JP2006268835A - 焦点位置を予測するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】目標物の第1の部分は、名目上のフォーカスレベルで走査されて、対応する画像情報を得る。前記目標物の1つまたは複数の別の部分が、1つまたは複数の各々の別のフォーカスレベルで走査されて、対応する画像情報を得る。次いで、フォーカスパラメータは、各々の前記画像情報を使用して、名目上および1つまたは複数の別のフォーカスレベルの各々に関して計算される。次いで、前記目標物の第1および別の部分の各々に共通の焦点位置は、計算された前記フォーカスパラメータを使用して予測される。
【選択図】図2
Description
Claims (22)
- 画像走査装置において目標物の焦点位置を予測する方法であって、
名目上のフォーカスレベルで前記目標物の第1の部分を走査して、対応する画像情報を得ること、
1つまたは複数の各々の別のフォーカスレベルで、前記目標物の1つまたは複数の別の部分を走査して、対応する画像情報を得ること、
個々の前記画像情報を使用して、前記名目上および1つまたは複数の別のフォーカスレベルの各々に対するフォーカスパラメータを計算すること、
計算されたフォーカスパラメータを使用して、前記目標物の第1の部分および別の部分の各々に共通の焦点位置を予測することを含む方法。 - 少なくとも2つの別のフォーカスレベルが使用され、1つのフォーカスレベルが名目上のフォーカスレベルの各々の側に位置する、請求項1に記載の方法。
- 前記走査は走査線から形成され、少なくとも2つの別のフォーカスレベルが使用される場合に、前記フォーカスレベルは多数の走査線によって相互に隔てられている、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記別のフォーカスレベルは約50本の走査線によって相互に分離されている、請求項3に記載の方法。
- 前記走査が走査線から形成される場合に、前記名目上のフォーカスレベルから少数の走査線に対する各々の別のフォーカスレベルまで前記焦点は修正される、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- 前記フォーカスパラメータはフォーカスメリット値である、請求項1〜5に記載の方法。
- 前記別のフォーカスレベルの各々に対するメリット値は、実質的に前記目標物の同じ位置で、名目上のフォーカスレベルに対して標準化された標準化メリット値である、請求項6に記載の方法。
- 曲線に名目上の、および別のフォーカスレベルフォーカスパラメータを適合させることにより、予測された前記焦点位置の計算が得られる、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
- 実質的にフォーカスレベル外に対応するフォーカスパラメータ値は、前記曲線に適合するように使用され、フォーカス値外に対する前記フォーカスレベルは、名目上のおよび別のフォーカスレベルとの差の2倍以上のレベルに対応する、請求項8に記載の方法。
- 前記曲線は、前記焦点位置に対応するピークを有する、請求項8または請求項9に記載の方法。
- さらに、前記ピーク位置で前記フォーカスパラメータ値を使用して、前記フォーカス値の誤差を計算することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記誤差は、前記フォーカスパラメータメリット値の大きさに反比例する、請求項11に記載の方法。
- さらに、前記名目上のフォーカスレベルを前記予測されたフォーカスレベルに修正することを含む、請求項1〜12のいずれかに記載の方法。
- さらに、前記走査にわたって多くの位置で、前記方法を繰り返すこと、および曲線に前記予測されたインフォーカス値を適合させて、測定位置間の焦点位置を予測し、および/またはまだ走査されていない目標物の領域で前記焦点を予測することを含む、請求項1〜13のいずれかに記載の方法。
- さらに、前記走査に先立って、前記名目上のフォーカスレベルの役割を果たす開始時の焦点位置を決定することを含む、請求項1〜14のいずれかに記載の方法。
- さらに、前記名目上のフォーカスレベルで得られた隣接の画像情報を使用して補間することによって、別のフォーカスレベルで得られた画像情報を修正することを含む、請求項1〜15のいずれかに記載の方法。
- 前記画像情報の別のフォーカスレベルが、多数の走査線に対して得られるとき、前記補間は、隣接する名目上のフォーカスレベル画像情報からの多数の最も近い走査線の加重寄与を使用することにより行われる、請求項16に記載の方法。
- 画像走査装置であって、
目標物から画像情報を得るための検知器アレイと、
前記検知器アレイと前記目標物との間に相対運動を生じさせるための走査装置と、
前記検知器アレイと前記目標物との間で、前記焦点を修正するように働く焦点装置と、
前記装置に、名目上のフォーカスレベルで、前記目標物の第1の部分を走査することにより、請求項1〜17のいずれかによる方法を行わせて、対応する画像情報を得るようするプロセッサーと、
1つまたは複数の各々の別のフォーカスレベルで、前記目標物の1つまたは複数の別の部分を走査して、対応する画像情報を得ること、
前記名目上および1つまたは複数の他のフォーカスレベルの各々に関するフォーカスパラメータを計算すること、および
前記計算されたフォーカスパラメータを使用して、前記目標物の第1の部分および別の部分の各々に共通の焦点位置を予測することを含む画像走査装置。 - スキャナを含む、請求項18に記載の装置。
- 1つまたは複数の各々のフォーカスレベルで、前記目標物を走査するための手段をさらに含む、請求項18または請求項19に記載の装置。
- フォーカスパラメータを計算するための手段をさらに含む、請求項18〜20のいずれかに記載の装置。
- 焦点位置を予測するための手段をさらに含む、請求項18〜21のいずれかに記載の装置。
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