JP5594785B2 - X線応力測定装置 - Google Patents
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Description
まず、オペレータは被測定物である試料Sをテーブル4上の決められた所定位置に置く。次に、カメラ7によって試料Sの測定を希望する領域を撮影する。撮影によって得られたカメラ信号S1はCPU15へ伝送され、必要に応じてメモリ16内の所定領域に保存される。
応力測定プログラム20は、オペレータによる入力操作に応じて、又は予め決められている手順に従って、試料Sに対して複数の測定位置Q1、Q2、…Qn(nは整数)を決定する。これらの測定位置Q1、Q2、…Qnは、例えば図3に示すように、5×5=25個のドットとして表示される。この場合は、n=25である。
[表1]
図1の画像形成プログラム22は、図5の各測定位置Q1、Q2、…、Q24、Q25の個々について、該当測定位置のσxのサムネイル表示を行うことができる。サムネイル表示とは、表示したい画像を縮小して小さく簡潔にまとめた表示のことであり、表示したい画像の内容の概略を一べつで簡略に理解できるようにするための表示である。
また、解析を行いたい場合には、オペレータは、希望する測定位置をマウスによってダブルクリックする。すると、図1の解析プログラム21が起動し、図8に示すように、解析ダイアログウィンドウ32が表示され、オペレータによる解析が出来る状態になる。オペレータは、この解析ダイアログウィンドウ32を使って解析を行うことができる。解析結果は図1の解析データファイル25内に保存される。
本実施形態に係るX線応力測定装置1を用いた測定において、オペレータは多くの場合、試料Sの各測定位置Q1、Q2、…、Q24、Q25が特異点であるか否かを知りたいと考える。ここで、特異点とは、試料Sの内部の微小領域が所定のパラメータに関して許容数値範囲から外れた状態にあるときのその微小領域のことである。試料Sの内部に特異点が存在している場合、その試料Sは、通常は、使用に適していないと判断される。
図5のマッピング表示を見たオペレータは、試料Sの内部応力がどのように分布しているかを容易に正確に迅速に判定できる。この場合、オペレータは、測定位置Q1、Q2、…、Q24、Q25以外の部分の応力状態がどのようになっているかを知りたい場合がある。
図5に示した第1のマッピング表示例では、測定位置Q1、Q2、…、Q24、Q25の位置を示す円形のドットの大きさは全ての位置について同じ大きさとした。そして、応力の「正」を赤色で示し、応力の「負」を青色で示し、さらに、応力の絶対値を赤色又は青色の濃淡の違いで表示した。
図13に示した第2のマッピング表示例では、1つの色のドットの輪を中空にするか塗り潰すかによって応力の正負を表し、ドットの大きさによって応力の絶対値を表した。これに対し本実施形態では、図14に示すように、測定位置Q1〜Q25を示すドットは全て円形の輪であり、応力の正負を輪の色の違い、例えば「正」は“赤”で示し、「負」は“青”で示し、輪の大きさ(直径)で応力の絶対値を示している。本実施形態でも、選択欄27の「σx」は、応力の方向を示している。
図5に示した第1の例、図13に示した第2の例、及び図14に示した第3の例では、1つの画面で1つの物理量であるσxを表示した。これに対し、本実施形態では、図15に示すように、1つの画面で2つの物理量であるσx及びσyを同時に表示している。すなわち、2つの異なった応力の方向を画面上で同時に表示している。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、以上の実施形態では平板状の試料を例示したが、試料の形状は任意である。また、図1では、X線を用いた応力測定方法の1種類を例示したが、測定方法は図示の例に限られない。また、上記実施形態では測定点をQ1〜Q25の25点としたが、測定点の数は任意である。
Claims (5)
- (A)試料の外観を撮像するカメラと、前記カメラで撮像した前記試料の外観を表示するディスプレイと、前記ディスプレイの画面上の位置を入力できる入力手段と、X線を発生するX線源と、試料を移動させる試料移送手段と、前記試料から出たX線を検出するX線検出手段と、前記カメラ、前記ディスプレイ、前記入力手段、前記X線源、前記試料移送手段及び前記X線検出手段の動作を制御して、前記入力手段によって指示された位置に基づいて試料の測定位置を複数決定し、決定された試料の複数の測定位置に対して測定を行う測定手段と、前記X線検出手段の出力信号に基づいて前記試料の測定位置における応力を演算する応力演算手段と、前記試料の外観の像と、前記試料の測定位置と、前記応力の絶対値と、前記応力の方向とを、前記ディスプレイの同じ画面上に表示させる画像形成手段と、特異点表示手段とを有しており、
(B)前記画像形成手段は、前記試料の外観の像に重ねて前記複数の測定位置を表示し、
(C)前記特異点表示手段は、
試料が特異であるかどうかを規定するためのパラメータを複数種類有しており、
前記複数のパラメータのうちの少なくとも1つの測定値が特異であることを示す値であるとき、対応する測定位置に重ねて特異点であることを表示する特異点表示を行い、
前記パラメータに関して許容範囲を設定し、測定値がこの許容範囲を外れたときに当該測定値が特異であると認定し、前記許容範囲はオペレータによって設定され、
(D)前記測定手段は、前記ディスプレイ上に前記試料の外観の像と共に、前記試料の複数の測定位置、前記応力の絶対値、前記応力の正負、及び前記応力の方向が視覚的に表示されている状態において、前記入力手段によって前記試料の複数の測定位置以外の別の測定位置が指示されたとき、当該試料の別の測定位置に関して測定を行う
ことを特徴とするX線応力測定装置。 - 前記画像形成手段は、
前記試料の測定位置をドットで表示し、
前記応力の絶対値を前記ドットの色の濃淡で表示し、
前記応力の正負を前記ドットの色の種別によって表示し、
前記応力の作用方向を方向表記符号によって表示する
ことを特徴とする請求項1記載のX線応力測定装置。 - 前記画像形成手段は、
前記試料の測定位置をドットで表示し、
前記応力の絶対値を前記ドットの大きさで表示し、
前記応力の正負を前記ドットが抜け模様か、塗潰し模様かによって表示し、
前記応力の作用方向を方向表記符号によって表示する
ことを特徴とする請求項1記載のX線応力測定装置。 - 前記画像形成手段は、
前記試料の測定位置を輪状のドットで表示し、
前記応力の絶対値を前記輪状のドットの大きさで表示し、
前記応力の正負を前記輪状のドットの色の違いによって表示し、
前記応力の作用方向を方向表記符号によって表示する
ことを特徴とする請求項1記載のX線応力測定装置。 - 前記画像形成手段は、
前記試料の測定位置を互いに直交する一対の矢印の交点によって表示し、
前記応力の絶対値を前記矢印の長さによって表示し、
前記応力の正負を前記矢印の色の違いによって表示し、
前記応力の作用方向を矢印の向きによって表示する
ことを特徴とする請求項1記載のX線応力測定装置。
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