JP5416234B2 - 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いるプローブ装置 - Google Patents
被撮像物の移動方法及びこの方法を用いるプローブ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5416234B2 JP5416234B2 JP2012020407A JP2012020407A JP5416234B2 JP 5416234 B2 JP5416234 B2 JP 5416234B2 JP 2012020407 A JP2012020407 A JP 2012020407A JP 2012020407 A JP2012020407 A JP 2012020407A JP 5416234 B2 JP5416234 B2 JP 5416234B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- probe card
- imaging
- semiconductor wafer
- display screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- User Interface Of Digital Computer (AREA)
Description
第1の被撮像物の移動方法について図2、図3を参照しながら説明する。まず、マウス19を操作して表示画面16のメニューから第1の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面16には例えば第2のCCDカメラ15によって撮像されたプローブカードの撮像画像が図2の(a)に示すように表示される。尚、図2の(a)では便宜上プローブカード12の複数のプローブピン中の1本のプローブがピン画像Pとして表示されているが、実際には複数のピン画像が表示される。そこで、マウス19を操作して撮像画像の一部であるピン画像Pをマウス19のマウスポインタ19Aで指定し、マウス19をクリックすると、同図の(b)に示すようにピン画像Pが十字マークCへ移動する。換言すれば、この操作によりピン画像Pに対応するプローブが第2のCCDカメラ15の中心に位置するようにステージ11が移動する。
本実施形態の被撮像物の移動方法について図4、図5を参照しながら説明する。まず、マウス19を操作して表示画面16のメニューから第2の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面16には例えば第2のCCDカメラ15によって撮像された2本のプローブが図4の(a)に示すように第1、第2のピン画像P1、P2として表示される。そこで、マウス19を操作して第1のピン画像P1をマウスポインタ19Aで指定しマウス19をクリックした後、同図の(b)に示すように第2のピン画像P2をマウス19のマウスポインタ19Aで指定しマウス19をクリックすると、同図の(c)に示すように第1、第2のピン画像P1、P2が移動しこれらの結線の中心が十字マークCへ移動する。この操作により第1、第2のピン画像P1、P2間の中心が第2のCCDカメラ15の中心になるようにステージ11が移動する。
本実施形態の被撮像物の移動方法について図6、図7を参照しながら説明する。まず、マウス19を操作して表示画面16のメニューから第3の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面16には例えば第2のCCDカメラ15によって撮像されたプローブカードの撮像画像が図6の(a)に示すように表示される。そこで、マウス19を操作して撮像画像の一部であるピン画像Pをマウスポインタ19Aで指定しマウス19をクリックした後、同図の(a)に示すようにマウス19を操作してマウスポインタ19Aをピン画像Pから矢印方向にドラッグして十字マークCに合わせてクリックを解除すると、ピン画像Pはマウスポインタ19Aに追随して十字マークCまで移動する。換言すれば、このドラッグ操作によりピン画像Pに対応するプローブが第2のCCDカメラ15の中心に位置するようにステージ11が移動する。
11 ステージ(載置台)
11A 駆動機構
11B 被撮像物の移動方法
12 プローブカード(対象物)
12A プローブ
13 アライメント機構
14 第1のCCDカメラ(第1の撮像手段)
15 第2のCCDカメラ(第2の撮像手段)
16 表示画面
17 制御装置(制御手段)
17A 中央演算処理部(演算部)
17B、17C 記憶部
P、P1、P2 ピン画像(指定部位)
Claims (4)
- 第1、第2の撮像手段をアライメント機構として有するプローブ装置において、第1の撮像手段を用いて第1の被撮像物として移動可能な載置台上に載置された半導体ウエハを撮像し、また、第2の撮像手段を用いて第2の被撮像物として上記載置台の上方に配置されたプローブカードを撮像し、それぞれの撮像画像に基づいて上記半導体ウエハと上記プローブカードとのアライメントを行うために、
上記第1の撮像手段または上記第2の撮像手段によって所定の倍率でそれぞれ撮像され且つ表示画面にそれぞれ表示された上記半導体ウエハまたは上記プローブカードの撮像画像の一部をそれぞれ指定し、その状態で上記半導体ウエハの撮像画像の指定部位としての検査用電極画像または上記プローブカードの撮像画像の指定部位としてのピン画像をそれぞれの上記表示画面上でそれぞれの中心にある目標位置へドラッグすることにより、上記各表示画面上で上記各指定部位をそれぞれの上記目標位置へ移動させて、上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハを相対的に移動させて上記第1の撮像手段の撮像中心に上記検査用電極画像を位置させ、また、上記第2の撮像手段と上記プローブカードをそれぞれ相対的に移動させて上記第2の撮像手段の撮像中心に上記ピン画像を位置させる被撮像物の移動方法であって、
上記第2の撮像手段と上記プローブカードを相対的に移動させる工程は、
上記プローブカードの撮像画像の一部のピン画像にマウスポインタを当て、マウスをクリックすることにより上記一部のピン画像を指定すると共に上記指定部位を上記目標位置へドラッグする第1の工程と、
上記指定部位の上記表示画面上での座標値を記憶する第2の工程と、
上記マウスをドラッグした後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値を記憶する第3の工程と、
上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める第4の工程と、
上記表示画面上で上記オフセット分だけ上記指定部位を上記目標位置へ移動させることで、上記オフセットに見合った距離だけ上記第2の撮像手段と上記プローブカードを相対的に移動させて上記第2の撮像手段の撮像中心で上記プローブカードの指定部位としてのピン画像の座標値を検出する第5の工程と、を備え、また、
上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハを相対的に移動させる工程は、上記第1〜第5の工程と同一手順の工程を備えている
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。 - 第1、第2の撮像手段をアライメント機構として有するプローブ装置において、第1の撮像手段を用いて第1の被撮像物として移動可能な載置台上に載置された半導体ウエハを撮像し、また、第2の撮像手段を用いて第2の被撮像物として上記載置台の上方に配置されたプローブカードを撮像し、それぞれの撮像画像に基づいて上記半導体ウエハと上記プローブカードとのアライメントを行うために、
上記第1の撮像手段または上記第2の撮像手段によって所定の倍率でそれぞれ撮像され且つ表示画面にそれぞれ表示された上記半導体ウエハまたは上記プローブカードの撮像画像の一部をそれぞれ指定し、その状態で上記半導体ウエハの撮像画像の指定部位としての検査用電極画像または上記プローブカードの撮像画像の指定部位としてのピン画像をそれぞれの上記表示画面上でそれぞれの中心にある目標位置へドラッグすることにより、上記各表示画面上で上記各指定部位をそれぞれの上記目標位置へ移動させて、上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハを相対的に移動させて上記第1の撮像手段の撮像中心に上記検査用電極画像を位置させ、また、上記第2の撮像手段と上記プローブカードをそれぞれ相対的に移動させて上記第2の撮像手段の撮像中心に上記ピン画像を位置させる被撮像物の移動方法であって、
上記第2の撮像手段と上記プローブカードを相対的に移動させる工程は、
上記表示画面としてタッチパネルを設け、上記タッチパネルに表示された上記プローブカードの撮像画像の一部のピン画像に触れることにより上記一部のピン画像を指定すると共に上記指定部位を上記目標位置へドラッグする第1の工程と、
上記指定部位の上記タッチパネル上での座標値を記憶する第2の工程と、
上記タッチパネルでの上記指定部位をドラッグした後の上記目標位置の上記タッチパネル上での座標値をそれぞれ記憶する第3の工程と、
上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める第4の工程と、
上記タッチパネル上で上記オフセット分だけ上記指定部位を上記目標位置へ移動させることで、上記オフセットに見合った距離だけ上記第2の撮像手段と上記プローブカードを相対的に移動させ、上記第2の撮像手段の撮像中心で上記プローブカードの指定部位としてのピン画像の座標値を検出する第5の工程と、を備え、また、
上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハを相対的に移動させる工程は、上記第1〜第5の工程と同一手順の工程を備えている
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。 - 所定の倍率で第1の被撮像物として移動可能な載置台上に載置された半導体ウエハを撮像する第1の撮像手段、及び上記所定の倍率で第2の被撮像物として上記載置台の上方に配置されたプローブカードを撮像する第2の撮像手段を有するアライメント機構と、上記第1、第2の撮像手段による撮像画像をそれぞれ表示する表示画面と、上記半導体ウエハと上記第1の撮像手段とを、また、上記プローブカードと上記第2の撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、上記制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された上記半導体ウエハの撮像画像の一部を指定し、また、上記プローブカードの撮像画像の一部を指定し、その状態で上記半導体ウエハの撮像画像の指定部位としての検査用電極画像を上記表示画面上でその中心にある目標位置へドラッグすることにより、また、上記プローブカードの撮像画像の指定部位としてのピン画像を上記表示画面上でその中心にある目標位置へドラッグすることにより、上記各表示画面上で上記各指定部位をそれぞれの上記目標位置へ移動させ、上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハを相対的に移動させて上記第1の撮像手段の撮像中心で上記半導体ウエハの撮像画像の指定部位としての検査用電極画像の座標値を検出し、また、上記第2の撮像手段と上記プローブカードを相対的に移動させて上記第2の撮像手段の撮像中心で上記プローブカードの撮像画像の指定部位としてのピン電極画像の座標値を検出し、上記検査用電極画像の座標値と上記ピン画像の座標値に基づいて上記半導体ウエハと上記プローブカードとのアライメントを行うように構成されたプローブ装置であって、
上記半導体ウエハの撮像画像の一部の検査用電極画像または上記プローブカードの撮像画像の一部のピン画像にマウスポインタを当ててクリックすることにより上記一部の検査用電極画像または上記一部のピン画像を指定すると共に上記各指定部位をそれぞれの上記目標位置までドラッグするマウスとして構成された指定手段と、
上記半導体ウエハの撮像画像または上記プローブカードの撮像画像の指定部位及びそれぞれの上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する記憶手段と、
上記表示画面上での上記半導体ウエハの撮像画像または上記プローブカードの撮像画像の指定部位とそれぞれの上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットをそれぞれ求める演算手段と、を有し、
上記駆動手段が上記各オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記各オフセットに見合った距離だけ上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハが相対的に移動して上記第1の撮像手段で上記半導体ウエハの指定部位としての検査用電極画像の座標値を検出し、また、上記第2の撮像手段と上記プローブカードが相対的に移動して上記第2の撮像手段で上記プローブカードの上記指定部位としてのピン画像の座標値を検出する
ことを特徴とするプローブ装置。 - 所定の倍率で第1の被撮像物として移動可能な載置台上に載置された半導体ウエハを撮像する第1の撮像手段、及び上記所定の倍率で第2の被撮像物として上記載置台の上方に配置されたプローブカードを撮像する第2の撮像手段を有するアライメント機構と、上記第1、第2の撮像手段による撮像画像をそれぞれ表示する表示画面と、上記半導体ウエハと上記第1の撮像手段とを、また、上記プローブカードと上記第2の撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、上記制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された上記半導体ウエハの撮像画像の一部を指定し、また、上記プローブカードの撮像画像の一部を指定し、その状態で上記半導体ウエハの撮像画像の指定部位としての検査用電極画像を上記表示画面上でその中心にある目標位置へドラッグすることにより、また、上記プローブカードの撮像画像の指定部位としてのピン画像を上記表示画面上でその中心にある目標位置へドラッグすることにより、上記各表示画面上で上記各指定部位をそれぞれの上記目標位置へ移動させ、上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハを相対的に移動させて上記第1の撮像手段の撮像中心で上記半導体ウエハの撮像画像の指定部位としての検査用電極画像の座標値を検出し、また、上記第2の撮像手段と上記プローブカードを相対的に移動させて上記第2の撮像手段の撮像中心で上記プローブカードの撮像画像の指定部位としてのピン電極画像の座標値を検出し、上記検査用電極画像の座標値と上記ピン画像の座標値に基づいて上記半導体ウエハと上記プローブカードとのアライメントを行うように構成されたプローブ装置であって、
上記半導体ウエハの撮像画像の一部の検査用電極画像または上記プローブカードの一部のピン画像それぞれに触れて上記一部の検査用電極画像または上記一部のピン画像を指定すると共に上記各指定部位をそれぞれの上記目標位置までドラッグする機能を有するタッチパネルとして構成された指定手段と、
上記半導体ウエハの撮像画像または上記プローブカードの撮像画像の指定部位及びそれぞれの上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する記憶手段と、
上記表示画面上での上記半導体ウエハの撮像画像または上記プローブカードの撮像画像の指定部位とそれぞれの上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットをそれぞれ求める演算手段と、を有し、
上記駆動手段が上記各オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記各オフセットに見合った距離だけ上記第1の撮像手段と上記半導体ウエハが相対的に移動して上記第1の撮像手段で上記半導体ウエハの指定部位としての検査用電極画像の座標値を検出し、また、上記第2の撮像手段と上記プローブカードが相対的に移動して上記第2の撮像手段で上記プローブカードの上記指定部位としてのピン画像の座標値を検出する
ことを特徴とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012020407A JP5416234B2 (ja) | 2012-02-02 | 2012-02-02 | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いるプローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012020407A JP5416234B2 (ja) | 2012-02-02 | 2012-02-02 | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いるプローブ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006137108A Division JP4954608B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012104154A JP2012104154A (ja) | 2012-05-31 |
JP5416234B2 true JP5416234B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=46394378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012020407A Active JP5416234B2 (ja) | 2012-02-02 | 2012-02-02 | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いるプローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5416234B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6108806B2 (ja) * | 2012-12-10 | 2017-04-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
CN103327310B (zh) * | 2013-07-12 | 2016-11-02 | 浙江宇视科技有限公司 | 一种基于鼠标轨迹跟踪的监控和巡航方法 |
US11288423B2 (en) * | 2018-01-17 | 2022-03-29 | Fuji Corporation | Component shape data creation system for image processing and component shape data creation method for image processing |
JP7365108B2 (ja) * | 2018-06-05 | 2023-10-19 | 株式会社ディスコ | 処理装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0580853A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-04-02 | Fujitsu Ltd | ステージシステム及びステージ制御方法 |
JP3672970B2 (ja) * | 1995-05-22 | 2005-07-20 | 株式会社ミツトヨ | 非接触画像計測システム |
US6744268B2 (en) * | 1998-08-27 | 2004-06-01 | The Micromanipulator Company, Inc. | High resolution analytical probe station |
EP1261022B1 (en) * | 2000-02-25 | 2009-11-04 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for detecting defect in device and method of detecting defect |
JP4093823B2 (ja) * | 2002-08-20 | 2008-06-04 | 富士通株式会社 | 視野移動操作方法 |
-
2012
- 2012-02-02 JP JP2012020407A patent/JP5416234B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012104154A (ja) | 2012-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5095644B2 (ja) | 画像計測装置及びコンピュータプログラム | |
JP5888461B2 (ja) | プローブ装置 | |
CN102662229B (zh) | 具有触摸屏的显微镜 | |
US8098412B2 (en) | Method for detecting the center of wafer and storage medium storing a program for executing the method | |
JP5416234B2 (ja) | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いるプローブ装置 | |
JP4954608B2 (ja) | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置 | |
JP3619132B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
WO2014132856A1 (ja) | プローブ装置のアライメント支援装置及びアライメント支援方法 | |
JP2001166218A (ja) | 顕微鏡画像観察システム、その制御方法および制御プログラムを記録したコンピュータに読み取り可能な記録媒体 | |
JP4842533B2 (ja) | 不良検査装置 | |
JP5531071B2 (ja) | 画像計測装置及びコンピュータプログラム | |
JP5806457B2 (ja) | 表面分析装置 | |
JP5396846B2 (ja) | X線ct装置 | |
US8027528B2 (en) | Method for calculating height of chuck top and program storage medium for storing same method | |
JP2014197004A (ja) | 画像計測装置 | |
US7274471B2 (en) | Systems and methods for measuring distance of semiconductor patterns | |
JP7273995B2 (ja) | 顕微鏡検査装置およびナビゲーション方法 | |
JP2009281824A (ja) | 試料検査装置 | |
KR101519851B1 (ko) | 대상물의 위치 확인용 룰러 및 대상물의 위치 확인 방법, 및 이를 구비한 비전 시스템 | |
JP2932741B2 (ja) | 半導体検査装置 | |
JP2022089103A (ja) | 測定システムおよびプログラム | |
JP2005030780A (ja) | 半導体検査装置 | |
CN109211108A (zh) | 图像测量装置 | |
JPH11295610A (ja) | 操作装置及び検査装置 | |
JP4262216B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121030 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130201 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130909 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5416234 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |