JP4262216B2 - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
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- 電子銃と、前記電子銃からの電子線を試料に照射するための照射レンズ系と、試料を透過した電子による電子線像を形成するための対物レンズ及び結像レンズ系と、前記電子線像を記録するためのフィルムと異なる位置に設置され前記電子線像を受像するシンチレータと、前記シンチレータ上の光像をデジタル画像として取り込むための撮像手段と、前記デジタル画像を表示する表示手段と、演算手段とを含み、
前記演算手段は、次の式に基づいて前記デジタル画像の倍率を設定することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
但し、aは、前記フィルムの面と前記シンチレータの面の間の距離、bは、最終段拡大電磁レンズ中心と前記フィルム面との距離、mは、電子顕微鏡の設定倍率、nは、光学系の縮小率、fは、前記対物レンズの焦点距離、hは、前記対物レンズと像面との距離、である。 - 請求項1記載の透過型電子顕微鏡において、
前記演算手段は、前記デジタル画像の倍率に基づいて前記デジタル画像の画素に対応する試料上の長さを定義することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1又は2記載の透過型電子顕微鏡において、
前記演算手段は、前記デジタル画像の画素の長さを用いて、画像上で指定された2点間の長さに対応する試料上の長さを計算する機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1〜3のいずれか1項記載の透過型電子顕微鏡において、
長さの数値を入力することにより、試料上におけるその長さに相当する線分と前記数値とを画像上に表示する機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1〜4のいずれか1項記載の透過型電子顕微鏡において、
前記演算手段は、前記デジタル画像の画素の長さを用いて、前記画像上で指定された領域の面積を演算する機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の透過型電子顕微鏡において、
前記演算手段は、画像上で指定された2本の線分の間の角度を演算し表示する機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1〜6のいずれか1項記載の透過型電子顕微鏡において、
ポインティングデバイスを用いて画像上の点を指定する機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項7記載の透過型電子顕微鏡において、
画像上の測定を行った後に、その指定した点を前記ポインティングデバイスを使用して変更する機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
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