JP4041042B2 - 欠陥確認装置および欠陥確認方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態における欠陥確認装置4を含む欠陥確認システム1の構成例を示す図である。欠陥確認システム1は、ネットワーク2を介して検査装置3と欠陥確認装置4とが接続された構成となっている。なお、ネットワーク2は、LAN(Local Area Network)や公衆回線など、検査装置3と欠陥確認装置4との間で、所定の通信プロトコルを用いてデータ通信が可能であればどのようなネットワークであってもよい。また、検査装置3および欠陥確認装置4は、ネットワーク2に複数接続されていてもよい。
(1) 水平X0軸から鉛直面内で下向きに若干傾きつつY軸と直交するX軸、および、
(2) X軸およびY軸と直交するZ軸、
も定義されている。この実施形態ではX軸およびZ軸は、それぞれX0軸およびZ0軸から傾いているが、X軸がX0軸、Z軸がZ0軸とそれぞれ一致していてもよい。
第1の実施の形態では、マスター画像データ405と被検査画像データ404とを同時に表示するように説明したが、各画像データの表示手法はこれに限られるものではなく、それぞれを切り替えて表示するように構成してもよい。
上記実施の形態では、マスター画像データ405と被検査画像データ404とを1つの確認モニタ41に表示させる欠陥確認装置4について説明したが、各画像データの表示手法はこれに限られるものではなく、それぞれを別々の表示装置に表示するように構成してもよい。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
2 ネットワーク
3 検査装置
4,5 欠陥確認装置
40 操作部
404 被検査画像データ
405 マスター画像データ
41,414,415 確認モニタ
412 切替ボタン
413 リターンボタン
42 撮像部
43 検査ステージ
44,45 移動機構
46 ズーム機構
47 通信部
48 制御部
480 記憶部
481 欠陥位置・サイズ演算部
482 倍率演算部
483 X/Y制御部
484 ズーム制御部
485 被検査画像表示部(第1表示手段)
486 マスター画像表示部(第2表示手段)
487 切替部
90 基板
α,α1,α2 表示倍率
β,β1,β2 撮像倍率
Claims (19)
- 検査対象物上の欠陥を確認する欠陥確認装置であって、
画像データを表示する少なくとも1つの表示装置と、
被検査対象物を保持する保持手段と、
前記保持手段により保持された前記検査対象物について、前記検査対象物上の欠陥が存在する欠陥領域の位置とサイズとを示す欠陥情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段により取得された前記欠陥情報に応じて、前記欠陥領域を撮像した被検査画像データを取得する画像取得手段と、
前記情報取得手段により取得された前記欠陥情報に基づいて、前記欠陥領域の表示倍率を演算する表示倍率演算手段と、
前記表示倍率演算手段により求められた前記欠陥領域の表示倍率に応じて、前記被検査画像データを前記少なくとも1つの表示装置に表示させる第1表示手段と、
前記表示倍率演算手段により求められた前記欠陥領域の表示倍率に基づいて、前記欠陥領域との比較対象となるマスター画像データの表示倍率を演算し、求めた前記マスター画像データの表示倍率に応じて、前記マスター画像データを前記少なくとも1つの表示装置に表示させる第2表示手段と、
を備えることを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1に記載の欠陥確認装置であって、
前記画像取得手段が、
前記保持手段に保持された前記被検査対象物を撮像する撮像手段を有し、
前記撮像手段による撮像により、前記被検査画像データを取得することを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項2に記載の欠陥確認装置であって、
前記画像取得手段が、
前記保持手段に保持された前記被検査対象物と前記撮像手段との相対位置を決定する位置決定手段と、
前記表示倍率演算手段により求められた前記表示倍率に基づいて、前記被検査対象物を撮像する際の撮像倍率を決定する撮像倍率決定手段と、
を有することを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項3に記載の欠陥確認装置であって、
前記位置決定手段が、前記欠陥情報に含まれる前記欠陥領域の位置に応じて、前記相対位置を決定することを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の欠陥確認装置であって、
前記表示倍率演算手段が、前記欠陥情報に含まれる前記欠陥領域のサイズに基づいて、前記被検査画像データの表示倍率を演算することを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項3または4に記載の欠陥確認装置であって、
前記撮像倍率決定手段が、前記表示倍率演算手段により求められた前記被検査画像データの表示倍率に応じて前記撮像手段の撮像倍率を決定することを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の欠陥確認装置であって、
オペレータからの入力情報を受け付ける操作部をさらに備え、
前記表示倍率演算手段が、前記操作部により受け付けられた前記入力情報に基づいて、前記被検査画像データの表示倍率を演算することを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の欠陥確認装置であって、
前記マスター画像データがデジタルビットマップ画像データであり、
前記第2表示手段により求められる前記マスター画像データの表示倍率が、前記デジタルビットマップ画像データの整数倍であることを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の欠陥確認装置であって、
前記第1表示手段による前記被検査画像データの表示と、前記第2表示手段による前記マスター画像データの表示とが前記少なくとも1つの表示装置のうちの1つにおいて同時に行われることを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の欠陥確認装置であって、
前記第1表示手段による前記被検査画像データの表示と、前記第2表示手段による前記マスター画像データの表示とを切り替えて前記少なくとも1つの表示装置のうちの1つに表示させる切替手段をさらに備えることを特徴とする欠陥確認装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の欠陥確認装置であって、
前記第1表示手段および前記第2表示手段が、別々の表示装置に表示させることを特徴とする欠陥確認装置。 - 検査対象物上の欠陥を確認する欠陥確認方法であって、
被検査対象物を保持する保持工程と、
前記保持工程において保持された前記検査対象物について、前記検査対象物上の欠陥が存在する欠陥領域の位置とサイズとを示す欠陥情報を取得する情報取得工程と、
前記情報取得工程において取得された前記欠陥情報に応じて、前記欠陥領域を撮像した被検査画像データを取得する画像取得工程と、
前記情報取得工程において取得された前記欠陥情報に基づいて、所定の演算規則に従って、前記欠陥領域の表示倍率を演算する表示倍率演算工程と、
前記表示倍率演算工程により求められた前記欠陥領域の表示倍率に応じて、前記被検査画像データを表示させる第1表示工程と、
前記表示倍率演算工程により求められた前記欠陥領域の表示倍率に基づいて、前記欠陥領域との比較対象となるマスター画像データの表示倍率を演算し、求めた前記マスター画像データの表示倍率に応じて、前記マスター画像データを表示させる第2表示工程と、
を有することを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項12に記載の欠陥確認方法であって、
前記画像取得工程が、
前記保持工程において保持された前記被検査対象物を撮像部により撮像する撮像工程を有し、
前記撮像工程において前記被検査対象物の欠陥領域を撮像することにより、前記被検査画像データを取得することを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項13に記載の欠陥確認方法であって、
前記画像取得工程が、
前記保持工程に保持された前記被検査対象物と前記撮像部との相対位置を決定する位置決定工程と、
前記表示倍率演算工程において求めた前記表示倍率に基づいて、前記撮像部の撮像倍率を決定する撮像倍率決定工程と、
をさらに有することを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項14に記載の欠陥確認方法であって、
前記位置決定工程において、前記相対位置は、前記欠陥情報に含まれる前記欠陥領域の位置に応じて決定されることを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項12ないし15のいずれかに記載の欠陥確認方法であって、
前記表示倍率演算工程において、前記被検査画像データの表示倍率は、前記欠陥情報に含まれる前記欠陥領域のサイズに基づいて演算されることを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項14または15に記載の欠陥確認方法であって、
前記撮像倍率決定工程において、前記撮像工程の撮像倍率は、前記表示倍率演算工程において求めた前記被検査画像データの表示倍率に応じて決定されることを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項12ないし17のいずれかに記載の欠陥確認方法であって、
オペレータからの入力情報を受け付ける入力工程をさらに有し、
前記表示倍率演算工程において、前記被検査画像データの表示倍率は、前記入力工程において受け付けられた前記入力情報に基づいて演算されることを特徴とする欠陥確認方法。 - 請求項12ないし18のいずれかに記載の欠陥確認方法であって、
前記マスター画像データがデジタルビットマップ画像データであり、
前記第2表示工程において、前記マスター画像データの表示倍率は、前記マスター画像データの表示倍率が前記デジタルビットマップ画像データの整数倍となるように演算されることを特徴とする欠陥確認方法。
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