KR100679550B1 - 결함검출기 및 결함검출방법 - Google Patents
결함검출기 및 결함검출방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100679550B1 KR100679550B1 KR1020040074607A KR20040074607A KR100679550B1 KR 100679550 B1 KR100679550 B1 KR 100679550B1 KR 1020040074607 A KR1020040074607 A KR 1020040074607A KR 20040074607 A KR20040074607 A KR 20040074607A KR 100679550 B1 KR100679550 B1 KR 100679550B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- display
- magnification
- defect
- image data
- inspection
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N17/00—Diagnosis, testing or measuring for television systems or their details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95684—Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
Landscapes
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Claims (15)
- 검사대상물상의 결함을 검출하기 위한 결함검출기로서,화상표시시스템;상기 검사대상물을 유지하는 유지요소;결함을 가지는 상기 검사대상물의 결함영역을 촬상함으로써 획득한 검사화상데이터를 획득하기 위해 상기 유지요소에 의해 유지된 상기 검사대상물을 촬상하는 화상취득요소;제 1 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 상기 화상취득요소에 의해 취득된 상기 검사화상데이터를 표시하는 제 1 표시제어요소; 및제 1 표시배율에 응답하여 연산된 제 2 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 상기 결함영역과 비교되도록 마스터화상데이터를 디스플레이하는 제 2 표시제어요소를 포함하는, 결함검출기.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,오퍼레이터로부터 입력 정보를 접수하는 조작부를 더 포함하고,상기 제 2 표시제어요소는 상기 제 1 표시배율이 상기 입력정보에 기초하여 설정될 때마다 상기 제 1 표시배율을 설정하는 것에 응답하여 상기 제 2 표시배율을 연산하고, 상기 마스터화상데이터를 상기 제 2 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 표시하는, 결함검출기.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 표시배율에 응답하여 소정의 알고리즘에 따라 상기 검사대상물을 촬상하기 위한 상기 화상취득요소의 촬상배율을 결정하는 촬상배율결정요소를 더 포함하는, 결함검출기.
- 제 1 항에 있어서,상기 유지요소로 유지된 상기 검사대상물에 대하여 상기 결함 영역의 위치를 나타내는 정보를 획득하는 위치획득요소:상기 위치획득요소에 의해 획득한 상기 결함영역의 위치를 나타내는 상기 정보에 응답하여 상기 유지요소에 의해 유지된 상기 검사대상물과 상기 화상획득요소의 상대적인 위치를 결정하는 배치요소를 더 포함하는, 결함검출기.
- 제 1 항에 있어서,상기 마스터화상데이터는 디지털 비트맵 화상이며,상기 제 2 표시배율은 상기 디지탈 비트맵 화상을 정수배 확대한 배율값인, 결함검출기.
- 제 1 항에 있어서,상기 화상표시시스템에 포함된 단일 표시요소는 상기 검사화상 데이터와 상기 마스터화상데이터를 상기 제 1 표시제어요소와 제 2 표시제어요소 각각에 의하여 동시에 표시하는, 결함검출기.
- 제 1 항에 있어서,상기 화상표시시스템에 포함된 상기 단일 표시요소가, 상기 제 1 표시제어요소와 상기 제 2 표시제어요소에 의해 전환(switching)하는 방식으로 상기 검사화상데이터와 상기 마스터화상데이터를 표시하는 전환요소를 더 포함하는, 결함검출기.
- 제 1 항에 있어서,상기 화상표시시스템은,상기 제 1 표시제어요소의 제어하에 상기 검사화상데이터를 표시하는 제 1 표시요소; 및상기 제 2표시제어요소의 제어하에 상기 마스터화상데이터를 표시하는 제 2 표시요소를 포함하는, 결함검출기.
- 검사대상물상의 결함을 검출하는 결함검출방법으로서,상기 검사대상물을 유지하는 유지 단계;상기 유지 공정에서 유지된 상기 검사대상물을 촬상하고, 결함을 가지는 상기 검사대상물의 결함영역을 촬상함으로써 얻은 검사화상데이터를 획득하는, 화상획득단계;제 1 표시배율에서 화상표시시스템상에 상기 화상획득단계에서 획득한 상기 검사화상데이터를 표시하는 제 1 표시단계; 및상기 제 1 표시 배율에 응답하여 연산된 제 2 표시배율에서 화상표시시스템상에 상기 결함영역과 비교되도록 마스터화상데이터를 표시하는 제 2 표시단계를 포함하는, 결함검출방법.
- 삭제
- 제 10 항에 있어서,상기 입력 정보에 기초하여 상기 제 1표시배율이 설정될 때마다 상기 제2 표시 단계를 실행하기 위해, 오퍼레이터로부터 상기 입력 정보를 입력받는 조작단계를 더 포함하는, 결함검출방법.
- 삭제
- 제 10 항에 있어서,상기 유지단계에서 유지된 상기 검사대상물에 대해 상기 결함영역의 위치를 나타내는 정보를 획득하는 위치획득단계; 및상기 유지단계에서 유지된 상기 검사대상물과 상기 위치획득단계에서 획득된 상기 결함영역의 위치를 나타내는 상기 정보에 응답하여 상기 검사대상물을 촬상하는 촬상 요소와의 상대적인 위치를 결정하는 배치단계를 더 포함하는, 결함검출방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 마스터화상은 디지털 비트맵 화상을 나타내며,상기 제 2 표시배율은 상기 제 2 표시단계에서 상기 디지털 비트맵 화상을 정수배로 확대하기 위한 배율값으로서 연산되는, 결함검출방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2003-00324958 | 2003-09-17 | ||
JP2003324958A JP4041042B2 (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | 欠陥確認装置および欠陥確認方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050028847A KR20050028847A (ko) | 2005-03-23 |
KR100679550B1 true KR100679550B1 (ko) | 2007-02-07 |
Family
ID=34270085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040074607A KR100679550B1 (ko) | 2003-09-17 | 2004-09-17 | 결함검출기 및 결함검출방법 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7440606B2 (ko) |
JP (1) | JP4041042B2 (ko) |
KR (1) | KR100679550B1 (ko) |
CN (1) | CN1281923C (ko) |
TW (1) | TWI244549B (ko) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5006520B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2012-08-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥観察装置及び欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法 |
JP4392392B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2009-12-24 | 株式会社メガトレード | 目視検査装置 |
JP4773841B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2011-09-14 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
CN101443649A (zh) * | 2006-05-15 | 2009-05-27 | 株式会社尼康 | 表面检查装置 |
WO2009044944A1 (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Intekplus Co., Ltd. | Optical test method |
JP4941422B2 (ja) * | 2008-07-14 | 2012-05-30 | パナソニック株式会社 | 部品実装システム |
TWI421489B (zh) * | 2009-03-10 | 2014-01-01 | Takano Co Ltd | Visual Inspection System |
US20120152137A1 (en) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | Nir Zarmi | Matching imaging data to flexographic plate surface |
CN103837101B (zh) * | 2014-01-10 | 2016-08-17 | 西安近代化学研究所 | 一种黑索金颗粒表面粗糙度检测方法 |
TWI502190B (zh) * | 2014-01-28 | 2015-10-01 | Macronix Int Co Ltd | 量測與分析晶片或晶圓表面結構的方法與黃光曝光補值的方法 |
CN104198386A (zh) * | 2014-09-11 | 2014-12-10 | 上海功源电子科技有限公司 | 一种基于双显示器显示采集多相机图像的方法及装置 |
JP2019158555A (ja) | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社Screenホールディングス | 欠陥確認装置、欠陥確認方法およびプログラム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4942619A (en) | 1986-01-20 | 1990-07-17 | Nikon Corporation | Pattern inspecting apparatus |
JPH06341959A (ja) * | 1993-06-03 | 1994-12-13 | Topcon Corp | パターン欠陥検査装置 |
WO2000003234A1 (en) * | 1998-07-08 | 2000-01-20 | Applied Materials, Inc. | Automatic defect classification with invariant core classes |
JP2000326494A (ja) | 1999-05-24 | 2000-11-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 欠陥検査方法および装置 |
JP2003149170A (ja) | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 画像検査設定データの自動作成方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4589140A (en) * | 1983-03-21 | 1986-05-13 | Beltronics, Inc. | Method of and apparatus for real-time high-speed inspection of objects for identifying or recognizing known and unknown portions thereof, including defects and the like |
DE68925901T2 (de) * | 1988-05-09 | 1996-11-14 | Omron Tateisi Electronics Co | Substrat-prüfungsvorrichtung |
ATE178728T1 (de) * | 1990-11-07 | 1999-04-15 | Neuromedical Systems Inc | Untersuchungskontrollverfahren für bilder die auf einer anzeige gezeigt werden |
US5663569A (en) * | 1993-10-14 | 1997-09-02 | Nikon Corporation | Defect inspection method and apparatus, and defect display method |
KR0168243B1 (ko) * | 1994-12-19 | 1999-05-01 | 다떼이시 요시오 | 관측 영역 설정 방법 및 그 장치와, 이 관측 영역 설정 방법을 이용한 외관 검사 방법 및 그 장치 |
EP0748435B1 (en) * | 1994-12-28 | 2000-03-15 | KEYMED (MEDICAL & INDUSTRIAL EQUIPMENT) LIMITED | Digitally measuring scopes using a high resolution encoder |
US5784484A (en) * | 1995-03-30 | 1998-07-21 | Nec Corporation | Device for inspecting printed wiring boards at different resolutions |
US6895109B1 (en) * | 1997-09-04 | 2005-05-17 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for automatically detecting defects on silicon dies on silicon wafers |
JP3893825B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2007-03-14 | 株式会社日立製作所 | 半導体ウェーハの欠陥観察方法及びその装置 |
JP2001356099A (ja) | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Nippon Avionics Co Ltd | プリント配線板外観検査および修理装置 |
JP4014379B2 (ja) * | 2001-02-21 | 2007-11-28 | 株式会社日立製作所 | 欠陥レビュー装置及び方法 |
IL149588A (en) * | 2001-05-11 | 2007-07-24 | Orbotech Ltd | Image searching defect detector |
JP2003058138A (ja) | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表示制御方法及び表示装置 |
JP3722757B2 (ja) * | 2002-01-25 | 2005-11-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥撮像装置 |
JP2003247816A (ja) | 2002-02-26 | 2003-09-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 欠陥確認装置 |
JP2004078690A (ja) * | 2002-08-20 | 2004-03-11 | Olympus Corp | 画像比較装置、画像比較方法および画像比較をコンピュータにて実行させるためのプログラム |
-
2003
- 2003-09-17 JP JP2003324958A patent/JP4041042B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-10 TW TW093127549A patent/TWI244549B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-09-15 US US10/940,845 patent/US7440606B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-17 CN CNB2004100797119A patent/CN1281923C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-17 KR KR1020040074607A patent/KR100679550B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4942619A (en) | 1986-01-20 | 1990-07-17 | Nikon Corporation | Pattern inspecting apparatus |
JPH06341959A (ja) * | 1993-06-03 | 1994-12-13 | Topcon Corp | パターン欠陥検査装置 |
WO2000003234A1 (en) * | 1998-07-08 | 2000-01-20 | Applied Materials, Inc. | Automatic defect classification with invariant core classes |
JP2000326494A (ja) | 1999-05-24 | 2000-11-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 欠陥検査方法および装置 |
JP2003149170A (ja) | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 画像検査設定データの自動作成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005091161A (ja) | 2005-04-07 |
US20050056797A1 (en) | 2005-03-17 |
CN1598483A (zh) | 2005-03-23 |
KR20050028847A (ko) | 2005-03-23 |
TW200525140A (en) | 2005-08-01 |
CN1281923C (zh) | 2006-10-25 |
US7440606B2 (en) | 2008-10-21 |
TWI244549B (en) | 2005-12-01 |
JP4041042B2 (ja) | 2008-01-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100876255B1 (ko) | X 선 투시 장치 | |
KR100679550B1 (ko) | 결함검출기 및 결함검출방법 | |
KR100499764B1 (ko) | 디지털 이미지에서 객체를 측정하는 방법 및 시스템 | |
TW201514606A (zh) | 焦點調節方法及其裝置 | |
KR20220044741A (ko) | 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법 | |
KR100293698B1 (ko) | 플라즈마디스플레이패널의패턴검사기및그검사방법 | |
JP2003028812A (ja) | X線透視装置 | |
JP6184746B2 (ja) | 欠陥検出装置、欠陥修正装置および欠陥検出方法 | |
JP2019215225A (ja) | 画像検査システム及びその制御方法 | |
JPH10325780A (ja) | ディスプレイ画面検査装置 | |
JP2007327903A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008014857A (ja) | プリント板の検査用座標取得装置、検査用座標取得方法、及び検査用座標取得プログラム | |
JP2000155268A (ja) | 拡大観察装置 | |
JP6835020B2 (ja) | 画像処理システム、画像処理装置、画像処理プログラム | |
JPH11295045A (ja) | 検査装置 | |
JP2005354461A (ja) | 監視カメラシステム、ビデオ処理装置およびその文字表示方法 | |
JP2003203216A (ja) | 画像測定装置用パートプログラム生成装置及び画像測定装置用パートプログラム生成用プログラム | |
JP2003004666A (ja) | X線透視撮影装置 | |
JP3897102B2 (ja) | X線透視装置 | |
JPH05296745A (ja) | 形状測定装置 | |
JPS60200382A (ja) | パタ−ン検査方法及び装置 | |
JP2003270172A (ja) | 欠陥確認システム、欠陥確認装置および検査装置 | |
KR100951418B1 (ko) | 이미지 중첩 장치 및 방법 | |
JP2008051783A (ja) | 基板の検査装置 | |
JP2001147413A (ja) | 液晶表示パネルの検査方法およびその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130118 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140120 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150120 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160105 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170103 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180119 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |