JPH0674918A - 電子走査型ｘ線源による物品の構造検査装置 - Google Patents
電子走査型ｘ線源による物品の構造検査装置Info
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- JPH0674918A JPH0674918A JP4225782A JP22578292A JPH0674918A JP H0674918 A JPH0674918 A JP H0674918A JP 4225782 A JP4225782 A JP 4225782A JP 22578292 A JP22578292 A JP 22578292A JP H0674918 A JPH0674918 A JP H0674918A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検査対象領域の広い被検査物に対して，被検
査物を最短の移動量で移動させるようにして，検査能率
の向上がなしえる電子走査型Ｘ線源による物品の構造検
査装置を提供する。 【構成】 Ｘ線を発生させる電子走査範囲と被検査物の
検査対象範囲とを比較し，前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるときには，検査対象範囲を包含するＸ
線照射を行い，検査対象範囲が電子走査範囲を越えると
きには，検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査
を行うための被検査物の最短移動方向を演算して，移動
装置７によって被検査物を順次移動させて全検査対象範
囲の検査を行う。電子走査型Ｘ線源はＸ線の照射範囲が
広く，また，演算された最短距離で被検査物が移動され
るので，検査効率がよく検査作業の能率向上を達成する
ことができる。
査物を最短の移動量で移動させるようにして，検査能率
の向上がなしえる電子走査型Ｘ線源による物品の構造検
査装置を提供する。 【構成】 Ｘ線を発生させる電子走査範囲と被検査物の
検査対象範囲とを比較し，前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるときには，検査対象範囲を包含するＸ
線照射を行い，検査対象範囲が電子走査範囲を越えると
きには，検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査
を行うための被検査物の最短移動方向を演算して，移動
装置７によって被検査物を順次移動させて全検査対象範
囲の検査を行う。電子走査型Ｘ線源はＸ線の照射範囲が
広く，また，演算された最短距離で被検査物が移動され
るので，検査効率がよく検査作業の能率向上を達成する
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，例えば回路基板のよう
なＸ線を全面的には遮蔽しない材質よりなる物品の外的
形状や内的構造などを検出するための装置に係り，特
に，電子走査型Ｘ線源からのＸ線を前記物品に照射し
て，その透過量を検出することにより物品に吸収または
遮蔽されたＸ線の量から前記物品の構造を検出する電子
走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置に関する。
なＸ線を全面的には遮蔽しない材質よりなる物品の外的
形状や内的構造などを検出するための装置に係り，特
に，電子走査型Ｘ線源からのＸ線を前記物品に照射し
て，その透過量を検出することにより物品に吸収または
遮蔽されたＸ線の量から前記物品の構造を検出する電子
走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来，Ｘ線を物品に照射して，その透過
量に基づき当該物品の構造を検査するＸ線投射による検
査装置として，例えば，特開昭６２−２１９６３２号あ
るいは特開平２−１３８８５５号公報に開示されたもの
が知られている。図８に示す装置は，前記特開昭６２−
２１９６３２号公報に開示された回路基板の自動検査装
置である。Ｘ線検査装置２０内に配置されたＸ線源２１
から照射されるＸ線は，多軸位置決め装置２２上に載置
された回路基板２３に照射され，回路基板２３によって
透過または吸収されたＸ線による影像がシンチレーショ
ン板２４に投影されるので，反射鏡２６を介してカメラ
２５で撮像するように構成されている。また，図９に示
す装置は，前記特開平２−１３８８５５号公報に開示さ
れた回路基板の検査装置である。ＸＹθステージ３０上
に載置された回路基板３１にＸ線源３２からＸ線が照射
され，回路基板３１を透過したＸ線をＸ線検出器３３で
受け，カメラ３５で透過Ｘ線画像を捕らえる。上記各従
来例において，被検査物である回路基板の検査対象領域
の検査を行うためには，前者の場合では多軸位置決め装
置２２を移動させることによって対処し，後者の場合で
はＸ線源３２とＸ線検出器３３とカメラ３５とを取り付
けたψステージ３４を移動させることによって対処し，
検査対象領域の全面について検査を行うことができる。
量に基づき当該物品の構造を検査するＸ線投射による検
査装置として，例えば，特開昭６２−２１９６３２号あ
るいは特開平２−１３８８５５号公報に開示されたもの
が知られている。図８に示す装置は，前記特開昭６２−
２１９６３２号公報に開示された回路基板の自動検査装
置である。Ｘ線検査装置２０内に配置されたＸ線源２１
から照射されるＸ線は，多軸位置決め装置２２上に載置
された回路基板２３に照射され，回路基板２３によって
透過または吸収されたＸ線による影像がシンチレーショ
ン板２４に投影されるので，反射鏡２６を介してカメラ
２５で撮像するように構成されている。また，図９に示
す装置は，前記特開平２−１３８８５５号公報に開示さ
れた回路基板の検査装置である。ＸＹθステージ３０上
に載置された回路基板３１にＸ線源３２からＸ線が照射
され，回路基板３１を透過したＸ線をＸ線検出器３３で
受け，カメラ３５で透過Ｘ線画像を捕らえる。上記各従
来例において，被検査物である回路基板の検査対象領域
の検査を行うためには，前者の場合では多軸位置決め装
置２２を移動させることによって対処し，後者の場合で
はＸ線源３２とＸ線検出器３３とカメラ３５とを取り付
けたψステージ３４を移動させることによって対処し，
検査対象領域の全面について検査を行うことができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例に示したＸ
線源による回路基板の検査装置は，そのいずれもがＸ線
源が点源であるため，検査に必要な分解能を得るために
は拡大画像を得ることを要し，従って，回路基板に照射
されるＸ線の照射範囲が狭くなる。そのため，検査対象
領域が広い被検査物を検査する場合に，検査対象領域全
体の検査時間における被検査物の移動が占める時間が多
くなり，検査を行う処理能率向上の障害となる問題点が
あった。本発明は，Ｘ線の照射範囲が大きい電子走査型
Ｘ線源を用いると共に，検査対象領域の広い被検査物に
対しては，被検査物を最短の移動量で移動させるように
して，検査能率の向上がなしえる電子走査型Ｘ線源によ
る物品の構造検査装置を提供することを目的とする。
線源による回路基板の検査装置は，そのいずれもがＸ線
源が点源であるため，検査に必要な分解能を得るために
は拡大画像を得ることを要し，従って，回路基板に照射
されるＸ線の照射範囲が狭くなる。そのため，検査対象
領域が広い被検査物を検査する場合に，検査対象領域全
体の検査時間における被検査物の移動が占める時間が多
くなり，検査を行う処理能率向上の障害となる問題点が
あった。本発明は，Ｘ線の照射範囲が大きい電子走査型
Ｘ線源を用いると共に，検査対象領域の広い被検査物に
対しては，被検査物を最短の移動量で移動させるように
して，検査能率の向上がなしえる電子走査型Ｘ線源によ
る物品の構造検査装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が採用する手段は，電子ビームでターゲット面
を走査することにより，該ターゲット面からＸ線を発生
させる電子走査型Ｘ線源からの前記Ｘ線を，移動装置上
に載置された被検査物に照射して，該被検査物を透過し
たＸ線量を検出することにより，前記被検査物の構造検
査を行う電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置に
おいて，前記電子ビーム走査によってＸ線を発生させる
電子走査範囲と前記被検査物の検査対象範囲とを比較し
て，前記検査対象範囲が前記電子走査範囲内であるとき
には，前記検査対象範囲を包含するＸ線照射を行い，前
記検査対象範囲が電子走査範囲を越えるときには，検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を演算して，前記移動装置を駆
動させることを特徴とする電子走査型Ｘ線源による物品
の構造検査装置として構成される。また，本発明が採用
する第２の手段は，電子ビームでターゲット面を走査す
ることにより，該ターゲット面からＸ線を発生させる電
子走査型Ｘ線源からの前記Ｘ線を，移動装置上に載置さ
れた被検査物に照射して，該被検査物を透過したＸ線量
を検出することにより，前記被検査物の構造検査を行う
電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置において，
予め設定された前記被検査物の検査対象範囲のデータを
記憶する記憶手段と，前記検査対象範囲のデータと，前
記電子ビーム走査によってＸ線を発生させる電子走査範
囲のデータとを比較して，前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるか否かを判断する比較判定手段と，前
記検査対象範囲が前記電子走査範囲を越えるとき，検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を得る移動方向と移動量とを演
算する手法を記憶する移動距離演算手法記憶手段と，前
記比較判定手段により検査対象範囲が電子走査範囲を越
えると判定されたとき，前記移動距離演算手法記憶手段
に記憶された演算手法に基づき前記移動装置の移動方向
と移動量とを演算する移動距離演算手段と，前記移動距
離演算手段により演算された移動量で移動方向に前記移
動装置を移動させる駆動手段とを具備してなることを特
徴とする電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置と
して構成される。上記移動方向演算手法記憶手段は，電
子走査範囲ａ×ｂと検査対象範囲ｘ×ｙとからｘ÷ａ及
びｙ÷ｂの演算を行い，このいずれかの演算結果が１を
超えた時，ｘ方向での正逆反転移動量と，ｙ方向での正
逆移動量との小さい方の移動量を選択する演算を行う手
法を記憶するよう構成されている。
に本発明が採用する手段は，電子ビームでターゲット面
を走査することにより，該ターゲット面からＸ線を発生
させる電子走査型Ｘ線源からの前記Ｘ線を，移動装置上
に載置された被検査物に照射して，該被検査物を透過し
たＸ線量を検出することにより，前記被検査物の構造検
査を行う電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置に
おいて，前記電子ビーム走査によってＸ線を発生させる
電子走査範囲と前記被検査物の検査対象範囲とを比較し
て，前記検査対象範囲が前記電子走査範囲内であるとき
には，前記検査対象範囲を包含するＸ線照射を行い，前
記検査対象範囲が電子走査範囲を越えるときには，検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を演算して，前記移動装置を駆
動させることを特徴とする電子走査型Ｘ線源による物品
の構造検査装置として構成される。また，本発明が採用
する第２の手段は，電子ビームでターゲット面を走査す
ることにより，該ターゲット面からＸ線を発生させる電
子走査型Ｘ線源からの前記Ｘ線を，移動装置上に載置さ
れた被検査物に照射して，該被検査物を透過したＸ線量
を検出することにより，前記被検査物の構造検査を行う
電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置において，
予め設定された前記被検査物の検査対象範囲のデータを
記憶する記憶手段と，前記検査対象範囲のデータと，前
記電子ビーム走査によってＸ線を発生させる電子走査範
囲のデータとを比較して，前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるか否かを判断する比較判定手段と，前
記検査対象範囲が前記電子走査範囲を越えるとき，検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を得る移動方向と移動量とを演
算する手法を記憶する移動距離演算手法記憶手段と，前
記比較判定手段により検査対象範囲が電子走査範囲を越
えると判定されたとき，前記移動距離演算手法記憶手段
に記憶された演算手法に基づき前記移動装置の移動方向
と移動量とを演算する移動距離演算手段と，前記移動距
離演算手段により演算された移動量で移動方向に前記移
動装置を移動させる駆動手段とを具備してなることを特
徴とする電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置と
して構成される。上記移動方向演算手法記憶手段は，電
子走査範囲ａ×ｂと検査対象範囲ｘ×ｙとからｘ÷ａ及
びｙ÷ｂの演算を行い，このいずれかの演算結果が１を
超えた時，ｘ方向での正逆反転移動量と，ｙ方向での正
逆移動量との小さい方の移動量を選択する演算を行う手
法を記憶するよう構成されている。
【０００５】
【作用】本発明の第１の手段によれば，電子走査型Ｘ線
源によるＸ線を被検査物に照射して，被検査物の構造検
査を行うに際して，Ｘ線を発生させる電子走査範囲と被
検査物の検査対象範囲とを比較し，前記検査対象範囲が
前記電子走査範囲内であるときには，検査対象範囲を包
含するＸ線照射を行い，検査対象範囲が電子走査範囲を
越えるときには，検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割
して検査を行うための被検査物の最短移動方向を演算し
て，移動装置によって被検査物を順次移動させて全検査
対象範囲の検査を行う。電子走査型Ｘ線源はＸ線の照射
範囲が広く，また，演算された最短距離で被検査物が移
動されるので，検査効率がよく検査作業の能率向上を達
成することができる。また，本発明の第２の手段によれ
ば，記憶手段に記憶させた被検査物の検査対象範囲のデ
ータを比較判定手段により電子走査範囲のデータと比較
して，検査対象範囲が電子走査範囲内であるときには，
被測定物を移動させることなく検査を行い，電子走査範
囲を越えるときには被検査物を順次移動させて電子走査
範囲毎の検査を行う。被検査物の移動は移動距離演算手
法記憶手段に記憶された手法に基づき，移動距離演算手
段により最短の移動方向と距離が演算される。演算され
た移動方向と距離で被検査物を載置する移動装置が駆動
され，被検査物は最短の移動距離で順次移動して，電子
走査範囲毎の検査がなされる。
源によるＸ線を被検査物に照射して，被検査物の構造検
査を行うに際して，Ｘ線を発生させる電子走査範囲と被
検査物の検査対象範囲とを比較し，前記検査対象範囲が
前記電子走査範囲内であるときには，検査対象範囲を包
含するＸ線照射を行い，検査対象範囲が電子走査範囲を
越えるときには，検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割
して検査を行うための被検査物の最短移動方向を演算し
て，移動装置によって被検査物を順次移動させて全検査
対象範囲の検査を行う。電子走査型Ｘ線源はＸ線の照射
範囲が広く，また，演算された最短距離で被検査物が移
動されるので，検査効率がよく検査作業の能率向上を達
成することができる。また，本発明の第２の手段によれ
ば，記憶手段に記憶させた被検査物の検査対象範囲のデ
ータを比較判定手段により電子走査範囲のデータと比較
して，検査対象範囲が電子走査範囲内であるときには，
被測定物を移動させることなく検査を行い，電子走査範
囲を越えるときには被検査物を順次移動させて電子走査
範囲毎の検査を行う。被検査物の移動は移動距離演算手
法記憶手段に記憶された手法に基づき，移動距離演算手
段により最短の移動方向と距離が演算される。演算され
た移動方向と距離で被検査物を載置する移動装置が駆動
され，被検査物は最短の移動距離で順次移動して，電子
走査範囲毎の検査がなされる。
【０００６】
【実施例】以下，添付図面を参照して，本発明を具体化
した実施例につき説明し，本発明の理解に供する。尚，
以下の実施例は本発明を具体化した一例であって，本発
明の技術的範囲を限定するものではない。ここに，図１
は本発明を回路基板の検査装置として具体化した実施例
の構成を示すブロック図，図２は実施例に係る検査装置
の構成を示す平面図（ａ）と側面図（ｂ），図３は実施
例構成の動作を説明するフローチャート，図４及び図５
は回路基板の移動手順を示す説明図，図６は電子走査型
Ｘ線源の構成を示す断面図，図７はＸ線源と被測定物と
Ｘ線検出器との配置を説明する模式図である。まず，電
子走査型Ｘ線源について，その概略を説明する。図６に
示すように，電子走査型のＸ線源１１は，ラッパ状に形
成された真空容器２２内に設置された電子ビーム発射器
２１から発射される高エネルギー電子ビームをターゲッ
ト２３に衝突させることにより，該ターゲット２３から
Ｘ線を発生させる。前記電子ビーム発射器２１から発射
される電子ビームの通路には，該電子ビームを図示のＸ
方向及びＹ方向に偏向させるＸ方向掃引コイルＣｘ及び
Ｙ方向掃引コイルＣｙを備えたビーム偏向装置２４が設
けられている。電子ビームは前記ビーム偏向装置２４に
ＸＹ走査信号発生器１６から印加される掃引電圧により
Ｘ方向及びＹ方向に連続的に掃引され，ターゲット２３
の任意の位置に照射され，この照射された位置からＸ線
が発生する。このＸ線源１１のターゲット２３から投射
されるＸ線は，図７に示すように被検査物１２に照射さ
れ，被検査物１２を透過した透過Ｘ線量はＸ線検出器１
３によって検出される。被検査物１２の検査対象範囲が
広い場合には，被検査物１２を移動させることにより全
検査対象範囲の検査を実施することができる。また，前
記ＸＹ走査信号発生器１６はコンピュータにより駆動さ
れ，Ｘ方向掃引コイルＣｘ及びＹ方向掃引コイルＣｙへ
の印加電圧を順次変化させ，前記ターゲット２３を電子
ビームによりＸ方向及びＹ方向に任意に走査することが
できる。このＸ方向掃引コイルＣｘ及びＹ方向掃引コイ
ルＣｙに与えられる印加電圧によってＸ方向及びＹ方向
への掃引量が決まり，電子ビームが当たるターゲット２
３上の座標が決定される。従って，ターゲット２３上の
座標と，該ターゲット２３から放射され，被検査物１２
を透過してＸ線検出器１３により検出されたＸ線透過量
とにより，被検査物１２のＸ線透過位置とその部分の構
造（Ｘ線透過量）とがコンピュータにより計算される。
した実施例につき説明し，本発明の理解に供する。尚，
以下の実施例は本発明を具体化した一例であって，本発
明の技術的範囲を限定するものではない。ここに，図１
は本発明を回路基板の検査装置として具体化した実施例
の構成を示すブロック図，図２は実施例に係る検査装置
の構成を示す平面図（ａ）と側面図（ｂ），図３は実施
例構成の動作を説明するフローチャート，図４及び図５
は回路基板の移動手順を示す説明図，図６は電子走査型
Ｘ線源の構成を示す断面図，図７はＸ線源と被測定物と
Ｘ線検出器との配置を説明する模式図である。まず，電
子走査型Ｘ線源について，その概略を説明する。図６に
示すように，電子走査型のＸ線源１１は，ラッパ状に形
成された真空容器２２内に設置された電子ビーム発射器
２１から発射される高エネルギー電子ビームをターゲッ
ト２３に衝突させることにより，該ターゲット２３から
Ｘ線を発生させる。前記電子ビーム発射器２１から発射
される電子ビームの通路には，該電子ビームを図示のＸ
方向及びＹ方向に偏向させるＸ方向掃引コイルＣｘ及び
Ｙ方向掃引コイルＣｙを備えたビーム偏向装置２４が設
けられている。電子ビームは前記ビーム偏向装置２４に
ＸＹ走査信号発生器１６から印加される掃引電圧により
Ｘ方向及びＹ方向に連続的に掃引され，ターゲット２３
の任意の位置に照射され，この照射された位置からＸ線
が発生する。このＸ線源１１のターゲット２３から投射
されるＸ線は，図７に示すように被検査物１２に照射さ
れ，被検査物１２を透過した透過Ｘ線量はＸ線検出器１
３によって検出される。被検査物１２の検査対象範囲が
広い場合には，被検査物１２を移動させることにより全
検査対象範囲の検査を実施することができる。また，前
記ＸＹ走査信号発生器１６はコンピュータにより駆動さ
れ，Ｘ方向掃引コイルＣｘ及びＹ方向掃引コイルＣｙへ
の印加電圧を順次変化させ，前記ターゲット２３を電子
ビームによりＸ方向及びＹ方向に任意に走査することが
できる。このＸ方向掃引コイルＣｘ及びＹ方向掃引コイ
ルＣｙに与えられる印加電圧によってＸ方向及びＹ方向
への掃引量が決まり，電子ビームが当たるターゲット２
３上の座標が決定される。従って，ターゲット２３上の
座標と，該ターゲット２３から放射され，被検査物１２
を透過してＸ線検出器１３により検出されたＸ線透過量
とにより，被検査物１２のＸ線透過位置とその部分の構
造（Ｘ線透過量）とがコンピュータにより計算される。
【０００７】図１は上記電子走査型Ｘ線源１１を用いた
回路基板の検査装置１の構成を示し，前記ターゲット２
３の電子走査範囲のデータが記憶される走査範囲格納メ
モリ２と，ティーチング等により設定された回路基板の
全検査対象範囲データを格納する基板データ格納メモリ
（記憶手段）３と，電子走査範囲と前記全検査対象範囲
とを比較する比較判定用メモリ（比較判定手段）４と，
全検査対象範囲が電子走査範囲より大きい場合に最短距
離で回路基板を移動させるための移動方向及び移動距離
を演算する手法を記憶する基板移動距離演算用メモリ
（移動距離演算手法記憶手段）５と，該基板移動距離演
算用メモリ５に記憶された演算手法に基づき移動距離を
演算して移動装置駆動部（駆動手段）１０に入力し，回
路基板が載置される基板移動装置７の移動を制御するＣ
ＰＵ（移動距離演算手段）６とを具備して構成されてい
る。また，ＣＰＵ６はＸ線源１１を制御すると共に，Ｘ
線検出器１３からの検出出力が入力され，Ｘ線透過量に
基づくＸ線画像の生成を行う。検査装置１は，図２
（ａ）（ｂ）に示すように回路基板の自動検査が実施で
きるように構成され，図１に示すＸ線源１１，基板移動
装置７，Ｘ線検出器１３を備えたＸ線検査ユニット９
（図２（ｂ））と，各メモリ及びＣＰＵ６，各制御部等
を収容するコントロールユニット８（図２（ｂ））と，
検査する回路基板を基板カセットに収容してＸ線検査ユ
ニット９（図２（ｂ））に搬送するローダ１４（図２
（ｂ））と，検査後の回路基板を収容する基板カセット
に格納するアンローダ１５（図２（ｂ））とを具備して
構成される。また，図２（ａ）に示すように，基板移動
装置７は，回路基板を載置してＸ方向とＹ方向とに移動
できるように形成されている。上記構成になる検査装置
１の動作について，図３に示すフローチャートを用いて
以下に説明する。ローダ１４から基板移動装置７上に搬
送され位置決めされた回路基板に対して（ステップ
１），ＣＰＵ６は走査範囲格納メモリ２に記憶された電
子走査範囲と，基板データ格納メモリ３に記憶された回
路基板の全検査対象範囲とから，比較判定メモリ４に記
憶された判定基準に基づいて回路基板の移動を必要とす
るか否かを判断する（ステップ２）。図４に示す如く，
電子走査範囲をａ×ｂ，全検査対象範囲をｘ×ｙとする
と，ａ≧ｘ且つｂ≧ｙであれば，電子走査範囲内で検査
ができるので回路基板の移動は必要でなく，Ｘ線源１１
からのＸ線照射により検査を実行して（ステップ３），
検査終了後，アンローダ１５に回路基板を搬出する（ス
テップ４）。一方，ａ＜ｘまたはｂ＜ｙのときには，電
子走査範囲より全検査対象範囲の方が大きいので，回路
基板を順次移動させて検査を行う必要がある。そこで，
ＣＰＵ６は基板移動距離演算用メモリ５に記憶された演
算手法に基づき，移動方向と移動距離とを決定する。ま
ずｘ÷ａとｙ÷ｂの演算を行う（ステップ５）。
回路基板の検査装置１の構成を示し，前記ターゲット２
３の電子走査範囲のデータが記憶される走査範囲格納メ
モリ２と，ティーチング等により設定された回路基板の
全検査対象範囲データを格納する基板データ格納メモリ
（記憶手段）３と，電子走査範囲と前記全検査対象範囲
とを比較する比較判定用メモリ（比較判定手段）４と，
全検査対象範囲が電子走査範囲より大きい場合に最短距
離で回路基板を移動させるための移動方向及び移動距離
を演算する手法を記憶する基板移動距離演算用メモリ
（移動距離演算手法記憶手段）５と，該基板移動距離演
算用メモリ５に記憶された演算手法に基づき移動距離を
演算して移動装置駆動部（駆動手段）１０に入力し，回
路基板が載置される基板移動装置７の移動を制御するＣ
ＰＵ（移動距離演算手段）６とを具備して構成されてい
る。また，ＣＰＵ６はＸ線源１１を制御すると共に，Ｘ
線検出器１３からの検出出力が入力され，Ｘ線透過量に
基づくＸ線画像の生成を行う。検査装置１は，図２
（ａ）（ｂ）に示すように回路基板の自動検査が実施で
きるように構成され，図１に示すＸ線源１１，基板移動
装置７，Ｘ線検出器１３を備えたＸ線検査ユニット９
（図２（ｂ））と，各メモリ及びＣＰＵ６，各制御部等
を収容するコントロールユニット８（図２（ｂ））と，
検査する回路基板を基板カセットに収容してＸ線検査ユ
ニット９（図２（ｂ））に搬送するローダ１４（図２
（ｂ））と，検査後の回路基板を収容する基板カセット
に格納するアンローダ１５（図２（ｂ））とを具備して
構成される。また，図２（ａ）に示すように，基板移動
装置７は，回路基板を載置してＸ方向とＹ方向とに移動
できるように形成されている。上記構成になる検査装置
１の動作について，図３に示すフローチャートを用いて
以下に説明する。ローダ１４から基板移動装置７上に搬
送され位置決めされた回路基板に対して（ステップ
１），ＣＰＵ６は走査範囲格納メモリ２に記憶された電
子走査範囲と，基板データ格納メモリ３に記憶された回
路基板の全検査対象範囲とから，比較判定メモリ４に記
憶された判定基準に基づいて回路基板の移動を必要とす
るか否かを判断する（ステップ２）。図４に示す如く，
電子走査範囲をａ×ｂ，全検査対象範囲をｘ×ｙとする
と，ａ≧ｘ且つｂ≧ｙであれば，電子走査範囲内で検査
ができるので回路基板の移動は必要でなく，Ｘ線源１１
からのＸ線照射により検査を実行して（ステップ３），
検査終了後，アンローダ１５に回路基板を搬出する（ス
テップ４）。一方，ａ＜ｘまたはｂ＜ｙのときには，電
子走査範囲より全検査対象範囲の方が大きいので，回路
基板を順次移動させて検査を行う必要がある。そこで，
ＣＰＵ６は基板移動距離演算用メモリ５に記憶された演
算手法に基づき，移動方向と移動距離とを決定する。ま
ずｘ÷ａとｙ÷ｂの演算を行う（ステップ５）。
【０００８】次に，回路基板を移動させる移動手順は以
下に示すように決定される（ステップ６）。 （１）１＜ｘ÷ａ＜２のとき，左端の電子走査範囲ａ×
ｂについての走査を終了した後，ｘ−ａだけ回路基板を
ｘ方向に移動させて再度ａ×ｂの走査を行う。 （２）１＜ｙ÷ｂ＜２のとき，上段の走査ラインについ
ての走査を終了した後ｙ−ｂだけ回路基板をｙ方向に移
動させて再度１ライン分の走査を行う。 （３）ｘ÷ａ＞２のとき，走査範囲ａ×ｂの走査→Ｘ方
向への移動という手順を１回の移動量ａ×移動回数ｎで
繰り返し，残り移動量（ｘ−ｎ・ａ）移動させて再度ａ
×ｂの走査を行う。 （４）ｙ÷ｂ＞２のとき，１ライン分の走査→ｙ方向へ
の移動という手順を１回の移動量ｂ×移動回数ｍだけ繰
り返した後，残り移動量（ｙ−ｍ・ｂ）ｙ方向へ移動さ
せて再度１ライン分の走査を行う。 ここで，ｎはｘ÷ａの整数部，ｍはｙ÷ｂの整数部であ
る。ｘ方向もしくはｙ方向の一方向だけの移動でよい場
合は，上記（３）または（４）の演算に基づき回路基板
を電子走査範囲内で移動させる。移動ステップ毎に検査
を行う（ステップ７）。ｘ方向及びｙ方向の両方に移動
しなければならない場合は，最短距離で移動させ得るｘ
方向もしくはｙ方向の正逆反転移動方向の選択が必要と
なる。図 （ａ）（ｂ）に示す例は，検査対象範囲ｘ×
ｙが電子走査範囲ａ×ｂの整数倍である場合の正逆反転
移動のｘ方向とｙ方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は，次式で示す
ことができる。ｘ方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離ｄｘ1 （図４（ａ））は， ｄｘ1 ＝ｙ−ｂ＋ｍ・（ｘ−ａ）────（１） ｙ方向で正逆反転移動させる場合の移動距離ｄｙ1 （図
４（ｂ））は， ｄｙ1 ＝ｘ−ａ＋ｎ・（ｙ−ｂ）────（２） また，図５（ａ）（ｂ）に示す例は，検査対象範囲ｘ×
ｙが電子走査範囲ａ×ｂの整数倍でない場合の正逆反転
移動のｘ方向とｙ方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は，次式で示す
ことができる。ｘ方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離ｄｘ2 （図５（ａ））は， ｄｘ2 ＝ｙ−ｂ＋（ｍ＋１）・（ｘ−ａ）────（３） ｙ方向で正逆反転移動させる場合の移動距離ｄｙ2 は， ｄｙ2 ＝ｘ−ａ＋（ｎ＋１）・（ｙ−ｂ）────（４） 上記のように，検査対象範囲ｘ×ｙが電子走査範囲ａ×
ｂの整数倍であるか否かを演算して，整数倍であるとき
には，上記（１）（２）式の演算を行って，移動距離が
最短となるｘ方向もしくはｙ方向の正逆反転移動方向を
選択する。また，整数倍でないときには，上記（３）
（４）式の演算を行って，移動距離が最短となるｘ方向
もしくはｙ方向の正逆反転移動方向を選択する。上記移
動手順に従って回路基板は基板移動装置７によって順次
移動され，移動ステップ毎に検査が行われる。検査の進
行は基板データ格納メモリ３に記憶された回路基板デー
タと参照され，全検査対象範囲の検査がなされたか否か
が判断され（ステップ８），検査終了であれば回路基板
はアンローダ１５に搬出される。全検査対象範囲の検査
が未了であれば，検査終了まで引き続き移動手順に従っ
て回路基板は移動される（ステップ９）。
下に示すように決定される（ステップ６）。 （１）１＜ｘ÷ａ＜２のとき，左端の電子走査範囲ａ×
ｂについての走査を終了した後，ｘ−ａだけ回路基板を
ｘ方向に移動させて再度ａ×ｂの走査を行う。 （２）１＜ｙ÷ｂ＜２のとき，上段の走査ラインについ
ての走査を終了した後ｙ−ｂだけ回路基板をｙ方向に移
動させて再度１ライン分の走査を行う。 （３）ｘ÷ａ＞２のとき，走査範囲ａ×ｂの走査→Ｘ方
向への移動という手順を１回の移動量ａ×移動回数ｎで
繰り返し，残り移動量（ｘ−ｎ・ａ）移動させて再度ａ
×ｂの走査を行う。 （４）ｙ÷ｂ＞２のとき，１ライン分の走査→ｙ方向へ
の移動という手順を１回の移動量ｂ×移動回数ｍだけ繰
り返した後，残り移動量（ｙ−ｍ・ｂ）ｙ方向へ移動さ
せて再度１ライン分の走査を行う。 ここで，ｎはｘ÷ａの整数部，ｍはｙ÷ｂの整数部であ
る。ｘ方向もしくはｙ方向の一方向だけの移動でよい場
合は，上記（３）または（４）の演算に基づき回路基板
を電子走査範囲内で移動させる。移動ステップ毎に検査
を行う（ステップ７）。ｘ方向及びｙ方向の両方に移動
しなければならない場合は，最短距離で移動させ得るｘ
方向もしくはｙ方向の正逆反転移動方向の選択が必要と
なる。図 （ａ）（ｂ）に示す例は，検査対象範囲ｘ×
ｙが電子走査範囲ａ×ｂの整数倍である場合の正逆反転
移動のｘ方向とｙ方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は，次式で示す
ことができる。ｘ方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離ｄｘ1 （図４（ａ））は， ｄｘ1 ＝ｙ−ｂ＋ｍ・（ｘ−ａ）────（１） ｙ方向で正逆反転移動させる場合の移動距離ｄｙ1 （図
４（ｂ））は， ｄｙ1 ＝ｘ−ａ＋ｎ・（ｙ−ｂ）────（２） また，図５（ａ）（ｂ）に示す例は，検査対象範囲ｘ×
ｙが電子走査範囲ａ×ｂの整数倍でない場合の正逆反転
移動のｘ方向とｙ方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は，次式で示す
ことができる。ｘ方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離ｄｘ2 （図５（ａ））は， ｄｘ2 ＝ｙ−ｂ＋（ｍ＋１）・（ｘ−ａ）────（３） ｙ方向で正逆反転移動させる場合の移動距離ｄｙ2 は， ｄｙ2 ＝ｘ−ａ＋（ｎ＋１）・（ｙ−ｂ）────（４） 上記のように，検査対象範囲ｘ×ｙが電子走査範囲ａ×
ｂの整数倍であるか否かを演算して，整数倍であるとき
には，上記（１）（２）式の演算を行って，移動距離が
最短となるｘ方向もしくはｙ方向の正逆反転移動方向を
選択する。また，整数倍でないときには，上記（３）
（４）式の演算を行って，移動距離が最短となるｘ方向
もしくはｙ方向の正逆反転移動方向を選択する。上記移
動手順に従って回路基板は基板移動装置７によって順次
移動され，移動ステップ毎に検査が行われる。検査の進
行は基板データ格納メモリ３に記憶された回路基板デー
タと参照され，全検査対象範囲の検査がなされたか否か
が判断され（ステップ８），検査終了であれば回路基板
はアンローダ１５に搬出される。全検査対象範囲の検査
が未了であれば，検査終了まで引き続き移動手順に従っ
て回路基板は移動される（ステップ９）。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明の通り本発明によれば，電子
走査型Ｘ線源によるＸ線を被検査物に照射して，被検査
物の構造検査を行うに際して，Ｘ線を発生させる電子走
査範囲と被検査物の検査対象範囲とを比較し，前記検査
対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには，検査対
象範囲を包含するＸ線照射を行い，検査対象範囲が電子
走査範囲を越えるときには，検査対象範囲を電子走査範
囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最短移動方
向を演算して，移動装置によって被検査物を順次移動さ
せて全検査対象範囲の検査を行う。電子走査型Ｘ線源は
Ｘ線の照射範囲が広く，また，演算された最短距離で被
検査物が移動されるので，検査効率がよく検査作業の能
率向上を達成することができる。
走査型Ｘ線源によるＸ線を被検査物に照射して，被検査
物の構造検査を行うに際して，Ｘ線を発生させる電子走
査範囲と被検査物の検査対象範囲とを比較し，前記検査
対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには，検査対
象範囲を包含するＸ線照射を行い，検査対象範囲が電子
走査範囲を越えるときには，検査対象範囲を電子走査範
囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最短移動方
向を演算して，移動装置によって被検査物を順次移動さ
せて全検査対象範囲の検査を行う。電子走査型Ｘ線源は
Ｘ線の照射範囲が広く，また，演算された最短距離で被
検査物が移動されるので，検査効率がよく検査作業の能
率向上を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例に係る電子走査型Ｘ線源によ
る回路基板の検査装置の構成を示すブロック図。
る回路基板の検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】 実施例に係る回路基板の検査装置の構成を示
す平面図（ａ）と側面図（ｂ）。
す平面図（ａ）と側面図（ｂ）。
【図３】 実施例に係る電子走査型Ｘ線源による回路基
板の検査装置の動作を説明するフローチャート。
板の検査装置の動作を説明するフローチャート。
【図４】 実施例に係る回路基板の移動手順を示す説明
図。
図。
【図５】 実施例に係る回路基板の移動手順を示す説明
図。
図。
【図６】 実施例に係る電子走査型Ｘ線源の構成を示す
断面図。
断面図。
【図７】 実施例に係る電子走査型Ｘ線源による検査配
置を説明する模式図。
置を説明する模式図。
【図８】 第１の従来例に係る検査装置の構成を示す斜
視図。
視図。
【図９】 第２の従来例に係る検査装置の構成を示す模
式図。
式図。
１──検査装置 ２──走査範囲格納メモリ ３──基板データ格納メモリ（記憶手段） ４──比較判定用メモリ（比較判定手段） ５──基板移動距離演算用メモリ（移動距離演算手法記
憶手段） ６──ＣＰＵ（移動距離演算手段） ７──基板移動装置（移動装置） １１──電子走査型Ｘ線源 １２──被検査物 １３──Ｘ線検出器
憶手段） ６──ＣＰＵ（移動距離演算手段） ７──基板移動装置（移動装置） １１──電子走査型Ｘ線源 １２──被検査物 １３──Ｘ線検出器
Claims (3)
- 【請求項１】 電子ビームでターゲット面を走査するこ
とにより，該ターゲット面からＸ線を発生させる電子走
査型Ｘ線源からの前記Ｘ線を，移動装置上に載置された
被検査物に照射して，該被検査物を透過したＸ線量を検
出することにより，前記被検査物の構造検査を行う電子
走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置において，前記
電子ビーム走査によってＸ線を発生させる電子走査範囲
と前記被検査物の検査対象範囲とを比較して，前記検査
対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには，前記検
査対象範囲を包含するＸ線照射を行い，前記検査対象範
囲が電子走査範囲を越えるときには，検査対象範囲を電
子走査範囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最
短移動距離を演算して，前記移動装置を駆動させること
を特徴とする電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装
置。 - 【請求項２】 電子ビームでターゲット面を走査するこ
とにより，該ターゲット面からＸ線を発生させる電子走
査型Ｘ線源からの前記Ｘ線を，移動装置上に載置された
被検査物に照射して，該被検査物を透過したＸ線量を検
出することにより，前記被検査物の構造検査を行う電子
走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置において，予め
設定された前記被検査物の検査対象範囲のデータを記憶
する記憶手段と，前記検査対象範囲のデータと，前記電
子ビーム走査によってＸ線を発生させる電子走査範囲の
データとを比較して，前記検査対象範囲が前記電子走査
範囲内であるか否かを判断する比較判定手段と，前記検
査対象範囲が前記電子走査範囲を越えるとき，検査対象
範囲を電子走査変移毎に分割して検査を行うための被検
査物の最短移動距離を得る移動方向と移動量とを演算す
る手法を記憶する移動距離演算手法記憶手段と，前記比
較判定手段により検査対象範囲が電子走査範囲を越える
と判定されたとき，前記移動距離演算手法記憶手段に記
憶された演算手法に基づき前記移動装置の移動方向と移
動量とを演算する移動距離演算手段と，前記移動方向演
算手段により演算された移動量で移動方向に前記移動装
置を移動させる駆動手段とを具備してなることを特徴と
する電子走査型Ｘ線源による物品の構造検査装置。 - 【請求項３】 上記移動距離演算手法記憶手段が，電子
走査範囲ａ×ｂと検査対象範囲ｘ×ｙとからｘ÷ａ及び
ｙ÷ｂの演算を行い，このいずれかの演算結果が１を超
えた時，ｘ方向での正逆反転移動量と，ｙ方向での正逆
移動量との小さい方の移動量を選択する演算を行う手法
を記憶する請求項２記載の電子走査型Ｘ線源による物品
の構造検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225782A JPH0674918A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子走査型ｘ線源による物品の構造検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225782A JPH0674918A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子走査型ｘ線源による物品の構造検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674918A true JPH0674918A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=16834703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4225782A Pending JPH0674918A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子走査型ｘ線源による物品の構造検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674918A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2010282810A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置 |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP4225782A patent/JPH0674918A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP4742782B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-08-10 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線検査装置 |
| JP2010282810A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置 |
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