JP2004037386A - X線透視装置 - Google Patents
X線透視装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004037386A JP2004037386A JP2002197619A JP2002197619A JP2004037386A JP 2004037386 A JP2004037386 A JP 2004037386A JP 2002197619 A JP2002197619 A JP 2002197619A JP 2002197619 A JP2002197619 A JP 2002197619A JP 2004037386 A JP2004037386 A JP 2004037386A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image
- ray
- partial image
- photographing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】部分画像撮影状態で、その部分画像の各辺に沿った輝度変化を求め、輝度変化の大きい辺でサンプル像の境界が交差していると判定し、例えば反時計回り等のあらかじめ設定されている優先順位に従った方向に次の部分画像を撮影するための視野を移動させるように、試料ステージ3を自動的に駆動していき、全ての部分画像の撮影後にこれらを繋ぎ合わせて全景画像を構築することにより、無駄な撮影を行うことなく、自動的にサンプル像の境界に辿りながら部分画像を撮影していくことを可能とする。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、工業製品などの透視検査を行うためのX線透視装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
工業製品などの透視検査を行うためのX線透視装置においては、一般に、X線源に対向して、イメージインテンシファイアとCCDカメラなどを組み合わせてなるX線カメラを配置し、これらの間に、透視対象物であるサンプルを搭載するための試料ステージが配置された構成を採る。この構成において、試料ステージは、X線源とX線カメラを結ぶX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動できるようになっており、X線光軸方向への移動により撮影倍率を変化させ、またそのX線光軸に直交する2軸方向に移動させることによってX線カメラの視野を変化させ得るようになっている。
【0003】
このようなX線透視装置を用いて透視検査を行うに当たり、サンプルがX線カメラの視野内に収まらない場合、通常、サンプルの部分画像を別々に撮影し、その各部分画像を繋ぎ合わせることによって1枚の全景画像を構築する技術が知られている(例えば特開2000−97881号公報参照)。
【0004】
このような全景画像が得られれば、その全景画像上での位置関係から、試料ステージを移動させてサンプル上の注目したい部位にX線カメラの視野を移動させることができ、その移動ののちに試料ステージをX線光軸方向に移動させるなどによって注目部位の拡大透視像などを得ることも可能となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、サンプルの部分画像から全景画像を構築する特開2000−97881号公報に記載の技術によれば、全景画像を構築するために、オペレータがサンプルの境界、つまり撮影範囲を設定入力する必要があり、手間が掛かるという問題があるばかりでなく、オペレータのミスによって誤った境界を入力してしまう可能性もある。
【0006】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、サンプルの境界を設定入力することなく、自動的に、かつ、効率的に部分画像を撮影して全景画像を構築することのできるX線透視装置の提供を目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のX線透視装置は、X線源と、そのX線源に対向配置されたX線カメラと、これらのX線源とX線カメラの間に配置され、サンプルを搭載してX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動可能な試料ステージと、上記X線カメラからの出力を用いてサンプルのX線透視像を表示する画像表示手段を備えたX線透視装置において、上記試料ステージをX線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ自動的に移動させつつサンプルの部分画像を撮影する部分画像逐次撮影手段と、その各部分画像からサンプルの全景画像を構築する全景画像構築手段を備え、上記部分画像逐次撮影手段は、部分画像の撮影状態で、その部分画像の各辺に沿った輝度変化を求め、輝度変化の大きい辺でサンプル像の境界が交差していると判定し、輝度変化の大きい辺のうち、あらかじめ設定されている優先順位に従った辺の方向に次の部分画像を撮影するための視野を移動させるように上記試料ステージを駆動することによって特徴づけられる。
【0008】
本発明は、X線カメラの視野を変化させるべく試料ステージをX線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ移動させて部分画像を撮影する動作中に、部分画像の4辺に沿った輝度変化から、サンプルの境界が交差しているか否かを自動的に判別することによって、オペレータが設定入力することなく自動的にサンプルの境界を検知して、所期の目的を達成するものである。
【0009】
すなわち、サンプルの境界が交差している辺では、その辺に沿った輝度変化が大きくなる(図4,図5参照)。従って、部分画像を撮影している状態において、その部分画像の各辺に沿った輝度変化を求めることにより、各辺にサンプルの境界が交差しているか否かを判別することができる。サンプルの境界が交差している辺に隣接する領域には、サンプルが未だ存在していることが判るので、輝度変化が大きい辺のうち、規定の優先順位、例えば時計回りないしは反時計回りなど、に従った辺の方向に次の部分画像を撮影するための視野を移動させるべく試料ステージを移動させることにより、オペレータがサンプルの境界を設定することなく、X線カメラの視野がサンプルの境界を辿るように自動的に部分画像を撮影して、全景画像を構築することが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の全体構成図であり、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【0011】
X線源1はそのX線光軸Lを鉛直上方に向けた状態で配置されており、このX線源1に対向してX線カメラ2が設けられている。また、これらのX線源1とX線カメラ2の間には、透視対象物であるサンプルWを載せるための試料ステージ3が配置されている。
【0012】
X線カメラ2は、例えばイメージインテンシファイアとCCDカメラとを組み合わせた公知のものであり、このX線カメラ2はカメラ移動機構4によってX線光軸Lの方向(z軸方向)に移動可能となっている。
【0013】
試料ステージ3は、ステージ移動機構5の駆動により、z軸方向と、そのz軸方向に直交する水平面上で互いに直交するx,y軸方向の合計3軸方向に独立的に移動可能となっている。
【0014】
X線カメラ2の各画素出力は画像取り込み回路6を介してパーソナルコンピュータ7に取り込まれる。パーソナルコンピュータ7では、その各画素出力を用いてX線カメラ2によるサンプルWのX線透視像を構築し、表示器7aに表示する。前記したカメラ移動機構4およびステージ移動機構5は、このパーソナルコンピュータ7の制御下に置かれており、当該パーソナルコンピュータ7に接続されているキーボード7bないしはマウス7cを手動操作することによって、X線カメラ2および試料ステージ3を所望の方向に移動させることができるように構成されている。
【0015】
また、このパーソナルコンピュータ7には、以下に示すような部分画像逐次撮影・全景画像構築用プログラムがインストールされており、このプログラムはキーボード7bないしはマウス7cを操作することによってスタートすることができるようになっている。
【0016】
図2は部分画像逐次撮影・全景画像構築用プログラムの内容を示すフローチャートであり、以下、この図を参照しつつ本発明の実施の形態の動作を説明する。この例は、反時計回りにサンプルの境界を辿る場合の例を示している。
【0017】
まず、試料ステージ3を手動操作して、X線カメラ2の視野をサンプルWの境界が入る任意の位置に移動させた状態で、スタート指令を与える。スタート指令が与えられると、その位置における部分画像を撮影する。なお、部分画像を撮影するとは、その位置において得られるX線カメラ2からの1フレーム分の画素データをパーソナルコンピュータ7のメモリに撮影データとして格納とする動作を言い、以下同じである。
【0018】
さて、最初の部分画像が、図3に示す例においてP1であったとする。この部分画像P1について、図4に示すように、その4辺A〜Dについて、それぞれの辺に沿った輝度変化(ラインプロファイル)を求める。これらの各辺A〜Dに沿った輝度変化は、図5(A)〜(D)に示す通りである。すなわち、辺AおよびBでは左から右にかけてサンプル像のない部分において輝度が大きく(明るく)、サンプル像の存在する部分は輝度が小さく(暗く)なり、大きな輝度変化を示す。一方、辺Cでは辺全体にわたってサンプル像が存在しないため、輝度は一様に大きい。また、辺Dでは、辺全体にわたってサンプル像が存在するため、輝度は一様に小さい。このような各辺に沿った輝度変化から、各辺にサンプル像の境界が交差しているか否かを明確に判別することができる。
【0019】
さて、反時計回りに視野を移動させるという約束事から、各辺A〜Dの輝度変化についても、反時計回りにサンプル像の境界の交差の有無を判別していく。すなわち、辺Cからサンプル像の境界の交差の有無を判別していき、最初にサンプル像の境界が交差している辺Bを得て、その辺B側、つまり下向きに視野を移動させることを決定する。この移動量は1画面相当分であって、試料ステージ3を決定通りに自動的に移動させてX線透視像撮影することにより、図3における部分画像P2を得る。
【0020】
次に、この部分画像P2についても、上記と同様にして各辺の輝度変化を求めて、次の移動方向を定める。この場合、この視野は上方から移動してきたので、上方から反時計回りの各辺の輝度変化を調べる。すなわち、左辺→下辺→右辺→右辺の順で輝度変化の大きさを調べる。部分画像P2においては、左辺;輝度辺変化なし、下辺;輝度変化なし、右辺;輝度変化ありなので、右辺側に視野が移動するように試料ステージ3を移動させ、部分画像P3を撮影する。
【0021】
以下、同様にして、サンプルWの境界が交差している辺を探し、反時計回りに1画面相当分だけ移動させていき、当初の部分画像P1に戻った時点で、サンプルWの境界を一周したことを認識することができる。そして、これらのサンプルWの境界1周分の部分画像部分画像P1,P2,P3・・・・の撮影の後、これらで囲まれた内側に撮影されていない領域がないか否かを判別し、ある場合にはその領域が視野に入るように試料ステージ3を移動させて部分画像を撮影したうえで、また、ない場合には部分画像の撮影動作を終了する。そして、各部分画像を繋ぎ合わせて全景画像を構築して表示器7aに表示し、プログラムを終了する。
【0022】
以上の実施の形態によると、部分画像の撮影に際してオペレータはサンプルWの境界を何ら設定する必要がなく、しかも、それにも係わらず、サンプルWが全く視野に入らない位置に試料ステージ3を移動させることなく、効率的に全ての部分画像を自動的に撮影することができる。
【0023】
ここで、サンプルWの形状がより複雑な例えば図6に示すような形状であっても、上記のプログラムによって全ての部分画像を撮影することができる。すなわち、この図6のような形状をしたサンプルWにおいては、上記のプログラムによれば、部分画像P2の撮影後に部分画像P3を撮影した後、次に視野は部分画像P2の撮影位置に戻る。しかし、この場合、部分画像P3へは下から移動してきたので、サンプル像の境界の有無の判定は右から行うことになるため、視野は部分画像P2の位置から部分画像P4の位置へと移動可能となる。
【0024】
また、以上のプログラムの実行に先立ち、サンプル像が視野中に存在しない位置で画像を撮影し、そのときの輝度をサンプルなしの輝度として記憶しておき、各辺の輝度変化を判定する際に用いればより確実にサンプルの境界の判定を行うことができる。
【0025】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、サンプルの一部が視野中にある任意の位置から、オペレータがサンプルの境界等の設定を行うことなく、自動的に、かつ、視野中にサンプルの存在しない位置に移動することなく、全景画像を作成するために必要な部分画像を効率的に撮影することができる。その結果、全景画像を作成するために必要最小限の部分画像が自動的に撮影されることになり、サンプルの境界の設定が不要であることと併せて、全景画像を得るための所要時間を短縮化することができる。また、部分画像の撮影が必要最小限になることから、オペレータの被曝量も少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の全体構成図であり、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図2】本発明の実施の形態のパーソナルコンピュータにインストールされている部分画像逐次撮影・全景画像構築用プログラムの内容を示すフローチャートである。
【図3】本発明の実施の形態によるX線カメラの視野の移動手順の説明図である。
【図4】図3における部分画像P1の拡大図によって示す本発明の実施の形態によるサンプル像の境界の有無の判定の説明図である。
【図5】図4の部分画像P1の4辺A〜Dについて、それぞれの辺に沿った輝度変化の測定結果の例を示すグラフである。
【図6】本発明の実施の形態により、図3とは異なる形状のサンプルの部分画像を撮影する場合のX線カメラの視野の移動手順の説明図である。
【符号の説明】
1 X線源
2 X線カメラ
3 試料ステージ
4 カメラ移動機構
5 ステージ移動機構
6 画像取り込み回路
7 パーソナルコンピュータ
7a 表示器
7b キーボード
7c マウス
W サンプル
Claims (1)
- X線源と、そのX線源に対向配置されたX線カメラと、これらのX線源とX線カメラの間に配置され、サンプルを搭載してX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動可能な試料ステージと、上記X線カメラからの出力を用いてサンプルのX線透視像を表示する画像表示手段を備えたX線透視装置において、
上記試料ステージをX線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ自動的に移動させつつサンプルの部分画像を撮影する部分画像逐次撮影手段と、その各部分画像からサンプルの全景画像を構築する全景画像構築手段を備え、上記部分画像逐次撮影手段は、部分画像の撮影状態で、その部分画像の各辺に沿った輝度変化を求め、輝度変化の大きい辺でサンプル像の境界が交差していると判定し、輝度変化の大きい辺のうち、あらかじめ設定されている優先順位に従った辺の方向に次の部分画像を撮影するための視野を移動させるように上記試料ステージを駆動することを特徴とするX線透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002197619A JP3897102B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | X線透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002197619A JP3897102B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | X線透視装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004037386A true JP2004037386A (ja) | 2004-02-05 |
JP3897102B2 JP3897102B2 (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=31705341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002197619A Expired - Fee Related JP3897102B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | X線透視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3897102B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005221459A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Shimadzu Corp | X線透視装置 |
JP2012091288A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Makino Milling Mach Co Ltd | 工具寸法の測定方法及び測定装置 |
US9453716B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-09-27 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Method of measurement and apparatus for measurement of tool dimensions |
JP7524791B2 (ja) | 2021-02-22 | 2024-07-30 | 株式会社島津製作所 | X線撮影装置およびx線撮影方法 |
-
2002
- 2002-07-05 JP JP2002197619A patent/JP3897102B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005221459A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Shimadzu Corp | X線透視装置 |
US9453716B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-09-27 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Method of measurement and apparatus for measurement of tool dimensions |
JP2012091288A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Makino Milling Mach Co Ltd | 工具寸法の測定方法及び測定装置 |
JP7524791B2 (ja) | 2021-02-22 | 2024-07-30 | 株式会社島津製作所 | X線撮影装置およびx線撮影方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3897102B2 (ja) | 2007-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7477723B2 (en) | X-ray fluoroscope | |
KR100739583B1 (ko) | 방사선 화상 촬영 장치, 방사선 화상 촬영 시스템, 및방사선 화상 촬영 방법 | |
JP2008051781A (ja) | 基板の外観検査方法および装置 | |
JP6233824B1 (ja) | 画像検査装置、生産システム、画像検査方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP2020082273A (ja) | 画像処理装置およびその制御方法、プログラム | |
US10133256B2 (en) | Information processing apparatus and method for calculating inspection ranges | |
JP4561981B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP4715986B2 (ja) | X線透視装置 | |
KR100679550B1 (ko) | 결함검출기 및 결함검출방법 | |
JP2006343193A (ja) | X線透視装置 | |
JP3897102B2 (ja) | X線透視装置 | |
JP2012002696A (ja) | X線検査装置 | |
JP2007033372A (ja) | 外観検査装置 | |
JP4665696B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP4742902B2 (ja) | X線検査装置 | |
CN103163163A (zh) | X射线检查装置 | |
JP5950100B2 (ja) | X線検査装置 | |
TW200405001A (en) | Visual inspection supporting device for industrial products | |
JP2009162671A (ja) | 工業製品の目視検査支援装置 | |
JP2017213270A (ja) | 放射線撮影システム、その制御装置及びプログラム | |
JP4158027B2 (ja) | X線透視検査装置 | |
JP2007178229A (ja) | X線検査装置 | |
JP4609643B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP5544909B2 (ja) | X線検査装置 | |
JPH1128205A (ja) | X線透視撮影台 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060802 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3897102 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100105 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110105 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120105 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130105 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140105 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |