JP2010190709A - 三次元磁気測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
制御手段で、３次元プローブの移動制御、ガウスメータからのデータの解析及び解析された情報を３次元で可視化して表示を一元的に行うことで、精度の高い磁界の測定や表示が可能な三次元磁気測定装置を提供することにある。
【解決手段】
制御手段が、３軸アクチュエータを制御するマシン制御手段と、ガウスメータからのデータを解析する数値解析手段と、数値解析手段で解析された情報を３次元で可視化して表示する３次元可視化手段とを備えることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を測定する三次元磁気測定装置に関する。

従来より、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を三次元的に測定するために、三次元磁気測定装置が用いられている。例えば、特許文献１に示させる磁界測定装置は、測定対象物の周囲を三次元方向に相対的に移動可能に支持された磁気センサを備えた測定器と、測定器により測定された測定対象物の三次元磁力データに基づき、その磁界の状態を可視化表示できるように加工するデータ加工手段を含むコンピュータと、データ加工手段で加工された結果を出力する出力手段としてのディスプレイとを備えている。

特開２００１−１８３４３４号公報

しかしながら、従来の磁界測定装置では、測定対象物の周囲を三次元方向に相対的に移動可能に支持された磁気センサを備えた測定器で磁気センサの移動を制御し、コンピュータで別途磁界のデータを加工するようにしていることから、磁気センサの制御とデータ加工が一元的に行えず、磁界の精度の高い測定が困難であった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、制御手段で、３次元プローブの移動制御、ガウスメータからのデータの解析及び解析された情報を３次元で可視化して表示を一元的に行うことで、精度の高い磁界の測定や表示が可能な三次元磁気測定装置を提供することにある。

請求項１記載の三次元磁気測定装置は、制御手段が、３軸アクチュエータを制御するマシン制御手段と、ガウスメータからのデータを解析する数値解析手段と、数値解析手段で解析された情報を３次元で可視化して表示する３次元可視化手段とを備えることを特徴とする。

請求項２記載の三次元磁気測定装置は、３次元プローブの先端が磁場発生対象体に接触したか否かを検出するタッチセンサを備え、制御装置が、タッチセンサが３次元プローブの先端が磁場発生対象体に接触したときの３次元プローブの座標位置を把握することを特徴とする。

請求項３記載の三次元磁気測定装置は、基準となる磁場発生対象体を３軸アクチュエータの原点となるべき位置に配置し、３軸アクチュエータを操作して３次元プローブをＸ方向及びＹ方向に移動させつつ磁場発生対象体の磁界分布を測定し、磁界分布から検出したＸ方向及びＹ方向における磁界ピークから、３軸アクチュエータのＸ方向及びＹ方向の原点を把握することを特徴とする。

請求項４記載の三次元磁気測定装置は、制御装置が、３次元プローブの中のセンサが埋め込まれている位置の情報を入力するセンサオフセット入力手段を備えることを特徴とする。

請求項５記載の三次元磁気測定装置は、制御装置が、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を粗測定し、ガウスメータの測定レンジを決定するための磁界分布を表示するオーバーレンジ検索手段を備えることを特徴とする。

請求項６記載の三次元磁気測定装置は、予めフィールド磁界分布が明らかな磁場発生対象体の磁界分布を３次元的に測定し、予めわかっているフィールドで磁界分布から、３次元プローブの中のセンサが埋め込まれている位置を解析するセンサ埋め込み位置解析手段を備えることを特徴とする。

請求項７記載の三次元磁気測定装置は、３次元プローブとガウスメータと制御装置とを接続した状態で、３次元プローブとガウスメータと制御装置との各信号レベルのオフセットを調整する初期オフセット調整手段を備えることを特徴とする。

請求項８記載の三次元磁気測定装置は、制御装置の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布を、３次元立体表示、ＸＹ方向表示、ＸＺ方向表示、ＹＺ方向表示等、表示方向を任意に変えて表示する表示方向選択手段を備えることを特徴とする。

請求項９記載の三次元磁気測定装置は、制御装置の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布の３次元表示の角度や表示倍率を任意に変更可能で、変更過程を動画として記録し再生する動画記録再生手段を備えることを特徴とする。

請求項１０記載の三次元磁気測定装置は、制御装置の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布の表示単位を変換して表示する磁気単位変換切換手段を備えることを特徴とする。

請求項１１記載の三次元磁気測定装置は、制御装置の３次元可視化手段が、磁場発生対象体の外形形状を入力し表示するワーク形状可視手段を備え、フィールド磁界分布と磁場発生対象体の外形形状とを同時に表示することを特徴とする。

請求項１の発明によれば、制御手段で、３次元プローブの移動制御、ガウスメータからのデータの解析及び解析された情報を３次元で可視化して表示を一元的に行うことで、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

請求項２の発明によれば、３次元プローブの先端が磁場発生対象体に接触したか否かを検出するタッチセンサを備え、制御装置が、タッチセンサが３次元プローブの先端が磁場発生対象体に接触したときの３次元プローブの座標位置を把握することから、高精度に３次元プローブと磁場発生対象体とのギャップを把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

請求項３の発明によれば、基準となる磁場発生対象体を３軸アクチュエータの原点となるべき位置に配置し、３軸アクチュエータを操作して３次元プローブをＸ方向及びＹ方向に移動させつつ磁場発生対象体の磁界分布を測定し、磁界分布から検出したＸ方向及びＹ方向における磁界ピークから、３軸アクチュエータのＸ方向及びＹ方向の原点を把握することから、３軸アクチュエータのＸ方向及びＹ方向の位置を正確に把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

請求項４の発明によれば、制御装置が、３次元プローブの中のセンサが埋め込まれている位置の情報を入力するセンサオフセット入力手段を備えることで、３次元プローブの中のセンサの位置を正確に把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

請求項５の発明によれば、制御装置が、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を粗測定し、ガウスメータの測定レンジを決定するための磁界分布を表示するオーバーレンジ検索手段を備えることで、精度の高い磁界の測定や表示をするためのガウスメータの適切な設定を容易に行うことができる。

請求項６の発明によれば、予めフィールド磁界分布が明らかな磁場発生対象体の磁界分布を３次元的に測定し、予めわかっているフィールドで磁界分布から、３次元プローブの中のセンサが埋め込まれている位置を解析するセンサ埋め込み位置解析手段を備えることで、３次元プローブの中のセンサの位置を正確に把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

請求項７の発明によれば、３次元プローブとガウスメータと制御装置とを接続した状態で、３次元プローブとガウスメータと制御装置との各信号レベルのオフセットを調整する初期オフセット調整手段を備えることで、３次元プローブとガウスメータと制御装置との間の基準のズレを抑え、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

請求項８の発明によれば、制御装置の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布を、３次元立体表示、ＸＹ方向表示、ＸＺ方向表示、ＹＺ方向表示等、表示方向を任意に変えて表示する表示方向選択手段を備えることで、自由な角度でフィールド磁界分布を視認でき、目視によりフィールド磁界分布の解析が容易になる。

請求項９の発明によれば、制御装置の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布の３次元表示の角度や表示倍率を任意に変更可能で、変更過程を動画として記録し再生する動画記録再生手段を備えることで、フィールド磁界分布をいろいろな角度で解析可能であると共に、角度を変えつつ行った解析を再現可能で、目視によりフィールド磁界分布の解析が容易になる。

請求項１０の発明によれば、制御装置の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布の表示単位を変換して表示する磁気単位変換切換手段を備えることで、フィールド磁界分布の解析が容易になる。

請求項１１の発明によれば、制御装置の３次元可視化手段が、磁場発生対象体の外形形状を入力し表示するワーク形状可視手段を備え、フィールド磁界分布と磁場発生対象体の外形形状とを同時に表示することから、磁場発生対象体に対するフィールド磁界分布の目視による把握が容易となる。

本発明に係る三次元磁気測定装置の一例を示す構成図である。 同三次元磁気測定装置のＺ軸ギャップ調整に係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置のＸＹ平面・原点調整に係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置のセンサオフセットに係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置のフィールド磁界分布に係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置の三次元可視表現に係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置のＸＹ可視表現に係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置のＸＺ可視表現に係る画面を示す説明図である。 同三次元磁気測定装置のフィールド磁界分布と磁場発生対象体に係る画面を示す説明図である。

以下、本発明の形態について図面を参照しながら具体的に説明する。本発明の形態における三次元磁気測定装置は、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を測定するものである。図１は、本発明に係る三次元磁気測定装置の一例を示す構成図である。図２は、同三次元磁気測定装置のＺ軸ギャップ調整に係る画面を示す説明図である。図３は、同三次元磁気測定装置のＸＹ平面・原点調整に係る画面を示す説明図である。図４は、同三次元磁気測定装置のセンサオフセットに係る画面を示す説明図である。図５は、同三次元磁気測定装置のフィールド磁界分布に係る画面を示す説明図である。図６は、同三次元磁気測定装置の三次元可視表現に係る画面を示す説明図である。図７は、同三次元磁気測定装置のＸＹ可視表現に係る画面を示す説明図である。図８は、同三次元磁気測定装置のＸＺ可視表現に係る画面を示す説明図である。図９は、同三次元磁気測定装置のフィールド磁界分布と磁場発生対象体に係る画面を示す説明図である。

図１において、三次元磁気測定装置１は、磁界を検出する３次元プローブ８と、３次元プローブ８の信号から磁界分布を測定するガウスメータ２０と、３次元プローブ８を支持し移動させる３軸アクチュエータ１０と、ガウスメータ２０や３軸アクチュエータ１０を制御する制御装置としてのコンピュータ３０等から構成されている。コンピュータ３０は、コンピュータ本体３４と表示装置３２とによって構成されたパーソナルコンピュータを図示したが、三次元磁気測定装置１の制御装置で機能させることが可能であれば、その形態により限定されるものではなく、電子計算機であればノート側コンピュータ等であってもよい。

３次元プローブ８は、１本の棒状のもので、先端部に、Ｘ軸センサ、Ｙ軸センサ、Ｚ軸センサと、磁界を測定するセンサが、３次元的に３つ組み込まれている。３軸アクチュエータ１０は、磁場発生対象体（図示せず）を載置する基台１２と、基台１２上に設けられ、３次元プローブ８を支持した状態で３次元プローブ８をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動させる３次元アーム１４から構成されている。３次元プローブ８は、ガウスメータ２０と接続され、ガウスメータ２０及び３軸アクチュエータ１０はそれぞれコンピュータ３０に接続されている。尚、コンピュータ３０への接続は、シリアル接続、パラレル接続、アナログ信号レベル接続等、特に限定されるものではない。

制御装置であるコンピュータ３０は、ソフトウエアの機能として、３軸アクチュエータ１０を制御するマシン制御手段と、ガウスメータ２０からのデータを解析する数値解析手段と、数値解析手段で解析された情報を３次元で可視化して表示する３次元可視化手段とを備えている。

次に、三次元磁気測定装置１の動作及び機能を説明する。まず、被検査対象である磁場発生対象体を測定するにあたり、３次元プローブ８、ガウスメータ２０及び３軸アクチュエータ１０の原点やレベル調整を行う必要がある。尚、３次元プローブ８を別のものに交換したり、取付位置がずれてしまったような場合には、３次元プローブ８に係る部分の調整が必要になる。

まず、図４に示すセンサオフセットに係る画面（パラメータ設定画面）で、３次元プローブ８の中の各センサが埋め込まれている位置の情報であるオフセット情報を、入力する（センサオフセット入力手段）。この入力すべきオフセット情報は、各３次元プローブ８ごとのロットで管理され、３次元プローブ８ごとの検査報告書等に示されている値である。また、Ｚ軸のセンサの埋め込み位置に関しては、図２に示すＺ軸ギャップ調整に係る画面（測定原点の調整画面）で、Ｚ軸センサ埋め込み位置として、数値入力する。尚、コンピュータ３０に、３次元プローブ８のロットごとの情報を保存や読み出しを可能にすることで、３次元プローブ８を交換する場合に、かつて入力した値を読み出して効率的に交換を行うことも可能となる。

次に、３次元プローブ８と３軸アクチュエータ１０との位置関係を正確に把握するための３次元プローブ８と磁場発生対象体とのギャップ調整について説明する。まず、三次元磁気測定装置１は、３次元プローブ８の先端が磁場発生対象体に接触したか否かを検出するタッチセンサ（図示せず）を備えている。そして、まず、３軸アクチュエータ１０の基台１２の原点になる位置に、基準となる磁場発生対象体を載置する。次に、コンピュータ３０が、作業者によってギャップ調整を指示されると、３次元アーム１４を制御して、予め基台１２の原点として設定された位置に、３次元プローブ８を移動させる。そして、コンピュータ３０が、タッチセンサが３次元プローブ８の先端が磁場発生対象体に接触したときの３次元プローブ８の座標位置を把握・記憶する。

次に、３次元プローブ８と３軸アクチュエータ１０とのＸＹ方向の位置関係を正確に把握するための３次元プローブ８と磁場発生対象体との位置調整を説明する。上記と同様に、基準となる磁場発生対象体を３軸アクチュエータ１０の基台１２の原点となるべき位置に配置する。そして、コンピュータ３０の制御により、３次元アーム１４を制御して３次元プローブ８をＸ方向及びＹ方向に移動させつつ基準となる磁場発生対象体の磁界分布を測定する（測定結果を示す画面が図３）。測定された磁界分布で検出したＸ方向及びＹ方向における磁界ピークから、３次元アーム１４のＸ方向及びＹ方向の原点を把握するようにする。

次に、三次元磁気測定装置１が備えるオーバーレンジ検索手段を説明する。オーバーレンジ検索手段は、実際の測定を行う前に、コンピュータ３０の制御により、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を粗測定する。この粗測定で、測定レンジが不適切で値が頭打ちになってしまったり、逆に磁界分布が読み切れないような小さな値になってしまった場合には、ガウスメータ２０の測定レンジを適切なものに設定し直すようにする。

また、三次元磁気測定装置１は、センサ埋め込み位置解析手段を備えている。センサ埋め込み位置解析手段は、コンピュータ３０による制御で、予めフィールド磁界分布が明らかな磁場発生対象体の磁界分布を３次元的に測定し、予めわかっているフィールドで磁界分布から、３次元プローブ８の中のセンサが埋め込まれている位置を解析するものである。また、三次元磁気測定装置１は、初期オフセット調整手段を備えている。初期オフセット調整手段は、３次元プローブ８とガウスメータ２０とコンピュータ３０とを接続した状態で、３次元プローブ８とガウスメータ２０とコンピュータ３０との各信号レベルのオフセットを調整する機能である。このような各種手段により実際に測定され表示されるものが、図５に示す画面である。

表示装置３２におけるフィールド磁界分布の３次元表示に関しても、本実施の形態の三次元磁気測定装置１は、いくつかの機能を有している。まず、三次元磁気測定装置１は、表示方向選択手段を備えている。表示方向選択手段は、制御装置であるコンピュータ３０の３次元可視化手段である表示装置３２が、フィールド磁界分布を、３次元立体表示、ＸＹ方向表示、ＸＺ方向表示、ＹＺ方向表示等、表示方向を任意に変えて表示する機能である。具体的には、図６が３次元立体表示であり、図７がＸＹ方向表示であり、図８がＸＺ方向表示又はＹＺ方向表示である。

また、三次元磁気測定装置１は、動画記録再生手段を備えている。動画記録再生手段は、表示装置３２で表示されるフィールド磁界分布の３次元表示の角度や表示倍率を任意に変更可能で、変更過程を動画として記録し再生するものである。

さらに、三次元磁気測定装置１は、磁気単位変換切換手段を備えている。磁気単位変換切換手段は、表示装置３２で表示されるフィールド磁界分布の表示単位を変換して表示するものである。

さらに、三次元磁気測定装置１は、ワーク形状可視手段を備えている。ワーク形状可視手段は、磁場発生対象体の外形形状を入力し、図９に示すように、表示装置３２に、フィールド磁界分布と磁場発生対象体の外形形状とを同時に表示するものである。

以上のように、本実施の形態における三次元磁気測定装置１は、制御手段であるコンピュータ３０が、３次元プローブ８の移動制御、ガウスメータ２０からのデータの解析及び解析された情報を３次元で可視化して表示を一元的に行うことで、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

また、３次元プローブ８の先端が磁場発生対象体に接触したか否かを検出するタッチセンサを備え、コンピュータ３０が、タッチセンサが３次元プローブ８の先端が磁場発生対象体に接触したときの３次元プローブ８の座標位置を把握することから、高精度に３次元プローブ８と磁場発生対象体とのギャップを把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

さらに、基準となる磁場発生対象体を３軸アクチュエータ１０の原点となるべき位置に配置し、３軸アクチュエータ１０を操作して３次元プローブ８をＸ方向及びＹ方向に移動させつつ磁場発生対象体の磁界分布を測定し、磁界分布から検出したＸ方向及びＹ方向における磁界ピークから、３軸アクチュエータ１０のＸ方向及びＹ方向の原点を把握することから、３軸アクチュエータ１０のＸ方向及びＹ方向の位置を正確に把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

さらに、コンピュータ３０が、３次元プローブ８の中のセンサが埋め込まれている位置の情報を入力するセンサオフセット入力手段を備えることで、３次元プローブ８の中のセンサの位置を正確に把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

さらに、コンピュータ３０が、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を粗測定し、ガウスメータ２０の測定レンジを決定するための磁界分布を表示するオーバーレンジ検索手段を備えることで、精度の高い磁界の測定や表示をするためのガウスメータ２０の適切な設定を容易に行うことができる。

さらに、予めフィールド磁界分布が明らかな磁場発生対象体の磁界分布を３次元的に測定し、予めわかっているフィールドで磁界分布から、３次元プローブ８の中のセンサが埋め込まれている位置を解析するセンサ埋め込み位置解析手段を備えることで、３次元プローブ８の中のセンサの位置を正確に把握でき、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

さらに、３次元プローブ８とガウスメータ２０とコンピュータ３０とを接続した状態で、３次元プローブ８とガウスメータ２０とコンピュータ３０との各信号レベルのオフセットを調整する初期オフセット調整手段を備えることで、３次元プローブ８とガウスメータ２０とコンピュータ３０との間の基準のズレを抑え、精度の高い磁界の測定や表示が可能である。

さらに、コンピュータ３０の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布を、３次元立体表示、ＸＹ方向表示、ＸＺ方向表示、ＹＺ方向表示等、表示方向を任意に変えて表示する表示方向選択手段を備えることで、自由な角度でフィールド磁界分布を視認でき、目視によりフィールド磁界分布の解析が容易になる。

さらに、コンピュータ３０の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布の３次元表示の角度や表示倍率を任意に変更可能で、変更過程を動画として記録し再生する動画記録再生手段を備えることで、フィールド磁界分布をいろいろな角度で解析可能であると共に、角度を変えつつ行った解析を再現可能で、目視によりフィールド磁界分布の解析が容易になる。

さらに、コンピュータ３０の３次元可視化手段が、フィールド磁界分布の表示単位を変換して表示する磁気単位変換切換手段を備えることで、フィールド磁界分布の解析が容易になる。

さらに、コンピュータ３０の３次元可視化手段が、磁場発生対象体の外形形状を入力し表示するワーク形状可視手段を備え、フィールド磁界分布と磁場発生対象体の外形形状とを同時に表示することから、磁場発生対象体に対するフィールド磁界分布の目視による把握が容易となる。

以上のように、本発明によれば、制御手段で、３次元プローブの移動制御、ガウスメータからのデータの解析及び解析された情報を３次元で可視化して表示を一元的に行うことで、精度の高い磁界の測定や表示が可能な三次元磁気測定装置を提供することができる。

１・・・・三次元磁気測定装置
８・・・・３次元プローブ
１０・・・３軸アクチュエータ
１２・・・基台
１４・・・３次元アーム
２０・・・ガウスメータ
３０・・・コンピュータ
３２・・・表示装置
３４・・・コンピュータ本体

Claims (11)

1. 磁界を検出する３次元プローブと、該３次元プローブの信号から磁界分布を測定するガウスメータと、該３次元プローブを支持し移動させる３軸アクチュエータと、該ガウスメータや該３軸アクチュエータを制御する制御装置とを有し、磁場発生対象体のフィールド磁界分布を測定する三次元磁気測定装置において、
   制御手段が、
   該３軸アクチュエータを制御するマシン制御手段と、
   該ガウスメータからのデータを解析する数値解析手段と、
   該数値解析手段で解析された情報を３次元で可視化して表示する３次元可視化手段とを備えることを特徴とする三次元磁気測定装置。
2. 前記３次元プローブの先端が前記磁場発生対象体に接触したか否かを検出するタッチセンサを備え、
   前記制御装置が、該タッチセンサが該３次元プローブの先端が該磁場発生対象体に接触したときの該３次元プローブの座標位置を把握することを特徴とする請求項１記載の三次元磁気測定装置。
3. 基準となる磁場発生対象体を前記３軸アクチュエータの原点となるべき位置に配置し、
   該３軸アクチュエータを操作して前記３次元プローブをＸ方向及びＹ方向に移動させつつ該磁場発生対象体の磁界分布を測定し、該磁界分布から検出したＸ方向及びＹ方向における磁界ピークから、該３軸アクチュエータのＸ方向及びＹ方向の原点を把握することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の三次元磁気測定装置。
4. 前記制御装置が、前記３次元プローブの中のセンサが埋め込まれている位置の情報を入力するセンサオフセット入力手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
5. 前記制御装置が、前記磁場発生対象体のフィールド磁界分布を粗測定し、前記ガウスメータの測定レンジを決定するための磁界分布を表示するオーバーレンジ検索手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
6. 予めフィールド磁界分布が明らかな磁場発生対象体の磁界分布を３次元的に測定し、予めわかっている該フィールドで磁界分布から、前記３次元プローブの中のセンサが埋め込まれている位置を解析するセンサ埋め込み位置解析手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
7. 前記３次元プローブと前記ガウスメータと前記制御装置とを接続した状態で、該３次元プローブと該ガウスメータと該制御装置との各信号レベルのオフセットを調整する初期オフセット調整手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
8. 前記制御装置の３次元可視化手段が、前記フィールド磁界分布を、３次元立体表示、ＸＹ方向表示、ＸＺ方向表示、ＹＺ方向表示等、表示方向を任意に変えて表示する表示方向選択手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
9. 前記制御装置の３次元可視化手段が、前記フィールド磁界分布の３次元表示の角度や表示倍率を任意に変更可能で、変更過程を動画として記録し再生する動画記録再生手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
10. 前記制御装置の３次元可視化手段が、前記フィールド磁界分布の表示単位を変換して表示する磁気単位変換切換手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。
11. 前記制御装置の３次元可視化手段が、前記磁場発生対象体の外形形状を入力し表示するワーク形状可視手段を備え、前記フィールド磁界分布と該磁場発生対象体の外形形状とを同時に表示することを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれかに記載の三次元磁気測定装置。