JP2012104154A

JP2012104154A - 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置

Info

Publication number: JP2012104154A
Application number: JP2012020407A
Authority: JP
Inventors: Satoru Nakaya; 哲中矢
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2012-02-02
Filing date: 2012-02-02
Publication date: 2012-05-31
Anticipated expiration: 2026-05-16
Also published as: JP5416234B2

Abstract

【課題】撮像手段によって表示画面上に表示された被撮像物の撮像画像に基づいて任意の部位を指定してその指定部位をドラッグするという簡単な操作で、撮像画像の指定部位を予め設定された目標位置へ移動させることにより、撮像手段と被撮像物を相対的に移動させることができる被撮像物の移動方法を提供する。
【解決手段】本発明の被撮像物の移動方法は、第２のＣＣＤカメラ１５によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面１６に表示されたプローブカード１２の撮像画像のピン画像Ｐを指定することにより、表示画面１６上でピン画像Ｐを十字マークＣへ移動させる際に、表示画面１６のピン画像Ｐをマウスポインタ１９Ａによって指定しマウス１９をクリックした後、マウスポインタ１９Ａを十字マークＣへドラッグするだけで、マウスポインタ１９Ａで指定したピン画像Ｐを第２のＣＣＤカメラ１５の中心へ移動させることができる。
【選択図】図６

Description

本発明は、被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置に関し、更に詳しくは、被処理体に所定の処理を施す際に、被処理体等の対象物の撮像画像を表示画面上に表示し、表示画面上で撮像画像を移動操作することで対象物を移動操作することができる被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置に関するものである。

半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を施す場合に、その目的に応じて種々の処理装置が用いられる。各種の処理装置は、例えばＣＲＴやＦＤＰ等の表示画面に被処理体等の対象物の撮像画像を映し出し、表示画面上で撮像画像を介して対象物を監視したり、表示画面上で撮像画像を操作して対象物を移動させたりしている。

例えば、特許文献１には、表示画面内でマウス操作によってウィンドウを指定すると、ウィンドウが移動しウィンドウの大きさも変化することにより、測定する試料のパターンサイズに応じた分光測定を行える分光測定装置に関する技術が記載されている。

また、特許文献２にはビデオウィンドウ上のＸＹ軸の交点の移動指示用アイコンをマウスのクリック操作あるいはドラッグ操作により移動させると、その移動方向と移動距離に応じてステージが移動することにより、ステージ移動操作を簡単にして測定作業の効率を向上させる画像測定装置に関する技術が記載されている。

特許文献３には、測定点指示部を用いて表示画面上で測定したい部分を横切るように２点を指示すると、その２点間のみがスキャンされた測定画面が得られることにより、画像メモリの規模を変えずに高分解能で高精度に測定できる走査型プローブ顕微鏡に関する技術が記載されている。

更に、特許文献４には、監視カメラのモニタ画面上でマウスによるドラッグ操作を行うと、マウスポインタの移動方向と距離に基づいて監視カメラの撮像方向が制御され、監視カメラの撮影方向や撮影倍率を制御するための操作性を向上させることができる遠隔監視システム及び制御端末装置に関する技術が記載されている。

特開平０９−１７８５６３特開平１０−１９７２２３特開平０８−２１１０７９特開２００１−２６８５５６

しかしながら、特許文献１の技術は、表示画面内でのマウス操作によって測定する試料のパターンサイズに応じて分光測定できる技術であるが、表示画面上で撮像画像を移動操作によって試料を所望の位置へ移動させる技術ではない。また、この点に関しては特許文献３の技術も同様である。これに対して、特許文献２の技術は、ビデオウィンドウ上のＸＹ軸の交点の移動指示用アイコンをマウスのクリック操作あるいはドラッグ操作により移動させて、ビデオウィンドウ上でステージの移動操作を行えるが、ビデオウィンドウ上の任意の位置を所定の目標位置に直接移動させることができず、表示画面を見ながら任意の位置が目標位置へ移動するようマウスによって移動指示用アイコンをクリック操作、あるいはドラッグ操作をしなくてはならない。また、特許文献４の技術は、監視カメラの撮影方向や撮影倍率を制御するための操作性を向上させことができるが、単に監視カメラの撮影方向を制御する技術であるに過ぎない。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、撮像手段によって表示画面上に表示された被撮像物の撮像画像に基づいて任意の部位を指定してその指定部位をドラッグするという簡単な操作で、撮像画像の指定部位を予め設定された目標位置へ移動させることにより、撮像手段と被撮像物を相対的に移動させることができる被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置を提供することを目的としている。

本発明の請求項１に記載の被撮像物の移動方法は、撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させる被撮像物の移動方法であって、上記任意の部位にマウスポインタを当て、マウスをクリックすることにより上記任意の部位を指定すると共に上記指定部位を上記目標位置へドラッグする工程と、上記指定部位の上記表示画面上での座標値を記憶する工程と、上記マウスをドラッグした後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値を記憶する工程と、上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める工程と、上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載の被撮像物の移動方法は、撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させる被撮像物の移動方法であって、上記表示画面としてタッチパネルを設け、上記タッチパネルに表示された上記撮像画像の上記任意の部位に触れることにより上記任意の部位を指定すると共に上記指定部位を上記目標位置へドラッグする工程と、上記指定部位の上記表示画面上での座標値を記憶する工程と、上記タッチパネルでの指定部位をドラッグした後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する工程と、上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める工程と、上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載の処理装置は、所定の倍率で被撮像物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段による撮像画像を表示する表示画面と、上記被撮像物と上記撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させるように構成された処理装置であって、上記撮像画像の任意の複数の部位にマウスポインタを当ててクリックすることにより上記の任意の部位を指定すると共に上記任意の指定部位を上記目標位置までドラッグするマウスとして構成された指定手段と、上記指定部位及び上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する記憶手段と、上記表示画面上での上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める演算手段と、を有し、上記駆動手段が上記オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物が相対的に移動することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項４に記載の処理装置は、所定の倍率で被撮像物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段による撮像画像を表示する表示画面と、上記被撮像物と上記撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させるように構成された処理装置であって、上記撮像画像の任意の部位に触れて上記任意の部分を指定すると共に上記任意の指定部位を上記目標位置までドラッグする機能を有するタッチパネルとして構成された指定手段と、上記指定部位及び上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する記憶手段と、上記表示画面上での上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める演算手段と、を有し、上記駆動手段が上記オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物が相対的に移動することを特徴とするものである。

本発明によれば、撮像手段によって表示画面上に表示された被撮像物の撮像画像に基づいて任意の部位を指定してその指定部位をドラッグするという簡単な操作で、撮像画像の指定部位を予め設定された目標位置へ移動させることにより、撮像手段と被撮像物を相対的に移動させることができる被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置を提供することができる。

本発明の処理装置の一実施形態を示すブロック図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の被撮像物の移動方法の一実施形態の工程を示す図で、（ａ）は撮像後に撮像画像中のピン画像をマウスポインタで指定した状態を示す表示画面の正面図、（ｂ）は移動後の撮像画像が表示された状態を示す表示画面の正面図である。図２に示す工程を実施するフローチャートを示す図である。（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の被撮像物の移動方法の一実施形態の工程を示す図で、（ａ）は撮像後に撮像画像中の第１のピン画像をマウスポインタで指定した状態を示す表示画面の正面図、（ｂ）は撮像後に撮像画像中の第２のピン画像をマウスポインタで指定した状態を示す表示画面の正面図、（ｃ）は移動後の撮像画像が表示された状態を示す表示画面の正面図である。図２に示す工程を実施するフローチャートを示す図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の被撮像物の移動方法の更に実施形態の工程を示す図で、（ａ）は撮像後に撮像画像中のピン画像をマウスポインタで指定した状態を示す表示画面の正面図、（ｂ）は移動後の撮像画像が表示された状態を示す表示画面の正面図である。図２に示す工程を実施するフローチャートを示す図である。

以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本実施形態では、プローブ装置を例に挙げて処理装置について説明する。

本実施形態のプローブ装置１０は、例えば図１に示すように、被処理体であるウエハ（図示せず）を載置する移動可能な載置台（ステージ）１１と、このステージ１１の上方に配置されたプローブカード１２と、このプローブカード１２の複数のプローブ１２Ａとステージ１１上のウエハとのアライメントを行うアライメント機構１３と、アライメント機構１３を構成する第１、第２の撮像手段（例えば、ＣＣＤカメラ）１４、１５と、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５によって撮像された画像を表示する表示画面１６を有する表示装置と、これらの構成機器を制御するコンピュータ本体からなる制御装置１７と、を備え、制御装置１７の制御下で、アライメント機構１３によってステージ１１上のウエハとプローブカード１２の複数のプローブ１２Ａとのアライメントを行った後、複数のプローブ１２Ａとウエハとを電気的に接触させてウエハの電気的特性検査を行うように構成されている。

また、プローブ装置１０は、図１に示すようにキーボード等の入力部１８及びマウス１９を備え、入力部１８から種々の条件を入力して種々の検査条件を設定することができ、マウス１９によって後述のように表示画面１６上に表示されたマウスポインタを操作して画像を移動させることができる。

ステージ１１は、図１に示すように駆動機構１１Ａ及び検出器（例えば、エンコーダ）１１Ｂを備え、駆動機構１１Ａを介してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動すると共にエンコーダ１１Ｂを介して移動量を検出するように構成されている。駆動機構１１Ａは、ステージ１１が配置されたＸＹテーブルを駆動する、例えばモータとボールねじを主体とする駆動機構（図示せず）と、ステージ１１に内蔵された昇降駆動機構と、ステージ１１をθ方向に回転させるθ駆動機構と、を備えている。エンコーダ１１Ｂは、モータの回転数を介してＸＹテーブルのＸ、Ｙ方向への移動距離をそれぞれ検出し、それぞれの検出信号を制御装置１７へ送信する。制御装置１７は、エンコーダ１１Ｂからの信号に基づいて駆動機構１１Ａを制御し、もってステージ１１のＸ、Ｙ方向への移動量を制御する。

アライメント機構１３は、上述のように第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５及びアライメントブリッジ２０を備えている。図１に示すように、第１のＣＣＤカメラ１４はアライメントブリッジ２０に装着され、第２のＣＣＤカメラ１５はステージ１１の側方に装着されている。第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５は、いずれも一定の倍率でプローブ１２Ａやウエハ等の対象物を拡大してそれぞれの一部を撮像するが、ステージ１１を移動させてプローブ１２Ａやウエハを探すときには低倍率に切り換えて各カメラの視野を広くすることができる。

第１のＣＣＤカメラ１４は、アライメントブリッジ２０を介してプローバ室の背面からプローブセンタまで進出してプローブカード１２とステージ１１との間に位置し、ここでステージ１１がＸ、Ｙ方向へ移動する間に、ウエハの検査用電極を上方から所定の倍率で撮像し、撮像信号を制御装置１７へ送信し、制御装置１７を介してその撮像画像を表示画面１６上に表示する。また、第２のＣＣＤカメラ１３Ｃは、アライメントブリッジ１３Ａがプローブ室内の背面に後退した後、プローブカード１２の下方でステージ１１がＸ、Ｙ方向へ移動する間に、プローブカード１２の下方から複数のプローブ１２Ａを所定の倍率で撮像し、撮像信号を制御装置１７へ送信し、制御装置１７を介してそのピン画像Ｐを表示画面１６上に表示する。

制御装置１７は、中央演算処理部１７Ａと、本発明の被撮像物の移動方法を実行するプログラムを含む各種のプログラムが記憶されたプログラム記憶部１７Ｂと、種々のデータを記憶する記憶部１７Ｃと、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５からの撮像信号を画像処理する画像処理部１４Ａ、１５Ａと、これらの画像処理部１４Ａ、１５Ａからの画像信号を画像データとして記憶する画像記憶部１４Ｂ、１５Ｂと、これらの画像信号に基づいて表示画面１６に撮像画像を表示するための表示制御部１４Ｃ、１５Ｃと、を備え、中央演算処理部１７Ａがプログラム記憶部１７Ａ、記憶部１７Ｃとの間で信号を送受信してプローブ装置１０の各種の構成機器を制御する。

中央演算処理部１７Ａには入力部１８が接続され、入力部１８から入力された各種のデータ信号を処理し、記憶部１７Ｃへ格納する。また、中央演算処理部１７Ａにはマウス１９が接続され、マウス１９のマウスポインタ１９Ａが中央演算処理部１７Ａを介して表示画面１６上に表示される。本実施形態ではプログラム記憶部１７Ｃに第１、第２、第３の被撮像物の移動方法等のプログラムが格納され、それぞれの被撮像物の移動方法が表示画面１６にメニューの一部として表示される。そして、マウス１９を操作することによって三種類のプログラムのいずれか一つをメニューから選択し、実行させることができる。また、これらの方法は、メニュー表示に代えてアイコン表示にしても良い。

また、中央演算処理部１７Ａには画像記憶部１４Ｂ、１５Ｂ及び表示制御部１４Ｃ、１５Ｃが接続され、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５による撮像画像を中央演算処理部１７Ａ及び表示制御部１４Ｃ、１５Ｃを介して表示画面１６上にそれぞれ表示する。画像記憶部１４Ｂ、１５Ｂには第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５による現在の撮像画像以外に、過去の撮像画像を格納することができる。

第１、第２、第３の被撮像物の移動方法それぞれのプログラムは、種々の記憶媒体に記録され、必要に応じて各種のプローブ装置の記憶部に登録して使用することができる。また、これらのプログラムは、通信媒体によって各種のプローブ装置にダウンロードすることができる。本実施形態では、制御装置１７においてプログラム記憶部１７Ｂに格納された三種類の被撮像物の移動方法のプログラムをそれぞれ個別に実行して、以下で説明するように表示画面１６上に表示された撮像画像の一部をマウスポインタ１９Ａで操作することによってステージ１１を第１のＣＣＤカメラ１４またはプローブカード１２に対して相対的に移動させることができる。

第１の被撮像物の移動方法
第１の被撮像物の移動方法について図２、図３を参照しながら説明する。まず、マウス１９を操作して表示画面１６のメニューから第１の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面１６には例えば第２のＣＣＤカメラ１５によって撮像されたプローブカードの撮像画像が図２の（ａ）に示すように表示される。尚、図２の（ａ）では便宜上プローブカード１２の複数のプローブピン中の１本のプローブがピン画像Ｐとして表示されているが、実際には複数のピン画像が表示される。そこで、マウス１９を操作して撮像画像の一部であるピン画像Ｐをマウス１９のマウスポインタ１９Ａで指定し、マウス１９をクリックすると、同図の（ｂ）に示すようにピン画像Ｐが十字マークＣへ移動する。換言すれば、この操作によりピン画像Ｐに対応するプローブが第２のＣＣＤカメラ１５の中心に位置するようにステージ１１が移動する。

即ち、図２の（ａ）に示すようにマウス１９を操作してマウスポインタ１９Ａによってピン画像Ｐを指定し、マウス１９をクリックすると（ステップＳ１）、制御装置１７はピン画像Ｐのピクセル座標を記憶部１７Ｃで記憶する（ステップＳ２）。引き続き、制御装置１７は、中央演算処理部１７Ａにおいてピン画像Ｐのピクセル座標と第２のＣＣＤカメラ１５の中心座標とのオフセット（ｘ，ｙ）を計算する（ステップＳ３）。制御装置１７は、現在使用している倍率のピクセルサイズ（μｍ）を記憶部１７Ｃから中央演算処理部１７Ａに取得した後（ステップＳ４）、中央演算処理部１７Ａにおいて現在使用している倍率のピクセルサイズに基づいてオフセットをピクセル座標からステージ座標（実際の寸法）にμｍ換算する計算を実行する（ステップＳ５）。引き続き、制御装置１７は、記憶部１７Ｃから現在のステージ座標（同図の（ａ）の位置座標）を取得し（ステップＳ６）、中央演算処理部１７Ａにおいてステージ座標にμｍ換算されたオフセットを加算した後（ステップＳ７）、中央演算処理部１７Ａを介して駆動機構１１Ａを駆動させてオフセットを加算したステージ座標位置へステージ１１を移動させると（ステップＳ８）、図２の（ｂ）に示すようにピン画像Ｐが第２のＣＣＤカメラ１５の中心を示す十字マークＣへ移動する。これによって同図の（ｂ）に示す移動後のステージ１１のステージ座標を記憶部１７Ｃに格納し、記憶する。

また、第１のＣＣＤカメラ１４を用いてピン画像Ｐに対応するウエハの検査用電極を検出する場合には、第２のＣＣＤカメラ１５から第１のＣＣＤカメラ１４に切り換えて第１のＣＣＤカメラ１４による撮像画像を表示画面１６に表示した後、上述した場合と同様にマウス１９を操作して、ウエハの目標とする検査用電極を第１のＣＣＤカメラ１４の中心に移動させることができ、そのステージ座標を記憶部１７Ｃに記憶する。

以上説明したように第１の被撮像物の移動方法によれば、表示画面１６のピン画像Ｐをマウスポインタ１９Ａによって指定し、マウス１９をクリックするだけで、マウスポインタ１９Ａで指定したピン画像Ｐを第２のＣＣＤカメラ１５の中心へ移動させることができ、もって第２のＣＣＤカメラ１５の中心でプローブ１２Ａを検出することができ、そのステージ座標を記憶部１７Ｃへ記憶させることができる。同様にして第１のＣＣＤカメラ１４によるウエハの撮像画像についても同様に処理を行うことができ、指定した検査用電極を検出することができる。従って、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５によって目標とするプローブ１２Ａ及びウエハの検査用電極をそれぞれ検出し、それぞれのステージ座標に基づいてこれら両者のアライメントを行うことができる。

第２の被撮像物の移動方法
本実施形態の被撮像物の移動方法について図４、図５を参照しながら説明する。まず、マウス１９を操作して表示画面１６のメニューから第２の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面１６には例えば第２のＣＣＤカメラ１５によって撮像された２本のプローブが図４の（ａ）に示すように第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２として表示される。そこで、マウス１９を操作して第１のピン画像Ｐ１をマウスポインタ１９Ａで指定しマウス１９をクリックした後、同図の（ｂ）に示すように第２のピン画像Ｐ２をマウス１９のマウスポインタ１９Ａで指定しマウス１９をクリックすると、同図の（ｃ）に示すように第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２が移動しこれらの結線の中心が十字マークＣへ移動する。この操作により第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２間の中心が第２のＣＣＤカメラ１５の中心になるようにステージ１１が移動する。

即ち、図４の（ａ）に示すようにマウス１９を操作してマウスポインタ１９Ａによって第１のピン画像Ｐ１を指定しマウス１９をクリックすると（ステップＳ１１）、制御装置１７は第１のピン画像Ｐ１のピクセル座標１を記憶部１７Ｃで記憶する（ステップＳ１２）。次いで、同図に（ｂ）に示すようにマウス１９を操作してマウスポインタ１９Ａによって第２のピン画像Ｐ１を指定しマウス１９をクリックすると（ステップＳ１３）、制御装置１７は第２のピン画像Ｐ２のピクセル座標２を記憶部１７Ｃで記憶する（ステップＳ１４）。引き続き、制御装置１７は、中央演算処理部１７Ａにおいて予め定義されている関係式を用いて第１のピン画像Ｐ１のピクセル座標１と第２のピン画像Ｐ２のピクセル座標２の中点座標を計算した後（ステップＳ１５）、制御装置１７は、中央演算処理部１７Ａにおいて中点座標と第２のＣＣＤカメラ１５の中心座標とのオフセット（ｘ，ｙ）を計算する（ステップＳ１６）。

更に、制御装置１７は、現在使用している倍率のピクセルサイズ（μｍ）を記憶部１７Ｃから中央演算処理部１７Ａに取得した後（ステップＳ１７）、中央演算処理部１７Ａにおいて現在使用している倍率のピクセルサイズに基づいてオフセットをピクセル座標からステージ座標にμｍ換算する計算を実行する（ステップＳ１８）。引き続き、制御装置１７は、記憶部１７Ｃから現在のステージ座標を取得し（ステップＳ１９）、中央演算処理部１７Ａにおいてステージ座標にμｍ換算したオフセットを加算した後（ステップＳ２０）、中央演算処理部１７Ａを介して駆動機構１１Ａを駆動させてオフセットを加算した座標位置へステージ１１を移動させると（ステップＳ２１）、図４の（ｂ）に示すように第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２の中点が表示画面１６の十字マークＣ、即ち第２のＣＣＤカメラ１５の中心になるように移動する。これによって図４の（ｃ）に示す移動後のステージ１１のステージ座標を記憶部１７Ｃに格納し、記憶する。

また、第１のＣＣＤカメラ１４を用いて、第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２に対応するウエハの検査用電極を検出する場合には、第２のＣＣＤカメラ１５から第１のＣＣＤカメラ１４に切り換えて第１のＣＣＤカメラ１４による撮像画像を表示画面１６に表示した後、上述した場合と同様にマウス１９を操作して、ウエハの目標とする２つの検査用電極の中点を第１のＣＣＤカメラ１４の中心に移動させることができ、そのステージ座標を記憶部１７Ｃに記憶する。

以上説明したように第２の被撮像物の移動方法によれば、表示画面１６の第１のピン画像Ｐ１をマウスポインタ１９Ａによって指定しマウス１９をクリックした後、第２のピン画像Ｐ２をマウスポインタ１９Ａによって指定しマウス１９をクリックするだけで、マウスポインタ１９Ａで指定した第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２間の中点を第２のＣＣＤカメラ１５の中心へ移動させることができ、もって第２のＣＣＤカメラ１５の中心で隣り合うプローブ１２Ａの中心を検出することができ、そのステージ座標を記憶部１７Ｃへ記憶させることができる。同様にして第１のＣＣＤカメラ１４によるウエハの撮像画像についても同様に処理を行うことができ、指定した第１、第２の検査用電極のＸＹ座標位置を検出することができる。従って、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５によって目標とするプローブ１２Ａ及びウエハの検査用電極をそれぞれ二つずつ検出することにより、これら両者のステージ座標を用いることでこれら両者の中点同士のアライメントを行うことができる。

第３の被撮像物の移動方法
本実施形態の被撮像物の移動方法について図６、図７を参照しながら説明する。まず、マウス１９を操作して表示画面１６のメニューから第３の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面１６には例えば第２のＣＣＤカメラ１５によって撮像されたプローブカードの撮像画像が図６の（ａ）に示すように表示される。そこで、マウス１９を操作して撮像画像の一部であるピン画像Ｐをマウスポインタ１９Ａで指定しマウス１９をクリックした後、同図の（ａ）に示すようにマウス１９を操作してマウスポインタ１９Ａをピン画像Ｐから矢印方向にドラッグして十字マークＣに合わせてクリックを解除すると、ピン画像Ｐはマウスポインタ１９Ａに追随して十字マークＣまで移動する。換言すれば、このドラッグ操作によりピン画像Ｐに対応するプローブが第２のＣＣＤカメラ１５の中心に位置するようにステージ１１が移動する。

即ち、図７の（ａ）に示すようにマウス１９を操作してマウスポインタ１９Ａによってピン画像Ｐを指定し、マウス１９をクリックすると（ステップＳ３１）、制御装置１７はピン画像Ｐのピクセル座標１を記憶部１７Ｃで記憶する（ステップＳ３２）。引き続き、制御装置１７は、中央演算処理部１７Ａにおいてピン画像Ｐがクリックされているか否かを判断し（ステップＳ３３）、クリックされていないと判断すると、ステップＳ３１へ戻りステップＳ３３までの動作を繰り返す。ステップＳ３３においてマウス１９がクリックされていると判断すると、次いで、マウスポインタ１９Ａが動いたか（ドラッグしたか）否かを判断する（ステップＳ３４）。マウスポインタ１９Ａが動いていないと判断すると、ステップＳ３３へ戻り再度クリックされているか否かを判断する。

ステップＳ３４においてマウスポインタ１９Ａが動いたと判断すると、即ちマウスポインタ１９Ａがドラッグされて動いたと判断すると、ドラッグ後の位置、つまり十字マークＣのピクセル座標２を記憶部で記憶した後（ステップＳ３５）、ピクセル座標１とピクセル座標２のオフセット（ｘ，ｙ）を計算する（ステップＳ３６）。次いで、制御装置１７は、現在使用している倍率のピクセルサイズ（μｍ）を記憶部１７Ｃから中央演算処理部１７Ａに取得した後（ステップＳ３７）、中央演算処理部１７Ａにおいて現在使用している倍率のピクセルサイズに基づいてオフセットをピクセル座標からステージ座標にμｍ換算する計算を実行する（ステップＳ３８）。引き続き、制御装置１７は、記憶部１７Ｃから現在のステージ座標を取得し（ステップＳ３９）、中央演算処理部１７Ａにおいてステージ座標にμｍ換算したオフセットを加算した後（ステップＳ４０）、中央演算処理部１７Ａを介して駆動機構１１Ａを駆動させてオフセットを加算した座標位置へステージ１１を移動させると（ステップＳ４１）、図６の（ｂ）に示すようにピン画像Ｐが第２のＣＣＤカメラ１５の中心を示す十字マークＣへ移動する。これによって同図の（ｂ）に示す移動後のステージ１１のステージ座標を記憶部１７Ｃに格納し、記憶する。

以上説明したように第３の被撮像物の移動方法によれば、表示画面１６のピン画像Ｐをマウスポインタ１９Ａによって指定しマウス１９をクリックした後、マウスポインタ１９Ａを十字マークＣへドラッグするだけで、マウスポインタ１９Ａで指定したピン画像Ｐを第２のＣＣＤカメラ１５の中心へ移動させることができ、もって第２のＣＣＤカメラ１５の中心でプローブ１２Ａを検出することができ、そのステージ座標を記憶部１７Ｃへ記憶させることができる。同様にして第１のＣＣＤカメラ１４によるウエハの撮像画像についても同様に処理を行うことができ、指定した検査用電極のＸＹ座標位置を検出することができる。従って、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５によって目標とするプローブ１２Ａ及びウエハの検査用電極をそれぞれ検出し、それぞれのステージ座標に基づいてこれら両者のアライメントを行うことができる。

尚、上記各実施形態では、表示画面１６のピン画像Ｐ、Ｐ１、Ｐ２をマウスポインタ１９Ａで指定することによってピン画像Ｐ、Ｐ１、Ｐ２を十字マークＣへ移動させる方法について説明したが、仮に表示画面１６に対象となるピン画像等が表示されていなくても、表示画面１６上で任意の部位を指定すれば、その部位を十字マークＣへ移動させ、ステージ１１を介して第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５を任意の方向へ移動させることができる。また、第２の画像移動方法では第１、第２のピン画像Ｐ１、Ｐ２間の中点を求め、この中点を十字マークＣへ移動させる方法について説明したが、中点に制限されるものではなく、中点以外の点を特定する関係式を設定し、中点以外の部位を目標位置に移動させるようにしても良い。また、マウスポインタで指定する任意の部位は、三箇所以上であっても良く、この場合には三箇所の部位に基づいて設定部位を求める関係式を記憶部に登録しておくことにより、第２の被撮像物の移動方法を実施することができる。また、上記各実施形態では目標位置を表示画面の中心に設定したが、目標位置は必要に応じて中心以外に設定しても良い。

また、上記各実施形態ではマウス１９を用いて撮像画像を操作する場合について説明したが、表示画面がタッチパネル式になっている場合には、オペレータが手で撮像画像の一部に触れることによっても上記各実施形態の被撮像物の移動方法を実行することができる。

更に、上記各実施形態ではプローブ装置１０を例に挙げて説明したが、本発明の処理装置はプローブ装置に制限されるものではなく、カメラ等の撮像手段を備えた半導体製造装置等の製造装置にも広く適用することができる。

本発明は、撮像手段を備えた処理装置に好適に利用することができる。

１０プローブ装置（処理装置）
１１ステージ（載置台）
１１Ａ駆動機構
１１Ｂ被撮像物の移動方法
１２プローブカード（対象物）
１２Ａプローブ
１３アライメント機構
１４第１のＣＣＤカメラ（第１の撮像手段）
１５第２のＣＣＤカメラ（第２の撮像手段）
１６表示画面
１７制御装置（制御手段）
１７Ａ中央演算処理部（演算部）
１７Ｂ、１７Ｃ記憶部
Ｐ、Ｐ１、Ｐ２ピン画像（指定部位）

Claims

撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させる被撮像物の移動方法であって、
上記任意の部位にマウスポインタを当て、マウスをクリックすることにより上記任意の部位を指定すると共にして上記指定部位を上記目標位置へドラッグする工程と、
上記指定部位の上記表示画面上での座標値を記憶する工程と、
上記マウスをドラッグした後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値を記憶する工程と、
上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める工程と、
上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えた
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。
撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させる被撮像物の移動方法であって、
上記表示画面としてタッチパネルを設け、上記タッチパネルに表示された上記撮像画像の上記任意の部位に触れることにより上記任意の部位を指定すると共に上記指定部位を上記目標位置へドラッグする工程と、
上記指定部位の上記表示画面上での座標値を記憶する工程と、
上記タッチパネルでの指定部位をドラッグした後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する工程と、
上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める工程と、
上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えた
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。
所定の倍率で被撮像物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段による撮像画像を表示する表示画面と、上記被撮像物と上記撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させるように構成された処理装置であって、
上記撮像画像の任意の複数の部位にマウスポインタを当ててクリックすることにより上記の任意の部位を指定すると共に上記任意の指定部位を上記目標位置までドラッグするマウスとして構成された指定手段と、
上記指定部位及び上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する記憶手段と、
上記表示画面上での上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める演算手段と、を有し、
上記駆動手段が上記オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物が相対的に移動する
ことを特徴とする処理装置。
所定の倍率で被撮像物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段による撮像画像を表示する表示画面と、上記被撮像物と上記撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させて上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させるように構成された処理装置であって、
上記撮像画像の任意の部位に触れて上記任意の部分を指定すると共に上記任意の指定部位を上記目標位置までドラッグする機能を有するタッチパネルとして構成された指定手段と、
上記指定部位及び上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標値をそれぞれ記憶する記憶手段と、
上記表示画面上での上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める演算手段と、を有し、
上記駆動手段が上記オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物が相対的に移動する
ことを特徴とする処理装置。