KR100763431B1 - 노광 장치 및 노광 방법 - Google Patents

Abstract

기록 스테이지의 이동에 의해 발생하는 사행(蛇行)을 검출하고, 기록 매체에 묘화되는 화상의 왜곡을 저감시키기 위해서, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시켜, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 미리 기억부에 기억해 두고, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트(shift)하고, 상기 시프트한 상기 화상의 화상 데이터에 기초하고, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 방법이 제공된다.

노광 장치, 기록 스테이지, 기록 헤드, 기억부

Description

노광 장치 및 노광 방법{EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD}

도 1은 제1 실시 형태에 관한 노광 장치의 개략을 도시하는 사시도이다.

도 2는 제1 실시 형태에 관한 노광 장치의 개략을 도시하는 측면도이다.

도 3 에서 (A)는 노광 헤드 유닛에 의한 노광 영역을 도시하는 평면도이고, (B)은 헤드 어셈블리의 배열 패턴을 도시하는 평면도이다.

도 4는 단일 헤드 어셈블리의 도트 패턴의 배열 상태를 도시하는 평면도이다.

도 5는 제1 실시 형태에 관한 ＣＣＤ카메라에 의해 촬상된 마킹(marking) 화상을 도시하는 도면이다.

도 6은 마킹의 패턴을 도시하는 도면이다.

도 7은 제1 실시 형태에 관한 노광 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남의 검출 및 노광을 행하는 제어를 위한 기능 블록도이다.

도 8은 제1 실시 형태에 관한 사행에 의한 변위량을 도시하는 도면이다.

도 9는 제1 실시 형태에 관한 입력 화상 데이터의 분할 처리를 나타내는 도면이다.

도 10은 제1 실시 형태에 관한 화상 시프트 처리의 흐름을 도시하는 도면이다.

도 11은 제1 실시 형태에 관한 촬상 처리, 변위량 산출 작성 및 노광 처리 제어의 흐름을 도시하는 플로우 챠트이다.

도 12는 제1 실시 형태에 관한 도8의 변위량에 기초해 화상을 화상 시프트 처리한 화상과 노광 스테이지의 사행에 의해 어긋난 위치와의 변위량을 가리키는 도면이다.

도 13은 제1 실시 형태에 관한 헤드 어셈블리(28A)의 선두의 행과 후방의 행에서의 화상 시프트 처리후의 노광용 화상을 도시하는 도면이다.

도 14는 레이저 측장기에 의해 노광 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남을 검출하는 구성의 한 예를 도시하는 도면이다.

도 15는 제2 실시 형태에 관한 노광 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남의 검출 및 노광을 행하는 제어를 위한 기능 블록도이다.

도 16은 제2 실시 형태에 관한 촬상 처리, 위치 데이터 취득용 패턴 화상의 노광 및 변위량의 취득에 관한 플로우 챠트이다.

도 17은 제2 실시 형태에 관한 노광된 위치 데이터 취득용 패턴을 도시하는 도면이다.

도 18은 제3 실시 형태에 관한 ＣＣＤ카메라에 의해 촬상된 마킹 화상을 도시하는 도면이다.

도 19는 제3 실시 형태에 관한 노광 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남의 검출 및 노광을 행하는 제어를 위한 기능 블록도이다.

도 20은 제3 실시 형태에 관한 노광 스테이지의 이동에 따르는 이동 방향 변 위량을 도시하는 도면이다.

도 21은 제3 실시 형태에 관한 각 마킹 간격마다의 이동 방향 변위량을 도시하는 도면이다.

도 22는 제3 실시 형태에 관한 화상 데이터가 형성하는 화상에 대하여 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행한 결과를 도시하는 개념도이다.

도 23은 제3 실시 형태에 관한 촬상 처리, 변위량 산출 작성 및 노광 처리 제어의 흐름을 도시하는 플로우 챠트이다.

도 24는 레이저 측장기에 의해 노광 스테이지의 이동 방향 및 교차 방향의 위치 어긋남을 검출하는 구성의 일례를 도시하는 도면이다.

본 발명은, 노광 처리에 있어서 기록 스테이지의 이동에 의해 발생하는 기록 스테이지의 사행에 의한 화상의 왜곡을 보정하는 노광 장치에 관한 것이다.

종래, 기록 매체, 예를 들면, 프린트배선판 (이하, 「ＰＷＢ」으로 한다)이나 플랫·판넬·디스플레이 (이하, 「ＦＰＤ」라고 한다)의 기판에 소정의 패턴을 기록하는 장치로서, 마스크를 이용한 면노광 장치가 널리 사용되어 왔다.

그렇지만, ＰＷＢ이나 ＦＰＤ에 기록되는 패턴(배선 패턴)은, 부품설치의 고밀도화에 따라 고세밀화가 진행되고, 마스크의 신축에 따르는 기록 위치 어긋남의 문제가 현저화되고 있다. 예를 들면, 다층 프린트배선판의 경우, 기판에 설치되어 진 스루홀(through hole) 등의 구멍과, 각 층의 패턴과의 위치 맞춤이 고정밀도로 행해질 수 없기 때문에 , 패턴을 고세밀화할 수 없는 것이 문제로 되어 있다.

이러한 문제를 해소하기 위한 기술로서, 마스크를 사용하지 않고 기록 헤드로부터 광빔을 조사해서 기록 매체에 직접 패턴을 기록하는 레이저 주사형의 노광 장치가 알려져 있다. 이 레이저 주사형의 노광 장치로는, 기록 매체를 탑재한 기록 스테이지를 이동시키면서, 직선상으로 배열한 복수의 기록 헤드로부터 광빔을 조사해서 노광을 행하는 것에 의해, 기록 매체위에 패턴을 묘화할 수 있다.

그러나, 상기 종래 레이저 주사형의 노광 장치에서는, 기록 매체에의 패턴 묘화 때문에 기록 스테이지를 이동시키면, 이동에 의해 기록 스테이지에 사행이 발생해서 기록 스테이지에 위치 어긋남이 생기고, 기록 매체에 묘화되는 패턴에 왜곡이 생긴다고 하는 문제가 있다. 상기 사행이란, 상기 기록 스테이지 이동에 의해 발생하는 기록 스테이지면에 대하여 이동 방향과 교차하는 방향에의 차이(어긋남)를 말하고, 이동에 의해 기록 스테이지면이 교차하는 방향에 벗어나기 때문에, 기록 헤드로부터 기록 매체위로 광빔이 조사되는 위치의 차이가 된다. 이 사행은, 노광 기록 스테이지의 이동에 따른 재현성이 높기 때문에 기록 스테이지의 위치 어긋남에 관한 변위량 데이터를 사전에 작성하는 것이 가능하다.

이에 따라, 일본 특허공개 2000-321025공보에는, 이동에 의한 기록 스테이지의 거동을 사전에 기록 스테이지의 양측에 설치한 2대의 카메라로 기록해서 변위량 데이터를 작성하고, 기록 매체에의 패턴 묘화시에는, 사전에 작성한 변위량 데이터에 기초해서 기록 스테이지를 이동시키는 거동을 수정해서 광빔을 조사하고, 기록 매체위에 패턴을 묘화하는 레이저 주사형의 노광 장치가 개시되어 있다.

그렇지만, 상기 기록 스테이지가 이동하면, 기록 스테이지에는 요잉(yawing) 동작(기록 스테이지의 이동 방향에의 동작)에 기인하여, 각 위치에 미묘하게 다른 사행 동작이 발생한다. 이 때문에, 기록 헤드에서는 사행을 보정하는 보정량이 각각의 위치마다 조금씩 달라지고 있다. 따라서, 보다 정밀하게 패턴 묘화하기 위해서는, 보다 많은 위치에서 거동을 기록하고, 각 기록 헤드의 위치에서의 위치 어긋남을 구해서 보정을 행할 필요가 있지만, 거동을 기록하는 카메라의 대수를 많게 하면 제조 가격이 증가한다.

본 발명은 상기 사실을 고려하여 이루어진 것으로서, 기록 헤드의 위치마다에 기록 스테이지의 이동에 의해 발생하는 사행을 검출하고, 기록 매체에 묘화되는 화상의 왜곡을 저감시킬 수 있는 노광 장치 및 노광 방법을 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 태양 1은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와, 상기 검출부에 의해 검출된 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와, 상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 1에 따르면, 기록 매체가 기록 스테이지 상에 탑재되어, 기록 스테이지가 기록 헤드와 상대적으로 이동할 때에, 상기 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔이 조사되어, 기록 매체에 화상이 노광된다.

이 때, 이동에 따라 기록 스테이지에는 사행에 의한 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남이 발생한다. 이 때문에, 위치 어긋남 검출부는 사행에 의한 위치 어긋남을 검출하고, 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 기억시킨다. 시프트부는, 기억부에 기억된 위치 어긋남의 변위량 데이터에 기초하여, 화상 데이터가 형성하는 화상의 각 화소를 변위량 데이터에 기초해 시프트시켜서, 사행에 의해 생긴 기록 스테이지의 위치 어긋남을 보정한다. 노광 제어부에서는, 시프트된 화상의 화상 데이터에 기초해서 기록 매체에의 노광을 제어해서 사행에 의해 생긴 기록 스테이지의 위치 어긋남을 수정하고, 묘화되는 화상의 왜곡을 보정한다.

이렇게, 묘화되는 화상의 왜곡을 보정할 수 있기 때문에, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 하는 것이 가능하다. 또한, 기억부에 기억된 변위량 데이터에 기초해 시프트가 행하여지기 때문에, 노광 처리에서의 처리의 부하가 경감된다.

본 발명의 태양 2은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배 열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 사행에 의한 상기 기록 스테이지의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와, 상기 검출부에 의해 검출된 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하는 분할부와, 상기 분할부에 의해 분할된 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와, 상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하는 트리밍부와, 상기 트리밍부에 의해 트리밍된 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 2에 따르면, 기록 매체가 기록 스테이지 상에 탑재되어, 기록 헤드와 기록 매체를, 기록 헤드를 직선상으로 배열한 방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시킬 때에, 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초해 광빔이 조사되어서 상기 기록 매체에 화상이 노광된다.

이 때, 이동에 따라 기록 스테이지에는 사행에 의한 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남이 발생하기 때문에, 위치 어긋남 검출부는 사행에 의한 위치 어긋남을 검출하고, 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 기억시킨다. 또한, 화상분할부는, 화상 데이터를 직선상으로 배열된 각 기록 헤드로부터 기록 매체에 노광하기 위해서, 화상 데이터가 형성하는 화상을 각 기록 헤드가 노광하는 분할 화상으로 분할한다. 시프트부는, 각 분할 화상을 기억부에 기억된 변위량 데이터에 기초해 시프트해서 사행에 의해 생긴 위치 어긋남을 보정한다. 트리밍부는 각 분할 화상을 각 기록 헤드로부터 노광하기 위해서, 각 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍을 행하고, 노광 제어부는 트리밍 된 각 분할 화상의 화상 데이터에 기초해서 기록 매체에의 노광을 제어한다.

이와 같이, 복수의 기록 헤드에 의해 화상을 기록하는 경우라도, 화상 데이터를 기록 헤드마다의 화상으로 분할하고, 분할 화상마다에 시프트를 행하는 것에 의해 묘화되는 화상의 왜곡을 보정할 수 있다. 따라서, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

본 발명의 태양 3은, 본 발명의 태양 2에 있어서, 상기 분할부가, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지(merge)해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 3에 따르면, 분할부는 화상 데이터가 형성하는 화상을 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어 도 변위량의 폭만큼 머지하고 있다. 이것에 의해, 시프트부가 변위량만큼 분할 화상을 시프트하여도, 기록 헤드는 화상의 노광을 행할 수 있다.

본 발명의 태양 4은, 본 발명의 태양 2에 있어서, 상기 분할부가, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 4에 따르면, 분할부는 화상 데이터가 형성하는 화상을 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할하고 있다. 이것에 의해, 별도의 처리로서 머지(merge)를 행할 필요가 없어진다.

본 발명의 태양 5은, 본 발명의 태양 1 내지 태양 4 중 어느 한 태양에 기재된 발명에 있어서, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되고, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 촬상하는 1개 이상의 촬상부와, 상기 촬상부를 상기 이동 방향과 교차하는 방향에 이동시켜서 상기 마킹의 열을 각각 촬상가능하도록 하는 이동부와, 상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하는 동일 상대위치 검출부와, 상기 동일 상대위치 검출부에 의해 검출된 상기 각 마킹의 상기 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 교차 방향으 로의 위치 어긋남을 검출하는 제1의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 5에 기재된 발명에 따르면, 기록 스테이지에는, 기록 헤드와 기록 스테이지가 이동하는 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되어 있다. 촬상부는 소정의 타이밍마다 마킹의 열을 촬상한다. 또한, 촬상부는 이동부에 의해 기록 헤드와 기록 스테이지가 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 이동할 수 있기 때문에, 마킹의 각 열을 촬상할 수 있다. 또한, 동일 상대위치 검출부는 촬상부에 의해 촬상된 마킹 화상으로부터 각 마킹의 동일 상대위치(同一相對位置)를 검출한다. 한편, 동일 상대위치란, 예를 들면, 중심 등 각 마킹에서 위치가 상대적으로 일치하는 부분을 의미한다. 여기에서, 마킹은 기록 헤드와 기록 스테이지가 이동하는 방향에 따라 되어 있기 때문에, 제1의 검출부에서는 각 마킹의 동일 상대위치의 마킹 화상내에서의 위치로부터, 기록 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다.

이렇게, 기록 스테이지의 마킹을 소정의 타이밍마다 촬상함으로써 기록 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 또한, 1개의 촬상부에서도 복수의 마킹의 열을 촬상해서 위치 어긋남을 검출할 수 있기 때문에 노광 장치의 비용상승을 억제할 수 있다.

본 발명의 태양 6에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 1 내지 태양 4의 어느 한 태양에 기재된 발명에 있어서, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향과 교차하는 방향에 배치 되고, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하는 레이저 측장기와, 상기 레이저 측장기에 의해 측장된 상기 기록 스테이지와의 상기 거리의 변화에 기초해 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제2의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 6에 기재된 발명에 따르면, 레이저 측장기는, 스테이지면에 대하여 기록 헤드와 기록 스테이지가 상대적으로 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 배치되고 있어, 기록 스테이지의 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측정할 수 있다. 여기에서, 기록 스테이지에 사행에 의한 위치 어긋남이 없을 경우, 기록 스테이지는 이동 방향에 곧장 이동하기 때문에, 이동 방향과 교차하는 방향에 배치되어 있는 레이저 측장기에 의해 측장되는 측장부와의 거리는 일정하게 된다. 따라서, 제2의 검출부에서는, 소정의 타이밍마다 레이저 측장기에 의해 측정된 기록 스테이지와의 거리의 변화에서 기록 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다.

이와 같이, 레이저 측장기에 의해 소정의 타이밍으로 측장하는 것에 의해, 기록 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다.

본 발명의 태양 7에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 1 내지 태양 4의 어느 한 태양에 기재된 발명에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하는 위치 패턴 노광부와, 상기 위치 패턴 노광부에 의해 노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 변위량 데이터를 상기 기억부에 등록하는 등록부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 7에 기재된 발명에 따르면, 위치 패턴 노광부는, 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하기 위해서, 노광된 패턴의 간격 등을 계측하는 것에 의해 위치 어긋남을 구할 수 있다. 등록부는, 위치 어긋남으로부터 구해지는 변위량 데이터를 기억부에 등록할 수 있으므로, 기억부에 기억된 변위량 데이터에 기초해 사행에 의한 위치 어긋남이 보정되어, 기록 매체에 묘화되는 화상의 왜곡을 저감시킬 수 있다.

본 발명의 태양 8에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 5기재의 발명에 있어서, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 8에 기재된 발명에 따르면, 마킹된 차트를 탑재하는 것에 의해 기록 스테이지 상에 마킹을 행할 수 있기 때문에, 마킹의 위치를 적당히 변경할 수 있다. 또한, 마킹이 쓰지 않을 경우는 뗄 수도 있다.

본 발명의 태양 9에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 1 내지 태양 8의 어느 한 태양에 기재된 발명에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 9에 기재된 발명에 따르면, 위치 어긋남 검출부는 복수의 위치에서의 위치 어긋남량을 검출할 수 있기 때문에, 모든 기록 헤드의 위치에서 위치 어긋남을 검출하는 것에 의해, 각 기록 헤드의 보정을 최적으로 시킬 수 있다.

본 발명의 태양 10에 기재된 발명은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와, 상기 검출부에 의해 검출된 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하는 변경부와, 상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와, 상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 10에 기재된 발명에 따르면, 기록 매체가 기록 스테이지 상에 탑재되어, 기록 스테이지가 기록 헤드와 상대적으로 이동할 때에, 상기 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔이 조사되어, 기록 매체에 화상이 노광된다.

이 때, 기록 스테이지에는 이동에 따라 사행과 함께 피칭 진동이 발생할 경우가 있어, 이 피칭 진동에 의해 기록 스테이지의 이동 방향에도 위치 어긋남이 발생해서 기록 매체에 묘화되는 패턴에 왜곡이 함께 생길 경우가 있다.

이 피칭 진동이란, 기록 스테이지의 수직방향에의 원호상(円弧狀)의 진자진동을 말하며, 스테이지면을 경사시켜 버리기 때문에, 기록 스테이지의 윗쪽에서 조사되는 광빔의 광로길이가 변화되고, 이 변화 분이 스테이지면의 주사 피치의 차이가 된다. 이 피칭 진동은, 노광 장치의 제작 정밀도에 의존해서 발생하고 있어, 기록 스테이지의 이동에 따른 재현성이 높기 때문에 사행과 같이 기록 스테이지의 위치 어긋남에 관한 데이터를 사전에 작성하는 것이 가능하다.

이 때문에, 위치 어긋남 검출부는 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향으로의 위치 어긋남 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하고, 이동 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 기억시킨다. 변경부는, 기억부에 기억된 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여, 화상 데이터가 형성하는 화상의 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행해서 이동 방향의 위치 어긋남을 보정한다. 그리고, 시프트부는, 기억부에 기억된 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하여, 변경된 화상의 각 화소를 교차 방향으로 시프트시켜서, 기록 스테이지의 교차 방향의 위치 어긋남을 보정한다. 노광 제어부에서는, 기록 스테이지의 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남이 보정된 화상의 화상 데이터에 기초해서 기록 매체에의 노광을 제어한다.

이렇게, 기록 스테이지에는 이동에 의해 생기는 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남에 따라서 묘화되는 화상을 보정할 수 있기 때문에, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

본 발명의 태양 11에 기재된 발명은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조 사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와, 상기 검출부에 의해 검출된 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향으로의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하는 변경부와, 상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하는 분할부와, 상기 분할부에 의해 분할된 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와, 상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하는 트리밍부와, 상기 트리밍부에 의해 트리밍된 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 11에 기재된 발명에 따르면, 기록 매체가 기록 스테이지 상에 탑재되어, 기록 헤드와 기록 매체를 기록 헤드를 직선상으로 배열한 방향과 교차하는 방향에 상대적으로 이동시킬 때에, 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초해 광빔이 조사되어서 상기 기록 매체에 화상이 노광된다.

이 때, 기록 스테이지에는 이동에 따라 사행과 함께 피칭 진동이 발생할 경우가 있어, 이 피칭 진동에 의해 기록 스테이지의 이동 방향에도 위치 어긋남이 발생할 경우가 있다. 이 때문에, 위치 어긋남 검출부는 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하고, 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 기억시킨다. 변경부는, 기억부에 기억된 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여, 화상 데이터가 형성하는 화상의 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행해서 이동 방향의 위치 어긋남을 보정한다. 그리고, 화상분할부는, 화상 데이터를 직선상으로 배열된 각 기록 헤드로부터 기록 매체에 노광하기 위해서, 변경을 행한 화상을 각 기록 헤드가 노광하는 분할 화상으로 분할한다. 시프트부는, 각 분할 화상을 기억부에 기억된 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트해서 교차 방향으로의 위치 어긋남을 보정한다. 트리밍부는 각 분할 화상을 각 기록 헤드로부터 노광하기 위해서, 각 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하고, 노광 제어부는 트리밍된 각 분할 화상의 화상 데이터에 기초해서 기록 매체에의 노광을 제어한다.

이와 같이, 복수의 기록 헤드에 의해 화상을 기록할 경우에도, 화상 데이터가 형성하는 화상을 이동 방향으로의 위치 어긋남에 따라서 보정하고, 해당 화상을 기록 헤드마다의 화상으로 분할하고, 분할 화상마다에 시프트를 행하는 것에 의해 묘화되는 화상의 왜곡을 보정할 수 있다. 따라서, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

본 발명의 태양 12에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 11기재의 발명에 있어서, 상기 분할부가, 상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 12에 기재된 발명에 따르면, 분할부는 화상 데이터가 형성하는 화상을 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지하고 있다. 이것에 의해, 시프트부가 교차 방향으로의 변위량만큼 분할 화상을 시프트해도, 기록 헤드는 화상의 노광을 행할 수 있다.

본 발명의 태양 13에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 11기재의 발명에 있어서, 상기 분할부가, 상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 13에 기재된 발명에 따르면, 분할부는 화상 데이터가 형성하는 화상을 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할하고 있다. 이것에 의해, 별도의 처리로서 머지(merge)를 행할 필요가 없어진다.

본 발명의 태양 14에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 10 내지 태양 13의 어 느 한 태양의 발명에 있어서, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되고, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 촬상하는 1개 이상의 촬상부와, 상기 촬상부를 상기 교차 방향으로 이동시켜서 상기 마킹의 열을 각각 촬상 가능하도록 하는 이동부와, 상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하는 동일 상대위치 검출부와, 상기 동일 상대위치 검출부에 의해 검출된 상기 각 마킹의 상기 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제1의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 14에 기재된 발명에 따르면, 기록 스테이지에는, 기록 헤드와 기록 스테이지가 이동하는 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되어 있다. 촬상부는 소정의 타이밍마다 마킹의 열을 촬상한다. 또한, 촬상부는 이동부에 의해 기록 헤드와 기록 스테이지가 이동하는 방향과 교차하는 방향에 이동할 수 있기 때문에, 마킹의 각 열을 촬상할 수 있다. 또한, 동일 상대위치 검출부는 촬상부에 의해 촬상된 마킹 화상으로부터 각 마킹의 동일 상대위치를 검출한다. 여기에서, 마킹은 기록 헤드와 기록 스테이지가 이동하는 방향에 따라 되어지고 있어, 소정의 타이밍마다 촬상되고 있기 때문에, 제1의 검출부에서는 각 마킹의 동일 상대위치의 마킹 화상내에서의 위치부터, 기록 스테이지의 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출할 수 있다.

이와 같이, 기록 스테이지의 마킹을 소정의 타이밍마다 촬상함으로써 기록 스테이지의 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 또한, 1개의 촬상부에서도 복수의 마킹의 열을 촬상해서 위치 어긋남을 검출할 수 있기 때문에 노광 장치의 비용상승을 억제할 수 있다.

본 발명의 태양 15에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 10 내지 태양 13의 어느 한 태양의 기재의 발명에 있어서, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 교차 방향에 배치되고, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하는 제1의 레이저 측장기와, 상기 제1의 레이저 측장기에 의해 측장된 상기 기록 스테이지와의 상기 거리의 변화에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제2의 검출부와, 상기 기록 스테이지에 대하여 상기 이동 방향에 배치되고, 상기 기록 스테이지와의 거리를 상기 소정의 타이밍마다 측장하는 제2의 레이저 측장기와, 상기 제2의 레이저 측장기를 상기 교차 방향으로 상기 거리가 측장가능한 범위내에서 이동시키는 제2의 이동부와, 상기 제2의 레이저 측장기에 의해 측장된 상기 기록 스테이지와의 상기 거리가 상기 소정의 타이밍마다 변화되는 간격에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출하는 제3의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 15에 기재된 발명에 따르면, 제1의 레이저 측장기는, 스테이지면에 대하여 기록 헤드와 기록 스테이지가 상대적으로 이동하는 방향과 교차하는 교차 방향으로 배치되고 있어, 기록 스테이지의 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측정할 수 있다. 여기에서, 기록 스테이지에 사행에 의한 위치 어긋남이 없을 경우, 기록 스테이지는 이동 방향으로 곧장 이동하기 때문에, 제1의 레이저 측장기에 의해 측장되는 측장부와의 거리는 일정하게 된다. 따라서, 제2의 검출부에서는, 소정의 타이밍마다 제1의 레이저 측장기에 의해 측정된 기록 스테이지와의 거리의 변화로부터 기록 스테이지의 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다.

또한, 제2의 레이저 측장기는, 기록 헤드와 기록 스테이지가 상대적으로 이동하는 이동 방향에 배치되고 있어, 기록 스테이지가 이동하는 거리를 상술한 소정의 타이밍마다 측정할 수 있다. 여기에서, 기록 스테이지에 피칭 진동에 의한 위치 어긋남이 없을 경우, 제2의 레이저 측장기에 의해 소정의 타이밍마다 측장되는 기록 스테이지와의 거리는 일정한 간격으로 변화된다. 따라서, 제3의 검출부에서는, 소정의 타이밍마다 제2의 레이저 측장기에 의해 측정된 기록 스테이지와의 거리가 변화되는 간격으로부터 기록 스테이지의 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 또한, 제2의 이동부는 제2의 레이저 측장기를 기록 스테이지에 대하여 교차 방향ㅇ로 이동시킬 수 있기 때문에, 복수의 위치에서 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 이와 같이, 제1의 레이저 측장기 및 제2의 레이저 측장기를 이용해서 소정의 타이밍마다 측장을 행하는 것에 의해 기록 스테이지에 마킹을 행할 필요도 없어진다.

본 발명의 태양 16에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 10 내지 태양 13의 어느 한 태양의 기재의 발명에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하는 위치 패턴 노광부와, 상기 위치 패 턴 노광부에 의해 노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 상기 기억부에 등록하는 등록부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 16에 기재된 발명에 따르면, 위치 패턴 노광부는, 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하기 위해서, 노광된 패턴의 간격 등을 계측하는 것에서 의해 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남을 구할 수 있다. 등록부는, 구해진 이동 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 등록할 수 있고, 이것에 의해, 기억부에 기억된 이동 방향으로의 변위량 데이터 및 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남이 보정될 수 있다. 따라서, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

본 발명의 태양 17에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 14기재의 발명에 있어서, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 17에 기재된 발명에 따르면, 마킹된 차트를 탑재하는 것에 의해 기록 스테이지 상에 마킹을 행할 수 있기 때문에, 마킹의 위치를 적당히 변경할 수 있다. 또한, 마킹을 쓰지 않을 경우는 뗄 수도 있다.

본 발명의 태양 18에 기재된 발명은, 본 발명의 태양 10 내지 태양 17의 어느 한 태양의 기재의 발명에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 모든 기록 헤드 의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 18에 기재된 발명에 따르면, 위치 어긋남 검출부는 복수의 위치에서의 위치 어긋남량을 검출할 수 있기 때문에, 모든 기록 헤드의 위치에서 위치 어긋남을 검출하는 것에 의해, 각 기록 헤드의 보정을 최적으로 시킬 수 있다.

본 발명의 태양 19은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 미리 기억부에 기억시켜 두고, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초하여 시프트하고, 상기 시프트한 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 20은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 미리 기억시켜 두고, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하고, 상기 분할한 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트하고, 상기 시프트한 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하고, 상기 트리밍된 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 21은, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 기억된 상기 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지(merge)해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 22은, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 기억된 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 23은, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되고, 상기 위치 어긋남의 검출은, 상기 마킹의 열을 각각 촬상 가능하도록 상기 이동 방향과 교차하는 방향으로 촬상부를 이동시키고, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 그 촬상부에서 촬상하고, 촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하고, 검출된 상기 각 마킹의 상기 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 24은, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고, 상기 위치 어긋남의 검출은, 상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향과 교차하는 방향에 배치된 레이저 측장기에 의해, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하고, 측장된 상기 기록 스테이지와의 상기 거리의 변화에 기초하여 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 것에 의해 행하여지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 25은, 상기 위치 어긋남의 검출은, 상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하고, 노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 변위량 데이터를 등록하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 26은, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지 상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 27은, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 28은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면 에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출한 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 미리 기억시켜 두고, 상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하고, 상기 변경된 상기 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트하고, 상기 시프트한 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 29은, 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출한 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 미리 기억시켜 두고, 상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하고, 상기 변경한 상기 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하고, 상기 분할한 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트하고, 상기 시프트한 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하고, 트리밍한 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 30은, 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 31은, 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 상기 화상영역을 적어도 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 32은, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되어, 상기 위치 어긋남의 검출이, 상기 마킹의 열을 각각 촬상 가능하도록 상기 이동 방향과 교차하는 방향에 촬상부를 이동시키고, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 그 촬상부에서 촬상하고, 촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하고, 검출된 상기 각 마킹의 상기 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방 향 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 33은, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고, 상기 위치 어긋남의 검출부가, 상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향과 교차하는 방향에 배치된 제1의 레이저 측장기에 의해, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하고, 측장된 상기 기록 스테이지와의 상기 거리의 변화에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하고, 상기 기록 스테이지에 대하여 상기 이동 방향에 배치된 제2의 레이저 측장기를, 상기 교차 방향으로 상기 기록 스테이지와의 거리가 측장가능한 범위내에서 이동시키고, 그 거리를 상기 소정의 타이밍마다 측장하고, 측장된 상기 기록 스테이지와의 상기 거리가 상기 소정의 타이밍마다 변화되는 간격에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 34은, 상기 위치 어긋남의 검출이, 상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하고, 노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 등록하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 35은, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지 상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 36은, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 태양 19에 따르면, 본 발명의 태양 1과 동일하게 작용하므로, 본 발명의 태양 1과 같이, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다. 또한, 기억부에 기억된 변위량 데이터에 기초해 시프트가 행하여지기 때문에, 노광 처리에서의 처리의 부하가 경감된다.

본 발명의 태양 20에 따르면, 본 발명의 태양 2과 동일하게 작용하므로, 본 발명의 태양 2과 같이, 복수의 기록 헤드에 의해 화상을 기록할 경우라도, 화상 데이터를 기록 헤드마다의 화상으로 분할하고, 분할 화상마다에 시프트를 행하는 것에 의해 묘화되는 화상의 왜곡을 보정할 수 있다. 따라서, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

본 발명의 태양 21에 따르면, 본 발명의 태양 10과 동일하게 작용하므로, 본 발명의 태양 10과 같이, 기록 스테이지에는 이동에 의해 생기는 이동 방향 및 교차 방향으로의 위치 어긋남에 따라서 묘화되는 화상을 보정할 수 있기 때문에, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

본 발명의 태양 22에 따르면, 본 발명의 태양 11과 동일하게 작용하므로, 본 발명의 태양 11과 같이, 복수의 기록 헤드에 의해 화상을 기록할 경우라도, 화상 데이터가 형성하는 화상을 이동 방향으로의 위치 어긋남에 따라서 보정하고, 해당화상을 기록 헤드마다의 화상으로 분할하고, 분할 화상마다에 시프트를 행하는 것에 의해 묘화되는 화상의 왜곡을 보정할 수 있다. 따라서, 기록 매체에 묘화하는 화상을 세밀하게 할 수 있다.

(제1 실시 형태)

도 1(A) 및 도 2에는, 제1 실시 형태에 관한 플랫베드형(flat bed type)의 노광 장치(10)가 도시되어 있다.

노광 장치(10)는, 봉 형의 각(角) 파이프를 프레임형으로 짜맞춰 구성된 구(矩)형상의 프레임체(12)에 각 부가 수용되어 구성되어 있다. 한편, 프레임체(12)에는, 도시하지 않은 판넬이 부착되는 것에 의해 내외를 차단하고 있다.

프레임체(12)는, 높은 하우징부(12A)와, 이 하우징부(12A)의 일 측면에서 돌출하는 것 같이 설치된 스테이지부(12B)로 구성되어 있다.

스테이지부(12B)는, 그 상면이 하우징부(12A)보다도 낮은 위치로 되어, 작업자가 이 스테이지부(12B) 앞에 서 있는 경우, 거의 허리높이의 위치로 되어 있다.

스테이지부(12B)의 상면에는, 개폐 뚜껑(14)이 설치되어져 있다. 개폐 뚜껑(14)의 하우징부(12A) 측의 일 변에는, 도시하지 않은 경첩을 설치할 수 있어, 이 일 변을 중심으로 하여 개폐 동작이 가능하게 되어 있다.

개폐 뚜껑(14)을 개방한 상태의 스테이지부(12B)의 상면에는, 기록 스테이지로서의 노광 스테이지(16)가 노출 가능하게 되어 있다.

노광 스테이지(16)는, 정반(18)의 길이(직사각형의 길이가 긴 쪽)방향에 따라 설치된 한 쌍의 슬라이딩레일(20)을 통하여 지지되어, 노광 스테이지(16)의 하부에 설치한 리니어 모터(26)(도2참조)의 구동력에 의해, 도 1(A)의 ｙ방향으로 슬라이딩가능하게 되어 있다. 또한, 도 1(A) 및 도2에서는 도시를 생략했지만, 노광 스테이지(16)의 하부에는 리니어 엔코더(27)(도7참조)를 설치하고 있어, 노광 스테이지(16)의 이동에 따른 펄스 신호가 출력되어, 펄스 신호에 의해 노광 스테이지(16)의 슬라이딩레일(20)에 따른 위치 정보 및 주사 속도가 검출가능하게 되어 있다. 한편, 제1 실시 형태의 리니어 엔코더(27)는, 노광 스테이지(16)가 소정량(예를 들면, 0.1μm) 이동할 때마다 펄스를 출력하도록 되어 있다.

노광 스테이지(16)의 상면에는, 기록 매체(22)가 위치 결정되도록 되어 있다.

또한, 노광 스테이지(16)의 상면의 기록 매체(22)의 한 쪽 옆에는, y방향에 따라 소정의 간격 (제1 실시 형태에서는, 10.0mm 간격)마다에 마킹(24)이 되어 있다 (도 1(A)의 노광 스테이지(16)위의 마킹(24)은 지나치게 세밀하기 때문에, y방향에 따른 파선으로서 그리고, 도1(B)에 마킹(24)의 확대도를 도시한다).

노광 스테이지(16)에 있어서 정반(18) 상에서의 이동 궤적(도 1(A)의 ｙ방향)의 거의 중간위치에는, 기록 헤드로서의 노광 헤드 유닛(28)이 설치되어 있다.

노광 헤드 유닛(28)은, 상기 정반(18)의 폭방향 양단부의 외측에 각각 세워진 한 쌍의 지주(30)에 걸쳐지도록 가설되어 있다. 다시 말해, 노광 헤드 유닛(28)과 정반(18)과의 사이를 상기 노광 스테이지(16)가 통과하는 게이트(gate)가 형성되는 구성이다.

노광 헤드 유닛(28)은, 복수의 헤드 어셈블리(28A)가 상기 정반(18)의 폭방향에 따라 배열되어 구성되고 있어, 상기 노광 스테이지(16)를 왕복 이동시키면서, 소정의 타이밍으로 각각의 헤드 어셈블리(28A)로부터 조사되는 복수의 광빔(상세한 내용에 대해서는 후술)을 상기 노광 스테이지(16) 위의 기록 매체(22)에 조사하는 것에 의해, 감광 재료를 노광하는 것이 가능하도록 되어 있다.

도3(B)에 도시된 바와 같이, 노광 헤드 유닛(28)을 구성하는 헤드 어셈블리(28A)는, ｍ행n열 (예를 들면, 2행 5열)의 거의 매트릭스형으로 배열되고 있어, 이들 복수의 헤드 어셈블리(28A)가 상기 노광 스테이지(16)의 이동 방향(이하 주사 방향이라고 한다)과 직교하는 방향으로 배열된다. 제1 실시 형태에서는, 기록 매체(22)의 폭과의 관계에서, 2행으로 합계 10개의 헤드 어셈블리(28A)로 했다.

여기에서, 1개의 헤드 어셈블리(28A)에 의한 노광 영역(28B)은, 주사 방향을 단변(短邊)으로 하는 구(矩)형상으로, 또한, 주사 방향에 대하여 소정의 경사각으로 경사하고 있어, 노광 스테이지(16)의 이동에 따라, 기록 매체(22)에는 헤드 어셈블리(28A)마다 띠형의 노광완료 영역이 형성된다 (도3(A)참조).

도 1(A)에 도시된 바와 같이, 상기 하우징부(12A) 안에는, 상기 정반(18)위의 노광 스테이지(16)의 이동을 방해하지 않는 다른 장소에 광원 유닛(31)이 설치되어 있다. 이 광원 유닛(31)에는 복수의 레이저(반도체 레이저)를 수용하고 있어, 이 레이저로부터 출사하는 빛을 광화이버(도시 생략)를 통하여, 각각의 헤드 어셈블리(28A)에 안내하고 있다.

각각의 헤드 어셈블리(28A)는, 상기 광화이버에 의해 안내되어, 입사된 광빔을 공간 광변조 소자인 도시하지 않은 디지털·마이크로 미러·디바이스(ＤＭＤ)에 의해, 도트 단위로 제어하고, 기록 매체(22)에 대하여 도트 패턴을 노광한다.

제1 실시 형태에서는, 상기 복수의 도트 패턴을 써서 1화소의 농도를 표현하게 되 어 있다.

도4에 도시된 바와 같이, 상술한 띠형의 노광완료 영역(28B)(1개의 헤드 어셈블리(28A))은, 이차원배열(예를 들면 4×5)된 20개의 도트에 의해 형성된다.

또한, 상기 이차원배열의 도트 패턴은, 주사 방향에 대하여 경사되어 있는 것에 의해, 주사 방향으로 늘어선 각 도트가, 주사 방향과 교차하는 방향으로 늘어선 도트 사이를 통과하게 되어 있어, 실질적인 도트간 피치를 좁힐 수 있고, 고해상도화를 꾀할 수 있다.

여기에서, 스테이지부(12B)(도1(A)참조)에 있어서, 상기 노광 스테이지(16)위에 위치 결정된 기록 매체(22)에의 노광 처리는, 상기 노광 스테이지(16)에 기록 매체(22)를 탑재하고, 정반(18)위의 슬라이딩레일(20)에 따라 내측에 이동할 때(왕로)가 아니라, 일단 정반(18)의 내측 단부에 도달하고, 상기 스테이지부(12B)에 되돌아올 때(복로)에 실행된다.

다시 말해, 왕로주행은, 노광 스테이지(16)위의 기록 매체(22)의 위치 정보를 얻기 위한 이동이며, 이 위치 정보를 얻기 위한 유닛으로서, 정반(18)위에는, 정렬 유닛(32)(도2참조)이 설치되어 있다.

정렬 유닛(32)은, 상기 노광 헤드 유닛(28)에 따라 왕로방향 내측의 중앙부에 배치되고 있어, 왕로주행시에 상기 노광 스테이지(16)위의 기록 매체(22)에 빛을 조사하고, 그 반사광을 촬영하고, 기록 매체(22)위의 마크를 한다.

노광 스테이지(16)와, 기록 매체(22)는, 작업자가 기록 매체(22)를 탑재하는 것에 의해 그 상대위치 관계가 결정되기 때문에, 약간의 차이(위치 어긋남)가 생기 는 경우가 있다. 상기 촬영된 마크에 의해 상기 차이가 인식되어, 노광 스테이지(16)와 기지의 상대관계로 되어 있는 상기 노광 헤드 유닛(28)에 의한 노광 개시 시기에 보정을 걸고, 기록 매체(22)와 화상의 상대위치를 소망의 위치라고 하고 있다.

그런데, 노광 스테이지(16)에는, 이동에 따라 사행이 발생하고, 노광 스테이지(16)에 위치 어긋남이 생기기 때문에, 노광 스테이지(16)위의 기록 매체(22)에 노광되는 화상에 왜곡이 생겨버린다. 이 사행은 노광 스테이지(16)의 이동에 따르는 재현성이 높기 때문에 미리 사행에 의한 위치 어긋남을 검출해서 보정을 행하는 것에 의해, 기록 매체(22)에 노광되는 화상의 왜곡을 보정할 수 있다.

여기에서, 노광 스테이지(16)의 이동에 의해 발생하는 사행에 의한 노광 스테이지(16)의 위치 어긋남을 검출하기 위해서, ＣＣＤ카메라(34)(도1참조)가 설치되어 있다. 이 ＣＣＤ카메라(34)는, 노광 헤드 유닛(28)의 왕로방향 앞측에 배치되고 있어, 이동부로서 내장된 리니어 모터에 의해, 노광 헤드 유닛(28)의 폭방향(도1의 ｘ방향)에 설치되어진 레일(35)에 따라 위치결정이 가능하게 되어 있어, 노광 스테이지(16)위의 마킹(24)을 촬상할 수 있다. 이 ＣＣＤ카메라(34)에 의해 촬상된 마킹 화상에는, 촬상한 마킹(24)의 위치를 판별가능한 기준이 설치되어 있어(제1 실시 형태에서는, 도5에 도시된 바와 같이 x방향의 중앙을 기준(0)으로 한다). 촬상된 마킹(24)의 화상내에서의 위치로부터 기준과의 위치 어긋남에 의한 변위량을 검출할 수 있다.

다시 말해, 노광 장치(10)에서는 촬상 타이밍마다 ＣＣＤ카메라(34)에 의해 마킹(24)을 촬상해서 사행에 의해 생긴 위치 어긋남을 검출하고, 화상 데이터의 시프트를 행하는 것에 의해 기록 매체(22)에 노광되는 화상의 왜곡을 보정하고 있다.

한편, 제1 실시 형태에서는, 도6(A)에 도시된 바와 같이 노광 스테이지(16)의 일단측에 마킹(24)을 1열 설치하고 있지만, 마킹(24)을 복수열, 예를 들면, 도6(B)에 도시된 바와 같이 양측부에 각각 마킹(24)을 설치했을 경우, ＣＣＤ카메라(34)를 레일(35)을 따라서 이동시키는 것에 의해 각각의 위치에서 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 또한, ＣＣＤ카메라(34)에 의해 촬상할 때에, 도6(C) 또는 (D)에 도시된 바와 같은 마킹된 차트(유리기판 등)를 노광 스테이지(16)위에 탑재하는 것에 의해 위치 어긋남을 검출하도록 해도 좋다. 이렇게, ＣＣＤ카메라(34)가 레일(35)을 따라서 이동할 수 있기 때문에 헤드 어셈블리(28A)의 위치마다 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수도 있다.

도7에는, 제1 실시 형태에 있어서의 노광 장치(10)에 있어서, 노광 스테이지(16)의 사행에 의한 위치 어긋남의 검출 및 노광을 행하는 제어를 위한 기능 블록 도가 도시되어 있다.

촬상 제어부(100)은, 리니어 엔코더(27), ＣＣＤ카메라(34) 및 화상기억 메모리(102)와 접속되어 있다. 촬상 제어부(100)는, 노광 스테이지(16)의 이동에 의해 검출되는 리니어 엔코더(27)로부터의 펄스를 100,000펄스분 카운트해서 구한 촬상 타이밍마다 ＣＣＤ카메라(34)에 의해 노광 스테이지(16)위의 마킹(24)을 촬상하고, 촬상한 마킹 화상을 ＣＣＤ카메라(34)에 내장한 리니어 모터에 의해 구해진 마킹(24)의 열의 위치(도1의 ｘ방향의 위치)와 함께 화상기억 메모리(102)에 기억시킨다. 한편, 상기 100,000펄스는, 제1 실시 형태에 적용되는 리니어 엔코더(27)가 0.1μm 이동할 때마다 1펄스 출력되는 것으로부터, 마킹(24)의 간격이 10.0mm이기 때문에, 10.0mm/0.1μm (= 100,000)으로 하는 것에 의해, 마킹(24)의 간격에 따른 촬상이 가능해 진다.

화상기억 메모리(102)는, 촬상 제어부(100) 및 변위량 산출부(위치어긋남량 산출부)(104)와 접속되어 있다. 화상기억 메모리(102)는, 촬상 제어부(100)로 촬상된 마킹 화상을 기억하고 있어, 마킹 화상은 위치 어긋남량 검출부(104)에 의해 독출된다.

변위량 산출부(104)는, 화상기억 메모리(102) 및 변위량 기억 메모리(위치어긋남량 기억 메모리)(106)와 접속되어 있다. 변위량 산출부(104)는, 촬상 제어부(100)에 의해 촬상된 마킹 화상으로부터 마킹(24)의 동일 상대위치로서 중심의 위치를 구하고, 마킹(24)의 열마다에 도5에 도시된 바와 같이, 기준(0)에 대한 마킹 화상내에서의 중심의 위치로부터의 사행에 의한 노광 스테이지(16)의 변위량을 검출한다. 여기에서, 마킹(24)은 간격이 10.0mm이기 때문에, 10.0mm의 중간의 부분의 변위량을 연속적으로 취득할 수는 없다. 이 때문에, 변위량 산출부(104)는, 검출한 변위량에 기초하여, 보간 처리를 행해서 10.0mm의 사이의 각 위치에서의 변위량을 산출하고, 변위량 기억 메모리(106)에 기억시킨다. 이 보간 처리에서는, 도8에 도시된 바와 같이, 마킹 화상으로부터 구해진 변위량(×표시)을 통과하는 사행에 의한 변위량의 곡선(사행 곡선)을 구하고, 이 사행 곡선에 기초해 각 마킹(24)의 사이 (10.0mm의 중간)의 부분의 변위량이 산출된다.

변위량 기억 메모리(106)은, 변위량 산출부(104) 및 화상 시프트 처리부 (118)과 접속되어 있다. 변위량 기억 메모리(106)에는, 사행 곡선으로부터 산출된 변위량(변위량 데이터)이 기억되고 있어, 노광 처리시에 화상 시프트 처리부(118)에 의해 변위량이 독출된다.

데이터 입력부(112)는, 화상분할부(114)와 접속되어 있다. 데이터 입력부 (112)에는, 기록 매체(22)위에 노광되는 화상이 입력된다. 입력된 화상 데이터는 화상분할부(114)에 송출된다.

화상분할부(114)는, 데이터 입력부(112) 및 분할화상 기억 메모리(116)와 접속되어 있다. 노광 장치(10)의 노광 헤드 유닛(28)은, 도3(B)에 도시된 바와 같이 복수의 헤드 어셈블리(28A)로 구성되어 있기 때문에, 화상분할부(114)는, 데이터 입력부(112)로부터 송출된 화상 데이터를 도9에 도시된 바와 같이 각 헤드 어셈블리(28A)마다의 화상 데이터로 분할하고, 분할화상 기억 메모리(116)에 기억시킨다.

분할화상 기억 메모리(116)는, 화상분할부(114) 및 화상 시프트 처리부 (118)와 접속되어 있다. 분할화상 기억 메모리(116)는, 각 헤드 어셈블리(28A)용으로 분할된 화상의 화상 데이터를 기억하고 있어, 각 화상 데이터는 화상 시프트 처리부(118)에 의해 독출된다.

화상 시프트 처리부(118)는, 분할화상 기억 메모리(116), 변위량 기억 메모리(106) 및 도트 패턴 변환부(120)와 접속되어 있다. 화상 시프트 처리부(118)는, 헤드 어셈블리(28A)마다 노광을 행하는 화상 데이터를 분할화상 기억 메모리(116)로부터 독출한다. 여기에서, 도3(B)에 도시된 바와 같이, 헤드 어셈블리(28A)는 2행으로 나뉘어지고 있어, 선두행과 후방행에는 거리L의 차이가 있다. 따라서, 화상 시프트 처리부(118)가 독출하는 선두행의 헤드 어셈블리(28A) 용의 화상 데이터와 후방행의 헤드 어셈블리(28A) 용의 화상 데이터에서는 거리L만큼 다른 부분이 된다. 또한 화상 시프트 처리부(118)는, 독출한 각 화상 데이터에 대하여, 변위량 기억 메모리(106)에 기억되어 있는 사행 곡선에 기초하는 변위량으로부터 화상 시프트 처리(후술)을 행하고, 도트 패턴 변환부(120)에 송출한다.

이 화상 시프트 처리에서는, 우선, 각 헤드 어셈블리(28A)에서 시프트를 행하는 변위량을 구하지만, 마킹(24)이 복수열 있으면 도1의 ｘ방향의 복수의 위치에서 변위량이 구해지기 때문에, 각 열의 변위량으로부터 각 헤드 어셈블리(28A)의 ｘ방향의 위치에서의 변위량을 연산에 의해 구한다. 이 연산은, 보간 처리에 의해 구해도 좋고, 마킹(24)의 각 열의 변위량으로부터 근사하는 직선을 연산해서 구해도 좋다. 이것에서 의해, 각 헤드 어셈블리(28A)의 위치(x방향의 위치)에서의 시프트를 행하는 변위량을 구할 수 있다. 한편, 마킹(24)이 1열밖에 없을 경우는, 모든 헤드 어셈블리(28A)에서 1열분의 변위량에 의한 시프트가 행하여진다. 또한, 모든 헤드 어셈블리(28A)의 위치에 마킹(24)의 열이 설치되어져서 변위량이 구해지고 있는 경우는, 각 변위량을 그대로 이용하면 좋다.

화상 시프트 처리에서는, 그 다음에, 도10에 도시된 바와 같이, 각 헤드 어셈블리(28A)의 오리지널 화상 데이터(도10(A))의 양단에, 인접한 화상영역이 구한 각 변위량의 폭에 대응하는 부분만큼, 분할화상 기억 메모리(116)로부터 독출하여 부가(머징)한다(도10(B))(인접한 화상영역이 없을 경우는, 여백(화상 없는) 영역을 부가). 그 다음에, 화상 전체(인접한 화상영역의 일부가 부가된 오리지널 화상 데이터)을 구해진 각 변위량에 따라서 시프트한다(도10(C)). 그 다음에, 시프트한 화상에 대하여, 연결경계 위치에서의 트리밍을 행하고, 헤드 어셈블리(28A)가 노광을 행하는 화상 데이터를 작성한다(도10(D)). 한편, 이 화상 시프트 처리에서는 화상의 화소단위로 시프트시키기 위해서, 보정 단위는 화소의 사이즈(size)로 가능해진다(제1 실시 형태에서는, 화상 사이즈를 2μm으로 한다).

도트 패턴 변환부(120)는, 화상 시프트 처리부(118) 및 노광 제어부(122)와 접속되어 있다. 도트 패턴 변환부(120)는, 화상 시프트 처리부(118)로부터 송출된 각 헤드 어셈블리(28A)의 화상 데이터를 디지털·마이크로 미러·디바이스(ＤＭＤ)를 제어하는 도트마다의 데이터(도트 패턴 데이터)로 변환하고, 노광 제어부 (122)에 송출한다.

노광 제어부 (122)는, 도트 패턴 변환부(120), 각 헤드 어셈블리(28A) 및 각 광원 유닛(31)과 접속되어 있다. 노광 제어부(122)는, 도트 패턴 변환부(120)에 의해 송출된 도트 패턴 데이터에 기초해 복수의 헤드 어셈블리(28A)의 ＤＭＤ드라이버(130)를 제어해서 ＤＭＤ(132)를 온/오프시켜, 광원 유닛(31)의 광원 드라이버(136)에 점등 신호를 송출해서 ＬＤ(138)를 점등시켜서, 기록 매체(22)위에의 화상노광 처리를 행한다.

이하에 제1 실시 형태의 작용을 설명한다.

(변위량 산출의 흐름)

노광 장치(10)에서는, ＣＣＤ카메라(34)가 노광 스테이지(16)의 마킹(24)을 촬상가능한 위치에 레일(35)을 따라 이동하고, 노광 스테이지(16)를 이동시키면서 마킹(24)을 촬상해서 사행 곡선에 의한 변위량의 산출이 행하여진다. 한편, 노광 스테이지(16)에 마킹(24)이 복수열 있을 경우, 변위량의 산출이 각 열마다에 복수회 행하여져서 각 마킹(24)의 위치(ＣＣＤ카메라(34)의 ｘ방향의 위치)마다에 사행 곡선이 구해져, 변위량이 변위량 기억 메모리(106)에 기억된다.

이하, 도11 (A)에 변위량 산출에 관한 제어의 흐름을 도시한다.

스텝150에서는, 노광 스테이지(16)(도1참조)가 리니어 모터(26)(도2참조)의 구동력에 의해, 정반(18)의 슬라이딩레일(20)에 따라 스테이지부(12B)로부터 하우징부(12A)의 내측에 일정 속도로 이동되어(왕로이동), 왕로끝(가장자리)에 이르면 스텝152에 이행한다.

스텝152에서는, 노광 스테이지(16)가 왕로끝(가장자리)에 도달했기 때문에, 이동하는 방향을 반대로 하여 스테이지부(12B) 방향에 일정 속도로 이동시켜(복로이동), 스텝154에 이행한다. 여기에서, 노광 스테이지(16)에는 이동에 따라 사행에 의한 위치 어긋남이 발생한다.

스텝154에서는, 노광 스테이지(16)의 이동에 의해 발생하는 리니어 엔코더(27)로부터의 펄스를 검출하고, 100,000펄스를 카운트할 때마다 ＣＣＤ카메라(34)에 의해, 10mm 간격으로 마킹된 마킹(24)을 촬상한다. 복로이동이 완료하고, 1열을 구성하는 모든 마킹(24)이 촬상되면, 스텝156에 이행한다.

스텝156에서는, 촬상된 각 마킹 화상으로부터 마킹(24)의 중심의 위치를 구 하고, 마킹 화상내에서의 중심의 위치부터 사행에서 의한 위치 어긋남의 변위량을 구해서 스텝158에 이행한다.

스텝158에서는, 각 마킹(24)에서의 변위량으로부터 보간 처리에서 의해 사행 곡선을 구하고, 사행 곡선으로부터 산출되는 주사 방향의 각 위치마다의 변위량을 변위량 기억 메모리(106)에 기억시켜, 엔드(end)에 이행한다.

이 변위량 산출 처리에 의해 변위량 기억 메모리(106)에는, 마킹(24)의 열마다에 산출된 변위량이 기억된다.

(노광 처리의 흐름)

그 다음에, 산출된 변위량에 기초해 보정이 행하여지는 노광 처리에 대해서 설명한다.

노광 장치(10)(도1(A)참조)는, 기록 매체(22)가 노광 스테이지(16)에 탑재되어, 노광을 행하는 화상 데이터가 입력되면, 입력된 화상 데이터를 각 헤드 어셈블리(28A)마다의 화상 데이터로 분할하고, 또한, 변위량 기억 메모리(106)에 기억되어 있는 변위량에 기초해 화상 시프트 처리를 행해서 노광용의 화상 데이터를 작성한다.

이 노광용의 화상 데이터는 도트 패턴 데이터로 변환되어, 후술하는 노광 개시 시기가 되면 기록 매체(22)위에 노광된다.

기록 매체(22)을 상면에 흡착한 노광 스테이지(16)는, 리니어 모터(26)(도2참조)의 구동력에 의해, 정반(18)의 슬라이딩레일(20)에 따라 스테이지부(12B)로부터 하우징부(12A)의 내측으로 일정 속도로 이동된다(왕로이동). 여기서 노광 스테이지(16)가 정렬 유닛(32)을 통과할 때에, 기록 매체(22)에 미리 부여된 마크를 검출한다. 이 마크는, 미리 기억된 마크와 대조되어, 그 위치 관계에 기초해서 노광 헤드 유닛(28)에 의한 노광 개시 시기가 보정된다.

노광 스테이지(16)가 왕로끝(가장자리)까지 이르면, 방향을 바꾸어 스테이지부(12B)방향으로 일정 속도로 되돌아온다(복로이동). 이 복로 이동중에 노광 헤드 유닛(28)을 통과하면 상기 보정된 노광 개시 시기에 노광 처리가 개시된다.

노광 처리가 개시되면, 노광 제어부(122)에서는, 상술한 도트 패턴 데이터에 기초해 ＤＭＤ에 레이저 빛이 조사되어, ＤＭＤ의 마이크로 미러가 온(on) 상태의 때에 반사된 레이저 빛이 광학계를 통하여 기록 매체(22)(도1(A)참조)에 안내되어, 이 기록 매체(22)위에 결상된다.

여기에서, 노광 스테이지(16)가 이동하면, 이동에 의해 노광 스테이지(16)에는 사행이 발생해서 표면에 흡착한 기록 매체(22)도 함께 사행하기 때문에 노광 헤드 유닛(28)으로부터 광빔이 결상되는 위치에 차이가 발생한다. 그러나, 기록 매체(22)위에 노광되는 화상은, 헤드 어셈블리(28A)마다의 변위량에 기초하여 화상 시프트 처리가 행해지고 있기 때문에, 기록 매체(22)에 노광되는 화상의 왜곡을 저감시킬 수 있다.

이하, 도11(B)의 플로우 챠트를 따라 노광 처리 제어의 흐름에 대해서 설명한다.

노광 장치(10)는, 작업자에 의해 화상 데이터가 입력되어, 처리 시작의 제어가 행하여지는 것으로 플로우 챠트에 도시하는 처리를 스타트(start)한다.

스텝200에서는, 입력된 화상 데이터를 각 노광 헤드 유닛(28)의 화상 데이터로 분할하고, 분할화상 기억 메모리(116)에 기억시켜, 스텝202에 이행한다.

스텝202에서는, 변위량 기억 메모리(106)에 기억되어 있는 마킹(24)의 열마다의 사행 곡선으로부터 산출된 변위량에 기초하여, 화상 시프트 처리를 행해서 노광 헤드 유닛(28)마다의 화상 데이터가 작성되고, 각 화상 데이터를 도트 패턴 데이터로 변환하고, 스텝204에 이행한다.

여기에서, 제1 실시 형태의 화상 시프트 처리에서는, 화소가 2.0μm단위이기 때문에, 화소마다에 시프트에 의해 2.0μm단위의 보정이 가능해진다. 사행 곡선으로부터 산출되는 변위량이 ±1.0μm이내이면 화상 시프트 처리는 행하지 않지만, 변위량이 +1.0μm보다 크거나 또는 -1.0μm보다 작을 경우는 필요 화소수만큼 시프트를 행하고, 사행에 의한 위치 어긋남과 노광되는 화상의 어긋남(차이)이, 매회의 변위량이 ± 1.0μm이내로 되도록 보정한다.

예를 들면, 도8의 화살표 t1의 경우는, 변위량이 -1.0μm보다 작기 때문에, 화소를 마이너스(minus)측으로 1화소(2.0μm) 시프트하는 보정을 행하고, 또한, 도8의 화살표 t2의 경우는, 변위량이 +1.0μm보다 크기 때문에, 화소를 플러스(plus)측에 1화소(2.0μm) 시프트 하는 보정을 행한다. 또한, 예를 들면, 변위량이 -4.0μm일 경우는 화소를 마이너스(minus)측에 2화소(4.0μm)시프트 하는 보정을 행한다.

한편, 도12에 도8의 변위량에 기초해 화상 시프트 처리를 행한 결과를 도시한다. 도8의 화살표 t1, t2은, 도12의 화살표 t3, t4과 같이 보정된다. 한편, 도13 (A)에 도시된 바와 같이, 헤드 어셈블리(28A)는 2행으로 나뉘어져 있기 때문에, 선두행의 헤드 어셈블리(28A) 용의 화상 데이터와 후방행의 헤드 어셈블리(28A) 용의 화상 데이터는 거리L만큼 다른 부분이 독출되어, 도13(B)에 도시된 바와 같이 각각의 위치에서 시프트가 행하여진다.

스텝204에서는, 노광 스테이지(16)를 일정 속도로 왕로방향(도2의 ｙ축, 앞측에서 내측)으로 이동시키고, 정렬 유닛(32)에 의한 노광 개시 시기의 보정이 행하여진다. 노광 스테이지(16)가 왕로끝(가장자리)까지 이르면 스텝206에 이행한다.

스텝206에서는 또한, 노광 스테이지(16)를 일정 속도로 복로방향(도2의 ｙ축, 내측에서 앞측)으로 이동시키고, 스텝202에 의해 보정된 노광 개시 시기가 되면 스텝208에 이행한다.

스텝208에서는, 화상 시프트 처리된 각 화상 데이터를 변환한 도트 패턴 데이터에 기초해 전술의 노광 처리가 실행된다. 기록 매체(22)에 모든 화상이 노광되면, 엔드(end)에 이행해서 노광 처리 종료가 된다.

이상 설명한 것 같이 제1 실시 형태에서는, 1대의 ＣＣＤ카메라(34)를 이동 가능하게 한 것에 의해 노광 스테이지(16)에 발생하는 사행에 의한 변위량을 복수의 위치에서 검출할 수 있고, 검출한 변위량에 기초해 헤드 어셈블리(28A)마다 화상 데이터 화상 시프트 처리를 행하는 것에 의해 기록 매체에 묘화되는 화상에 왜곡을 저감시킬 수 있다.

또한, 1대의 ＣＣＤ카메라(34)로 복수의 위치의 사행에 의한 변위량을 검출할 수 있기 때문에, 제조 가격의 상승을 억제할 수 있다.

또한, 화상이 묘화되는 위치를 변경해서 보정하기 때문에, 위치 어긋남을 보정하기 위해 노광 스테이지(16)를 이동시키는 거동을 변경할 필요가 없다.

한편, 제1 실시 형태의 화상 시프트 처리(도10)는, 시프트(도10(C)) 후에, 연결경계 위치의 트리밍(도10(D))(연결경계 위치의 처리)을 행하였지만, 연결경계 위치 처리(연결경계 위치를 눈에 뜨이지 않게 하기 위한 화상보정)을 먼저 행하고, 그 후 시프트를 행하는 것도 가능하다.

또한, 화상 시프트 처리에서는, 각 헤드 어셈블리(28A)의 화상 데이터(도10 (A))에 각 변위량의 폭만큼 머지(merge)(도10(B))를 행하였지만, 화상분할부 (114)(도7참조)가 변위량 기억 메모리(106)로부터 변위량을 읽어 들여 화상 데이터를 헤드 어셈블리(28A)마다의 화상 데이터로 분할할 때에 상기 변위량의 폭을 미리 추가해서 분할하도록 해도 좋다. 이 경우, 화상 시프트 처리에서의 머지(merge)가 불필요하게 된다.

또한, 제1 실시 형태에서는 노광 스테이지(16)위의 마킹(24)을 촬상하는 것에 의해 사행에 의한 변위량을 검출했지만, 도14(A)에 도시된 바와 같이 노광 스테이지(16)의 스테이지면에 대하여 주사 방향과 교차하는 방향으로 배치된 레이저 측장기(42)를 채용해서 노광 스테이지(16)의 거리를 측정하고, 거리의 변화에 기초해 노광 스테이지(16)의 사행에 의한 변위량을 검출해도 좋다. 제1 실시 형태의 경우, 레이저 측장기(42)를 변위량 산출부(104)(도7참조)와 접속하고, 변위량 산출부 (104)에 있어서 촬상 타이밍마다 측장되는 노광 스테이지(16)와의 거리(도14(A)의 거리 t5참조)의 변화로부터 사행에 의한 변위량을 검출할 수 있다. 또한, 노광 스테이지(16)에 복수의 측장부(40)(도14(B))를 설치하는 것에 의해, 복수의 위치에서의 사행에 의한 변위량을 검출하는 것도 가능해진다. 이렇게, 레이저 측장기(42)를 써서 사행에 의한 변위량을 검출하면, 노광 스테이지(16)에 마킹(24)을 행할 필요가 없어진다.

또한, 제1 실시 형태에서는, 마킹(24)의 촬상을 행하여 사행 곡선을 구했지만, 노광 처리의 노광 스테이지(16)의 이동시에 리얼타임으로 마킹(24)의 촬상을 행하고, 사행에 의한 변위량을 검출해도 좋다. 이 경우, 변위량 검출부(104)(도7참조)는, 촬상된 화상으로부터 검출된 변위량을 화상 시프트 처리부(118)에 직접 보내고, 화상 시프트 처리부(118)는, 노광 처리시에 리얼타임으로 분할된 화상 데이터의 머지 및 시프트(화상 시프트 처리)를 행하고, 도트 패턴 변환부(120)에 의해 도트 패턴으로 변환해서 노광 처리를 행하도록 하면 좋다. 이 리얼타임의 보정은 레이저 측장기(42)를 써서 변위량을 검출했을 경우도 같이 행할 수 있다. 리얼타임으로 보정을 행하는 것에 의해, 노광 처리마다에 발생하는 사행에 의한 위치 어긋남의 얼마 안된 차이도 보정할 수 있다.

(제2 실시 형태)

그 다음에, 제2실시 형태에 대해서 설명한다. 제2실시 형태의 특징은, 노광 장치(10)가 위치 데이터 취득용 패턴 화상을 노광하고, 노광된 패턴 화상을 계측해서 사행에 의한 변위량을 검출하고, 변위량 산출부(104)에 검출한 변위량을 등록하는 점에 있다.

제2실시의 형태의 노광 장치(10)는, ＣＣＤ카메라(34) 및 레일(35)이 설치되 어지고 있지 않고, 그 외에는 제1실시 형태의 도1, 도2과 같은 구성이기 때문에 설명을 생략한다.

도15에는, 제2 실시 형태의 기능 블록도가 도시되어 있다. 한편, 동일부호의 개소는 제1 실시 형태의 도7과 같기 때문에 설명을 생략하고, 다른 부분에 대해서만 설명을 한다.

패턴 입력부(140)는 화상분할부(114)와 접속되어 있다. 패턴 입력부(140)는 사행에 의한 변위량을 검출하기 위해서 위치 데이터 취득용 패턴 화상의 노광이 지시되면, 도6(D)에 도시된 바와 같이 복수열의 마킹(24)을 패턴 화상으로서 화상분할부(114)에 송출한다. 이 패턴 화상의 송출에 의해, 노광 장치(10)에서는 기록 매체(22)위에의 노광 처리를 행하지만, 노광 스테이지(16)의 이동에 의해 사행이 발생하기 때문에, 실제로 노광되는 화상에는 위치 어긋남이 발생한다. 제2 실시 형태에서는 기록 매체(22)에 노광된 패턴 화상의 마킹(24)의 각 열을 작업자등에 의해 측정하는 것에 의해 변위량을 구한다.

변위량 등록부(142)는 변위량 산출부(104)와 접속되어 있다. 변위량 등록부 (142)는 요청된 변위량의 변위량 산출부(104)에의 등록을 행한다. 이것에 의해, 변위량 산출부(104)에서는 등록된 변위량에 기초해 보간 처리가 행하여져, 사행 곡선으로부터 산출되는 변위량이 변위량 기억 메모리(106)에 기억된다.

제2 실시 형태의 노광 장치(10)에서는, 변위량 기억 메모리(106)에 기억된 변위량에 의해 제1 실시 형태와 같은 노광 처리가 행하여져서 사행에 의한 위치 어긋남이 보정된다. 이 때문에, 노광 장치(10)에는 사행을 검출하기 위해서 ＣＣＤ카 메라 등을 설치할 필요가 없다.

이하에 제2 실시 형태의 작용을 설명한다.

도16에는 위치 데이터 취득용 패턴 화상의 노광 및 변위량의 취득에 관한 플로우(flow)가 도시되어 있다.

스텝250에서는, 위치 데이터 취득용 패턴 화상의 노광이 지시되면 도6(D)에 도시하는 패턴 화상이 헤드 어셈블리(28A)마다의 화상 데이터로 분할되고, 또한, 도트 패턴 데이터로 변환되어, 스텝252에 이행한다. 한편, 위치 데이터 취득용 패턴 화상에 대하여 화상 시프트 처리는 행하여지지 않는다.

스텝252에서는, 노광 스테이지(16)를 일정 속도로 왕로방향(도2의 ｙ축, 앞측에서 내측)에 이동시키고, 정렬 유닛(32)에 의한 노광 개시 시기의 보정이 행하여진다. 노광 스테이지(16)가 왕로끝(가장자리)까지 이르면 스텝254에 이행한다.

스텝254에서는, 노광 스테이지(16)를 일정 속도로 복로방향(도2의 ｙ축, 내측에서 앞측)에 이동시키고, 보정된 노광 개시 시기가 되면, 도트 패턴 데이터의 노광 처리가 개시되어 기록 매체(22)에 패턴 화상이 노광되고, 스텝256에 이행한다.

스텝256에서는, 노광된 패턴 화상의 열마다에 변위량을 각 마킹(24)의 위치로부터 측정해서 스텝258에 이행한다. 여기에서, 도17(B)에 노광된 패턴 화상을 도시한다 (도17에서는, 복수열이 존재하는 마킹(24) 중 1열만을 표시하고 있다)）. 위치 데이터 취득용 패턴(도17(A))의 마킹(24)의 열은 직선상으로 배치되어 있지만, 노광된 패턴 화상에는 사행에 의한 위치 어긋남이 발생하고 있기 때문에, 각 마킹(24)마다에 변위량을 측정할 수 있다.

스텝258에서는, 각 열의 각 마킹(24)의 위치에서의 변위량의 등록이 행하여져, 등록된 변위량에 기초해 보간 처리가 행하여져서 사행 곡선으로부터 산출되는 변위량이 변위량 기억 메모리(106)에 기억되어, 엔드(end)에 이행한다.

이것에 의해, 변위량 기억 메모리(106)에는 각 열의 사행 곡선으로부터 산출된 변위량이 기억되어 있기 때문에, 노광 처리에서는 사행에 의한 위치 어긋남을 보정할 수 있다.

이와 같이, 제2 실시 형태에 따르면, 위치 데이터 취득용 패턴 화상으로서 마킹(24)을 노광하는 것에 의해 사행에 의한 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 또한, 마킹(24)을 복수열 설치하는 것에 의해, 각 열에서 위치 어긋남을 검출할 수 있고, 마킹(24)의 열을 노광하는 위치(x방향의 위치)을 바꾸는 것에 의해, 노광 스테이지(16) 위의 임의인 위치에서 위치 어긋남량을 검출할 수도 있고, 각 헤드 어셈블리(28A)의 위치에서의 위치 어긋남량을 검출할 수도 있다.

(제3 실시 형태)

그 다음에, 제3실시 형태에 대해서 설명한다. 제3실시의 형태의 특징은, 노광 스테이지(16)의 이동에 따라 사행과 함께 발생하는 피칭 진동에 의한 스테이지면에 대하여의 이동 방향으로의 벗어남(위치 어긋남) 및 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남에 의한 변위량을 검출하고, 화상 데이터에 의해 나타나는 화상에 대하여 검출한 변위량 데이터에 기초해서 이동 방향 및 교차 방향으로의 보정을 행하는 점에 있다.

제3실시의 형태에 관한 노광 장치(10)은, 마킹(24)이 y방향에 따라 소정의 간격(제3 실시 형태에서는, 50.0mm 간격)마다에 설치되어지고 있고, 그 외에는 제1실시의 형태의 도1, 도2과 같은 구성이기 때문에 설명을 생략한다.

제3 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에서는, 마킹(24)을 50.0mm 간격이라 했기 때문에, ＣＣＤ카메라(34)에 의해 마킹(24)을 촬상하는 촬상 타이밍은, 리니어 엔코더(27)로부터의 펄스를 500,000펄스(50.0mm/0.1μm=500,000)을 카운트할 때 마다의 타이밍으로 하고 있다.

또한, 제3실시의 형태에 관한 ＣＣＤ카메라(34)에 의해 촬상된 마킹 화상에는, 도18에 도시된 바와 같이, 중심을 기준(0)로서 이동 방향(y방향) 및 이동 방향과 교차하는 교차 방향(X방향)의 위치를 판별가능한 기준이 설치되어지고 있어, 마킹 화상내의 마킹(24)의 위치로부터 이동 방향 및 교차 방향으로의 변위량을 검출할 수 있도록 되어 있다. 한편, 이하에서는, 이동 방향으로의 변위량을 이동 방향 변위량, 교차 방향으로의 변위량을 교차 방향 변위량이라 한다.

도19에는, 제3 실시 형태의 기능 블록도가 도시되어 있다. 한편, 동일부호의 개소는 제1 실시 형태의 도7과 같기 때문에 설명을 생략하고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.

변위량 산출부(304)는, 화상기억 메모리(102) 및 변위량 기억 메모리(306)와 접속되어 있다. 변위량 산출부(304)는, 화상기억 메모리(102)에 기억되어 있는 각 마킹 화상(도18참조)을 읽어들이고, 각 마킹 화상의 마킹(24)의 동일 상대위치로서 중심의 위치를 구하고, 각 마킹 화상내에서의 기준(0)에 대한 중심의 위치로부터 교차 방향 변위량, 이동 방향 변위량을 검출한다.

그리고, 변위량 산출부(304)는, 각 마킹 화상으로부터 각 마킹(24)의 간격마다의 이동 방향 변위량을 산출해서 변위량 기억 메모리(106)에 기억시킨다. 다시 말해, 리니어 엔코더(27)는, 상술한 것 같이 0.1μm이동할 때마다 1펄스를 출력하기 때문에, 노광 스테이지(16)가 500,000펄스분 이동하면 0.1μm×500,000펄스=50.0mm이 된다.

따라서, 각 마킹 화상으로부터 검출되는 이동 방향 변위량은, 노광 스테이지(16)에 피칭 진동에 의한 이동 방향에의 위치 어긋남이 발생하지 않고 있을 경우, 일정하게 된다. 그러나, 노광 스테이지(16)에 피칭 진동이 발생하면, 각 마킹 화상으로부터 검출되는 이동 방향 변위량은, 도20에 도시된 바와 같이 일정하게 되지 않고 변화된다. 여기서, 변위량 산출부(304)는, 도21에 도시된 바와 같이, 각 마킹(24)의 간격마다에 발생한 이동 방향 변위량을 산출해서 변위량 기억 메모리(106)에 기억시킨다.

또한, 변위량 산출부(304)는, 검출한 교차 방향 변위량에 기초하여, 도8에 도시한 제1 실시 형태와 같이, 각각의 교차 방향 변위량(×표시)을 통과하는 사행에 의한 변위량의 곡선(사행 곡선)을 구하고, 이 사행 곡선에 기초해 각 마킹(24)의 사이(50.0mm의 중간)의 이동 방향(y방향)의 각 위치에서의 교차 방향 변위량을 산출하고, 변위량 기억 메모리(106)에 기억시킨다.

변위량 기억 메모리(306)는, 변위량 산출부(304), 화상 시프트 처리부(118) 및 화상변경부(308)와 접속되어 있다. 변위량 기억 메모리(306)는, 변위량 산출부 (304)에 의해 구해진 교차 방향 변위량을 교차 방향으로의 변위량 데이터, 이동 방향 변위량을 이동 방향에의 변위량 데이터로서 기억한다.

화상변경부(308)은, 데이터 입력부(112), 화상분할부(114) 및 변위량 기억 메모리(306)와 접속되어 있다. 화상변경부(308)는, 변위량 기억 메모리(306)로부터 각 마킹(24)의 간격마다(도21참조)의 이동 방향 변위량을 읽어들여, 데이터 입력부 (112)로부터 입력하는 화상 데이터가 형성하는 화상에 대하여 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행한다. 이 솎아냄 또는 추가를 행하는 라인의 수는, 화상 데이터가 형성하는 화상의 이동 방향의 화소의 간격을 고려해서 결정하고 있으며, 예를 들면, 화소가 2.0μm단위일 경우, 이동 방향 변위량이 ± 1.0μm이내이면 변경을 행하지 않지만, 이동 방향 변위량이 +1.0μm보다 클 경우는 필요수만큼 솎아 내고, -1.0μm보다 작을 경우는 필요수만큼 추가하여, 이동 방향 변위량이 ± 1.0μm이내가 되도록 변경을 행한다.

한편, 화상 데이터가 형성하는 화상에 있어서의 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 위치는, 해당 이동 방향 변위량을 산출한 마킹(24)의 간격에 대응하는 범위 에서 솎아 내거나 또는 추가하는 라인의 수에 따라서 균등한 간격으로 하는 것이 바람직하지만, 해당 범위내이면 어떤 위치라도 좋다. 또한, 추가하는 라인의 각 화소는, 추가하는 위치 전후의 라인의 화소로부터 보정 처리 등에 의해 구하는 것이 바람직하지만, 전후 어느 한 방향의 라인과 동일한 화소를 추가하도록 해도 좋다. 또한, 마킹(24)이 1열밖에 없을 경우는, 도22(A)에 도시된 바와 같이, 화상 데이터에 의해 형성되는 화상의 전 영역에 대하여 1열분의 이동 방향 변위량에 의한 변경을 행하지만, 마킹(24)이 복수열 있을 경우는, 마킹(24)의 열의 Ｘ방향의 위치에 대응시켜서 화상을 이동 방향에 따른 구형상의 복수의 영역으로 나누고, 각 영역마다에 라인의 솎아냄 또는 추가의 변경을 행하도록 하면 좋고, 모든 헤드 어셈블리(28A)의 위치에 마킹(24)의 열이 설치되어져서 이동 방향 변위량이 구해지고 있을 경우는, 도22(B)에 도시된 바와 같이, 각 헤드 어셈블리(28A)마다의 화상 데이터에 분할되는 영역에 나누고, 각 영역마다에 라인의 솎아냄 또는 추가의 변경을 행하면 좋다.

이하에 제3 실시 형태의 작용을 설명한다.

도23(A)은, 제3 실시 형태에 관한 변위량 산출에 관한 제어의 흐름을 도시하고 있다. 한편, 도23(A)에 있어서의 도11(A)와 동일부호의 개소는 같은 처리이기 때문에 설명을 생략한다.

스텝354에서는, 노광 스테이지(16)의 이동에 의해 발생하는 리니어 엔코더(27)로부터의 펄스를 검출하고, 500,000펄스를 카운트할 때마다 ＣＣＤ카메라(34)에 의해, 50mm 간격으로 마킹된 마킹(24)을 촬상한다. 복로이동이 완료하고, 1열을 구성하는 모든 마킹(24)이 촬상되면, 스텝356에 이행한다.

스텝356에서는, 촬상된 각 마킹 화상으로부터 마킹(24)의 중심의 위치를 구하고, 마킹 화상내에서의 중심의 위치로부터 교차 방향 변위량, 이동 방향 변위량을 검출해서 스텝358에 이행한다.

스텝358에서는, 각 마킹(24)의 이동 방향 변위량으로부터, 도21에 도시된 바와 같이, 각 마킹(24)의 간격마다에 발생한 이동 방향 변위량을 산출해서 변위량 기억 메모리(106)에 기억시킨다. 또한, 각 마킹(24)의 교차 방향 변위량으로부터 보간 처리에서 의해 사행 곡선을 구하고, 사행 곡선으로부터 산출되는 이동 방향의 각 위치마다의 교차 방향 변위량을 변위량 기억 메모리(106)에 기억시켜, 엔드(end)에 이행한다.

그 다음에, 도23(B)은, 제3 실시 형태에 관한 노광 처리 제어에 관한 제어의 흐름을 도시하고 있다. 한편, 도23(B)에 있어서의 도11(B)과 동일부호의 개소는 같은 처리이기 때문에 설명을 생략한다.

스텝400에서는, 변위량 기억 메모리(306)로부터 각 마킹(24)의 간격마다 발생한 이동 방향 변위량을 읽어들이고, 입력된 화상 데이터가 형성하는 화상에 대하여 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하고, 스텝401에 이행한다.

예를 들면, 도21에 도시된 바와 같이, 0∼50[mm]의 사이에서의 이동 방향 변위량이 4.5μm일 경우, 노광 스테이지(16)위의 기록 매체에 있어서 화상 데이터에 기초하는 화상이 형성되었을 경우에, 화상 데이터에 기초하는 화상에 있어서 50mm의 위치의 화소가 기록 매체의 50.0045mm의 위치에 기록되어, 기록 매체의 50mm의 위치의 기록되는 화소는, 화상 데이터에 기초하는 화상의 49.9955mm ((50mm)²/50.0045mm=49.9955mm)의 위치의 화소로 된다. 이 때문에, 화상변경부 (308)는, 화상 데이터가 형성하는 화상의 0∼50mm의 범위에서 2라인을 솎아 내는 변경을 행한다. 이것에 의해, 화상 데이터가 형성하는 화상의 0∼50mm의 범위가 4.0μm (2×2.0μm=4.0μm)만큼 짧아지기 때문에, 50mm의 위치의 화소가 기록 매체의 50.0005mm의 위치에 기록되게 된다. 이렇게 각 마킹(24)의 간격에 대응하는 각영역에서 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하는 것에 의해 도20의 변경 결과에 도시된 바와 같이, 이동 방향에의 위치어긋남이 보정된다.

스텝401에서는, 변경된 화상 데이터를 각 노광 헤드 유닛(28)의 화상 데이터에 분할하고, 분할화상 기억 메모리(116)에 기억시켜, 스텝202에 이행한다.

이상 설명한 것 같이 제3 실시 형태에서는, 노광 스테이지(16)의 이동에 따르는 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남 및 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하고, 이동 방향 변위량 및 교차 방향 변위량을 기억시켜, 기억한 이동 방향 변위량에 기초하여, 화상 데이터가 형성하는 화상의 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행해서 이동 방향의 위치 어긋남을 보정하고, 또한, 교차 방향 변위량에 기초하여, 변경된 화상 각 화소를 교차 방향에 시프트시켜서, 기록 스테이지의 교차 방향의 위치 어긋남을 보정하고, 보정된 화상의 화상 데이터에 기초해서 기록 매체에의 노광을 제어하고 있으므로, 기록 매체에 묘화되는 화상의 왜곡을 저감시켜, 화상을 세밀하게 할 수 있다.

또한, 제3 실시 형태에 관한 노광 장치(10)는, ＣＣＤ카메라(34)(도1참조)를 레일(35)을 따라서 이동시키는 것에 의해 레일(35)에 따른 임의인 위치에서 교차 방향 변위량 및 이동 방향 변위량을 검출할 수 있기 때문에, 다수의 위치에서 교차 방향 변위량 및 이동 방향 변위량을 검출하고, 화상 데이터가 형성하는 화상을 복수의 영역에 나누어서 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하고, 시프트 처리를 행하는 것에 의해, 노광 스테이지(16)의 이동에 따른 노광 스테이지(16)에 수평방향의 회전하는 위치 어긋남이 발생하고 있는 경우에도 위치 어긋남을 보정하는 것도 가능해진다.

한편, 제3 실시 형태에서는, 노광 스테이지(16)위의 마킹(24)을 촬상하는 것에 의해 교차 방향 변위량 및 이동 방향 변위량을 검출했지만, 제1 실시 형태에 있어서 레이저 측장기(42)를 설치한 것에 부가해서, 도24에 도시된 바와 같이, 노광 스테이지(16)에 대하여 수직으로 측장부(43)를 설치해 레이저 측장기(44)를 써서 노광 스테이지(16)의 측장부(43)와의 거리(도232의 거리t6)을 촬상 타이밍마다 측정하고, 촬상 타이밍마다의 거리가 변화되는 간격에 기초해 노광 스테이지(16)의 피칭 진동에 의한 이동 방향 변위량을 검출해도 좋다. 제3 실시 형태의 경우, 레이저 측장기(44)를 변위량 산출부(104)(도7참조)와 또한 접속하고, 위치 어긋남 검출부(104)에 있어서 촬상 타이밍마다 측장되는 노광 스테이지(16)의 측장부(43)와의 거리가 변화되는 간격을 50mm(촬상 타이밍마다 노광 스테이지(16)는 500,000펄스×0.1μm(= 50mm) 이동하기 때문에)와 비교하는 것에 의해 이동 방향 변위량을 검출할 수 있다. 또한, 노광 스테이지(16)위에 복수의 측장부(43)를 설치하고, 레이저 측장기(44)를 도24의 Ｘ방향으로 이동가능하게 하는 레일 및 모터 등을 설치하면, 복수의 위치에서의 이동 방향 변위량을 검출하는 것도 가능해진다. 이렇게, 레이저 측장기(44)를 써서 이동 방향 변위량을 검출하면, 노광 스테이지(16)에 마킹(24)을 행할 필요가 없어진다.

또한, 제3 실시 형태에서는, 변위량 기억 메모리(306)에, 도21에 도시하는 것 같이 각 마킹(24)의 간격마다에 발생한 이동 방향 변위량을 산출해서 기억하는 것으로 했지만, 도20에 도시하는 각 마킹(24)의 이동 방향 변위량을 기억하는 것으로 하여도 좋다. 이 경우는, 화상변경부(308)에 있어서 각 마킹(24)의 간격마다에 발생한 이동 방향 변위량을 산출해서 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하도록 하면 좋다.

또한, 제3 실시 형태에 관한 노광 장치(10)는, 제2 실시 형태와 같이, 패턴 입력부(140), 변위량 등록부(142)를 설치하고, 기록 매체(22)에 노광된 패턴 화상의 마킹(24)의 각 열을 작업자등에 의해 측정하는 것에 의해 이동 방향 변위량 및 교차 방향 변위량을 구하고, 변위량 등록부(142)에서 등록을 행하는 구성으로 하여도 좋다.

또한, 상기 제1 ∼ 제3 실시 형태에서는, 기록 스테이지의 반송 오차에 의한 기록 매체에의 화상기록 위치 오차를 보정하기 위한 보정 방법을, 노광 장치에 적용한 예에 대해서 설명했지만, 이 보정 방법은, 잉크젯(ink jet) 방식등의 여러 묘화 장치(묘화 방법)에도 적용할 수 있다. 다시 말해, 본 발명은, 기록 스테이지의 반송 오차에 따라서 보정된 화상 데이터를 이용해서 기록 매체에의 화상기록을 행하는 장치 및 방법으로서 구성할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에서는, 기록 스테이지의 사행에 의해 생기는 기록 스테이지의 위치 어긋남을 기록 헤드의 위치마다 검출하고, 검출된 위치 어긋남의 변위량 데이터에 기초하여, 화상을 시프트시키는 것에 의해 사행에 의해 생기 는 기록 스테이지의 위치 어긋남을 보정할 수 있고, 기록 매체에 묘화되는 화상의 왜곡을 저감시킬 수 있다고 하는 뛰어난 효과를 구비한다.

Claims (36)

1. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에, 조사된 광을 각각 변조하는 다수의 화소부가 이차원 형태로 배열되어 이루어지는 공간 광변조 소자를 구비하는 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드를 고정시킨 상태로 상기 기록 스테이지를 이동시키며, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서,

   상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 미리 기억부에 기억시켜 두고,

   상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초하여 시프트하고,

   시프트한 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 공간 광변조 소자를 구동함으로써 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
2. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서,

   상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 미리 기억시켜 두고,

   상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하고,

   분할한 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트하고,

   시프트한 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하고,

   트리밍된 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 기억된 상기 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지(merge)해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 기억된 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되고, 상기 위치 어긋남의 검출은,

   상기 마킹의 열을 각각 촬상 가능하도록 상기 이동 방향과 교차하는 방향으로 촬상부를 이동시키고, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 그 촬상부에서 촬상하고,

   촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하고,

   검출된 상기 각 마킹의 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
6. 제 2 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고, 상기 위치 어긋남의 검출은,

   상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향과 교차하는 방향에 배치된 레이저 측장기에 의해, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하고,

   측장된 상기 기록 스테이지와의 거리의 변화에 기초하여 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 것에 의해 행하여지는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
7. 제 2 항에 있어서, 상기 위치 어긋남의 검출은,

   상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하고,

   노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 변위량 데이터를 등록하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
8. 제 5 항에 있어서, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지 상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
9. 제 2 항에 있어서, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
10. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서,

    상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출한 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 미리 기억시켜 두고,

    상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하고,

    변경된 상기 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트하고,

    시프트한 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
11. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 방법으로서,

    상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출한 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출한 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억부에 미리 기억시켜 두고,

    상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하고,

    변경한 상기 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하고,

    분할한 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트하고,

    시프트한 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하고,

    트리밍한 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
12. 제 11 항에 있어서, 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
13. 제 11 항에 있어서, 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
14. 제 10 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다 마킹이 1열 또는 복수열로 되고, 상기 위치 어긋남의 검출이,

    상기 마킹의 열을 각각 촬상 가능하도록 상기 이동 방향과 교차하는 방향에 촬상부를 이동시키고, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 그 촬상부에서 촬상하고,

    촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하고,

    검출된 상기 각 마킹의 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
15. 제 10 항에 있어서,

    상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고, 상기 위치 어긋남의 검출부가,

    상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향과 교차하는 방향에 배치된 제1의 레이저 측장기에 의해, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하고,

    측장된 상기 기록 스테이지와의 거리의 변화에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하고,

    상기 기록 스테이지에 대하여 상기 이동 방향에 배치된 제2의 레이저 측장기를, 상기 교차 방향으로 상기 기록 스테이지와의 거리가 측장가능한 범위내에서 이

    동시키고, 그 거리를 상기 소정의 타이밍마다 측장하고,

    측장된 상기 기록 스테이지와의 거리가 상기 소정의 타이밍마다 변화되는 간격에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
16. 제 10 항에 있어서, 상기 위치 어긋남의 검출이,

    상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하고,

    노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 등록하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
17. 제 14 항에 있어서, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지 상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
18. 제 10 항에 있어서, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
19. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에, 조사된 광을 각각 변조하는 다수의 화소부가 이차원 형태로 배열되어 이루어지는 공간 광변조 소자를 구비하는 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드를 고정시킨 상태로 상기 기록 스테이지를 이동시키며, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서,

    상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와,

    상기 검출부에 의해 검출된 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와,

    상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와,

    상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 공간 광변조 소자를 구동함으로써 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
20. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서,

    상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와,

    상기 검출부에 의해 검출된 상기 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와,

    상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하는 분할부와,

    상기 분할부에 의해 분할된 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와,

    상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하는 트리밍부와,

    상기 트리밍부에 의해 트리밍된 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
21. 제 20 항에 있어서, 상기 분할부가, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 상기 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
22. 제 20 항에 있어서, 상기 분할부가, 상기 화상 데이터가 형성하는 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
23. 제 20 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되고,

    상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 촬상하는 1개 이상의 촬상부와,

    상기 촬상부를 상기 이동 방향과 교차하는 방향에 이동시켜서 상기 마킹의 열을 각각 촬상가능하도록 하는 이동부와,

    상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하는 동일 상대위치 검출부와,

    상기 동일 상대위치 검출부에 의해 검출된 상기 각 마킹의 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제1의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
24. 제 20 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고,

    상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향과 교차하는 방향에 배치되고,

    상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 소정의 타이밍마다 측장하는 레이저 측장기와,

    상기 레이저 측장기에 의해 측장된 상기 기록 스테이지와의 거리의 변화에 기초해 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제2의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
25. 제 20 항에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하는 위치 패턴 노광부와,

    상기 위치 패턴 노광부에 의해 노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 변위량 데이터를 상기 기억부에 등록하는 등록부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
26. 제 23 항에 있어서, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지 상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
27. 제 20 항에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
28. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지를 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서,

    상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와,

    상기 검출부에 의해 검출된 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와,

    상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향에의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하는 변경부와,

    상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와,

    상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
29. 기록 스테이지 상에 탑재된 기록 매체에 직선상으로 배열된 복수의 기록 헤드로부터 화상 데이터에 기초하는 광빔을 조사하고, 상기 기록 헤드와 상기 기록 매체를, 상기 기록 헤드를 배열한 직선방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키고, 상기 기록 매체에 화상을 노광하는 노광 장치로서,

    상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 해당 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여의 이동 방향에의 위치 어긋남 및 상기 이동 방향과 교차하는 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와,

    상기 검출부에 의해 검출된 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 기억하는 기억부와,

    상기 기억부에 기억된 상기 이동 방향으로의 변위량 데이터에 기초하여 상기 화상 데이터가 형성하는 화상의 상기 교차 방향에 따른 라인을 솎아 내거나 또는 추가하는 변경을 행하는 변경부와,

    상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상을 상기 복수의 기록 헤드로부터 각각 노광하는 분할 화상으로 분할하는 분할부와,

    상기 분할부에 의해 분할된 상기 분할 화상의 각 화소를 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초해 시프트시키는 시프트부와,

    상기 시프트부에 의해 시프트된 상기 분할 화상을 연결경계 위치에서 트리밍하는 트리밍부와,

    상기 트리밍부에 의해 트리밍된 상기 분할 화상의 화상 데이터에 기초하여, 상기 기록 헤드에 의한 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 노광 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
30. 제 29 항에 있어서, 상기 분할부가, 상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역마다로 분할하고, 분할된 상기 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 머지해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
31. 제 29 항에 있어서, 상기 분할부가, 상기 변경부에 의해 변경된 상기 화상을 상기 각 기록 헤드로 노광가능한 화상영역에 서로 인접하는 화상영역을 적어도 상기 기억부에 기억된 상기 교차 방향으로의 변위량 데이터에 기초하는 변위량의 폭만큼 추가한 영역마다로 분할해서 상기 분할 화상으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
32. 제 29 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 상기 기록 헤드와 상기 기록 스테이지와의 이동 방향에 따라 일정한 간격마다에 마킹이 1열 또는 복수열로 되고,

    상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지 상의 상기 마킹의 열을 소정의 타이밍마다 촬상하는 1개 이상의 촬상부와,

    상기 촬상부를 상기 교차 방향으로 이동시켜서 상기 마킹의 열을 각각 촬상 가능하도록 하는 이동부와,

    상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 마킹 화상으로부터 상기 각 마킹의 동일 상대위치를 검출하는 동일 상대위치 검출부와,

    상기 동일 상대위치 검출부에 의해 검출된 상기 각 마킹의 동일 상대위치의 상기 마킹 화상내에서의 위치에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제1의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
33. 제 29 항에 있어서, 상기 기록 스테이지에 1개 또는 복수개의 측장부가 설치되고,

    상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 스테이지의 스테이지면에 대하여 상기 교차 방향에 배치되고, 상기 기록 스테이지의 상기 측장부와의 거리를 정의 타이밍마다 측장하는 제1의 레이저 측장기와,

    상기 제1의 레이저 측장기에 의해 측장된 상기 기록 스테이지와의 거리의 변화에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남을 검출하는 제2의 검출부와,

    상기 기록 스테이지에 대하여 상기 이동 방향에 배치되고, 상기 기록 스테이지와의 거리를 상기 소정의 타이밍마다 측장하는 제2의 레이저 측장기와,

    상기 제2의 레이저 측장기를 상기 교차 방향으로 상기 거리가 측장가능한 범위내에서 이동시키는 제2의 이동부와,

    상기 제2의 레이저 측장기에 의해 측장된 상기 기록 스테이지와의 거리가 상기 소정의 타이밍마다 변화되는 간격에 기초해 상기 기록 스테이지의 상기 이동 방향에의 위치 어긋남을 검출하는 제3의 검출부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
34. 제 29 항에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 상기 기록 매체에 소정의 위치 데이터 취득용 패턴을 노광하는 위치 패턴 노광부와,

    상기 위치 패턴 노광부에 의해 노광된 상기 위치 데이터 취득용 패턴에 의해 구해지는 상기 이동 방향에의 위치 어긋남의 변위량 데이터 및 상기 교차 방향으로의 위치 어긋남의 변위량 데이터를 상기 기억부에 등록하는 등록부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
35. 제 32 항에 있어서, 마킹된 차트를 상기 기록 스테이지 상에 탑재하는 것에 의해 상기 기록 스테이지 상에 상기 마킹이 되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
36. 제 29 항에 있어서, 상기 위치 어긋남 검출부가, 모든 기록 헤드의 위치에서의 상기 위치 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.

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