JP2006113247A - パネル検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 操作設定の煩雑さを解消し検査結果の観察と設定操作とを並行して行えると共に、必要に応じて検査結果を大きな画面に表示すること。
こと。
【解決手段】 複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査するパネル検査装置において、操作に関する表示を行う操作画面及び検査結果を表示する検査結果表示画面をディスプレイ４上に表示するための制御を行う画面制御部３ｄと、同一ディスプレイ上に前記２つの画面を同時表示する第１の表示モードと各画面を個別に表示する第２の表示モードとを切り替える表示モード切替部３ｃとを備えた構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、有機ＥＬディスプレイなどに用いられる有機ＥＬパネル、あるいは液晶ディスプレイなどに用いられる液晶パネル等のパネルを検査するパネル検査装置に関する。

有機ＥＬディスプレイなどに用いられる有機ＥＬパネル、あるいは液晶ディスプレイなどに用いられる液晶パネル等のパネルを検査するには、検査信号をパネルに供給して所定動作で駆動し、パネルの点灯状態を目視やＣＣＤカメラ等の撮像装置による画像によって観察する方法が知られているが、評価者の個人差や同一人であっても評価基準が変動するなどにより評価結果にばらつきが生じるという問題が指摘されている。

このような課題に対して、例えば有機ＥＬディスプレイの画素に流れる電流を測定することで有機ＥＬディスプレイの評価を行う評価装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
特開２００２−４００７４号公報

パネル検査装置では、検査を行うパネルの種類やサイズや検査項目等に応じて、検査装置の操作内容等を設定する必要がある。この設定操作は、パネル検査の初期設定に限らず、パネルの検査中においても既に得られた検査結果を参照しながら検査条件や検査項目等を変更する場合がある。

従来、このような変更を要する場合には検査を一旦中断した後、検査条件や検査項目等に基づいて新たに操作設定を行い、設定操作が完了した後に検査を再開するという手順を踏むことになる。

上記のように、検査を一旦中断して設定操作を行う場合には、操作設定が煩雑であり、検査時間が長くなるという問題がある。

また、操作と検査結果の表示とを同一のディスプレイ上で行うことが一連の検査効率からは望ましいが、限られた面積のディスプレイ上において操作と検査結果の両方を表示すると、検査結果の面積が狭まり、観察に支障が生じるおそれがあるといった問題もある。

したがって、操作設定の煩雑さを解消し検査結果の観察と設定操作とを並行して行えると共に、必要に応じて検査結果を大きな画面に表示することが望まれる。

また、パネル検査装置で行う操作として、装置の保守等において単一の機能を実行する個別操作の他に、検査の自動化のために個別操作を連続して実行する連続操作があるが、両操作を必要に応じて切り替えられることが望ましい。

そこで、本発明は上記課題を解決し、操作設定の煩雑さを解消し検査結果の観察と設定操作とを並行して行えると共に、必要に応じて検査結果を大きな画面に表示することを目的とし、また、個別操作と連続操作との切り替えを容易とすることを目的とする。

上記目的を解決するために、本発明は、複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査するパネル検査装置において、操作に関する表示を行う操作画面及び検査結果を表示する検査結果表示画面をディスプレイ上に表示するための制御を行う画面制御部と、同一ディスプレイ上に前記２つの画面を同時表示する第１の表示モードと各画面を個別に表示する第２の表示モードとを切り替える表示モード切替部とを備えた構成とする。

画面制御部は、表示モード切替部の切り替えに基づいて、第１の表示モードにより操作画面及び検査結果表示画面をディスプレイ上に同時に並列して表示し、第２の表示モードにより操作画面又は検査結果表示画面の何れかをディスプレイ上に全面表示する。

表示モード切替部による、同時表示と個別表示の表示モードの切り替えと、この表示モード切替部に基づく画面制御部によるディスプレイ上での複数表示画面の同時表示と一表示画面の全面表示との画面制御によって、操作設定の煩雑さを解消し検査結果の観察と設定操作とを並行して行えると共に、必要に応じて検査結果を大きな画面に表示することができる。

また、ディスプレイ上に検査結果を全面表示した場合には、ディスプレイ上に操作画面が表示されなくなり、操作を指示することができなくなるが、本発明は操作卓から操作を指示することを可能とする。本発明は、この操作卓から操作指示を可能とするために、操作画面に表示する操作項目について、操作項目と操作卓上の操作キーとを対応付ける操作割り当てテーブルを備えた構成とする。この構成によれば、操作卓上で選択した操作キーに対応付けられた操作項目を操作割り当てテーブルから読み出し、これによって目的とする操作を指示することが可能となる。

また、第２の表示モードによる検査結果表示画面の全画面表示において、操作卓上の操作キーを優先させる。これによって、第２の表示モードに切り替えて、検査結果表示画面を全画面表示した際に、自動的に操作卓上の操作キーによる操作指示に切り替わり、オペレータによる操作を伴うことなく操作卓から操作を指示することができる。

また、本発明において、操作は、操作項目を個別に実行する個別操作と、同一の操作項目の複数回の繰り返し及び／又は複数種の操作項目を含む一連の操作群による連続操作とを含み、本発明のパネル検査装置は、個別操作と連続操作とを切り替える操作モード切替部を備える。この操作モード切替部によって、個別操作と連続操作とを必要に応じて自在に選択して切り替えることができる。

本発明のパネル検査装置によれば、操作設定の煩雑さを解消し検査結果の観察と設定操作とを並行して行えると共に、必要に応じて検査結果を大きな画面に表示することができる。また、個別操作と連続操作との切り替えを容易とすることができる。

以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。

はじめに、本発明のパネル検査装置の概略構成について図１を用いて説明する。

図１において、パネル検査装置１は、パネル検査を実行する検査部２と、検査部２で検査及び検査のための操作や検査結果の表示等を制御する制御部３と、操作項目や検査結果等を表示するディスプレイ４と、操作を指示するための操作キーが配列された操作卓５を備える。なお、操作指示はディスプレイ上に表示された操作ボタンによっても行うことができる。

検査部２は、有機ＥＬパネルや液晶パネル等の検査パネルに対応した構成を備え、パネルに検査信号を印加してパネルを駆動し、検査信号によって生じた電圧状態や電流状態を検出することによって、パネル検査を行う。これら検査信号を印加する回路構成や検出回路構成はパネルの特性に応じて設定される。例えば、液晶パネルは電圧駆動であり、有機ＥＬパネルは電流駆動であるため、検査回路はこれら電圧駆動あるいは電圧駆動に応じて構成される。

検査部２は、上記各検査のための構成の他に、所定の操作による検査動作を制御するための検査制御部２ａ，検査で得られた検査出力信号をデータ処理するデータ処理部２ｂ、検査出力信号やデータ処理部２ｂで得られた検査結果を記憶する検査結果記憶部２ｃ等を備える。なお、データ処理部２ｂでは、二次元マッピング処理や、パネルのピクセルの良否判定等の処理を行うことができる。

制御部３は、操作制御部３ａ、操作割り当てテーブル３ｂ、表示モード切替部３ｃ、画面制御部３ｄ、操作モード切替部３ｅ、連続操作データ部３ｆ等を備え、検査部２に検査制御を指令する他に、ディスプレイ４に表示する表示内容や表示態様の切り替え制御を行う。

操作制御部３ａは、操作卓５の操作キーあるいはディスプレイ４上に設けられた操作ボタンで指示された操作指示を受けて、その操作内容に基づいて検査部や画面表示を制御する。

操作割り当てテーブル３ｂは、操作卓５が備える操作キーと操作ボタンとの対応関係を設定しておき、操作卓５の操作キーが押下された場合には、その操作キーに対応する操作ボタンのデータを操作制御部３ａに送る。操作制御部３ａは、操作割り当てテーブル３ｂから送られたデータに基づいて、操作キーに対応する操作ボタンが押下されたものとして、当該操作ボタンに応じた制御や指令を行う。

操作制御部３ａの制御あるいは指令としては、例えば、画面切替部３ｃに送る画面切替指令、画面制御部３ｄに送る操作選択信号、検査制御部２ａに送る操作制御信号、検査結果記憶部２ｃに送る検査結果制御信号、操作モード切替部３ｅに送る操作モード切替指令、連続操作データ部３ｆに送る編集指令等がある。

表示モード切替部３ｃは、操作制御部３ａから送られた切替指令に基づいて、画面制御部３ｄに対して切替指令を送って、表示モードの切り替えを行う。

表示モード切替部３ｃで切り替えられる表示モードは、操作画面及び検査結果表示画面をディスプレイ上に同時に並列して表示する第１の表示モードと、操作画面又は検査結果表示画面の何れかをディスプレイ上に全面表示する第２の表示モードを含んでいる。

画面制御部３ｄは、検査部２の検査結果記憶部２ｃから検査結果データを入力し、また、操作モード切替部３ｅから操作画面データを入力して、ディスプレイ４上に表示するための画面データを生成し、生成した画面データをディスプレイ４上に表示する。表示モード３ｃからの切替信号によって第１の表示モードが指令された場合には、操作画面と検査結果表示画面をディスプレイ上に同時に並列して表示する画面データを生成して、ディスプレイ４に表示する。また、表示モード３ｃからの切替信号によって第２の表示モードが指令された場合には、操作画面又は検査結果表示画面の何れかをディスプレイ上に全面表示する画面データを生成してディスプレイ４上に表示する。

操作モード切替部３ｅは個別操作と連続操作との切り替えを行う。本発明の検査部２は種々の操作項目の操作を実行することで検査を行う。ここで、操作は、各操作項目を個別に実行する個別操作の他に、複数の操作を行う連続操作を行うことができる。連続操作としては、同一の操作項目を複数回の繰り返す操作や、複数種の操作項目を含む一連の操作群を形成しておき、この一連の操作群を行う操作があり、これら連続操作を実行することで自動検査を行うことができる。

連続操作データ部３ｆには、この連続操作を実行させるためのデータが記憶されており、操作モード切替部３ｅにおいて連続操作が設定された場合には、指定された連続操作に対応する連続操作データを読み出して、検査制御部２ａに送る。検査制御部２ａは送られた連続操作データに設定された操作を設定回数、あるいは設定された順序に従って実行することで自動検査を行う。

なお、連続操作データ部３ｆに記憶される連続操作の内容は、操作制御部３ａからの編集指令によって削除、追加、変更等の編集を行うことができる。

図２は表示モードの切り替えを説明するための図である。

図２（ａ）は第１の表示モード状態を示しており、検査結果表示画面４Ａと操作画面４Ｂとを同一のディスプレイ４上に同時に並列して表示する。検査結果表示画面４Ａには、検査部２で得られた検査結果やマッピングデータが表示される。また、操作画面４Ｂには、操作ボタン４ａ〜４ｅが表示される。このディスプレイ４上に表示された操作ボタン４ａ〜４ｅは、マウス等の指示手段によって指定する他、ディスプレイ４に設けたタッチパネルを操作することで指定することで操作ボタンの押下操作を行うことができる。

なお、図２（ａ）では、操作ボタン４ｄは表示モード切替ボタンとして設定し、操作ボタン４ｅは操作モード切替ボタンとして設定しており、これら操作ボタン４ｄ，４ｅを操作することで表示モード切替部３ｃ、操作モード切替部３ｅに指示を与える。

図２（ｂ）、（ｃ）は第２の表示モード状態を示しており、ディスプレイ４には検査結果表示画面４Ａの全面表示、あるいは操作画面４Ｂの全面表示が成される。

なお、表示モード切替部３ｃによって、図２（ｂ）と図２（ｃ）の間の切り替えを行うこともできる。

図３は第１の表示モードにおける操作ボタンの動作を説明するための図であり、図４は第２の表示モードにおける操作ボタンの動作を説明するための図である。

図３に示す第１の表示モード状態では、検査結果表示画面４Ａと操作画面４Ｂとは同一のディスプレイ４上に同時に並列して表示される。このとき、操作画面４Ｂ上には操作ボタン４ａ〜４ｃが表示されており、この操作ボタン４ａ〜４ｃを操作することで操作制御部３ａに各操作ボタンに対応して設定された操作を指示する。

一方、図４に示す第２の表示モード状態では、ディスプレイ４には検査結果表示画面４Ａの全面表示がされている。なお、ディスプレイ４には、操作画面４Ｂを全面表示することもできる。この全面表示の場合には、ディスプレイ４上に操作画面が表示されないため、ディスプレイ４からは操作を指示することができない。

この表示モードでは、操作卓５に設けた操作キー５ａ〜５ｅを有効にして、操作キー５ａ〜５ｅから操作の指示を行う。なお、操作卓５に設けた操作キー５ａ〜５ｅは、常時有効とすることもできるが、全面表示を行う第２の表示モードにモード切り替えが行われたときに、操作卓５に設けた操作キー５ａ〜５ｅを優先的に有効とするようにしてもよい。

図４において、操作割り当てテーブル３ｂには、例えば操作卓の操作キー５ａ（Ｆ１）〜５ｅ（Ｆ５）と操作ボタンＡ〜Ｅとの対応関係が設定され、操作卓５で押下された操作キーに対応した操作ボタンを抽出して、そのデータを操作制御部３ａに送り、操作制御部３ａに各操作ボタンに対応して設定された操作を指示する。

次に、図５を用いて操作モード切替部による個別操作と連続操作の画面例を説明する。図５（ａ）は個別操作の画面例を示し、図５（ｂ）〜（ｄ）は連続操作の画面例を示している。なお、ここでは、全面表示の例について示している。

図５（ａ）に示す個別操作では、ディスプレイ上に操作ボタンが表示され、表示された操作ボタンの中から目的とする操作を実行させる操作ボタンを指定することで個別操作を実行することができる。

図５（ｂ）に示す連続操作の画面には、複数の個別操作からなる操作の操作リストを示しており、一例として操作名とその操作で行う検査対象や検査条件が表示されている。

図５（ｃ）は各操作に設定されている検査対象や検査条件の詳細を示す画面例である。ここでは、検査対象として例えばパネルサイズ、一パネルに含まれる基板数、各基板の画素数等のデータが設定され、検査条件として例えば駆動パターンや検査回数が設定され、検査項目として例えば短絡検査、開放検査、リーク検査等が設定されている。なお、ここで示す例は一例であって、設定項目や設定内容は任意に定めることができる。

また、図５（ｄ）は操作内容を示す画面例である。ここでは、「操作１」の操作名で表される連続操作が、個別操作Ａ，Ｂ，Ａ，Ｃの組み合わせで生成されていることを示している。なお、この個別操作の組み合わせや順序は、編集ボタンを押下することで編集操作を行うことができる。

本発明の有機ＥＬパネルのほか、液晶パネルの検査等に適用することができる。

本発明のパネル検査装置の概略構成を説明するための図である。 本発明の表示モードの切り替えを説明するための図である。 本発明の第１の表示モードにおける操作ボタンの動作を説明するための図である。 発明の第２の表示モードにおける操作ボタンの動作を説明するための図である。 本発明の操作モード切替部による個別操作と連続操作の画面例を説明するための図である。

符号の説明

１…パネル検査装置、２…検査部、２ａ…検査制御部、２ｂ…データ処理部、２ｃ…検査結果記憶部、３…制御部、３ａ…操作制御部、３ｂ…操作割り当てテーブル、３ｃ…表示モード切替部、３ｄ…画面制御部、３ｅ…操作モード切替部、３ｆ…連続操作データ、４…ディスプレイ、４Ａ…検査結果表示画面、４Ｂ…操作画面、４ａ〜４ｅ…操作ボタン、５…操作卓、５ａ〜５ｅ…操作キー。

Claims (4)

1. 複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査するパネル検査装置において、
   操作に関する表示を行う操作画面及び検査結果を表示する検査結果表示画面をディスプレイ上に表示するための制御を行う画面制御部と、
   同一ディスプレイ上に前記２つの画面を同時表示する第１の表示モードと各画面を個別に表示する第２の表示モードとを切り替える表示モード切替部とを備え、
   前記画面制御部は、前記表示モード切替部の切り替えに基づいて、第１の表示モードにより操作画面及び検査結果表示画面をディスプレイ上に同時に並列して表示し、第２の表示モードにより操作画面又は検査結果表示画面の何れかをディスプレイ上に全面表示することを特徴とする、パネル検査装置。
2. 前記操作画面に表示する操作項目について、当該操作項目と操作卓上の操作キーとを対応付ける操作割り当てテーブルを備え、
   前記操作卓上で選択した操作キーに対応付けられた操作項目を前記操作割り当てテーブルから読み出すことを特徴とする、請求項１に記載のパネル検査装置。
3. 前記第２の表示モードによる検査結果表示画面の全画面表示において、操作卓上の操作キーを優先させることを特徴とする、請求項２に記載のパネル検査装置。
4. 前記操作は、操作項目を個別に実行する個別操作と、同一の操作項目の複数回の繰り返し及び／又は複数種の操作項目を含む一連の操作群による連続操作とを含み、
   当該個別操作と連続操作とを切り替える操作モード切替部を備えることを特徴とする、請求項１乃至３の何れかに記載のパネル検査装置。

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