JP4419504B2 - 画像補正装置及び画像補正方法 - Google Patents

Description

本発明は、画像補正装置及び画像補正方法に関するものである。より詳細には、検査対
象を走査して画像信号を出力するラインセンサを用いて検査を行う装置に関し、組立て精
度による画像の位置誤差、搬送手段の往復動作による画像貼り合わせ位置誤差、ラインセ
ンサの走査幅誤差等の測定及び補正を行う技術に関するものである。

従来の検査対象を走査して画像信号を出力するラインセンサを用いて検査を行う画像補正装置の概略を図２３に示す。
図２３において、検査対象を走査するラインセンサ１と、ラインセンサ１を検査対象上、Ｙ軸方向に搬送する手段であるモータ５とボールネジ６、搬送テーブル８を案内するガイドレール７ａ、７ｂとを備えている。ラインセンサ１の走査幅は、図２３に示すように検査対象よりも大きな測定領域で撮像するため、画像の補正が単純で容易に行えることができた。しかしながら、検査対象が測定範囲よりも大きくなる場合、換言するとラインセンサ１の走査幅が検査対象幅よりも小さくなると、組立て精度による画像位置誤差のみならず、搬送手段の往復動作による画像貼り合わせ位置誤差、ラインセンサの走査幅誤差等の各種誤差が測定画像に大きな影響をおよぼすことになる。

特許文献１には、補正用基準試料を読み取って、補正用画像を得て補正画像に基づき補
正データを求め、その後検査対象物を撮像し、補正データに基づいて補正することが開示
されている。

また、特許文献２には、ラインセンサの駆動手段の位置座標値を検出する位置検出手段
と、ラインセンサからの画像信号の表示手段の所定の複数位置に対応する補正値を記憶し
て、画像データの座標値を補正する画像入力装置が記載されている。
特開２０００−１２１３３７号公報 特開平１０−３１１７０５号公報

検査対象が測定範囲よりも十分に小さい場合、前記誤差の影響は貼り合わせ画像、及び
測定精度に大きな影響を与える要因ではなかった。しかしながら、装置の高速化、装置の
小型化による測定範囲の狭領域化により、検査対象が走査幅より大きくなることがあり、
画像貼り合わせ部分の誤差量の影響が検査画像に大きな歪を発生させ、測定精度を大きく
劣化させる。また、組立て精度のみならず、画像補正装置の使用による各種部材等の経年
変化の影響も検査精度に影響を与える為、各種誤差量の補正が必要である。

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、組立てによる画像の位置誤差、搬送手段
の往復動作による画像貼り合わせ位置誤差、ラインセンサの走査幅誤差等の測定、及び補
正を高精度に行うことができる検査対象を撮影して得られる画像補正装置及び画像補正法
を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られた画像データより前記Ｘ軸駆動手段とＹ軸駆動手段の直交度のずれを検出することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の操作幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られた画像データより前記Ｓ軸とＸ軸の平行度のずれを検出することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記Ｙ軸方向搬送手段の搬送量を補正することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記メモリへのＹ軸方向の画像格納位置を補正することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られる前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記Ｘ軸方向搬送手段の搬送量を補正することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサ
と、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られる前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記メモリへのＸ軸方向の画像格納位置を補正することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出するとともに、前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、それぞれのＹ軸方向とＸ軸方向の検出された誤差量に応じて前記Ｘ軸方向とＹ軸方向搬送手段の搬送量を補正することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正装置は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出するとともに、前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、それぞれのＹ軸方向とＸ軸方向の検出された誤差量に応じて前記メモリへの前記Ｘ軸方向とＹ軸方向の画像格納位置を補正することを特徴としたものである。

また、本発明の画像補正方法は、検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサによ
り検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
前記ラインセンサの所定の走査幅で、検査対象を走査し、１ラインの走査が終了するとＹ軸テーブル移動手段にて前記ラインセンサが所定の分解能に相当する距離だけＹ軸方向に移動して次の１ラインの走査を行い、この動作をＹ軸方向に所定の距離に相当するライン数だけ繰り返して得られる短冊状画像データを前記メモリ上にて合成して得られる検査画像データより前記Ｘ軸駆動手段とＹ軸テーブル駆動手段の直交度の取り付けずれを検出することを特徴としたものである。

以上のように、本発明の画像補正装置及び画像補正方法によれば、組立て精度による画
像の位置誤差、搬送手段の往復動作による画像貼り合わせ位置誤差、ラインセンサの走査
幅誤差等が発生した場合でも、それらの誤差などを合成される画像検査データを用いて検
出し、補正することができ高精度な組立て調整が可能となる。

以下に、検査対象がラインセンサの走査幅よりも大きい場合、本発明の画像補正装置及
び画像補正方法を使用して、検査画像に生じる各種誤差などの測定及びそれらの補正方法
などについて図面を用いて詳細に説明する。

図１は、本発明の画像補正装置の全体の構成を模式的に示す図であり、図２は、ライン
センサ部の概略を示すための図である。図１、２において、本発明の画像処理装置の全体
の動作を説明する。
まず、ラインセンサ１とＹ軸テーブル８を検査開始位置への移動について説明する。
（１）ＣＰＵ１００からスキャン開始の指令信号1)が駆動系制御部１０１に送られる。
（２）ＣＰＵ１００からの信号が駆動系制御部１０１に入ると、検査開始位置への駆動信
号2)が、Ｘ軸補正部１０２とＹ軸補正部１０３を介してＸ軸駆動部１０４、及び検査対象
が載置される搬送テーブル８を搬送するＹ軸テーブル駆動部１０５に送られる。
（３）次に、Ｘ軸駆動部１０４、及びＹ軸テーブル駆動部１０５から出力される駆動信号
3)に応じて、Ｘ軸駆動手段、Ｙ軸搬送手段を介して、ラインセンサ１及びＹ軸テーブル８
を所定の検査開始位置に移動させる。Ｘ搬送手段は、ラインセンサ１を検査対象９上をＸ
軸方向に搬送するモータ２とボールネジ３、ラインセンサ１を案内するガイドレール４ａ、４ｂからなり、Ｙ軸搬送手段は、モータ５とボールネジ６、搬送テーブル７ａ、７ｂとからなる。

次に、検査信号の流れを説明する。
（４）ラインセンサ１が検査開始位置に移動後、ＣＰＵ１００からのラインセンサ１のス
キャン開始の指令信号4)がセンサＩ／Ｆボード１０６に送られる。
（５）ＣＰＵ１００からの信号がセンサＩ／Ｆボード１０６に入るとラインセンサ１に対
して、スキャン開始信号5)が送られ、検査対象９のスキャンを開始する。
このラインセンサ１は、図２に示すように、光源３０、ポリゴンミラー３１、走査レン
ズ３２からなる走査光学系と集光レンズ３３、位置検出素子３４とからなる受光光学系に
て構成される。スキャン（走査）動作は、図２において、光源（レーザ）３０からの光線
をポリゴンミラー３１により偏向し、走査レンズ３２を介して検査対象９の測定対象面に
走査光を照射する。測定対象からの反射光を集光レンズ３３を介して、位置検出素子３４
に集光して検査対象９の画像信号を得る。
ラインセンサ１の走査幅３０ｍｍの中を１５００ポイント、即ち、２０μmの分解能で
検査画像を取得する。もちろん、分解能は１５００ポイント数を変化させることにより、
所望の解像度が得られる。そして、１ライン３０ｍｍの走査が終了すると、分解能２０μ
m分だけＹ軸ステージ移動手段に駆動信号が送られ、Ｙ軸方向の移動が行われたのち、次
の１ラインの走査が行われる。これを繰り返し３０ｍｍ幅の走査を行い、３０ｍｍ幅の短
冊状画像を撮影する。
（６）短冊画像の撮影が終了すると、走査終了信号6)がラインセンサ１からセンサＩ／Ｆ
ボード１０６に送られる。
（７）センサＩ／Ｆボード１０６にラインセンサ１からの走査終了信号が入ると、ＣＰＵ
１００へ走査終了信号が送られ、駆動系制御部１０１へＸ軸駆動信号が送られ、Ｘ軸補正
部１０２を介してＸ軸駆動部１０４へ信号が送られる。
（８）Ｘ軸駆動部１０４にＸ軸駆動信号が入ると、Ｘ軸駆動手段に駆動信号8)が送られ、
ラインセンサ１がＸ軸方向に３０ｍｍ移動する。ラインセンサ１がＸ軸方向に３０ｍｍ移
動後、（４）からの一連の動作が繰返し行われる。このようにして検査対象の全面の３０ｍｍ幅の短冊状の画像信号が得られる。

次に画像データの流れについて説明する。
（９）ラインセンサ１で取り込まれたデータ9)は、センサＩ／Ｆボード１０６に送られる。
（１０）入力されたデータ9)は、センサＩ／Ｆボード１０６からの画像データ10)として画像メモリ１０７上に蓄えられる。
（１１）画像メモリ１０７上に蓄えられたデータは、補正部１０８へ画像データ11)を出力し、補正部１０８を介して補正した画像データを検査画像上で結合する。
このとき、画像メモリ１０７上に蓄えられている画像データの方向性などを考慮し、画
像データを結合し、合成画像（検査画像）を検査メモリ１０９において形成する。この合
成された検査画像を用いてＣＰＵ１００にて誤差量を算出し、算出された誤差量を補正値
として補正部１０８に記憶する。そして、短冊状画像のＸ軸方向、Ｙ軸方向の貼り合わせ
位置誤差量を補正部１０８により補正値として読み出し、この補正値を用いて、検査メモ
リ１０９上の格納アドレスを補正して記憶する。もちろん画像メモリ１０７、補正部１０
８、検査メモリ１０９を一体化した構成をとることも可能である。
（１２）検査メモリ１０９で形成した検査画像データ12)をＣＰＵ１００に送り、検査を行う。
検査対象のスキャン動作と画像メモリ１０７上への撮影画像の保存は連動して行われてい
る。

図２は、ラインセンサ１の構成を説明するための図であり、前述したように、光源（レ
ーザ）３０からの光線をポリゴンミラー３１により偏向し、走査レンズ３２を介して測定
対象面に走査光を照射する。そして、測定対象９からの反射光を集光レンズ３３を介して、位置検出素子３４に集光する。測定対象９が、高低差があるような場合、本発明のラインセンサの構成においては、測定対象の高さが異なると位置検出素子３４に入る光線の位置が違ってくるため、高さ検出をも行うことができる。

検査対象の撮影、画像データの記憶、画像データの合成、補正値の算出などの流れにつ
いて、例を挙げて、図面を参照しながら説明する。

なお、短冊状画像を「１」から「６」の６枚の合成画像とする。（図面とは番号表示が異なるが１番から６番の図面を表示するものとする。）
理解を容易にするため図３で、検査対象９がアルファベットの「Ａ」で、大きさが１８０ｍｍ×２００ｍｍの場合を説明する。即ち、具体的には、Ｘ軸、Ｙ軸の分解能は２０μｍ、Ｘ軸検査対象領域を１８０ｍｍ、Ｙ軸検査対象領域を２００ｍｍとし、検査開始位置は図面の左上部とする。ＣＰＵ１００からのスキャン（走査）開始の指令信号により、検査開始位置への移動が終了すると、走査幅３０ｍｍ（分解能２０μｍで１５００ドット）で検査対象９上をスキャンしながら、Ｙ軸方向へ２００ｍｍ（分解能２０μｍで１０，０００ライン）搬送を行い短冊状画像「１」を撮影する。２００ｍｍの搬送による短冊状画像「１」の撮影が終了すると、ラインセンサ１をＸ軸方向へ３０ｍｍ搬送し、走査幅３０ｍｍで検査対象９をスキャンしながら、短冊状画像「１」の撮影時と逆方向へ移動しながら、短冊状画像「２」を撮影する。この動作を繰り返し行い、短冊状画像「６」までを撮影し画像メモリ１０７上に保存する。画像メモリ１０７には、短冊状画像「１」から「６」の画像は、図３のように直列状に保存される。即ち、３０ｍｍ幅の１枚の短冊状画像データのＸ軸のアドレス値は、０〜１５００、Ｙ軸のアドレス値は、０〜１０，０００で、６枚を直列状に保存するので、Ｙ軸のアドレス値は、６０，０００となる。そして、画像メモリ１０７上に保存された短冊状画像は、検査メモリ１０９にて図４のように、Ｘ軸のアドレス値が０〜９，０００、Ｙ軸のアドレス値が０〜１０，０００として合成される。

分解能が２０μｍであるので、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の検査領域より、画像メモリ１０７
上Ｘ軸方向は１５００ドット、Ｙ軸方向は１０、０００ライン分の短冊状画像が６枚分格
納される。画像メモリ１０７上に格納された画像データは、検査メモリ１０９上で合成さ
れ検査画像を作成するが、単純に貼り合わせを行うと以下のような問題を発生する。

即ち、検査メモリ１０９上で画像合成を行うが、画像メモリ１０７上のアドレス０番地の位置で貼り合わせると、Ｙ軸方向は、往復動作による撮影を行うために、Ｙ軸方向の移動量２００ｍｍに対する移動量誤差の影響により、実際の検査対象の画像に対して、図５に示すように、Ｙ軸方向に段差（Ｙ軸方向貼り合わせ誤差Ｅｙ）が発生したような検査画像になってしまう。また、Ｘ軸方向についても、走査幅３０ｍｍに対する移動量誤差の影響により、図７に示すように実際の検査対象の画像に対して段差（Ｘ軸方向貼り合わせ誤差）が発生したような検査画像になってしまう。

検査対象９を短冊状画像を撮影して合成することに起因して発生する段差を補正するた
めに、隣り合う短冊状画像の貼り合わせ位置誤差を、検査メモリ１０９の検査画像よりＣ
ＰＵ１００で算出する。この算出された値を補正量として、駆動系制御部１０１とＸ軸駆
動部１０４及びＹ軸駆動部１０３の間に配置した補正部１０２、１０３に記憶し、この補
正値を用いて、駆動系制御部からの駆動信号を補正し、Ｘ軸駆動部１０４及びＹ軸テーブ
ル駆動部１０５に送ってラインセンサ１の移動量（Ｘ軸方向移動量）及びＹ軸テーブル移
動量を補正する。

また、検査メモリ１０９に合成された検査画像よりＣＰＵ１００で算出した補正量を、画像メモリ１０７と検査メモリ１０９間に配置した補正部１０８に記憶し、検査メモリ１０９で格納する画像データの格納位置（アドレス）を補正することで、貼り合わせ位置誤差を補正することができる。図６は、Ｙ軸方向の貼り合わせ位置、図８はＸ軸方向の貼り合わせ位置を補正したものである。

図５、図６を用いてＹ軸方向貼り合わせ誤差の補正を具体的に説明する。図５のＹ軸方向貼りあわせ誤差Ｅｙを検査メモリ１０９に格納される短冊状が像データ「２」の先頭アドレスを（１５００、１０，０００）から（１５００、１０，０００−Ｅｙ）として貼りあわせる。以下同じようにして短冊状画像を貼りあわせて図７に示す合成画像を作成する。

図７に示すＸ軸方向の貼り合わせ誤差を有する合成画像の補正も格納される先頭アドレスを補正して、同様にして貼りあわせて図８に示す合成画像を作成する。

次に、格子状の検査パターンを用いて、本発明の画像補正装置を説明する。

図９は、本発明の実施例１における画像補正装置の概略図である。図９において、検査対象９を撮影して画像信号を出力するラインセンサ１と、ラインセンサ１を検査対象９上、Ｘ軸方向に搬送する手段であるモータ２とボールねじ３、センサを案内するガイドレール４ａ、４ｂと、検査対象９を固定する搬送テーブル８と、搬送テーブル８をＹ軸方向に搬送する手段であるモータ５とボールねじ６、搬送テーブル８を案内するガイドレール７ａ、７ｂとを備えている。

本実施例における検査対象９の例を図１０に示す。図１０は、Ｘ軸方向のパターン１１とＹ軸方向パターン１２により構成される格子状の検査パターン１０であり、パターン１１とパターン１２の交差角の直角が正確に形成されており、また、規則的なパターンを持つものにおいても適用でき、その検査対象に適用できる検査パターンの一例を図１１に示す。

図１２は、本実施例の画像貼り合わせによる検査画像の形成の概略図である。図１２において、図９に示す本実施例の画像補正装置のラインセンサ１によるＳ軸方向の走査と搬送手段５、６、７ａ、７ｂによるＹ軸方向の往復搬送により、短冊状の画像１３を撮影する。ラインセンサ１の走査幅は所定の長さＷであるため、走査幅Ｗよりも大きい検査対象を撮影する場合、短冊状画像１３の撮影終了後、Ｘ軸方向の搬送手段２、３、４ａ、４ｂにより、ラインセンサ１を走査幅Ｗ分だけＸ軸方向に搬送し、検査対象の別領域を撮影する。これを測定全領域にわたり繰返し、Ｘ，Ｙ搬送手段の座標軸を位置検出手段にて検出して検査画像の撮影画像を貼り合わせて合成することで、検査画像が形成される。

使用のラインセンサ１は、３０ｍｍ幅であり、検査対象は、３３０ｍｍ×２５０ｍｍで、また、ラインセンサ内は１５００ポイントの検知源を有し、２０μmの解像度を有するものである。そして、ラインセンサ内の１５００ポイントの走査がＳ軸方向の走査であり、Ｓ軸方向の走査後Ｙ軸方向に所定の距離だけ移動後、次の１ラインの走査を行い、これをＹ軸方向に所定の距離（この例では、２５０ｍｍ）に相当するライン数だけ繰り返し、短冊状画像を撮影する。また、解像度は、前記ラインセンサの検知ポイントを１５００ポイント以外の適当な数に設定することにより、２０μmまでにおいて所望の解像度が得られる。

本実施例の画像補正装置において、装置組立てにより、Ｘ軸とＹ軸の角度関係にずれが発生したときの走査線、及び撮影画像への影響を図１３（ａ）、（ｂ）に示す。同様に装置組立てにより、Ｘ軸とＳ軸の角度関係に誤差が発生したときの走査線、及び撮影画像への影響を図１４（ａ），（ｂ）に示す。

図１３（ａ）は、Ｘ軸とＹ軸の角度関係に誤差が発生した場合に走査線１４へ及ぼす影響の概略図である。図３に示す本発明における装置において、装置組立てにより、Ｘ軸とＹ軸の移動軸が直角でなく角度関係に誤差αが発生して設置された場合、走査線１４が角度関係の誤差αだけ傾くことを示したものである。

即ち、走査線が、下向きに角度αだけ傾いている場合、短冊状画像１３の貼り合わせで
合成される検査画像は、上向きに補正されて合成されるため、角度αだけ上へ傾く合成さ
れた検査画像が得られることになる。

図１３（ｂ）は、Ｘ軸とＹ軸の角度関係に誤差αが発生した場合、その誤差αだけ走査線１４が傾き、短冊状画像１３の貼り合わせで合成される検査画像が、貼り合わせ基準軸であるＹ軸に対してＸ軸とＹ軸の角度関係の誤差αだけ傾くことを示したものである。

図１４（ａ）は、Ｘ軸とＳ軸の角度関係に誤差βが発生した場合に走査線へ及ぼす影響の概略図である。図９に示す本発明における装置において、装置組立てにより、Ｘ軸とＳ軸の角度関係に誤差βが発生した場合、走査線１４が角度関係の誤差βだけ傾くことを示したものである。

図１４（ｂ）は、Ｘ軸とＳ軸の角度関係に誤差が発生した場合、前記誤差βだけ走査線１４が傾き、短冊状画像１３の貼り合わせで合成される検査画像が、貼り合わせ基準軸であるＹ軸に対してＸ軸とＳ軸の角度関係の誤差βだけ傾くことを示したものである。ラインセンサ１の走査軸であるＳ軸が、ラインセンサ１のＸ軸方向の搬送手段によるＸ移動軸と平行でなく角度βだけ傾いて設置されている場合である。ラインセンサ１が上向きにβだけ傾いて走査され、１５００ポイントの画像データが得られるが、それらの画像データは、画像メモリ１０７上に記憶されるが、その画像メモリ１０７では一次元に記録されており、検査メモリ１０９上で合成され結果として得られる出力データは、図１４（ｂ）に示すように、下向きに短冊状の検査画像データが得られる。従って、傾き角βを検出してラインセンサ１のＳ軸をラインセンサ１のＸ移動軸に合わせることができる。

本発明の実施例１に示す画像補正装置のＸ軸とＹ軸のラインセンサ１のＸ軸とＹ軸の移動軸の直角度の測定は、図１０に示す検査対象を撮影し、図１２に示す検査画像から検査対象のエッジ位置を測定する。図１５においてＸ軸の傾き角度は、Ｘ軸方向のパターン１１に着目し、エッジ位置のＹ軸座標値を短冊状画像１３毎に抽出する。つまり、検査対象のＸ軸方向のパターンのＹ軸方向の幅の両端、即ち、エッジのＹ位置を検出する。即ち、１ライン（３０ｍｍ）のＳ軸方向の走査ごとに検査対象のＸ軸方向のパターンのエッジのＹ位置を検出し、短冊ごとの代表値を抽出する。このとき抽出データが多いほど、測定精度がよくなる。短冊画像１３毎に抽出した代表値ａＸを用いて、例えば最小自乗法により一次式で算出した代表値から得られる１次関数の傾きから計算することができる。この傾き角度γは、γ＝ｔａｎ−１（ａＸ）から、計算することができる。

同様に図１６においてＹ軸の傾き角度は、Ｙ軸方向のパターン１２に着目し、エッジ位置のＸ軸座標値を抽出する。つまり、検査対象のＹ軸方向のパターンのＸ軸方向の幅の両端、即ち、エッジのＸ位置を検出する。即ち、１ライン（３０ｍｍ）のＳ軸方向の走査ごとに検査対象のＹ軸方向のパターンのエッジのＸ位置を検出し、短冊ごとの代表値を抽出する。このとき抽出数が多いほど、測定精度がよくなる。抽出した代表値を用いて、例えば最小自乗法により一次式で算出した代表値から得られる１次関数の傾きａＹから、計算することができる。このとき、傾き角度δは、δ＝ｔａｎ−１（ａＹ）の式により算出される。

以上説明したように、上記Ｘ軸、Ｙ軸それぞれの傾き角度から、Ｘ軸とＹ軸の直角度を容易に算出できる。

次に、Ｘ軸とＳ軸の傾き角度の測定方法を説明する。Ｘ軸とＳ軸の平行度の測定は、図１０に示す検査対象を撮影し、図１７に示す短冊状画像を合成した検査画像から検査対象のエッジ位置を測定する。図１７においてＳ軸の傾き角度は、Ｘ軸方向のパターン１１に着目し、短冊状画像１３毎にＹ軸座標値を複数の位置で抽出する。抽出した複数の位置での座標値（Ｘ、Ｙ）から短冊状画像１３毎に例えば最小自乗法を使用して１次関数で近似した特性方程式１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ、１７ｆの傾きａＳｉから算出し、それらの傾き角度εｉの平均値から、計算することができる。このとき、傾き角度εｉは、εｉ＝ｔａｎ−１（ａＳｉ）で算出される。ここでｉはｉ＝ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆである。上記Ｘ軸、Ｓ軸それぞれの傾き角度から、Ｘ軸とＳ軸の平行度を容易に算出できる。
また、図１０のＸＹパターンの検査対象を撮影し、図１２の検査画像を合成して、Ｘ軸、Ｙ軸の直行度とＸ軸とＳ軸との平行度の両方の測定を行い、同時に処理することによって、迅速な補正を行うことができる。

このようにして、Ｘ軸とＹ軸の直角度、Ｘ軸とＳ軸の平行度を算出し、図９に示す画像補正装置の組立て調整を行うことで、高精度の装置組立てが実現できるとともに、高精度の検査画像合成が実現でき、画像補正装置を用いての高精度な検査が実現できる。また、組立て調整時のみならず、所定の時間毎にＸ軸、Ｙ軸、Ｓ軸の校正を行うことで、高精度な画像補正装置と画像補正方法を提供できる。

本実施例２は、図１８において、検査対象として、Ｙ軸方向に所定間隔で配置したパターン１８を持つ検査対象を用いるものである。実施例１において図１２を用いて説明した検査画像の合成と同様に、走査幅Ｗで検査対象上を走査しながら、Ｙ軸方向に走査長Ｌだけ搬送し、短冊状画像の撮影を行い、撮影終了後、走査幅Ｗ分だけＸ軸方向に搬送し、同様に測定を行って合成画像を得る。このとき、図１９（ａ）に示すようにＹ軸方向に搬送量誤差が発生するとき、短冊状画像１３の貼り合わせにより合成される検査画像は、図１９（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に貼り合わせ位置誤差量１９を発生する。

本実施例における補正方法は、貼り合わせ位置誤差量１９を検査画像から算出し、Ｙ軸
方向の搬送手段であるモータ５への指令信号を、貼りあわせ位置誤差量１９の分だけ調整
し、Ｙ軸方向の搬送位置誤差を補正し、高精度の検査を実現するものである。

また、貼り合わせ位置誤差量１９をＹ軸方向の搬送手段を調整して補正する機械的な方
法の他に、貼り合わせ位置誤差量１９を検査画像から算出し、短冊状画像データのメモリ
へのＹ軸方向格納位置を貼り合わせ位置誤差量１９に応じて補正することで、Ｙ軸方向の
搬送位置誤差を補正し、高精度の検査を実現するものである。そして、画像補正装置の組
立て調整時のみならず、定期的に校正することで、高精度の検査を保証することができる
ものである。また、検査対象として、検査対象のパターンを画像補正装置自体に持たせる
ことでも実現可能である。更に組立て調整時のみならず、所定の時間毎に校正を行うこと
で、高精度な画像補正装置と画像補正方法を提供できる。

本実施例３は、図２０において、検査対象として、Ｘ軸方向に所定間隔Ｔで配置したパターン２０を持つ検査対象を用いるものである。実施例１において図５を用いて説明した検査画像の合成と同様に、走査幅Ｗで検査対象上を走査しながら、Ｙ軸方向に走査長Ｌだけ搬送し、短冊状画像の撮影を行い、撮影終了後、走査幅Ｗ分だけＸ軸方向に搬送し、同様に測定を行って合成画像を得る。

このとき、図２１（ａ）、（ｂ）に示すようにＸ軸方向の搬送量誤差やラインセンサ１の走査幅Ｗの誤差量が発生すると、短冊状画像１３の貼り合わせにより合成される検査画像は、図２１（ｃ）に示すように、Ｘ軸方向に貼り合わせ位置誤差を発生する。これにより、検査画像におけるＸ軸方向の所定間隔パターンの間隔が伸縮する。この伸縮により、実際の検査対象の形状が貼り合わせ位置において大きくずれ、検査の精度を劣化させる。

本実施例における補正方法は、所定間隔Ｔからの画像伸縮量ΔＴを検査画像から算出し、画像伸縮量ΔＴに応じてＸ軸方向の搬送手段であるモータ２への指令信号を補正することで、画像伸縮を補正し高精度の検査を実現するものである。

また、画像伸縮量をΔＴをＸ軸方向の搬送手段を調整して補正する機械的な方法の他に、画像伸縮量をΔＴを検査画像から算出し、短冊状画像データのメモリへのＸ軸方向格納位置を画像伸縮量をΔＴに応じて補正することで、Ｘ軸方向の搬送位置誤差を補正し、高精度の検査を実現するものである。そして、画像補正装置の組立て調整時のみならず、定期的に校正することで、高精度の検査を保証することができるものである。また、検査対象として、検査対象のパターンを画像補正装置自体に持たせることでも実現可能である。更に、組立て調整時のみならず、定期的に所定の時間毎に校正を行うことで、高精度な画像補正装置と画像補正方法を提供できる。

本実施例４は、図２２に示すように、検査対象９について、Ｘ軸、Ｙ軸方向に所定間隔で配置したパターンを持つ検査対象を用いるものである。実施例１において図１２を用いて説明した検査画像の合成と同様に、走査幅Ｗで検査対象上を走査しながら、Ｙ軸方向に走査長Ｌだけ搬送し、短冊状画像の撮影を行い、撮影終了後、走査幅Ｗ分だけＸ軸方向に搬送し、同様に測定を行って合成画像を得る。

このとき、図１９（ａ）、図２１（ａ）、（ｂ）に示したようにＸ軸、及びＹ軸方向の搬送量誤差や走査幅Ｗの誤差が発生すると、検査精度を劣化させる要因となる。

本実施例４においては、図２２に記載された検査対象を用いてＸ軸とＹ軸の搬送量誤差を測定し、Ｘ軸とＹ軸の搬送手段の搬送量誤差を機械的に補正することで、高精度の検査を実現するものである。
また、Ｘ軸、Ｙ軸の搬送誤差を測定し、搬送手段を調整して補正する機械的な方法の他に、短冊状画像データのメモリへのＸ軸方向格納位置、Ｙ軸方向格納位置を補正することで、Ｘ軸、Ｙ軸方向の搬送位置誤差を補正し、高精度の検査を実現するものである。そして、画像補正装置の組立て調整時のみならず、定期的に校正することで、高精度の検査を保証することができるものである。また、検査対象として、検査対象のパターンを画像補正装置自体に持たせることでも実現可能である。更に、組立て調整時のみならず、定期的に所定の時間毎に校正を行うことで、高精度な画像補正装置と画像補正方法を提供できる。

本発明にかかる画像補正は、組立て精度による画像の誤差、搬送手段の往復動作による
画像貼り合わせ位置誤差、ラインセンサの走査幅誤差等が発生した場合でも、搬送手段へ
の機械的な補正や、メモリへの格納位置を補正する電気的な補正を利用することで高精度
な組立て調整が実現でき、外観基板検査等の調整に有用である。

本発明の実施例１における画像補正装置の全体の構成を示す図 本発明の実施例１における画像補正装置のラインセンサの構成を示す図 本発明の実施例１における画像補正装置で検査対象の画像データが画像メモリ上に直列状に記憶されることを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置で検査対象の画像データが検査メモリ上で合成された状態を説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＹ軸方向貼り合せ誤差補正前の検査メモリ上で合成される画像データを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＹ軸方向貼り合せ誤差補正後の検査メモリ上で合成される画像データを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＸ軸方向貼り合せ誤差補正前の検査メモリ上で合成される画像データを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＸ軸方向貼り合せ誤差補正後の検査メモリ上で合成される画像データを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置の概略図 本発明の実施例１における画像補正装置の検査対象の概略図 本発明の実施例１における画像補正装置の別の検査対象例を示す図 本発明の実施例１における画像補正装置の画像貼り合せにより検査画像の形成を説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＸ軸とＹ軸との直交度の誤差が発生している場合の合成画像データを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＸ軸とＳ軸に角度誤差が発生した場合の合成画像データを説明するための図 本発明の実施例１における画像補正装置でＸ軸傾き角度測定方法を説明するための概略図 本発明の実施例１における画像補正装置でＹ軸傾き角度測定方法を説明するための概略図 本発明の実施例１における画像補正装置でＳ軸傾き角度測定方法を説明するための概略図 本発明の実施例２における画像補正装置の概略図 本発明の実施例２における画像補正装置でＹ軸搬送誤差量を説明するための図 本発明の実施例３における画像補正装置の概略図 本発明の実施例３における画像補正装置でＸ軸搬送誤差量を説明するための図 本発明の実施例４における画像補正装置の概略図 従来の画像補正装置の概略図

符号の説明

１ ラインセンサ
２、５ モータ
３、６ ボールネジ
４a、４ｂ、７ａ、７ｂ ガイドレール
８ 搬送レール
９ 検査対象
１０ 格子状の検査パターン
１１ Ｘ軸方向パターン
１２ Ｙ軸方向パターン
１３ 短冊状画像
１４ 走査線
１８ Ｙ軸方向に所定間隔で配置した検査パターン
１９ Ｙ軸方向貼り合わせ位置ズレ
２０ Ｘ軸方向に所定間隔で配置した検査パターン
１００ ＣＰＵ
１０１ 駆動系制御部
１０２ Ｘ軸補正部
１０３ Ｙ軸補正部
１０４ Ｘ軸駆動部
１０５ Ｙ軸テーブル駆動部
１０６ センサＩ／Ｆボード
１０７ 画像メモリ
１０８ 補正部
１０９ 検査メモリ

Claims (20)

1. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
   前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られた画像データより前記Ｘ軸駆動手段とＹ軸駆動手段の直交度のずれを検出することを特徴とする画像補正装置。
2. 前記短冊状画像データは、前記ラインセンサの所定の走査幅で、検査対象を走査し、１ラインの走査が終了するとＹ軸テーブル移動手段にて前記ラインセンサを所定の分解能に相当する距離だけＹ軸方向に移動して、次の１ラインの走査を行い、この動作をＹ軸方向に所定の距離に相当するライン数だけ繰り返して得られることを特徴とする請求項１に記載の画像補正装置。
3. 前記直交度のずれを検出するための検査対象は、直交する格子状パターンであることを特徴とする請求項２に記載の画像補正装置。
4. 前記検査対象である直交する格子状パターンを内蔵することを特徴とする請求項３に記載の画像補正装置。
5. 前記短冊状画像データの短冊状ごとの検査画像中に得られる格子状のＸ方向パターンのＹ座標値の代表値を求め、それらの代表値の（Ｘ、Ｙ）座標値より得られる１次関数の傾きを算出することによりＸ軸方向のずれを検出することを特徴とする請求項３に記載の画像補正装置。
6. 前記短冊状画像データの短冊状ごとの検査画像中に得られる格子状のＹ方向パターンのＹ軸方向に所定の距離に相当する所定のライン数毎にＸ座標値の代表値を求め、それらの代表値の（Ｘ、Ｙ）座標値より得られる１次関数の傾きを算出することによりＹ軸方向の
   ずれを検出することを特徴とする請求項３に記載の画像補正装置。
7. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
   前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の操作幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られた画像データより前記Ｓ軸とＸ軸の平行度のずれを検出することを特徴とする画像補正装置。
8. 前記Ｓ軸とＸ軸の平行度のずれを検出するための検査対象は、直交する格子状パターンであることを特徴とする請求項７に記載の画像補正装置。
9. 前記短冊状画像データの短冊状毎の検査画像中に得られる格子状のＸ方向パターンのＹ軸座標値を複数の位置で抽出し、当該抽出された位置での（Ｘ、Ｙ）座標値より得られる１次関数の傾きを算出することによりＳ軸方向とＸ軸方向の平行度のずれを検出することを特徴とする請求項８に記載の画像補正装置。
10. 前記短冊状画像データ毎に得られた傾きの平均値よりＳ軸方向とＸ軸方向の平行度のずれを検出することを特徴とする請求項９に記載の画像補正装置。
11. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記Ｙ軸方向搬送手段の搬送量を補正することを特徴とする画像補正装置。
12. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記メモリへのＹ軸方向の画像格納位置を補正することを特徴とする画像補正装置。
13. 前記検査対象は、Ｙ軸方向に所定の間隔のパターンを有することを特徴とする請求項１１或いは請求項１２に記載の画像補正装置。
14. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られる前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記Ｘ軸方向搬送手段の搬送量を補正することを特徴とする画像補正装置。
15. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られる前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、当該誤差量に応じて前記メモリへのＸ軸方向の画像格納位置を補正することを特徴とする画像補正装置。
16. 前記検査対象は、Ｘ軸方向に所定の間隔のパターンを有することを特徴とする請求項１４或いは請求項１５に記載の画像補正装置。
17. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出するとともに、前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、それぞれのＹ軸方向とＸ軸方向の検出された誤差量に応じて前記Ｘ軸方向とＹ軸方向搬送手段の搬送量を補正することを特徴とする画像補正装置。
18. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの前記Ｓ軸方向の走査幅より大きい検査対象を撮像して得られる短冊状の画像データを前記メモリ上にて合成して得られるＹ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出するとともに、前記ラインセンサの走査幅のＸ軸方向の画像貼り合わせ位置の誤差量を検出し、それぞれのＹ軸方向とＸ軸方向の検出された誤差量に応じて前記メモリへの前記Ｘ軸方向とＹ軸方向の画像格納位置を補正することを特徴とする画像補正装置。
19. 前記検査対象は、Ｙ軸方向に所定の間隔のパターンと、Ｘ軸方向に所定の間隔のパターンを有することを特徴とする請求項１７或いは請求項１８に記載の画像補正装置。
20. 検査対象を撮影して画像信号を出力するラインセンサと、前記ラインセンサのライン方向の走査方向をＳ軸方向とし、前記ラインセンサを前記Ｓ軸方向に平行に搬送させるＸ軸駆動手段と前記Ｘ軸方向と直角方向であるＹ軸方向に検査対象を載置したテーブルを移動させるＹ軸テーブル駆動手段と、前記ラインセンサにより検査対象を撮像した画像データを記録し合成するメモリとを有し、
    前記ラインセンサの所定の走査幅で、検査対象を走査し、１ラインの走査が終了するとＹ軸テーブル移動手段にて前記ラインセンサが所定の分解能に相当する距離だけＹ軸方向
    に移動して次の１ラインの走査を行い、この動作をＹ軸方向に所定の距離に相当するライン数だけ繰り返して得られる短冊状画像データを前記メモリ上にて合成して得られる検査画像データより前記Ｘ軸駆動手段とＹ軸テーブル駆動手段の直交度の取り付けずれを検出することを特徴とする画像補正方法。

Images