JP2003247816A - 欠陥確認装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 修正作業の作業効率を向上させる欠陥確認装
置を提供する。 【解決手段】 欠陥確認装置１に、基板９０を載置する
検査ステージ１０、欠陥箇所を撮像する撮像カメラ１
７、撮像カメラ１７が撮像した欠陥箇所の画像を表示す
る補助モニタ１８、移動機構１４、１６を設ける。移動
機構１４は、それぞれの支持架台１５を移動させること
により、移動機構１６に固定されている撮像カメラ１７
および補助モニタ１８を検査ステージ１０に沿って前後
に移動させる。移動機構１６は、撮像カメラ１７の近傍
に補助モニタ１８を固定するとともに、支持架台１５上
でＹ軸方向に移動することにより、撮像カメラ１７およ
び補助モニタ１８をＹ軸方向に移動させる。撮像カメラ
１７を欠陥箇所の近傍に移動させると補助モニタ１８も
欠陥箇所の近傍に移動させられ、作業者は修正作業中に
補助モニタ１８で作業の確認をする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板、プ
リント基板作成用のフィルムマスクやガラスマスクなど
の検査対象物上に形成された配線パターンなどのパター
ンの欠陥を確認するための欠陥確認装置に関し、特に欠
陥確認装置により欠陥箇所を拡大表示して、前記欠陥箇
所を修正するための技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、プリント基板等の検査対象物上
の欠陥箇所は、光学式外観検査装置によって検出され
る。そして、この検出された欠陥箇所に関する位置情報
などは、ネットワークなどを介して欠陥確認装置に送ら
れ、一方、当該検査対象物は、作業者や搬送機構などに
よって欠陥確認装置に移送される。

【０００３】次に、欠陥確認装置では、検査装置から送
られた位置情報に基づいて、撮像カメラを移動させるこ
とにより、移送されてきた当該検査対象物上の欠陥箇所
を撮像する。撮像カメラによって得られた欠陥箇所付近
を撮像した画像データは、欠陥確認装置本体の上方や側
方に固定されたモニタに拡大表示される。

【０００４】作業者は、モニタに拡大表示された画像デ
ータに基づいて、検出された欠陥箇所が確かに欠陥であ
るか否かを確認するとともに、修正作業により修復可能
な欠陥については、モニタ表示を見ながら修正作業を行
う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記技術に
おいては、作業者が修正作業時に確認するモニタは、欠
陥確認装置本体の上方や側方に固定されているため、モ
ニタの位置が修正すべき欠陥箇所の近傍とはならない。
この結果、修正作業時における作業者の姿勢が、欠陥箇
所の位置によって一定とならず、作業効率を低下させる
という問題があった。

【０００６】また、作業者の手動により、モニタを移動
させることができる欠陥確認装置も提案されているが、
修正箇所が変わるたびに、重量のあるモニタを作業者自
身が移動させなければならず、依然として作業効率が悪
いという問題があった。

【０００７】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、主に修正作業の作業効率の向上を図ることができ
る欠陥確認装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１の発明は、検査対象物上の欠陥箇所を撮像
し、それにより得られた画像データに基づいて、前記欠
陥箇所を視覚的に確認する欠陥確認装置であって、所定
の保持部材で保持された前記検査対象物を撮像する撮像
カメラと、前記撮像カメラとの近傍に支持され、前記撮
像カメラによって得られた画像を拡大表示することによ
り、前記検査対象物における欠陥の確認に使用される欠
陥確認モニタとを備える。

【０００９】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
に係る欠陥確認装置であって、前記欠陥確認モニタが、
前記検査対象物の欠陥の修正作業時に使用される補助モ
ニタである。

【００１０】また、請求項３の発明は、検査対象物上の
欠陥箇所を撮像カメラによって撮像し、前記撮像カメラ
により得られた画像データに基づいて、前記欠陥箇所を
欠陥確認モニタに拡大表示する欠陥確認装置であって、
前記検査対象物を保持する保持手段と、前記欠陥箇所の
位置情報に基づいて、前記保持手段に保持された前記検
査対象物上の前記欠陥箇所の近傍に位置するように、前
記欠陥確認モニタを移動させる移動手段とを備える。

【００１１】また、請求項４の発明は、検査対象物上の
欠陥箇所を撮像カメラによって撮像し、前記撮像カメラ
により得られた画像データに基づいて、前記欠陥箇所を
欠陥確認モニタに拡大表示する欠陥確認装置であって、
前記検査対象物を保持する保持手段と、前記撮像カメラ
が前記保持手段に保持された前記検査対象物上の前記欠
陥箇所に対向するように、前記撮像カメラの光学系の光
軸に略垂直な面内で前記撮像カメラを移動させるカメラ
移動手段とを備え、前記欠陥確認モニタが、前記カメラ
移動手段によって、前記面内における少なくとも一方向
に沿って前記撮像カメラと共に移動させられる。

【００１２】また、請求項５の発明は、請求項４の発明
に係る欠陥確認装置であって、前記面内の第１方向に沿
って延設され、前記撮像カメラを前記第１方向に沿って
移動自在に支持する支持架台をさらに備え、前記カメラ
移動手段が、前記撮像カメラを前記支持架台上で前記第
１方向に移動させる第１方向移動手段と、前記撮像カメ
ラとともに前記支持架台を前記面内で前記第１方向と直
交する第２方向に移動させる第２方向移動手段とを有
し、前記欠陥確認モニタが、前記支持架台に固定されて
いる。

【００１３】また、請求項６の発明は、請求項１ないし
５のいずれかの発明に係る欠陥確認装置であって、作業
者が前記欠陥確認装置を操作するために必要な操作情報
を表示する操作モニタをさらに備える。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。

【００１５】＜１． 実施の形態＞図１は、本実施の形
態における欠陥確認装置１の正面図であり、図２は、欠
陥確認装置１の側面を、ネットワーク８および外観検査
装置２とともに示す図である。なお、以下の図において
は、水平Ｙ軸と鉛直Ｚ軸とが定義されており、また図２
以下では、(1) Ｙ軸と直交する水平Ｘ０軸、および(2)
この水平Ｘ０軸から鉛直面内で下向きに若干傾きつつ
Ｙ軸と直交するＸ軸、も定義されている。この実施形態
ではＸ軸はＸ０軸から傾いているが、Ｘ軸がＸ０軸と一
致していてもよい。

【００１６】欠陥確認装置１は、検査対象物である基板
（プリント基板など）９０を載置する検査ステージ１
０、作業者の指示を入力するためのボタンやジョイステ
ィックなどからなる操作部１１、欠陥確認装置１を操作
するために必要な操作情報を表示する操作モニタ１２、
操作モニタ１２をＸ軸方向に移動させることが可能な状
態で上方に支持する支持部材１３、検査ステージ１０の
両側に配置された左右一対の移動機構１４、支持架台１
５、移動機構１６、検査ステージ１０上に保持された基
板９０上の欠陥箇所を画像データとして撮像する撮像カ
メラ１７、修正作業用の補助モニタ１８、撮像カメラ１
７および補助モニタ１８を保護するための保護カバー１
９を備える。また、欠陥確認装置１は、制御部２０およ
び通信部２１を内部に備える。

【００１７】検査ステージ１０の上面は、ＸＹ平面に略
平行とされている。この上面には作業者や図示しない搬
送機構などにより、欠陥確認装置１に移送された基板９
０が所定の位置に載置される。

【００１８】移動機構１４は、検査ステージ１０の両側
にそれぞれ設けられ、主に図示しない回転モータとボー
ルネジとから構成される。当該ボールネジは、Ｘ軸方向
に沿って延設され、当該回転モータの回転駆動力をＸ軸
方向の駆動力に変換し、それぞれ支持架台１５をＸ軸方
向に移動させる。支持架台１５の移動量および位置は、
制御部２０が回転モータの回転角を制御することによ
り、制御可能とされている。

【００１９】支持架台１５は、検査ステージ１０の両側
部分からＹ軸方向に沿って略水平に掛け渡された架橋構
造を有しており、撮像カメラ１７および補助モニタ１８
が取り付けられた移動機構１６を備え、撮像カメラ１７
および補助モニタ１８を検査ステージ１０の上方に支持
する。移動機構１６は、移動機構１４とほぼ同様の構成
（ただし、移動機構１６のボールネジ（図示せず）は、
Ｙ軸方向に延設されている。）により、撮像カメラ１７
および補助モニタ１８を支持架台１５上で共にＹ軸方向
に移動させる機能を有する。

【００２０】撮像カメラ１７は、一般的なＣＣＤカメラ
であって、撮像レンズなどの光学系１７０の光軸（Ｘ軸
およびＹ軸に略垂直な軸）に沿って入射する光を、内部
に有する受像素子（ＣＣＤ）１７１によって光電変換す
ることにより、基板９０上の欠陥箇所付近の画像を画像
データとして撮像するカメラである。なお、光学系１７
０の光軸はＸ軸およびＹ軸に略垂直であるから、ＸＹ平
面は当該光軸に略垂直な面となる。

【００２１】補助モニタ１８は、小型の液晶ディスプレ
イから構成され、支持部材１８０により撮像カメラ１７
と一体となるように移動機構１６に取り付けられてい
る。補助モニタ１８は、主に作業者が基板９０の欠陥箇
所に対する修正作業を行う場合に必要とされる情報を表
示するためのモニタであって、具体的には、撮像カメラ
１７により撮像された画像データに基づいて、基板９０
上の欠陥箇所付近の画像を拡大表示するモニタである。

【００２２】撮影カメラ１７および補助モニタ１８は、
基準作業姿勢（この実施形態の例では座位）をとってい
る作業者の頭部よりも低い位置にあり、補助モニタ１８
のモニタ面は上向きに若干傾斜していることにより、基
準作業姿勢をとっている作業者の視野範囲に補助モニタ
１８の画面が入るようになっている。なお、ここにおけ
る「基準作業姿勢」とは、後述する図３ないし図５に例
示するように、通常の検査および修正作業における身体
の動きの範囲を含んだ姿勢である。

【００２３】保護カバー１９は、前述のように、撮像カ
メラ１７および補助モニタ１８を保護するだけでなく、
他からの入射光を防ぐことにより、撮像カメラ１７が鮮
明に画像データを撮像できるようにする機能を有する。
また、保護カバー１９は、支持架台１５に固設されてお
り、移動機構１４によって支持架台１５とともにＸ軸方
向に移動させられ、常に、撮像カメラ１７および補助モ
ニタ１８の上方を覆うようにされる。

【００２４】制御部２０は、作業者からの指示やプログ
ラム、および取得される各種データなどを記憶し、各種
演算を実行することにより、欠陥確認装置１が備える他
の構成をそれぞれ制御する。

【００２５】通信部２１は、ネットワーク８を介して外
観検査装置２から欠陥箇所に関する位置情報を受信し、
制御部２０に転送する通信インタフェースとしての機能
を有する。なお、ネットワーク８は、ＬＡＮ（Local Ar
ea Network）や公衆回線など、欠陥確認装置１と外観検
査装置２との間で、所定の通信プロトコルを用いてデー
タ通信が可能であればどのようなネットワークであって
もよい。また、外観検査装置２は、基板９０上の欠陥箇
所を検出し、当該欠陥箇所の位置情報を生成して欠陥確
認装置１に送信することができる装置であればどのよう
な構成を有する装置であってもよい。

【００２６】以上の構成を有する欠陥確認装置１におい
て、作業者が欠陥箇所の確認および修正作業を行う場合
の欠陥確認装置１の動作について説明する。

【００２７】まず、欠陥確認装置１では、移送されてき
た基板９０が検査ステージ１０の所定の位置に載置され
る。続いて、基板９０上の位置決めマーカ（ペイントや
切り欠きなど）を撮像カメラ１７が撮像し、撮像した画
像データから位置決めマーカを認識して、基板９０に対
する撮像カメラ１７の位置決めを行う。なお、操作モニ
タ１２の画面には、各種操作データが表示されており、
作業者は、当該画面を見ながら操作部１１を操作するこ
とにより、欠陥確認装置１に必要な指示（例えば、確認
作業の開始指示や、欠陥箇所の選択指示など）を与える
ことができる。

【００２８】次に、制御部２０が、外観検査装置２から
ネットワーク８を介して通信部２１が受信した当該基板
９０上の欠陥箇所の位置情報を通信部２１から取得する
とともに、当該位置情報に含まれる欠陥箇所の位置と、
現在の撮像カメラ１７の位置との相対距離に基づいて、
当該欠陥箇所を撮像できる位置（撮像カメラ１７の撮像
範囲に当該欠陥箇所が含まれる位置）に撮像カメラ１７
を移動させるために必要なＸ軸方向およびＹ軸方向の移
動量を算出する。

【００２９】さらに、算出した各移動量に基づいて、移
動機構１４、１６に対する駆動パルス信号を生成し、移
動機構１４、１６に出力する。当該駆動パルス信号を受
信した一対の移動機構１４は、左右の移動機構１４が協
調して支持架台１５をＸ軸方向に移動させる。また、移
動機構１６は、支持架台１５上で撮像カメラ１７をＹ軸
方向に移動させる。

【００３０】このようにして、撮像カメラ１７は、欠陥
箇所の上方（欠陥箇所の近傍）に移動し、当該欠陥箇所
の画像を画像データとして撮像する。このとき、補助モ
ニタ１８は、撮像カメラ１７と共に一体化されているた
め、移動機構１６によって同様の移動動作が行われる。
したがって、補助モニタ１８も撮像カメラ１７と同様に
欠陥箇所の近傍に移動し、当該位置に設置されることと
なる。

【００３１】このように、補助モニタ１８と撮像カメラ
１７とが、移動機構１４、１６を共有することにより、
欠陥確認装置１の構成を簡素化することができる。

【００３２】撮像カメラ１７が撮像した画像データは、
制御部２０により必要な画像処理が行われ、操作モニタ
１２の画面に画像として表示される。さらに、当該画像
データは、補助モニタ１８の画面にも画像として表示さ
れる。

【００３３】作業者は、操作モニタ１２の画面に表示さ
れる当該画像によって当該欠陥箇所が外観検査装置２に
よる誤報であるか、欠陥であるかを判断し、当該欠陥箇
所が欠陥であって、欠陥確認装置１上で修正可能と判断
した場合にのみ、修正作業を開始する。

【００３４】図３および図４は、欠陥箇所の確認・修正
作業を行う場合について、主に作業者のＺ軸方向の動作
を従来例とともに示す図である。なお、図３は、作業者
が、比較的手前（作業者の近傍）の欠陥箇所に対する確
認・修正作業を行う場合であり、図４は、比較的奥側
（作業者から遠い位置）の欠陥箇所に対して確認・修正
作業を行う場合を示す。

【００３５】作業者は、操作モニタ１２を見ながら、撮
像カメラ１７によって撮像される欠陥箇所が欠陥か否か
の確認作業を行う。このときの作業者の姿勢を姿勢ＰＯ
１、操作モニタ１２に向けられている作業者の視線を視
線ＧＡ１とする。

【００３６】次に、作業者が当該欠陥箇所を欠陥である
と判断し、かつ、欠陥確認装置１上で修正可能と判断し
た場合は、当該欠陥箇所についての修正作業を開始す
る。

【００３７】まず、従来例（操作モニタ１２のみ備える
装置）について説明すると、作業者は、当該欠陥箇所に
対する修正作業を行うために、修正道具（図示せず）を
手に持って、当該欠陥箇所が存在する基板９０上に手を
運ぶ必要がある。手を運ぶ位置は、その都度目視によっ
て確認しなければならないため、作業者は姿勢ＰＯ２の
状態に移動し、視線ＧＡ２により手元確認を行う。

【００３８】さらに、修正作業は操作モニタ１２で確認
しながら行う必要があるため、作業者は姿勢ＰＯ１の状
態に移動し、視線ＧＡ１により操作モニタ１２を見なが
ら当該欠陥箇所の修正作業を行う。ただし、作業者が姿
勢ＰＯ１の状態に戻って視線ＧＡ１により操作モニタ１
２を見た際に、修正道具が操作モニタ１２の画面に表示
されていない場合（手を適切な位置に運ぶことができて
いない場合）は、再び、姿勢ＰＯ２、視線ＧＡ２の状態
に戻って修正道具の位置を確認する必要がある。

【００３９】修正作業が終了すると、作業者は、手や修
正道具が基板９０の表面や、欠陥確認装置１の他の構成
に触れたりしないように、手元を確認しながら手を抜き
取る必要がある。そのため作業者は姿勢ＰＯ２、視線Ｇ
Ａ２の状態に移動し、手を安全に抜き取ったことを確認
した後、次の欠陥箇所を確認するための確認作業に戻る
ため、再び姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の状態となる。

【００４０】すなわち、従来例では、１回の修正作業中
において、作業者の姿勢は姿勢ＰＯ１、ＰＯ２となり、
一定しない。また、確認作業から修正作業を行って、再
び確認作業に戻るまでに自らの首を角度θ１移動させる
運動を最低でも２往復行う必要がある。なお、従来例に
おいても、操作モニタ１２をＸ軸方向に手動により移動
させることができるが、操作モニタ１２を見るための視
線ＧＡ１はほとんど変化しないため、作業者の首の移動
量θ１もほとんど緩和されず、操作モニタ１２をＸ軸方
向に移動させたとしても、作業員の姿勢および視線の移
動に関する作業効率の向上は期待できない。

【００４１】一方、本実施の形態における欠陥確認装置
１では、確認作業中における姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の
状態から修正作業を開始するための手元確認のために、
従来例と同様に、作業者は姿勢ＰＯ２、視線ＧＡ２の状
態に移動する。ただし、欠陥確認装置１では、修正作業
の確認は、補助モニタ１８の画面に表示されている画像
データで行うことができる。そのため、作業者は視線を
視線ＧＡ３に移して補助モニタ１８を見ながら修正作業
を行う。修正作業が終了したら手元確認のために視線を
視線ＧＡ２に戻して、手を安全に抜き取ってから、次の
欠陥箇所についての確認作業を行うために姿勢ＰＯ１、
視線ＧＡ１の状態に戻る。

【００４２】すなわち、本実施の形態における欠陥確認
装置１では、１回の修正作業中において、作業者の姿勢
は常に、姿勢ＰＯ２で一定となり、その間は視線をφ１
動かすだけでよい。また、確認作業から修正作業を行っ
て、再び確認作業に戻るまでに自らの首を角度θ１移動
させる運動を１往復行うだけでよく、修正作業中に手元
を確認する必要が生じた場合でも、視線をφ１動かすだ
けでよい。

【００４３】次に、図４に示す例について従来例から説
明する。作業者は、確認作業中における姿勢ＰＯ１、視
線ＧＡ１の状態から当該欠陥箇所に対する修正作業を開
始するため、姿勢ＰＯ３の状態に移動する。また、その
際には視線ＧＡ４により手元確認を行う。さらに、修正
作業を操作モニタ１２で確認しながら行うために、姿勢
ＰＯ４の状態に移動し、視線ＧＡ６により操作モニタ１
２を見ながら修正作業を行う。もちろん、図３に示した
例と同様に、作業者が姿勢ＰＯ４の状態で、視線ＧＡ６
により操作モニタ１２を見た際に、修正道具が操作モニ
タ１２の画面に表示されていない場合は、再び、姿勢Ｐ
Ｏ３、視線ＧＡ４の状態に戻って修正道具の位置を確認
する必要がある。

【００４４】修正作業が終了すると、作業者は、修正作
業後の手元確認のため、姿勢ＰＯ３、視線ＧＡ４の状態
に移動し、手を安全に抜き取った後、次の欠陥箇所を確
認するために、姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の状態に戻る。

【００４５】すなわち、図４に示す従来例においても、
１回の修正作業中において、作業者の姿勢は姿勢ＰＯ
３、ＰＯ４となるため一定しない。また、そのために自
らの首を角度θ２移動させる運動を最低でも１往復行う
必要がある。

【００４６】一方、本実施の形態における欠陥確認装置
１では、確認作業中における姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の
状態から修正作業を開始するための手元確認のために、
姿勢ＰＯ３、視線ＧＡ４の状態に移動する。修正作業の
確認は、図３に示す例と同様に補助モニタ１８の画面に
表示されている画像データで行うため、視線を視線ＧＡ
５に移す。修正作業が終了したら手元確認のために視線
を視線ＧＡ４に戻して、手を安全に抜き取ってから、次
の確認作業を行うために姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の状態
に戻る。

【００４７】すなわち、本実施の形態における欠陥確認
装置１では、図４に示す例でも１回の修正作業中におい
て、作業者の姿勢は常に、姿勢ＰＯ３で一定となり、そ
の間は視線をφ２動かすだけでよい。

【００４８】さらに、従来例と本実施の形態における欠
陥確認装置１とにおいて、欠陥箇所の位置によって、作
業者の姿勢がどのように変化するかを比較すると、従来
例における修正作業中の姿勢ＰＯ１と姿勢ＰＯ４とで
は、作業者の首の位置が大幅に変化しており、修正作業
中の姿勢が欠陥箇所の位置によって一定しない。

【００４９】一方、本実施の形態における欠陥確認装置
１では、修正作業中の姿勢ＰＯ２と姿勢ＰＯ３とでは、
作業者の首の位置を従来例に比べて変化させる必要がな
く、作業者は欠陥箇所の位置にかかわらず姿勢を保つこ
とができる。

【００５０】図５は、欠陥箇所の確認・修正作業を行う
場合について、主に作業者のＹ軸方向の動作を従来例と
ともに示す概略図である。図５においても、図３および
図４と同様に、作業者は姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の状態
で当該欠陥箇所の確認作業を行う。

【００５１】まず、欠陥箇所が右側に存在した場合を例
に修正作業中の動作について従来例から説明すると、作
業者は、当該右側の欠陥箇所に対する修正作業を行うた
め姿勢ＰＯ５の状態に移動し、視線ＧＡ７により手元確
認を行う。さらに、作業者は首をγ１左回転させた姿勢
ＰＯ６の状態に移動し、視線ＧＡ８により操作モニタ１
２を見ながら確認しつつ、修正作業を行う。図５の場合
においても、作業者が視線ＧＡ８により操作モニタ１２
を見た際に、修正道具が操作モニタ１２の画面に表示さ
れていない場合は、再び、視線ＧＡ７の状態に戻って修
正道具の位置を確認する必要がある。

【００５２】修正作業が終了すると、作業者は、姿勢Ｐ
Ｏ５の状態に移動し、視線ＧＡ７により修正作業後の手
元確認を行い、手を安全に抜き取った後、次の欠陥箇所
を確認するために、姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の状態に戻
る。

【００５３】すなわち、図５に示す従来例においても、
１回の修正作業中において、作業者の姿勢は、姿勢ＰＯ
５、ＰＯ６となるため一定しない。なお、左側の欠陥箇
所を修正する場合も視線ＧＡ９および視線ＧＡ１０を得
るために、作業者は首をγ２右回転させて姿勢ＰＯ７と
姿勢ＰＯ８との間で移動する必要がある。

【００５４】一方、本実施の形態における欠陥確認装置
１では、従来例と同様に当該右側の欠陥箇所に対する修
正作業を行うため姿勢ＰＯ５の状態に移動し、視線ＧＡ
７により手元確認を行う。修正作業の確認は補助モニタ
１８で行うため、視線ＧＡ７のままで修正作業を行う
（より詳しくは、Ｙ軸方向の視線の移動がない。）。ま
た、修正作業後の手元確認についても視線ＧＡ７のまま
で行い、手を安全に抜き取ってから、次の確認作業を行
うために姿勢ＰＯ１、視線ＧＡ１の状態に戻る。

【００５５】すなわち、本実施の形態における欠陥確認
装置１では、修正作業中において、作業者の姿勢は常
に、姿勢ＰＯ５、ＧＡ７の状態となるため一定となる。
なお、左側の欠陥箇所を修正する場合であっても、視線
ＧＡ９が得られればよいことから、作業者は姿勢ＰＯ７
を保つことができる。

【００５６】次に、欠陥箇所が右側にある場合と、左側
にある場合とについて比較を行い、欠陥箇所の位置によ
って作業者の姿勢がどのように変化するかを従来例と欠
陥確認装置１とで比較する。

【００５７】まず、従来例における修正作業中の視線Ｇ
Ａ８とＧＡ１０とでは、視線の方向（首の向き）が逆に
なっており一定した姿勢とはなっていない。それに対し
て、欠陥確認装置１では、視線を操作モニタ１２に向け
る必要がなく、視線ＧＡ７と視線ＧＡ９を得るための姿
勢ＰＯ７およびＰＯ８は、いずれも作業者の正面を向い
た姿勢となっており、一定である。

【００５８】図３ないし図５に示すように、欠陥確認装
置１では、作業者が修正作業を行う際に、補助モニタ１
８を欠陥箇所の近傍に設置することにより、修正作業を
行う作業者の姿勢および視線の移動を最小限にすること
ができるとともに、欠陥箇所の位置によって作業者の姿
勢の変化を最小限にすることができることから、修正作
業の効率を向上させることができる。

【００５９】作業者による確認・修正作業が終了した基
板９０は、検査ステージ１０から搬出され、専用のリワ
ーク装置などによるリワークなど、次工程に搬送され
る。

【００６０】以上、欠陥確認装置１では、撮像カメラ１
７により撮像された欠陥箇所の画像データを補助モニタ
１８の画面に表示し、当該補助モニタ１８を欠陥箇所の
近傍に設置することにより、修正作業中の作業者の姿勢
および視線の移動を最小限にするとともに、欠陥箇所の
位置が変化した場合であっても作業者が姿勢および視線
を保つことができることから、修正作業の効率を向上さ
せることができる。

【００６１】＜２． 変形例＞以上、本発明の実施の形
態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に
限定されるものではなく様々な変形が可能である。

【００６２】例えば、欠陥確認装置１と外観検査装置２
との欠陥箇所の位置情報の転送は、ネットワーク８によ
るデータ通信に限られるものではなく、例えば、フレキ
シブルディスクや光磁気ディスクなどの可搬性の記録媒
体に記憶することにより、欠陥確認装置１に転送されて
もよい。

【００６３】また、補助モニタ１８は、位置が移動する
のみならず、画面の角度が調整可能にされていてもよ
い。このように構成された欠陥確認装置１では、さら
に、作業効率の向上を図ることができる。

【００６４】また、補助モニタ１８は、撮像カメラ１７
と共に移動しなくてもよい。例えば、移動機構１４およ
び１６以外に別途補助モニタ１８を独立して移動させる
機構を設け、当該機構が欠陥箇所の位置情報に基づいて
制御部２０により制御されることによって、補助モニタ
１８を適宜、欠陥箇所の近傍に設置するように移動させ
てもよい。

【００６５】また、補助モニタ１８がＸ軸方向にのみ移
動するようにしてもよい。例えば、図６に示すように、
補助モニタ１８を支持部材１８０を介して保護カバー１
９に固定するようにしてもよい。この場合、保護カバー
１９は、支持架台１５に固定されているため、結果とし
て補助モニタ１８は支持架台１５に固定される。このよ
うな構成では、撮像カメラ１７がＸ軸方向に移動する際
には補助モニタ１８も撮像カメラ１７と共に移動する
が、撮像カメラ１７がＹ軸方向に移動する際には補助モ
ニタ１８は移動しない。このような構成であっても作業
者が上下方向に視線を移動させる距離を大幅に減少させ
ることができるため、従来の技術に比較して、作業効率
を向上させることができ、十分な効果が得られる。

【００６６】また、欠陥箇所の近傍に設置されるモニタ
は、修正作業に必要なデータのみを表示する補助的なモ
ニタでなくてもよい。例えば、操作モニタ１２の画面に
表示されるデータ（操作データ）が同じように表示され
るモニタであってもよい。

【００６７】また、欠陥確認装置は、撮像カメラ１７お
よび補助モニタ１８が移動することによって欠陥箇所の
近傍に設置される場合に限られるものではない。例え
ば、固定された撮像カメラ１７の近傍に補助モニタ１８
を設置し、基板９０を保持した検査ステージ１０が移動
することにより、撮像カメラ１７の下方に欠陥箇所が対
向するようにされる構成であってもよい。すなわち、作
業者が修正作業を行う際に、欠陥箇所の近傍に補助モニ
タ１８が設置されるように構成されていれば、どのよう
な構成を用いてもよい。そのような構成であれば、作業
者の姿勢および視線の移動を減少させることができるた
め、修正作業の作業効率を向上させることができる。

【００６８】また、補助モニタ１８は、修正作業中にの
み画面が表示されるように制御されてもよい。例えば、
作業者が操作部１１を操作することにより、確認作業と
修正作業とを切り替え、当該作業者の切換操作に基づい
て、補助モニタ１８の画面がＯＮ／ＯＦＦされてもよ
い。

【００６９】また、上述の実施の形態においては、欠陥
確認装置１とは別に外観検査装置２が設けられていた
が、欠陥確認装置１に外観検査装置２の機能を持たせて
もよい。

【００７０】

【発明の効果】請求項１および２に記載の発明では、欠
陥確認モニタが前記撮像カメラの近傍に支持されること
により、修正作業中の作業者の姿勢を保つことができる
ことから、修正作業の作業効率を向上させることができ
る。

【００７１】請求項２に記載の発明では、欠陥確認モニ
タが、検査対象物の欠陥の修正作業時に使用される補助
モニタであることにより、装置の簡素化を図ることがで
きる。

【００７２】請求項３に記載の発明では、欠陥箇所の位
置情報に基づいて、保持手段に保持された検査対象物上
の欠陥箇所の近傍に位置するように、欠陥確認モニタを
移動させることにより、修正作業中の作業者の姿勢を保
つことができることから、修正作業の作業効率を向上さ
せることができる。

【００７３】請求項４および５に記載の発明では、欠陥
確認モニタが、カメラ移動手段によって、撮像カメラの
光学系の光軸に略垂直な面内における少なくとも一方向
に沿って撮像カメラと共に移動させられることにより、
装置構成を簡素化することができる。

【００７４】請求項６に記載の発明では、操作者が欠陥
確認装置を操作するために必要な操作情報を表示する操
作モニタをさらに備えることにより、作業の目的にあわ
せて複数のモニタを使い分けることができるため、作業
効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態における欠陥確認装置の正面図で
ある。

【図２】欠陥確認装置の側面を、ネットワークおよび外
観検査装置とともに示す図である。

【図３】欠陥箇所の確認・修正作業を行う場合につい
て、主に作業者のＺ軸方向の動作を従来例とともに示す
図である。

【図４】欠陥箇所の確認・修正作業を行う場合につい
て、主に作業者のＺ軸方向の動作を従来例とともに示す
図である。

【図５】欠陥箇所の確認・修正作業を行う場合につい
て、主に作業者のＹ軸方向の動作を従来例とともに示す
概略図である。

【図６】変形例における、補助モニタを取り付けた保護
カバーを示す図である。

【符号の説明】

１ 欠陥確認装置 １２ 操作モニタ １４ 移動機構 １５ 支持架台 １６ 移動機構 １７ 撮像カメラ １７０ 光学系 １８ 補助モニタ １８０ 支持部材 ９０ 基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｂ 11/24 Ｋ (72)発明者 三田 章生 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 宮原 章 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA56 BB02 CC01 DD06 FF04 FF67 JJ03 JJ26 QQ23 QQ31 SS02 SS13 2G051 AA65 AB02 CA04 CA07 CA11 CB01 CD07 DA01 DA07 EA12 ED05 ED08

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物上の欠陥箇所を撮像し、それ
   により得られた画像データに基づいて、前記欠陥箇所を
   視覚的に確認する欠陥確認装置であって、 所定の保持部材で保持された前記検査対象物を撮像する
   撮像カメラと、 前記撮像カメラとの近傍に支持され、前記撮像カメラに
   よって得られた画像を拡大表示することにより、前記検
   査対象物における欠陥の確認に使用される欠陥確認モニ
   タと、を備えることを特徴とする欠陥確認装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の欠陥確認装置であっ
   て、 前記欠陥確認モニタが、前記検査対象物の欠陥の修正作
   業時に使用される補助モニタであることを特徴とする欠
   陥確認装置。
3. 【請求項３】 検査対象物上の欠陥箇所を撮像カメラに
   よって撮像し、前記撮像カメラにより得られた画像デー
   タに基づいて、前記欠陥箇所を欠陥確認モニタに拡大表
   示する欠陥確認装置であって、 前記検査対象物を保持する保持手段と、 前記欠陥箇所の位置情報に基づいて、前記保持手段に保
   持された前記検査対象物上の前記欠陥箇所の近傍に位置
   するように、前記欠陥確認モニタを移動させる移動手段
   と、を備えることを特徴とする欠陥確認装置。
4. 【請求項４】 検査対象物上の欠陥箇所を撮像カメラに
   よって撮像し、前記撮像カメラにより得られた画像デー
   タに基づいて、前記欠陥箇所を欠陥確認モニタに拡大表
   示する欠陥確認装置であって、 前記検査対象物を保持する保持手段と、 前記撮像カメラが前記保持手段に保持された前記検査対
   象物上の前記欠陥箇所に対向するように、前記撮像カメ
   ラの光学系の光軸に略垂直な面内で前記撮像カメラを移
   動させるカメラ移動手段と、を備え、 前記欠陥確認モニタが、前記カメラ移動手段によって、
   前記面内における少なくとも一方向に沿って前記撮像カ
   メラと共に移動させられることを特徴とする欠陥確認装
   置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の欠陥確認装置であっ
   て、 前記面内の第１方向に沿って延設され、前記撮像カメラ
   を前記第１方向に沿って移動自在に支持する支持架台を
   さらに備え、 前記カメラ移動手段が、 前記撮像カメラを前記支持架台上で前記第１方向に移動
   させる第１方向移動手段と、 前記撮像カメラとともに前記支持架台を前記面内で前記
   第１方向と直交する第２方向に移動させる第２方向移動
   手段と、を有し、 前記欠陥確認モニタが、前記支持架台に固定されている
   ことを特徴とする欠陥確認装置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の欠
   陥確認装置であって、 作業者が前記欠陥確認装置を操作するために必要な操作
   情報を表示する操作モニタをさらに備えることを特徴と
   する欠陥確認装置。