のフレームより短いものに設定される。
これらの点を考慮して、この実施例では、検査前のキャリブレーションにおいて、共通露光期間の長さSの値が所定の上限値Smax以内である場合に限り、Sの値を調整することにし、調整が完了する前にSの値が上限値Smaxを超えた場合には、警報を出力してキャリブレーションを中止するようにしている。また、検査中には、Sの値を調整する必要が生じても、その調整を行わずに警報を出力し、処理を中止するようにしている。
この実施例では、あらかじめ、基板1の各部のX線吸収率に基づき、検査対象のはんだ電極10の明瞭な投影像を得るのに必要なX線の照射量を割り出し、その量のX線がFPD4に照射された場合に生成されるX線透視画像の平均輝度値を求め、これを基準の輝度値P0として、図示しないメモリに登録するようにしている。検査前のキャリブレーションの最初のST1(STは「ステップ」の略である。以下も同じ。)では、この基準の輝度値P0がメモリから読み出される。
この例の領域30には、画像のy方向(縦方向)に沿って欠陥ラインが生じているため、この欠陥ライン上の各画素に、それぞれ左右の画素の画像データの平均値をあてはめる。たとえば領域10の中央位置にある画素I(xi,yi)には、それぞれ左右の画素I(xi−1,yi),I(xi+1,yi)の画像データの平均値があてはめられる。
x軸方向に沿う欠陥ラインの場合には、上記とは逆に、上下の画素の画像データの平均値があてはめられることになる。また、欠陥ラインの交差点に該当する画素については、斜め方向で隣接する4画素の画像データの平均値があてはめられる。
さらに、調整したX線管駆動パルスの長さTPが共通露光期間の長さSを超えた場合には、検査を中止するので、万一、検査の途中でX線管3に異常が生じた場合でも、その異常状態のままで検査が行われるのを防止することができ、検査の精度を確保することができる。
3 X線管
4 フラットパネルディテクタ(FPD4)
8 制御装置
10 はんだ電極
84 キャリブレーション処理部
Claims (6)
- X線源およびローリングシャッタ方式の2次元X線検出器を用いて検査対象物の内部構造を表す画像を生成し、生成された画像の輝度に基づき欠陥の有無を判別する自動検査装置において、前記欠陥の検出に適した明るさの画像が生成されるように、撮影に関する制御の内容を調整する方法であって、
前記2次元X線検出器のすべての走査ラインで電荷の蓄積が行われている共通露光期間内にX線の照射を開始して当該照射を終了させることを条件に、2次元X線検出器の1フレーム分の前記共通露光期間とX線源を駆動する期間との間の長さの関係を調整する第1ステップ、
前記第1ステップでの調整に基づき、X線源および2次元X線検出器を駆動してX線透視画像を生成する第2ステップ、
の各ステップによる設定処理を、生成されるX線透視画像の明るさがあらかじめ定めた基準の状態になるまで繰り返し実行し、
前記X線透視画像の明るさが前記基準の状態になったときの前記2次元X線検出器の共通露光期間の長さとX線源の駆動期間の長さとを、検査のための撮影に使用する、
ことを特徴とするX線利用の自動検査装置における撮影制御の調整方法。 - 請求項1に記載された方法において、
前記第1ステップでは、前記2次元X線検出器の共通露光期間の長さを超えない範囲で前記X線源を駆動する時間の長さを変更する、X線利用の自動検査装置における撮影制御の調整方法。 - 請求項1または2に記載された方法において、
複数の検査対象物に対する検査を開始するのに先立ち、X線源と2次元X線検出器との間に検査対象物を配置しない状態にして、前記第1ステップおよび第2ステップによる設定処理を実行する、X線利用の自動検査装置における撮影制御の調整方法。 - 請求項1または2に記載された方法において、
新たな検査対象物に対する検査のための最初の撮影において、前記第1ステップおよび第2ステップによる設定処理を、前記基準状態に適合した明るさの画像が得られるまで繰り返す、X線利用の自動検査装置における撮影制御の調整方法。 - 請求項1〜4のいずれかに記載された方法において、
前記第2ステップにおいて、X線源および2次元X線検出器を駆動した撮影のほかに、X線源を駆動せずに2次元X線検出器を駆動する撮影を実行し、
第2ステップでの各撮影により得た画像による差分画像の平均輝度値の差とあらかじめ定めた基準レベルとの相違量が所定の許容値以内になった状態を前記基準の状態として、前記第1および第2のステップによる設定処理を終了する時期を判別する、X線利用の自動検査装置における撮影制御の調整方法。 - X線源と、ローリングシャッタ方式の2次元X線検出器と、これらを用いて検査対象物の内部構造を表す画像を生成する画像生成手段と、生成された画像の明るさに基づき欠陥の有無を判別する検査実行手段と、前記検査実行手段による判別処理が行われていない状態下で、この判別に適した明るさの画像が得られるように、前記X線源および2次元X線検出器の動作内容を調整する調整手段とを具備し、
前記調整手段は、
前記2次元検出器のすべての走査ラインで電荷の蓄積が行われている共通露光期間内にX線の照射を開始して当該照射を終了させることを条件に、2次元X線検出器の1フレーム分の前記共通露光期間とX線源を駆動する期間との間の長さの関係を調整する手段と、この調整の結果に基づき、X線源および2次元X線検出器を駆動してX線透視画像を生成する手段とを具備し、前記X線透視画像の明るさがあらかじめ定めた基準状態になるまで前記各手段による処理を繰り返すことを特徴とする、X線利用の自動検査装置。
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