JP4742782B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
(特許文献1参照)。
また、パレット上には、同一形状の製品が規則正しく並んでおり、また、一般にX線検査装置の測定視野は狭く、表示装置の表示画面には、パレットの全体像ではなく局所的な透視X線画像が表示されるため、ティーチングの際に、その時点で表示画面に表示されている製品を誤って別の位置の製品であると認識し、その結果、測定されない製品が生じたり二重に測定される製品が生じたりするおそれがある。
入力される測定点間距離は、搭載治具上の被測定物間の間隔に一致し、測定繰り返し回数は被測定物の配列数に一致する。なお、搭載治具上に被測定物が一次元配置される場合は、X方向の測定点間距離とX方向の測定繰り返し回数の入力を促し、被測定物が二次元配置される場合は、X方向とY方向との測定点間距離、測定繰り返し回数の入力を促す。操作者によるこれら入力パラメータの入力が完了すると、測定点位置算出部は、初回測定点位置を基準に、測定点間の移動距離、測定繰り返し回数に基づいて、次々と各測定点の位置座標を算出する。そして、ステージ駆動機構制御部は、算出された座標に対応する各測定位置を、順次、測定視野内に移動する。これにより、各測定点位置について測定が行えるようにする。
上記発明において、測定位置情報としてステージの移動方向順に関する情報を含むようにしてもよい。具体的には、一次元配置される場合には、左端から右端に移動するか右端から左端移動するかを設定する。また、二次元配置される場合には、X方向に沿って左上端から右上端まで一方向に移動し、一行ずらして再び左端から右端に移動し、以下同様の移動を繰り返す横一方向移動(図7(a)参照)、X方向に沿って左上端から右上端まで一方向に移動し、一行ずらして右端から左端に逆方向に移動し、一行ずらして左端から右端に移動する横ジグザグ移動(図7(b)参照))、右下端から右上端まで一方向に移動し、一列戻って下端から上端まで一方向に移動する縦一方向移動(図7(c)参照)、その他様々な移動方向順を設定できるようにしてもよい。
これによれば、搭載治具上の被測定物の測定順を任意に設定できるので、測定順の自由度を高めることができ、例えば、X線検査装置による検査工程以外の別の工程で被測定物が搭載され、その搭載順にX線検査を行うことが望ましいときに搭載順に合わせて測定順を定めたりすることができる。
これにより、入力画面に被測定物群の全体像を表示することによって、被測定物群の全体像を見ながら初回測定点位置を指定できるので、位置誤認することなく初回測定点位置を指定することができる。
これにより、一旦設定した測定点位置を、画面上でいずれの測定点位置についても微調整をすることができるので、簡単かつ正確な測定点位置調整を行うことができる。
また、CPU21が処理する機能をブロック化して説明すると、X線画像作成部31、X線画像表示部32、測定位置情報入力制御部33、測定点位置算出部34、ステージ駆動機構制御部35、測定点位置情報表示編集部36とに分けられる。
また、メモリ25は、初回測定点位置記憶領域38a、測定点間距離記憶領域38b、測定繰返し回数記憶領域38c、移動方向順記憶領域38d、算出測定点位置座標記憶領域38eを有する測定位置情報記憶領域38が設けられている。
パレット15は、従来例と同じものが用いられており(図6参照)、X方向に4列、Y方向に3行、計12個の被測定物Sの取り付け位置が形成してある。
ステージ駆動機構16は、モータが搭載され、CPU21からの制御信号に基づいてステージ14を並進駆動したり、回転駆動したりする。
X線画像作成部31は、X線検出器12から送られてきた透視X線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、コマ画像データを作成する制御を行う。
なお、後述する初回測定位置入力画面で、パレット15の全体像を表示することができるようにするために、パレット15の各部分のコマ画像データを蓄積し、これらを合成して全体像を作成する制御も行う。
X線画像表示部32は、作成されたコマ画像データを表示装置24に順次送って表示することにより、透視X線動画像を表示する。
なお、移動方向順については、設定を変更しなければ、予め指定してある移動方向(例えば図7(a)の「横一方向移動」)にしておき、必要に応じて、測定点間距離・測定繰返し回数・移動方向順入力画面33bにおいて、移動方向順についても入力変更できるようにしてある。
入力された各パラメータ情報は、測定位置情報記憶部38の初回測定位置記憶領域38a、測定点間距離記憶領域38b、測定繰返し回数記憶領域38c、移動方向順記憶領域38dに蓄積される。
ステージ駆動機構制御部35は、ステージ14を移動し、算出された各測定点を初回測定点から順次、測定視野に移動させる制御を行う。
測定点位置情報表示編集部36は、測定点位置算出部34により算出された各測定点位置の座標を表示装置24の画面に一覧表示する。そして、キーボード22による入力操作により、各測定点位置の座標値を変更することで、測定点位置を微調整できるようにしてある。
まず、ステージ14上に被測定物S群を載置したパレット15を設置し固定する(S101)。ステージ14の透視X線像を撮影し、パレット15全体の透視X線画像を作成する(S102)。パレット全体の透視X線画像は、パレット15の局所的な透視X線画像を合成して作成するか、あるいは、撮影倍率を変えることによってパレット15の全体像を撮影することが可能な場合には、一時的にパレット15全体が撮影できる位置にステージ14を移動して全体像を撮影するようにする。このようにして作成されたパレット全体の透視X線画像とステージ14とは、位置関係が対応付けられており、透視X線画像上で特定の位置を指定すると対応するパレット位置が指定できるようにしてある。
11: X線発生装置(X線源)
12: X線検出器
13: X線測定光学系
14: ステージ
15: パレット
16: ステージ駆動機構
20: 制御系
21: CPU
22: キーボード
23: マウス
24: 表示装置
24: 画像メモリ
31: X線画像作成部
32: X線画像表示部
33: 測定位置情報入力部
34: 測定点位置算出部
35: ステージ駆動機構制御部
36: 測定点位置情報表示編集部
38: 測定点位置情報記憶領域
Claims (4)
- 同一形状の被測定物群を一定間隔ごとに規則的に配列する搭載治具を用いてステージ上に複数の被測定物群を載置し、ステージを挟んで対向配置されたX線源とX線検出器とからなるX線測定光学系の測定視野内に各被測定物が順次移動するようにステージ駆動機構を制御しつつステージ上の各被測定物の透視X線像を撮影するX線検査装置において、
初回測定点位置、測定点間距離、測定繰り返し回数を含む測定位置情報の入力を促す測定位置情報入力制御部と、
入力された測定位置情報に基づいて各測定点位置を算出する測定点位置算出部と、
算出された各測定点位置を順次X線測定光学系の測定視野内に移動するステージ駆動機構制御部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
- 測定位置情報としてステージの移動方向順に関する情報を含むことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 測定位置情報入力制御部は、初回測定点位置の入力を促す際に搭載治具上の被測定物群の全体像を表示装置の画面に表示するとともに、画面上に位置指定のマーカを表示することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 算出された各測定点位置を表示装置の画面に一覧表示するとともに、画面上で各測定点位置の編集を行う測定点位置情報表示編集部を備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
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