JP4641275B2 - 自動外観検査装置及び自動外観検査方法 - Google Patents
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Description
〔発明の効果〕
2 検査ステージ
4 位置検出部(位置検出手段)
7 照明用光源(照射手段)
51 2次元カメラ(撮像手段)
81a 第1記憶手段
81b 第1比較手段
82a 第2記憶手段
82b 第2比較手段
511 撮像素子
K 半導体ウェーハ(対象ワーク)
PH 撮像目標位置
S1 露光開始位置
S2 発光位置
S3 現在位置
S4 露光開始信号
S5 発光信号
Claims (6)
- 対象ワークKをXY水平面上に保持し一方向に沿って一定速度Vで駆動可能な検査ステージ2と、対象ワークKに閃光照射するための照射手段7と、露光開始から全受光素子が露光可能となるまでに到達時間Tを要するローリングシャッタを撮像素子511に有する撮像手段51と、検査ステージ2の現在位置S3を検出する位置検出手段4とを備え、検査ステージ2に保持した対象ワークKを一定速度Vで走行させながら、対象ワークKにおける撮像目標位置PHを照射手段7により閃光照射すると共に撮像手段51により撮像し、そのとき得られた画像に基づいて撮像目標位置PHの表面状態を自動的に検査するように構成された自動外観検査装置1において、
検査ステージ2の移動方向を基準にして上記撮像目標位置PHから少なくとも前記到達時間T間に前記一定速度Vで移動する一定距離前方の検査ステージ2の位置PSと、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3とに基づいて、撮像手段51を露光開始させると共に、対象ワークKにおける撮像目標位置PHを撮像手段51が撮像可能となるときの検査ステージ2の位置と、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3とに基づいて、照射手段7を閃光発光させるように構成した制御手段8を備えることを特徴とする自動外観検査装置。 - 前記制御手段8は、検査ステージ2の移動方向を基準にして上記撮像目標位置PHから少なくとも前記到達時間T間に前記一定速度Vで移動する一定距離前方の検査ステージ2の位置PSを撮像手段51の露光開始位置S1として予め記憶した第1記憶手段81aと、対象ワークKにおける撮像目標位置PHを撮像手段51が撮像可能となるときの検査ステージ2の位置を発光位置S2として予め記憶した第2記憶手段82aと、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3と、第1記憶手段81aに予め記憶した撮像手段51の露光開始位置S1とを比較して両者が一致した場合に撮像手段51を露光開始させるための露光開始信号S4を出力する第1比較手段81bと、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3と、第2記憶手段82aに予め記憶した発光位置S2とを比較して両者が一致した場合に照射手段7を閃光発光させるための発光信号S5を出力する第2比較手段82bとを備える請求項1に記載の自動外観検査装置。
- 前記対象ワークKが半導体ウェーハである請求項1または請求項2に記載の自動外観検査装置。
- 対象ワークKをXY水平面上に保持し一方向に沿って一定速度Vで駆動可能な検査ステージ2と、対象ワークKに閃光照射するための照射手段7と、露光開始から全受光素子が露光可能となるまでに到達時間Tを要するローリングシャッタを撮像素子511に有する撮像手段51と、検査ステージ2の現在位置S3を検出する位置検出手段4とを備える自動外観検査装置1を用い、検査ステージ2に保持した対象ワークKを一定速度Vで走行させながら、対象ワークKにおける撮像目標位置PHを照射手段7により閃光照射すると共に撮像手段51により撮像し、そのとき得られた画像に基づいて撮像目標位置PHの表面状態を自動的に検査する自動外観検査方法において、
制御手段8により、検査ステージ2の移動方向を基準にして上記撮像目標位置PHから少なくとも前記到達時間T間に前記一定速度Vで移動する一定距離前方の検査ステージ2の位置PSと、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3とに基づいて、撮像手段51を露光開始させると共に、対象ワークKにおける撮像目標位置PHを撮像手段51が撮像可能となるときの検査ステージ2の位置と、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3とに基づいて、照射手段7を閃光発光させることを特徴とする自動外観検査方法。 - 前記制御手段8により、検査ステージ2の移動方向を基準にして上記撮像目標位置PHから少なくとも前記到達時間T間に前記一定速度Vで移動する一定距離前方の検査ステージ2の位置PSを撮像手段51の露光開始位置S1として第1記憶手段81aに予め記憶しておき、対象ワークKにおける撮像目標位置PHを撮像手段51が撮像可能となるときの検査ステージ2の位置を発光位置S2として第2記憶手段82aに予め記憶しておき、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3と、第1記憶手段81aに予め記憶した撮像手段51の露光開始位置S1とを比較して両者が一致した場合に撮像手段51を露光開始させるための露光開始信号S4を第1比較手段81bから出力し、位置検出手段4から出力された検査ステージ2の現在位置S3と、第2記憶手段82aに予め記憶した発光位置S2とを比較して両者が一致した場合に照射手段7を閃光発光させるための発光信号S5を第2比較手段82bから出力する請求項4に記載の自動外観検査方法。
- 前記対象ワークKが半導体ウェーハである請求項4または請求項5に記載の自動外観検査方法。
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