JP2010283088A - ウェーハ外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハ外観検査装置の操作性を向上させ、ウェーハ外観検査における人手作業の効率向上を図る。
【解決手段】ウェーハ外観検査装置２０１は、測定ステージ２０５と、その上に載置されたウェーハ２０４の表面形状を撮像するモニタカメラ２０３と、ウェーハ２０４の表面形状欠陥の検出処理を実行する制御用コンピュータ２０２を備える。制御用コンピュータ２０２は、ウェーハ２０４を構成するダイのそれぞれを複数の升目に区分し、モニタカメラ２０３を介して、ウェーハ２０４の表面形状パターンのモニタ画像を、前記升目ごとに取得し、その取得した撮像画像をモニタ画像ＤＢ２１６に登録する。また、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像ＤＢ２１６に登録されている升目ごとの、ウェーハ２０４と同じ品種名で同じ工程名に対応付けられたモニタ画像を、それぞれの升目の位置に対応させて配置して構成した合成ダイ画像を表示装置２０６に表示する。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体デバイス製造工程にあるウェーハの表面欠陥を検査するウェーハ外観検査装置に関する。

半導体デバイス製造工程においては、塵埃や異物などのために生じるウェーハの表面欠陥を検査するウェーハ外観検査装置が盛んに使用されている。そして、その検査を行う工程は、相当部分が自動化されたものであり、半導体デバイス製品の生産の効率化に寄与している。しかしながら、その検査を自動化するためには、半導体デバイス製品ごとにその検査レシピを作成する必要がある。その場合には、どうしても人手の介入が必要である。また、欠陥を詳細に解析するような場合にも、人手の介入は欠かせない。

ここで、この人手介入で最も手間が掛かる作業は、ウェーハ表面の検査または観察対象領域、例えば、解析対象の欠陥が含まれる領域を、ウェーハ外観検査装置の観察視野内に位置合わせする作業である。

ちなみに、従来の一般的なウェーハ外観検査装置では、図１３に示すような操作画面２００１が設けられ、その中に、モニタ画像表示エリア２００２や測定ステージ操作卓２０１１などが表示される。このとき、モニタ画像表示エリア２００２には、光学顕微鏡付きのモニタカメラなどを介して取得されたウェーハ表面の形状パターの画像が表示される。また、測定ステージ操作卓２０１１には、測定ステージの移動量を設定する入力欄２０１２、および、測定ステージを各方向に移動させるための移動ボタン２０１３が設けられている。

この場合、ユーザは、測定ステージの移動量を入力欄２０１２に設定しながら、あるいは、移動ボタン２０１３をクリックしながら、目的の領域の形状パターンがモニタ画像表示エリア２００２に現れるまで、測定ステージを移動させる。

ところで、検査対象のウェーハには、後の工程で互いに切り離される（ダイシングされる）多数のダイ領域が形成され、そのダイ領域には、通常、全て同じ表面形状パターンが形成されている。さらに、製造される半導体デバイスが、例えば、メモリ集積回路であるような場合、ダイ領域の内部にもメモリセルなどからなる規則的に繰り返される同じ形状パターンが多数形成されている。

従って、このように同じ形状パターンを多数有するようなウェーハ表面の特定の領域を、観察視野内に位置合わせする場合には、目的の領域の形状パターンと同様のパターンが多数存在する。従って、図１３に示した測定ステージ操作卓２０１１を用いた操作では、ユーザにとって位置設定誤りを犯し易く、また、手間も時間も掛かる作業にならざるを得ない。

そこで、例えば、特許文献１には、あらかじめ求められた欠陥座標を表示し、その欠陥座標がマウスなどで選択されクリックされたときには、観察視野をその座標位置へ直接に位置合わせすることが可能なウェーハ外観検査装置の例が開示されている。

特開２００２−７１５９４号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたウェーハ外観検査装置で用いられている移動先の設定方法は、移動先の座標値が既知の場合には極めて有効であるが、移動先を任意の位置に設定することはできない。従って、特許文献１に開示されたウェーハ外観検査装置では、検査レシピを作成するような場合に、例えば、感度設定エリアの始点や終点の位置を設定するときには、図１３に示したような測定ステージ操作卓２０１１を用いて設定せざるを得ない。これでは、ウェーハ外観検査装置を利用する上で人手介入が必要な部分の作業の効率を向上させることはできない。

以上のような従来の問題点に鑑み、本発明の目的は、ウェーハ外観検査装置の操作性を向上させ、ウェーハ外観検査における人手作業の効率向上を図ることが可能なウェーハ外観検査装置を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のウェーハ外観検査装置は、測定ステージと、測定ステージ上に載置されたウェーハの表面形状を撮像する撮像装置と、その撮像装置またはその撮像装置とは異なる検査用撮像装置から得られる撮像画像を用いて、ウェーハの表面形状欠陥を検出する制御用コンピュータを備える。そして、その制御用コンピュータは、ウェーハを構成するダイのそれぞれを、前記撮像装置の所定の倍率の視野により定められる大きさの複数の升目に区分し、前記撮像装置を介してウェーハの表面形状パターンの撮像画像を、前記区分した升目ごとに取得し、その取得した撮像画像を撮像画像ＤＢに登録する。さらに、前記制御用コンピュータは、前記撮像画像ＤＢに登録されている升目ごとの、前記ウェーハと同じ品種名で同じ工程名に対応付けられた撮像画像を、それぞれの升目の位置に対応させて配置して構成した前記ダイの全体の表面形状に対応する撮像画像を、合成ダイ画像として表示装置に表示する。

本発明のウェーハ外観検査装置では、表示装置に検査対象のウェーハに含まれるダイのダイ全体の表面形状に対応する撮像画像である合成ダイ画像が表示されるので、ウェーハ外観検査の検査員は、ウェーハ外観検査の準備作業や欠陥解析作業において、その合成ダイ画像上で、撮像対象の位置を定めたり、ダイの表面形状と関連付けて欠陥の位置を知ることができたりすることが可能になる。

本発明によれば、ウェーハ外観検査装置の操作性を向上させ、ウェーハ外観検査における人手作業の効率向上を図ることができる。

本発明の実施形態に係るウェーハ外観検査装置の表示装置に表示される操作画面の例を示した図。 本発明の実施形態に係るウェーハ外観検査装置の構成の例を示した図。 半導体製造工場などにおけるウェーハ外観検査装置の配置構成の例を示した図。 ウェーハ外観検査装置において行われるモニタ表示位置の初期化処理の処理フローの例を示した図。 ウェーハ外観検査装置において行われるモニタ表示位置移動処理の処理フローの例を示した図。 ウェーハ外観検査装置において行われる感度指定エリア設定処理の処理フローの第１の例を示した図。 ウェーハ外観検査装置において行われる感度指定エリア設定処理の処理フローの第２の例を示した図。 ウェーハ外観検査装置によって取得された欠陥の位置を合成ダイ画像に重ね合わせて表示した例を示した図。 合成ショット画像および合成ダイ画像の作成処理の処理フローの例を示した図。 モニタ画像取得処理の詳細な処理フローの例を示した図。 合成画像表示エリアでモニタ画像取得対象升目を指定する方法の例を示した図。 ウェーハ・アライメント後のウェーハの残留傾きについて補足説明するための図。 従来のウェーハ外観検査装置の操作画面の例を示した図。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

＜１．操作画面の構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るウェーハ外観検査装置の表示装置に表示される操作画面の例を示した図である。図１に示すように、本発明の実施形態に係るウェーハ外観検査装置の操作画面１０１には、モニタ画像表示エリア１０２、合成画像表示エリア１０３、ダイマトリックス１０５、ダイマップ１０７などが表示され、さらに、測定ステージ制御のための操作卓、モニタ画像取得のための各種コマンドボタンが表示される。

モニタ画像表示エリア１０２は、光学顕微鏡付きのモニタカメラなどによって取得される検査対象ウェーハ表面の撮像画像（以下、単に、モニタ画像という）を表示する領域である。なお、モニタ画像は、レーザの散乱光を用いる暗視野系のウェーハ外観検査装置でない場合には、モニタカメラに限定されず、検査自体に用いる撮像装置で取得された画像であってもよい。

合成画像表示エリア１０３は、複数のモニタ画像を連結し、合成して構成したダイ画像またはショット画像（以下、合成ダイ画像または合成ショット画像という）を表示する。図１の例では、合成画像表示エリア１０３には、３×２のダイからなる合成ショット画像が示されている。ここで、実線は、ダイの境界を表し、一点鎖線は、１つのモニタ画像の表示枠（以下、升目という）を表している。なお、ここでいうショットとは、露光工程で露光を同時に行うためにグループ化された複数のダイをいう。

合成画像表示エリア１０３において、モニタ画像が取得済の升目には、その取得済のモニタ画像が表示されるが、モニタ画像が未取得の升目内は、空白のまま表示される。また、モニタ画像の視野の大きさは、被検査対象のウェーハの品種などによって定められるモニタ画像の倍率によって決まり、その升目の大きさは、そのモニタ画像の視野の大きさに対応する。

ダイマトリックス１０５は、検査対象ウェーハに形成されるダイの配列構成を示したものであり、通常、検査対象ウェーハの製品ごとに異なる。また、ダイマップ１０７は、ダイの升目の配列構成を示したものである。なお、モニタ画像表示エリア１０２に、モニタ画像が表示されている場合には、そのモニタ画像が取得されたウェーハ上の位置、さらに詳しくは、ダイ上の位置を指し示すモニタ表示位置１０４，１０６，１０８が、合成画像表示エリア１０３、ダイマトリックス１０５およびダイマップ１０７のそれぞれに表示される。

さらに、図１に示した操作画面１０１には、スライダ１０９が設けられており、スライダ１０９により、合成画像表示エリア１０３に表示されている合成ダイ画像を拡大・縮小することができる。このとき、最小の倍率は、１ショット分の合成ショット画像を表示する倍率、最大の倍率は、例えば、モニタ画像３×３個分（３×３升目分）を表示する倍率であるとする。また、その中間の倍率により、適宜、合成ダイ画像を拡大表示することができる。

モニタ画像取得のためのコマンドボタンとしては、画像取得ボタン１１０、全画像取得ボタン１１１、画像クリアボタン１１２、選択解除ボタン１１５などが設けられている。画像取得ボタン１１０は、所定のマウス操作によってモニタ画像取得対象の升目が選択されたとき、モニタ画像の取得を指示するボタンである。また、選択解除ボタン１１５は、モニタ画像取得対象の升目が選択されたとき、その選択された升目の一部または全部を選択解除指示するボタンである。また、全画像取得ボタン１１１は、モニタ画像未取得の全ての升目のモニタ画像の取得を指示するボタンである。また、画像クリアボタン１１２は、所定のマウス操作によってクリアするモニタ画像の升目が選択されたとき、その選択されたモニタ画像のクリアを指示するボタンである。

さらに、操作画面１０１には、図１３に示した測定ステージ操作卓２０１１と同様の測定ステージ操作卓が設けられている（ただし、図１では、操作卓を区切る枠の表示が省略されている）。この測定ステージ操作卓は、測定ステージの移動量の設定する入力欄１１３と、測定ステージの移動方向を指定して微小量ずつ移動させるステージ移動ボタン１１４と、を含んで構成される。なお、入力欄１１３およびステージ移動ボタン１１４の使用方法は、図１３に示した測定ステージ操作卓２０１１の場合と同じである。

本実施形態では、合成画像表示エリア１０３に表示されている合成ダイ画像上で、モニタ表示位置１０４の移動先をマウスクリックして指定することにより、測定ステージを移動させることができる。その操作の処理手順については、後記にて説明する。

以上のような操作処理により、測定ステージが移動されたときには、合成画像表示エリア１０３、ダイマトリックス１０５およびダイマップ１０７に、それぞれ表示されているモニタ表示位置１０４，１０６，１０８も更新される。

なお、合成画像表示エリア１０３に合成ダイ画像が表示されているとき、測定ステージの移動によりモニタ表示位置１０４が隣のダイへ移動した場合には、合成画像表示エリア１０３の表示は、移動先のダイの合成ダイ画像に更新される。また、合成画像表示エリア１０３に合成ダイ画像が拡大して表示されているとき、測定ステージの移動によりモニタ表示位置１０４が現表示範囲を超えた場合には、モニタ表示位置１０４が中央位置になるように表示する升目を選択して、拡大した合成ダイ画像を表示する。また、合成画像表示エリア１０３に合成ショット画像が表示されているとき、測定ステージの移動によりモニタ表示位置１０４が隣のショットのダイへ移動した場合には、合成画像表示エリア１０３の表示は、移動先のダイを含むショットのショット合成画像に更新される。

＜２．ウェーハ外観検査装置の構成＞
図２は、本発明の実施形態に係るウェーハ外観検査装置の構成の例を示した図である。図２に示すように、本発明の実施形態に係るウェーハ外観検査装置２０１は、検査対象のウェーハ２０４を載置する測定ステージ２０５と、光学顕微鏡（図示せず）などを介してウェーハ２０４の表面に形成された形状パターンを撮像するモニタカメラ２０３と、ステージ駆動部２０８を介して測定ステージ２０５上に載置されたウェーハ２０４の位置を制御するとともに、モニタカメラ２０３を介して取得したウェーハ２０４の表面形状パターンのモニタ画像を管理して、外観検査を制御する制御用コンピュータ２０２と、を含んで構成される。

測定ステージ２０５は、移動量を測定するレーザ測長器などを備え、ウェーハ２０４を水平（ｘ，ｙ）方向、上下（ｚ）方向、回転（θ）方向にそれぞれ移動させる移動機構を有し、ステージ駆動部２０８によって、その移動が駆動される。また、検査対象のウェーハ２０４は、ロボットハンドなどの搬送装置（図示せず）によって、外部より搬送され、測定ステージ２０５上に載置される。

制御用コンピュータ２０２は、情報処理および制御処理の主体であるＣＰＵ（Central Processing Unit）２１１と、ステージ駆動部２０８を介して測定ステージ２０５の移動を制御するステージ制御部２１４と、モニタカメラ２０３からの画像取得を行うカメラ制御部２１３と、ＬＡＮ（Local Area Network）２０９に接続され、その通信を制御する通信制御部２１２と、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などの表示装置２０６やキーボード２０７、マウスなどの入力装置を制御する入出力制御部２１５と、カメラ制御部２１３を介して取得したモニタ画像を蓄積して管理するモニタ画像ＤＢ（Database）２１６と、を含んで構成される。

ここで、モニタ画像ＤＢ２１６は、モニタ画像の画像データ、当該モニタ画像の画像データを識別する画像データＩＤ、当該モニタ画像のウェーハ２０４上での位置を表す画像位置座標、当該モニタ画像が取得されたウェーハ２０４の品種（ダイの品種）を識別するウェーハ品種情報（品種名など）、当該モニタ画像を取得した直前のウェーハ加工工程を識別する工程情報（工程名など）、などの情報を含んで構成される。

なお、ウェーハ外観検査装置２０１は、このほかにも、散乱光の検出部など、その検査方法に応じたウェーハ２０４表面の画像を取得する手段を備えているが、ここでは、その図示および説明を省略する。また、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像ＤＢ２１６のほかにも、ウェーハ２０４の表面欠陥を検出する処理機能や、検出された欠陥に関する欠陥画像ＤＢなど様々なデータベースを含んでいるが、ここでは、その図示および説明を省略する。

図３は、半導体製造工場などにおけるウェーハ外観検査装置２０１の配置構成の例を示した図である。半導体製造工場のいわゆるクリーンルーム３００には、通常、複数のウェーハ外観検査装置２０１が設置され、あらかじめ定められたいくつかの工程では、その工程が終了した時点でウェーハ外観検査を行うことが可能なようにされている。また、クリーンルーム３００の外の、例えば、ウェーハ外観検査の検査員室などには、ＬＡＮ２０９を介してクリーンルーム３００内の複数のウェーハ外観検査装置２０１に接続されたリモート操作端末装置３０１が設置されている。

リモート操作端末装置３０１は、少なくとも、ＣＰＵ３１１と、モニタ画像ＤＢ３１６と、表示装置３０６と、キーボード３０７、マウスなどからなる入力装置と、を含んで構成される。このとき、リモート操作端末装置３０１のモニタ画像ＤＢ３１６は、クリーンルーム３００内のウェーハ外観検査装置２０１のモニタ画像ＤＢ２１６との間で、その一部または全部の画像データを共有している。

また、リモート操作端末装置３０１は、ウェーハ外観検査装置２０１の装置番号を指定することで、そのウェーハ外観検査装置２０１の表示装置２０６（図２参照）に表示される操作画面１０１（図１参照）と同じ操作画面を自身の表示装置３０６に表示させることができ、また、自身のキーボード３０７やマウスを介して、その操作画面に対する操作入力を受け付けることができる。従って、検査員は、クリーンルーム３００の外でウェーハ外観検査装置２０１の操作を自由に行うことができる。

＜３．ウェーハ外観検査装置における操作処理の例＞
続いて、図４〜図７を参照して、ウェーハ外観検査装置２０１においてしばしば行われる次の（ａ）〜（ｄ）の操作処理の例について説明する。
（ａ）ウェーハ搬入時のモニタ表示位置の初期化処理
（ｂ）ウェーハ上の任意の位置へモニタ表示位置を移動させるモニタ表示位置移動処理
（ｃ）同じダイ内に異なる検出感度のエリアを設定する感度指定エリア設定処理
（ｄ）欠陥座標をダイ画像に重ね合わせて表示する欠陥位置表示処理
なお、これらの操作処理は、検査対象のウェーハ２０４を構成する各ダイの各升目のモニタ画像の全部または一部がすでに取得されているものとして実行されることを想定している。

図４は、ウェーハ外観検査装置２０１において行われるモニタ表示位置の初期化処理の処理フローの例を示した図である。制御用コンピュータ２０２（図２参照）は、まず、図示しない搬送装置を介して、ウェーハ４００を測定ステージ２０５上に搬送するための搬送制御を実行する（ステップＳ４０１）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、モニタ表示位置４０２が１ｓｔ（ファースト）アライメント用ダイへ移動するように、測定ステージ２０５を移動制御し（ステップＳ４０２）、ダイマトリックス４０１上に現在のモニタ表示位置４０２を表示する（ステップＳ４０４）。これらの処理により、ウェーハ４００上におけるモニタ表示位置４０２のおよその位置が分る。

なお、ここでいう１ｓｔアライメント用ダイは、ウェーハ４００にあらかじめ定められたダイで、図４の例では、ダイマトリックス４０１の×印が付されたダイのうち、左側のダイである。また、ダイマトリックス４０１およびモニタ表示位置４０２は、それぞれ、図１におけるダイマトリックス１０５、モニタ表示位置１０６に相当する。

続いて、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像ＤＢ２１６から各升目のモニタ画像（画像データ）を取得し、そのモニタ画像を用いて、合成画像表示エリア１０３に合成ダイ画像４１０を表示する（ステップＳ４０５）。さらに、制御用コンピュータ２０２は、合成ダイ画像４１０を表示した合成画像表示エリア１０３へ現在のモニタ表示位置４１１（点線の矩形）を表示する（ステップＳ４０６）。

なお、合成ダイ画像４１０を表示するときに利用するモニタ画像は、当該ウェーハ４００と同じ品種で同じ工程終了時点でのウェーハであれば、他のウェーハから取得されたモニタ画像であってもよい。このとき、同じ工程終了時点でのウェーハ４００から取得されたモニタ画像がない場合には、必要に応じて、他の工程終了時点でのウェーハ４００から取得されたモニタ画像を利用してもよい。ただし、その場合には、同じ工程終了時点でのウェーハ４００から取得されたモニタ画像でないことを示すために、そのモニタ画像を、例えば、低コントラストの画像で、薄く表示するとよい。また、関連するモニタ画像が存在しない升目については、空白のまま表示する。

ステップＳ４０６で点線の矩形の枠で表示されたモニタ表示位置４１１は、ウェーハ４００の搬送時のばらつきなどを含んでいるため、広めに設定されている。そこで、制御用コンピュータ２０２は、例えば、ダイ内に設けられた位置合わせパターンなどを利用して位置合わせをする、詳細なアライメント処理を実行し（ステップＳ４０７）、合成画像表示エリア１０３へ現在のモニタ表示位置４１２（実線の矩形）を表示する（ステップＳ４０８）。実線の矩形で表されたモニタ表示位置４１２では、ウェーハ４００の搬送時に生じる位置合わせのばらつきが除去されたものとなる。

以上の処理により、モニタ表示位置４１２は、ダイマトリックス４０１の中のあらかじめ定められたダイの、あらかじめ定められた位置に初期化されたことになる。従って、ウェーハ外観検査の検査員は、モニタ表示位置４１２がどのダイのどの部分にあるか知ることができる。

図５は、ウェーハ外観検査装置２０１において行われるモニタ表示位置移動処理の処理フローの例を示した図である。制御用コンピュータ２０２（図２参照）は、まず、操作画面１０１に表示されたダイマトリックス１０５（図１参照）に相当するダイマトリックス４０１でマウスクリックされた移動先の表示対象ダイ４０３のアドレスを取得する（ステップＳ５０１）。なお、同じダイ内でのモニタ表示位置４１２の移動であれば、ステップＳ５０１を実行する必要はない。

次に、制御用コンピュータ２０２は、合成画像表示エリア１０３に表示された合成ダイ画像４１０上で、マウスクリックなどにより指定された移動先５１２の位置座標を取得し（ステップＳ５０２）、モニタ表示位置４１２を移動先５１２に移動させるために、測定ステージ２０５を移動制御する（ステップＳ５０３）。測定ステージ２０５の移動制御が終わると、制御用コンピュータ２０２は、モニタカメラ２０３を介して、移動先５１２部分のモニタ画像５２１を取得し、取得したモニタ画像５２１をモニタ画像表示エリア１０２に表示する（ステップＳ５０４）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像ＤＢ２１６を参照して、移動先５１２を含む升目にモニタ画像があるか否かを判定する（ステップＳ５０５）。そして、その判定の結果、その升目にモニタ画像がなかった場合（すなわち、当該升目は空白であるか、他の工程終了時点でのウェーハから取得されたモニタ画像が表示されている場合）には（ステップＳ５０５でＮｏ）、ステップＳ５０４で取得したモニタ画像５２１を合成画像表示エリア１０３の当該升目部分に表示するとともに（ステップＳ５０６）、その取得したモニタ画像５２１をモニタ画像ＤＢ２１６に登録して、図５のモニタ表示位置移動処理を終了する。また、移動先５１２を含む升目にモニタ画像があった場合には（ステップＳ５０５でＹｅｓ）、ステップＳ５０６を実行することなく、モニタ表示位置移動処理を終了する。

以上の通り、図５に示したモニタ表示位置移動処理によれば、ウェーハ外観検査の検査員は、操作画面１０１に表示されたダイマトリックス４０１で表示対象ダイ４０３を選択し、合成ダイ画像４１０上で移動先５１２をマウスクリックするだけで、モニタ表示位置４１２を目的の箇所へ移動させることができ、そのとき取得されるモニタ画像５２１をモニタ画像表示エリア１０２に表示させることができる。

図６は、ウェーハ外観検査装置２０１において行われる感度指定エリア設定処理の処理フローの第１の例を示した図である。ウェーハ外観検査装置２０１における欠陥検出感度は、ダイに形成されたメモリ部、ロジック部などのパターン形状によって影響を受けるので、ウェーハ外観検査装置２０１には、ダイ内にいくつかのエリアを設定し、各エリアに対し、欠陥検出感度を指定する機能が設けられている。感度指定エリア設定処理は、欠陥検出感度を指定するときのエリアを設定する処理である。

制御用コンピュータ２０２が感度指定エリア設定処理を実行するときには、その操作画面１０１内に、あらかじめ、感度指定エリア設定メニュー６２０（図６右側下部参照）が表示される。なお、感度指定エリア設定メニュー６２０内には、感度指定エリアの管理番号入力を入力するための管理番号入力欄６２１、感度指定エリアを設定するための「ダイ原点」ボタン６２２、「始点座標」ボタン６２３、「終点座標」ボタン６２４、「更新」ボタン６２５などが表示される。

制御用コンピュータ２０２は、まず、合成画像表示エリア１０３に表示された合成ダイ画像６０１上のダイの原点６０２がモニタ画像６１１のモニタ画像中心点６１２と一致するように測定ステージ２０５を移動制御する（ステップＳ６０１）。

このとき、モニタ画像中心点６１２は、図５に示した処理により、原点６０２のすぐ近くに位置合わせされるが、多少のずれが生じることは避けられない。その場合には、検査員が、適宜、ステージ移動ボタン１１４をクリックすることによって、モニタ画像中心点６１２を原点６０２に一致させる。なお、この操作は、後記する始点６０３または終点６０４にモニタ画像中心点６１２を一致させる場合も同様である。

こうして、ダイの原点６０２がモニタ画像中心点６１２と一致したとき、制御用コンピュータ２０２は、「ダイ原点」ボタン６２２がマウスクリックされる入力を受付け、ダイの原点６０２の座標を取得する（ステップＳ６０２）。なお、ダイの原点６０２は、一般的に行われているように、ダイの左下隅に設けられているとする。

次に、制御用コンピュータ２０２は、管理番号入力欄６２１に、感度指定エリアを識別する感度指定エリアの管理番号が入力されたとき、その感度指定エリアの管理番号を管理番号入力欄６２１から取得する（ステップＳ６０３）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、合成ダイ画像６０１上で始点６０３を指定するマウスクリックの入力を受付けると、その始点６０３がモニタ画像６１１のモニタ画像中心点６１２と一致するように測定ステージ２０５を移動制御する（ステップＳ６０４）。こうして、始点６０３がモニタ画像中心点６１２と一致したとき、制御用コンピュータ２０２は、「始点座標」ボタン６２３がマウスクリックされる入力を受付け、原点６０２からの移動量に応じて定められる始点６０３の座標を取得する（ステップＳ６０５）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、合成ダイ画像６０１上で終点６０４を指定するマウスクリックの入力を受付けると、その終点６０４がモニタ画像６１１のモニタ画像中心点６１２と一致するように測定ステージ２０５を移動制御する（ステップＳ６０６）。こうして、終点６０４がモニタ画像中心点６１２と一致したとき、制御用コンピュータ２０２は、「終点座標」ボタン６２４がマウスクリックされる入力を受付け、原点６０２からの移動量に応じて定められる終点６０４の座標を取得する（ステップＳ６０７）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、「更新」ボタン６２５がマウスクリックされる入力を受付け、ステップＳ６０３で設定された管理番号で識別される感度指定エリアの始点６０３および終点６０４の座標として確定させ（ステップＳ６０８）、所定のデータベースに登録する。なお、このような始点６０３および終点６０４が与えられたとき、感度指定エリアは、始点６０３を左下の頂点、終点６０４を右上の頂点とする矩形のエリアとして定められる。

次に、制御用コンピュータ２０２は、全感度指定エリアの設定が終了したか否かを判定し、全感度指定エリアの設定が終了していない場合には（ステップＳ６０８でＮｏ）、ステップＳ６０３以下の処理を繰り返して実行する。また、全感度指定エリアの設定が終了した場合には（ステップＳ６０８でＹｅｓ）、図６に示した感度指定エリア設定処理を終了する。

以上の通り、図６に示した感度指定エリア設定処理によれば、ウェーハ外観検査の検査員は、合成ダイ画像６０１上で、原点６０２、始点６０３および終点６０４をマウスクリックし、モニタ画像６１１を見ながら、ステージ移動ボタン１１４を用いて多少の位置合わせ操作をするだけで、感度指定エリアを設定することができる。従って、従来に比べ、ステージ移動ボタン１１４を用いることが大幅に削減されるので、感度指定エリア設定作業の効率が大幅に向上する。

図７は、ウェーハ外観検査装置２０１において行われる感度指定エリア設定処理の処理フローの第２の例を示した図である。この例では、制御用コンピュータ２０２がこの感度指定エリア設定処理を実行するときには、あらかじめ、感度指定エリア微調整メニュー７２０（図７右側下部参照）が表示される。なお、感度指定エリア微調整メニュー７２０内には、感度指定エリアの管理番号入力を入力するための管理番号入力欄７２１、感度指定エリアを設定するための「始点選択」ボタン７２３、「終点選択」ボタン７２４、「更新」ボタン７２５などが表示される。

図７において、制御用コンピュータ２０２は、まず、合成画像表示エリア１０３に合成ダイ画像７０１全体を表示する（ステップＳ７０１）。次に、制御用コンピュータ２０２は、管理番号入力欄７２１に、感度指定エリアを識別する感度指定エリアの管理番号が入力されたとき、その感度指定エリアの管理番号を管理番号入力欄７２１から取得する（ステップＳ７０２）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、合成ダイ画像７０１上で入力される感度設定エリアの始点７０２および終点７０３の座標を取得する（ステップＳ７０３）。なお、ここでは、始点７０２および終点７０３は、検査員が、例えば、合成ダイ画像７０１上で始点７０２から終点７０３まで、マウスボタンを押しながらマウスカーソルを移動させることによって指定されるものとする。

ステップＳ７０３で取得した感度設定エリアの始点７０２および終点７０３の座標は、合成ダイ画像７０１が縮小されているため、数１０μ程度の誤差を有している。そこで、制御用コンピュータ２０２は、ステップＳ７０３で取得した始点７０２および終点７０３の座標を補正する（ステップＳ７０４〜Ｓ７０７）。

この場合、検査員によって「始点選択」ボタン７２３または「終点選択」ボタン７２４がマウスクリックされるので、制御用コンピュータ２０２は、その「始点選択」ボタン７２３または「終点選択」ボタン７２４のマウスクリックの入力を受付ける（ステップＳ７０４）。次に、制御用コンピュータ２０２は、ステップＳ７０４でマウスクリックされた「始点選択」ボタン７２３または「終点選択」ボタン７２４に応じて、始点７０２または終点７０３を中心にして、合成ダイ画像７０１を拡大した合成ダイ画像７１１を表示する（ステップＳ７０５）。

次に、検査員は、拡大された合成ダイ画像７１１に基づき、始点７０２または終点７０３の位置をマウスドラッグにより微調整するので、制御用コンピュータ２０２は、その微調整でマウスドラッグされる量を取得し、その量に基づき、始点７０２または終点７０３の座標を補正する（ステップＳ７０６）。

次に、検査員によって「更新」ボタン７２５がマウスクリックされると、制御用コンピュータ２０２は、その「更新」ボタン７２５のマウスクリックの入力を受付け、補正された始点７０２または終点７０３の座標を確定させる（ステップＳ７０７）。続いて、制御用コンピュータ２０２は、合成ダイ画像７１１の表示を、もとのダイ全体を表示した合成ダイ画像７０１の表示に戻す（ステップＳ７０８）。

次に、制御用コンピュータ２０２は、全感度指定エリアの設定が終了したか否かを判定し、全感度指定エリアの設定が終了していない場合には（ステップＳ７０９でＮｏ）、ステップＳ７０２以下の処理を繰り返して実行する。また、全感度指定エリアの設定が終了した場合には（ステップＳ７０９でＹｅｓ）、図７に示した感度指定エリア設定処理を終了する。

なお、以上の処理において、ステップＳ７０４〜Ｓ７０７について、始点７０２および終点７０３の両方の座標を補正する場合には、始点７０２および終点７０３のそれぞれについて１回ずつ、都合２回実行されることになる。

以上の通り、図７に示した感度指定エリア設定処理によれば、ウェーハ外観検査の検査員は、合成ダイ画像７０１上のマウス操作で始点７０２および終点７０３を指定し、さらに、拡大した合成ダイ画像７１１上のマウス操作で始点７０２および終点７０３の位置を微調整するだけで感度指定エリアを設定することができる。この場合には、測定ステージ２０５を移動させる必要がないので、図６の感度指定エリア設定処理を用いた場合よりも、さらに、感度指定エリア設定作業の効率が向上する。

図８は、ウェーハ外観検査装置２０１によって取得された欠陥の位置を合成ダイ画像８０１に重ね合わせて表示した例を示した図である。ここで、欠陥位置８０２は、四角、三角または丸のマークで表示されており、四角は、大サイズの欠陥、三角は、中サイズの欠陥、丸は、小サイズの欠陥を表している。また、ウェーハ外観検査装置２０１で欠陥の種別分けができる場合は、欠陥の位置を合成ダイ画像８０１に重ね合わせて表示するとき、欠陥のサイズに加えて、欠陥の種別分けを表示するようにしてもよい。なお、本実施形態では、欠陥の取得は、ウェーハ外観検査装置２０１の通常の機能により取得されるものとし、その説明を省略する。

このように、１つの合成ダイ画像８０１に、検査対象のウェーハ２０４上の全てのダイで検出された欠陥の情報を重ね合わせて表示すると、検査員は、欠陥が合成ダイ画像８０１上のどのような部位で多く発生しているかを容易に把握することができるようになるので、欠陥解析の効率化を図ることができる。

＜４．合成ショット画像および合成ダイ画像の作成手順の例＞
続いて、図９〜図１２を参照して、ウェーハ外観検査装置２０１における合成ショット画像および合成ダイ画像の作成手順の例について説明する。ここで、図９は、合成ショット画像および合成ダイ画像の作成処理の処理フローの例を示した図である。

まず、キーボード２０７などを介して、検査対象のウェーハ２０４についてのウェーハ情報が入力されるので、制御用コンピュータ２０２は、そのウェーハ情報の入力を受付ける（ステップＳ９０１）。ウェーハ情報としては、例えば、ウェーハ２０４の品種名、工程名、ウェーハサイズ、ダイサイズ、ショット内ダイ数、ダイマトリックス情報、１ｓｔ／２ｎｄアライメントなどがある。

次に、制御用コンピュータ２０２は、検査対象のウェーハ２０４を測定ステージ２０５へ搬送制御し（ステップＳ９０２）、ウェーハ２０４を測定ステージ２０５上に載置したところで、公知のウェーハ・アライメント機能により、ウェーハの位置合わせを行う（ステップＳ９０３）。この処理により、測定ステージ２０５に固定された座標と、ウェーハ２０４に固定された座標との間のが関連付けが行われる。

次に、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像取得処理を実行する（ステップＳ９０４）。モニタ画像取得処理については、別途、図１０を参照して詳しく説明する。

次に、制御用コンピュータ２０２は、ステップＳ９０４で取得したモニタ画像の形状歪み、例えば、「カメラの傾き」および「ウェーハ・アライメント後に残留しているウェーハ傾き」を補正する（ステップＳ９０５）。なお、操作画面１０１の合成画像表示エリア１０３に表示される合成ショット画像または合成ダイ画像は、縮小して表示されるので、通常、これらの歪みを無視することができる。また、カメラの傾きは、あらかじめ計測されているとする。「ウェーハ・アライメント後に残留しているウェーハ傾き」については、別途、図１２を参照して補足説明する。

次に、制御用コンピュータ２０２は、ウェーハ２０４の品種、工程ごとに、合成ショット画像および合成ダイ画像を作成し、モニタ画像ＤＢ２１６に登録する（ステップＳ９０６）。なお、ウェーハ２０４へのパターン露光は、ショット単位で行われるので、合成ダイ画像の作成は、ショット単位で作成するものとする。また、モニタ画像ＤＢ２１６に登録される合成ショット画像や合成ダイ画像に、モニタ画像のない升目が含まれていてもよい。

次に、制御用コンピュータ２０２は、ステップＳ９０６で作成した合成ショット画像または合成ダイ画像を操作画面１０１の合成画像表示エリア１０３に表示する（ステップＳ９０７）。合成ダイ画像を表示するときは、ショット内の座標に対応するように合成ダイ画像を表示する。

なお、いったん合成ショット画像または合成ダイ画像を作成した後は、ステップＳ９０１，Ｓ９０４〜Ｓ９０６を実行する必要はなくなる。また、ダイ全体のモニタ画像を取得していないときなど、合成ダイ画像に欠落部分がある場合には、ステップＳ９０２以降をこり返して実行することになる。

図１０は、図９のステップＳ９０４で実行されるモニタ画像取得処理の詳細な処理フローの例を示した図、図１１は、合成画像表示エリア１０３でモニタ画像取得対象升目を指定する方法の例を示した図である。

図１０に示すように、制御用コンピュータ２０２は、まず、ウェーハ外観検査装置２０１の動作モードがレシピ作成モードであるか否かを判定する（ステップＳ１００１）。なお、ここでは、ウェーハ外観検査装置２０１の動作モードは、レシピ作成モードであるか、生産工程でのウェーハ連続検査モードであるか、のいずれかであり、事前に設定されているものとする。

ステップＳ１００１での判定の結果、ウェーハ外観検査装置２０１の動作モードがレシピ作成モードであった場合には（ステップＳ１００１でＹｅｓ）、制御用コンピュータ２０２は、図１１（ａ）に示すように、ショット領域１１０２（太実線の６つの矩形の外枠内の領域）と、そのショット領域１１０２をモニタ画像のサイズで分割した升目（細実線の各矩形部分）と、を合成画像表示エリア１０３に表示する（ステップＳ１００２）。このとき、モニタ画像取得済升目１１０４があった場合には、取得したモニタ画像を縮小して、そのモニタ画像取得済升目１１０４に表示する。

次に、制御用コンピュータ２０２は、合成画像表示エリア１０３を介して操作されるマウス入力に基づき、モニタ画像取得対象升目を指定する情報を取得する（ステップＳ１００３）。ここで、ウェーハ外観検査の検査員がモニタ画像取得対象升目を指定する操作方法には、次のような方法がある。

第１の方法：合成画像表示エリア１０３に表示された升目で、モニタ画像を取得しようとする升目をマウスで１つずつ選択してクリックする。
第２の方法：升目が表示された合成画像表示エリア１０３上に、モニタ画像取得範囲１１０５（図１１（ａ）参照）を設定することによって、モニタ画像を取得しようとする升目の範囲を定める。

ここで、モニタ画像取得範囲１１０５は、例えば、検査員が始点１１０６から終点１１０７までマウスボタンを押したままドラッグすることによって設定される。この場合、モニタ画像取得範囲１１０５を一部でも含む升目は、モニタ画像の取得対象の升目となる。すなわち、この操作の結果は、図１１（ｂ）に示すように、網掛けした升目部分がモニタ画像取得対象升目１１１５となる。

なお、操作画面１０１には、全画像取得ボタン１１１が設けられているが、この全画像取得ボタン１１１がクリックされた場合にも、モニタ画像取得対象升目１１１５を設定することができ、この場合には、モニタ画像取得済升目１１０４を除く全ての升目がモニタ画像取得対象升目１１１５となる。

次に、制御用コンピュータ２０２は、ステップＳ１００３で指定されたモニタ画像取得対象升目１１１５のうちの１つを選択し、そのモニタ画像取得対象升目１１１５の中心位置へ測定ステージ２０５を移動制御する（ステップＳ１００４）。なお、この移動制御では、後記（図１２参照）するウェーハ・アライメント後に残留しているウェーハ傾きを考慮して移動量を補正する。

次に、制御用コンピュータ２０２は、モニタカメラ２０３を介して、モニタ画像およびモニタ画像の中心位置座標を取得し（ステップＳ１００５）、取得したモニタ画像の明るさの歪みを補正する（ステップＳ１００６）。なお、明るさの歪みの補正とは、モニタカメラ２０３により取得された生のモニタ画像では、中央部で明るく周辺部で暗くなる現象が見られるので、その明るさの不均一を補正する処理をいう。

次に、制御用コンピュータ２０２は、明るさの歪み補正後のモニタ画像を、合成画像表示エリア１０３上の当該升目に表示する（ステップＳ１００７）。このとき、モニタ画像は縮小され、必要に応じて画像データが間引いて表示される。

次に、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像取得対象升目１１１５に指定された升目の全てのモニタ画像を取得したか否かを判定し、未だ全てのモニタ画像を取得していない場合には（ステップＳ１００８でＮｏ）、ステップＳ１００４へ戻り、ステップＳ１００４以下の処理を再度実行する。また、全てのモニタ画像を取得した場合には（ステップＳ１００８でＹｅｓ）、図１０のモニタ画像取得処理を終了する。

また、ステップＳ１００１での判定の結果、レシピ作成モードでなかった場合（ステップＳ１００１でＮｏ）、すなわち、生産工程の現場でウェーハ連続検査中であった場合には、制御用コンピュータ２０２は、モニタ画像取得指定があるか否かを判定する（ステップＳ１０２１）。なお、モニタ画像取得指定の有無は、検査レシピなどで事前に設定されているものとし、モニタ画像取得指定の「あり」は、レシピ作成モードで全画像取得ボタン１１１がマウスクリックされた場合に相当する。

また、ステップＳ１０２１での判定の結果、モニタ画像取得指定があると判定された場合には（ステップＳ１０２１でＹｅｓ）、制御用コンピュータ２０２は、さらに、当該品種かつ当該工程のウェーハのショット領域１１０２について、モニタ画像がない升目があるか否かを判定し、モニタ画像がない升目があった場合には（ステップＳ１０２２でＹｅｓ）、ステップＳ１００４へジャンプし、ステップＳ１００４以下の処理を実行する

また、ステップＳ１０２１の判定で、モニタ画像取得指定がないと判定された場合（ステップＳ１０２１でＮｏ）、または、ステップＳ１０２２の判定で、モニタ画像がない升目がなかった場合には（ステップＳ１０２２でＮｏ）、モニタ画像を取得する必要がないので、図１０のモニタ画像取得処理を終了する。

図１２は、ウェーハ・アライメント後のウェーハの残留傾きについて補足説明するための図である。一般に、ウェーハ・アライメントを行ったとき、アライメントの誤差（ｄｘ，ｄｙ，ｄθ）をゼロにすることは困難であり、その誤差は、通常、ある許容値内に収められている。ここで、（ｄｘ，ｄｙ）は、測定ステージ２０５（図２参照）の座標系の原点とウェーハ２０４上の座標系の原点との位置合わせの誤差、ｄθは、両座標系間の座標軸の傾き誤差（回転誤差）である。

図１２（ａ）に示すように、座標軸の傾き誤差ｄθは、ウェーハの残留傾き１２００となって現れる。すなわち、残留傾き１２００が存在する場合には、例えば、ウェーハ２０４上に横１列に並んだモニタ画像取得対象ダイ１２０１の各ダイのダイ原点１２０２の座標値は、位置合わせをした基準点（図１２では、左端のダイの原点１２０２ａ）から離れるほど、その座標値のずれが大きくなる。

そこで、本実施形態では、モニタ表示位置１０６（図１参照）を複数のダイ間に渡って移動させるような場合、制御用コンピュータ２０２は、その移動先の座標を算出するに当たって、ウェーハの残留傾き１２００を考慮する。

ちなみに、図１２（ｂ）では、左端のダイの原点で、測定ステージ２０５の座標系の原点（０，０）とウェーハ２０４上の座標系の原点との原点合わせをした場合を考える。この場合に、測定ステージ２０５の座標系で残留傾き１２００を考慮しないときには、右端のダイの原点の座標は、例えば、（Ｘ，０）と表されるが、残留傾き１２００の微小な角度ｄθを考慮したときには、（Ｘ，Ｘ・ｄθ）と表される。すなわち、右端のダイ内の各点の測定ステージ２０５の座標系による座標値は、そのｙ軸成分にＸ・ｄθだけ加算すると、ウェーハ２０４上の座標系による座標値によく一致することになる。

こうした補正をすることにより、例えば、モニタ表示位置１０６を複数のダイ間に渡って移動させたときに生じるウェーハの残留傾き１２００による位置ずれを解消することができる。

以上、本実施形態のウェーハ外観検査装置２０１によれば、検査対象のウェーハ２０４のモニタ画像による合成ショット画像または合成ダイ画像をあらかじめ取得し、必要に応じて、その合成ショット画像または合成ダイ画像を表示装置２０６に表示できるようにしているので、その後に行うウェーハ外観検査の準備作業や検査結果の解析作業などにおけるウェーハ外観検査装置２０１の操作性を向上させることができる。その結果、ウェーハ外観検査の効率向上を図ることができる。

１０１ 操作画面
１０２ モニタ画像表示エリア
１０３ 合成画像表示エリア
１０４，１０６，１０８ モニタ表示位置
１０５ ダイマトリックス
１０７ ダイマップ
１０９ スライダ
１１０ 画像取得ボタン
１１１ 全画像取得ボタン
１１２ 画像クリアボタン
１１３ ステー移動量入力欄
１１４ ステージ移動ボタン
１１５ 選択解除ボタン
２０１ ウェーハ外観検査装置
２０２ 制御用コンピュータ
２０３ モニタカメラ（撮像装置）
２０４ ウェーハ
２０５ 測定ステージ
２０６ 表示装置
２０７ キーボード
２０８ ステージ駆動部
２０９ ＬＡＮ
２１１ ＣＰＵ
２１２ 通信制御部
２１３ カメラ制御部
２１４ ステージ制御部
２１５ 入出力制御部
２１６ モニタ画像ＤＢ（撮像画像ＤＢ）
３００ クリーンルーム
３０１ リモート操作端末装置
３０６ 表示装置
３０７ キーボード
３１１ ＣＰＵ
４００ ウェーハ
４０１ ダイマトリックス
４０２ モニタ表示位置
４０３ 表示対象ダイ
４１０ 合成ダイ画像
４１１ モニタ表示位置（アライメント前）
４１２ モニタ表示位置（アライメント後）
５１２ 移動先
５２１ モニタ画像
６０１ 合成ダイ画像
６０２ ダイの原点
６０３ 始点
６０４ 終点
６１１ モニタ画像
６１２ モニタ画像中心点
６２０ 感度指定エリア設定メニュー
７０１ 合成ダイ画像
７０２ 始点
７０３ 終点
７１１ 拡大された合成ダイ画像
７２０ 感度指定エリア微調整メニュー
８０１ 合成ダイ画像
８０２ 欠陥位置
１１０２ ショット領域
１１０４ モニタ画像取得済升目
１１０５ モニタ画像取得範囲
１１１５ モニタ画像取得対象升目
１２０１ モニタ画像取得対象ダイ
２００１ 操作画面
２００２ モニタ画像表示エリア
２０１１ 測定ステージ操作卓
２０１２ ステージ移動量入力欄
２０１３ ステージ移動ボタン

Claims (7)

1. 検査対象のウェーハを載置して、水平方向に自在に移動する測定ステージと、
   前記測定ステージの上方に設けられ、前記ウェーハの表面形状パターンを撮像する撮像装置と、
   前記測定ステージの移動制御および前記撮像装置の撮像制御を実行しつつ、前記撮像装置または前記撮像装置とは異なる検査用撮像装置に基づき取得される撮像画像を用いて前記ウェーハの表面形状欠陥の検出処理を実行する制御用コンピュータと、
   を備えたウェーハ外観検査装置であって、
   前記制御用コンピュータは、
   前記撮像装置を介して取得される、その撮像装置の所定の倍率の視野内に含まれる前記ウェーハの表面形状パターンの撮像画像を、登録・管理する撮像画像ＤＢを備え、
   前記ウェーハを構成するダイのそれぞれを、前記撮像装置の所定の倍率の視野により定められる大きさの複数の升目に区分し、
   前記撮像装置を介して前記ウェーハの表面形状パターンの撮像画像を、前記区分した升目ごとに取得し、
   前記取得した撮像画像を、前記升目の位置と前記ウェーハの品種名と工程名とに対応付けて、前記撮像画像ＤＢに登録し、
   前記撮像画像ＤＢに登録されている前記升目ごとの、前記ウェーハと同じ品種名で同じ工程名に対応付けられた撮像画像を、それぞれの升目の位置に対応させて配置して構成した前記ダイの全体の表面形状に対応する撮像画像を、合成ダイ画像として表示装置に表示すること
   を特徴とするウェーハ外観検査装置。
2. 前記制御用コンピュータは、
   前記合成ダイ画像を表示する場合に、表示すべき升目について、その升目と同じ升目の位置に対応して、前記ウェーハと同じ品種名かつ同じ工程名に対応付けられた前記撮像画像が前記撮像画像ＤＢに登録されていないときには、前記表示すべき升目の境界を表示するとともに、その升目内を空白にして表示すること
   を特徴とする請求項１に記載のウェーハ外観検査装置。
3. 前記制御用コンピュータは、
   前記合成ダイ画像を表示する場合に、表示すべき升目について、その升目と同じ升目の位置に対応して、前記ウェーハと同じ品種名かつ同じ工程名に対応付けられた前記撮像画像が前記撮像画像ＤＢに登録されていないときであって、その升目と同じ升目の位置に対応して、前記ウェーハと同じ品種名で異なる工程名に対応付けられた前記撮像画像が前記撮像画像ＤＢに登録されていたときには、前記表示すべき升目には、前記ウェーハと同じ品種名で異なる工程名に対応付けられた前記撮像画像を表示すること
   を特徴とする請求項２に記載のウェーハ外観検査装置。
4. 前記合成ダイ画像は、
   前記ウェーハの露光工程のショットグループでグループ化される複数のダイの全体の表面形状に対応する撮像画像であること
   を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のウェーハ外観検査装置。
5. 前記制御用コンピュータは、
   前記表示装置に表示された合成ダイ画像上に、前記撮像装置が撮像している撮像範囲の現在位置を表示するとともに、
   前記表示された合成ダイ画像を介して、前記撮像範囲の移動先位置が入力されたときには、前記合成ダイ画像上での前記現在位置と前記移動先位置との相対位置関係に基づき、前記測定ステージの移動を制御して、前記撮像範囲の現在位置を前記移動先位置へ移動させること
   を特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のウェーハ外観検査装置。
6. 前記制御用コンピュータは、
   前記合成ダイ画像を表示する前記表示装置の表示画面と同じ表示画面に、前記合成ダイ画像を構成するすべての升目の撮像画像の取得を指示する「全画像取得ボタン」を表示しておき、
   前記「全画像取得ボタン」を選択するマウスクリックの入力を受付けたときには、前記ウェーハと同じ品種かつ同じ工程の撮像画像が登録済の升目を除き、すべての升目の撮像画像を取得すること
   を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のウェーハ外観検査装置。
7. 前記制御用コンピュータは、
   前記合成ダイ画像を表示する前記表示装置の表示画面と同じ表示画面に、前記合成ダイ画像を構成するすべての升目の撮像画像の取得を指示する「画像取得ボタン」を表示しておき、
   前記合成ダイ画像が表示される表示画面上で、前記撮像画像が表示されていない升目を選択するマウスクリックの入力を受付け、さらに、前記「画像取得ボタン」を選択するマウスクリックの入力を受付けたときには、前記選択された升目について、その升目の撮像画像を取得すること
   を特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のウェーハ外観検査装置。
   
   
   

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