JPH0674918A - 電子走査型x線源による物品の構造検査装置 - Google Patents
電子走査型x線源による物品の構造検査装置Info
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- JPH0674918A JPH0674918A JP4225782A JP22578292A JPH0674918A JP H0674918 A JPH0674918 A JP H0674918A JP 4225782 A JP4225782 A JP 4225782A JP 22578292 A JP22578292 A JP 22578292A JP H0674918 A JPH0674918 A JP H0674918A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検査対象領域の広い被検査物に対して,被検
査物を最短の移動量で移動させるようにして,検査能率
の向上がなしえる電子走査型X線源による物品の構造検
査装置を提供する。 【構成】 X線を発生させる電子走査範囲と被検査物の
検査対象範囲とを比較し,前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるときには,検査対象範囲を包含するX
線照射を行い,検査対象範囲が電子走査範囲を越えると
きには,検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査
を行うための被検査物の最短移動方向を演算して,移動
装置7によって被検査物を順次移動させて全検査対象範
囲の検査を行う。電子走査型X線源はX線の照射範囲が
広く,また,演算された最短距離で被検査物が移動され
るので,検査効率がよく検査作業の能率向上を達成する
ことができる。
査物を最短の移動量で移動させるようにして,検査能率
の向上がなしえる電子走査型X線源による物品の構造検
査装置を提供する。 【構成】 X線を発生させる電子走査範囲と被検査物の
検査対象範囲とを比較し,前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるときには,検査対象範囲を包含するX
線照射を行い,検査対象範囲が電子走査範囲を越えると
きには,検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査
を行うための被検査物の最短移動方向を演算して,移動
装置7によって被検査物を順次移動させて全検査対象範
囲の検査を行う。電子走査型X線源はX線の照射範囲が
広く,また,演算された最短距離で被検査物が移動され
るので,検査効率がよく検査作業の能率向上を達成する
ことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,例えば回路基板のよう
なX線を全面的には遮蔽しない材質よりなる物品の外的
形状や内的構造などを検出するための装置に係り,特
に,電子走査型X線源からのX線を前記物品に照射し
て,その透過量を検出することにより物品に吸収または
遮蔽されたX線の量から前記物品の構造を検出する電子
走査型X線源による物品の構造検査装置に関する。
なX線を全面的には遮蔽しない材質よりなる物品の外的
形状や内的構造などを検出するための装置に係り,特
に,電子走査型X線源からのX線を前記物品に照射し
て,その透過量を検出することにより物品に吸収または
遮蔽されたX線の量から前記物品の構造を検出する電子
走査型X線源による物品の構造検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来,X線を物品に照射して,その透過
量に基づき当該物品の構造を検査するX線投射による検
査装置として,例えば,特開昭62−219632号あ
るいは特開平2−138855号公報に開示されたもの
が知られている。図8に示す装置は,前記特開昭62−
219632号公報に開示された回路基板の自動検査装
置である。X線検査装置20内に配置されたX線源21
から照射されるX線は,多軸位置決め装置22上に載置
された回路基板23に照射され,回路基板23によって
透過または吸収されたX線による影像がシンチレーショ
ン板24に投影されるので,反射鏡26を介してカメラ
25で撮像するように構成されている。また,図9に示
す装置は,前記特開平2−138855号公報に開示さ
れた回路基板の検査装置である。XYθステージ30上
に載置された回路基板31にX線源32からX線が照射
され,回路基板31を透過したX線をX線検出器33で
受け,カメラ35で透過X線画像を捕らえる。上記各従
来例において,被検査物である回路基板の検査対象領域
の検査を行うためには,前者の場合では多軸位置決め装
置22を移動させることによって対処し,後者の場合で
はX線源32とX線検出器33とカメラ35とを取り付
けたψステージ34を移動させることによって対処し,
検査対象領域の全面について検査を行うことができる。
量に基づき当該物品の構造を検査するX線投射による検
査装置として,例えば,特開昭62−219632号あ
るいは特開平2−138855号公報に開示されたもの
が知られている。図8に示す装置は,前記特開昭62−
219632号公報に開示された回路基板の自動検査装
置である。X線検査装置20内に配置されたX線源21
から照射されるX線は,多軸位置決め装置22上に載置
された回路基板23に照射され,回路基板23によって
透過または吸収されたX線による影像がシンチレーショ
ン板24に投影されるので,反射鏡26を介してカメラ
25で撮像するように構成されている。また,図9に示
す装置は,前記特開平2−138855号公報に開示さ
れた回路基板の検査装置である。XYθステージ30上
に載置された回路基板31にX線源32からX線が照射
され,回路基板31を透過したX線をX線検出器33で
受け,カメラ35で透過X線画像を捕らえる。上記各従
来例において,被検査物である回路基板の検査対象領域
の検査を行うためには,前者の場合では多軸位置決め装
置22を移動させることによって対処し,後者の場合で
はX線源32とX線検出器33とカメラ35とを取り付
けたψステージ34を移動させることによって対処し,
検査対象領域の全面について検査を行うことができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例に示したX
線源による回路基板の検査装置は,そのいずれもがX線
源が点源であるため,検査に必要な分解能を得るために
は拡大画像を得ることを要し,従って,回路基板に照射
されるX線の照射範囲が狭くなる。そのため,検査対象
領域が広い被検査物を検査する場合に,検査対象領域全
体の検査時間における被検査物の移動が占める時間が多
くなり,検査を行う処理能率向上の障害となる問題点が
あった。本発明は,X線の照射範囲が大きい電子走査型
X線源を用いると共に,検査対象領域の広い被検査物に
対しては,被検査物を最短の移動量で移動させるように
して,検査能率の向上がなしえる電子走査型X線源によ
る物品の構造検査装置を提供することを目的とする。
線源による回路基板の検査装置は,そのいずれもがX線
源が点源であるため,検査に必要な分解能を得るために
は拡大画像を得ることを要し,従って,回路基板に照射
されるX線の照射範囲が狭くなる。そのため,検査対象
領域が広い被検査物を検査する場合に,検査対象領域全
体の検査時間における被検査物の移動が占める時間が多
くなり,検査を行う処理能率向上の障害となる問題点が
あった。本発明は,X線の照射範囲が大きい電子走査型
X線源を用いると共に,検査対象領域の広い被検査物に
対しては,被検査物を最短の移動量で移動させるように
して,検査能率の向上がなしえる電子走査型X線源によ
る物品の構造検査装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が採用する手段は,電子ビームでターゲット面
を走査することにより,該ターゲット面からX線を発生
させる電子走査型X線源からの前記X線を,移動装置上
に載置された被検査物に照射して,該被検査物を透過し
たX線量を検出することにより,前記被検査物の構造検
査を行う電子走査型X線源による物品の構造検査装置に
おいて,前記電子ビーム走査によってX線を発生させる
電子走査範囲と前記被検査物の検査対象範囲とを比較し
て,前記検査対象範囲が前記電子走査範囲内であるとき
には,前記検査対象範囲を包含するX線照射を行い,前
記検査対象範囲が電子走査範囲を越えるときには,検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を演算して,前記移動装置を駆
動させることを特徴とする電子走査型X線源による物品
の構造検査装置として構成される。また,本発明が採用
する第2の手段は,電子ビームでターゲット面を走査す
ることにより,該ターゲット面からX線を発生させる電
子走査型X線源からの前記X線を,移動装置上に載置さ
れた被検査物に照射して,該被検査物を透過したX線量
を検出することにより,前記被検査物の構造検査を行う
電子走査型X線源による物品の構造検査装置において,
予め設定された前記被検査物の検査対象範囲のデータを
記憶する記憶手段と,前記検査対象範囲のデータと,前
記電子ビーム走査によってX線を発生させる電子走査範
囲のデータとを比較して,前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるか否かを判断する比較判定手段と,前
記検査対象範囲が前記電子走査範囲を越えるとき,検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を得る移動方向と移動量とを演
算する手法を記憶する移動距離演算手法記憶手段と,前
記比較判定手段により検査対象範囲が電子走査範囲を越
えると判定されたとき,前記移動距離演算手法記憶手段
に記憶された演算手法に基づき前記移動装置の移動方向
と移動量とを演算する移動距離演算手段と,前記移動距
離演算手段により演算された移動量で移動方向に前記移
動装置を移動させる駆動手段とを具備してなることを特
徴とする電子走査型X線源による物品の構造検査装置と
して構成される。上記移動方向演算手法記憶手段は,電
子走査範囲a×bと検査対象範囲x×yとからx÷a及
びy÷bの演算を行い,このいずれかの演算結果が1を
超えた時,x方向での正逆反転移動量と,y方向での正
逆移動量との小さい方の移動量を選択する演算を行う手
法を記憶するよう構成されている。
に本発明が採用する手段は,電子ビームでターゲット面
を走査することにより,該ターゲット面からX線を発生
させる電子走査型X線源からの前記X線を,移動装置上
に載置された被検査物に照射して,該被検査物を透過し
たX線量を検出することにより,前記被検査物の構造検
査を行う電子走査型X線源による物品の構造検査装置に
おいて,前記電子ビーム走査によってX線を発生させる
電子走査範囲と前記被検査物の検査対象範囲とを比較し
て,前記検査対象範囲が前記電子走査範囲内であるとき
には,前記検査対象範囲を包含するX線照射を行い,前
記検査対象範囲が電子走査範囲を越えるときには,検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を演算して,前記移動装置を駆
動させることを特徴とする電子走査型X線源による物品
の構造検査装置として構成される。また,本発明が採用
する第2の手段は,電子ビームでターゲット面を走査す
ることにより,該ターゲット面からX線を発生させる電
子走査型X線源からの前記X線を,移動装置上に載置さ
れた被検査物に照射して,該被検査物を透過したX線量
を検出することにより,前記被検査物の構造検査を行う
電子走査型X線源による物品の構造検査装置において,
予め設定された前記被検査物の検査対象範囲のデータを
記憶する記憶手段と,前記検査対象範囲のデータと,前
記電子ビーム走査によってX線を発生させる電子走査範
囲のデータとを比較して,前記検査対象範囲が前記電子
走査範囲内であるか否かを判断する比較判定手段と,前
記検査対象範囲が前記電子走査範囲を越えるとき,検査
対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための
被検査物の最短移動距離を得る移動方向と移動量とを演
算する手法を記憶する移動距離演算手法記憶手段と,前
記比較判定手段により検査対象範囲が電子走査範囲を越
えると判定されたとき,前記移動距離演算手法記憶手段
に記憶された演算手法に基づき前記移動装置の移動方向
と移動量とを演算する移動距離演算手段と,前記移動距
離演算手段により演算された移動量で移動方向に前記移
動装置を移動させる駆動手段とを具備してなることを特
徴とする電子走査型X線源による物品の構造検査装置と
して構成される。上記移動方向演算手法記憶手段は,電
子走査範囲a×bと検査対象範囲x×yとからx÷a及
びy÷bの演算を行い,このいずれかの演算結果が1を
超えた時,x方向での正逆反転移動量と,y方向での正
逆移動量との小さい方の移動量を選択する演算を行う手
法を記憶するよう構成されている。
【0005】
【作用】本発明の第1の手段によれば,電子走査型X線
源によるX線を被検査物に照射して,被検査物の構造検
査を行うに際して,X線を発生させる電子走査範囲と被
検査物の検査対象範囲とを比較し,前記検査対象範囲が
前記電子走査範囲内であるときには,検査対象範囲を包
含するX線照射を行い,検査対象範囲が電子走査範囲を
越えるときには,検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割
して検査を行うための被検査物の最短移動方向を演算し
て,移動装置によって被検査物を順次移動させて全検査
対象範囲の検査を行う。電子走査型X線源はX線の照射
範囲が広く,また,演算された最短距離で被検査物が移
動されるので,検査効率がよく検査作業の能率向上を達
成することができる。また,本発明の第2の手段によれ
ば,記憶手段に記憶させた被検査物の検査対象範囲のデ
ータを比較判定手段により電子走査範囲のデータと比較
して,検査対象範囲が電子走査範囲内であるときには,
被測定物を移動させることなく検査を行い,電子走査範
囲を越えるときには被検査物を順次移動させて電子走査
範囲毎の検査を行う。被検査物の移動は移動距離演算手
法記憶手段に記憶された手法に基づき,移動距離演算手
段により最短の移動方向と距離が演算される。演算され
た移動方向と距離で被検査物を載置する移動装置が駆動
され,被検査物は最短の移動距離で順次移動して,電子
走査範囲毎の検査がなされる。
源によるX線を被検査物に照射して,被検査物の構造検
査を行うに際して,X線を発生させる電子走査範囲と被
検査物の検査対象範囲とを比較し,前記検査対象範囲が
前記電子走査範囲内であるときには,検査対象範囲を包
含するX線照射を行い,検査対象範囲が電子走査範囲を
越えるときには,検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割
して検査を行うための被検査物の最短移動方向を演算し
て,移動装置によって被検査物を順次移動させて全検査
対象範囲の検査を行う。電子走査型X線源はX線の照射
範囲が広く,また,演算された最短距離で被検査物が移
動されるので,検査効率がよく検査作業の能率向上を達
成することができる。また,本発明の第2の手段によれ
ば,記憶手段に記憶させた被検査物の検査対象範囲のデ
ータを比較判定手段により電子走査範囲のデータと比較
して,検査対象範囲が電子走査範囲内であるときには,
被測定物を移動させることなく検査を行い,電子走査範
囲を越えるときには被検査物を順次移動させて電子走査
範囲毎の検査を行う。被検査物の移動は移動距離演算手
法記憶手段に記憶された手法に基づき,移動距離演算手
段により最短の移動方向と距離が演算される。演算され
た移動方向と距離で被検査物を載置する移動装置が駆動
され,被検査物は最短の移動距離で順次移動して,電子
走査範囲毎の検査がなされる。
【0006】
【実施例】以下,添付図面を参照して,本発明を具体化
した実施例につき説明し,本発明の理解に供する。尚,
以下の実施例は本発明を具体化した一例であって,本発
明の技術的範囲を限定するものではない。ここに,図1
は本発明を回路基板の検査装置として具体化した実施例
の構成を示すブロック図,図2は実施例に係る検査装置
の構成を示す平面図(a)と側面図(b),図3は実施
例構成の動作を説明するフローチャート,図4及び図5
は回路基板の移動手順を示す説明図,図6は電子走査型
X線源の構成を示す断面図,図7はX線源と被測定物と
X線検出器との配置を説明する模式図である。まず,電
子走査型X線源について,その概略を説明する。図6に
示すように,電子走査型のX線源11は,ラッパ状に形
成された真空容器22内に設置された電子ビーム発射器
21から発射される高エネルギー電子ビームをターゲッ
ト23に衝突させることにより,該ターゲット23から
X線を発生させる。前記電子ビーム発射器21から発射
される電子ビームの通路には,該電子ビームを図示のX
方向及びY方向に偏向させるX方向掃引コイルCx及び
Y方向掃引コイルCyを備えたビーム偏向装置24が設
けられている。電子ビームは前記ビーム偏向装置24に
XY走査信号発生器16から印加される掃引電圧により
X方向及びY方向に連続的に掃引され,ターゲット23
の任意の位置に照射され,この照射された位置からX線
が発生する。このX線源11のターゲット23から投射
されるX線は,図7に示すように被検査物12に照射さ
れ,被検査物12を透過した透過X線量はX線検出器1
3によって検出される。被検査物12の検査対象範囲が
広い場合には,被検査物12を移動させることにより全
検査対象範囲の検査を実施することができる。また,前
記XY走査信号発生器16はコンピュータにより駆動さ
れ,X方向掃引コイルCx及びY方向掃引コイルCyへ
の印加電圧を順次変化させ,前記ターゲット23を電子
ビームによりX方向及びY方向に任意に走査することが
できる。このX方向掃引コイルCx及びY方向掃引コイ
ルCyに与えられる印加電圧によってX方向及びY方向
への掃引量が決まり,電子ビームが当たるターゲット2
3上の座標が決定される。従って,ターゲット23上の
座標と,該ターゲット23から放射され,被検査物12
を透過してX線検出器13により検出されたX線透過量
とにより,被検査物12のX線透過位置とその部分の構
造(X線透過量)とがコンピュータにより計算される。
した実施例につき説明し,本発明の理解に供する。尚,
以下の実施例は本発明を具体化した一例であって,本発
明の技術的範囲を限定するものではない。ここに,図1
は本発明を回路基板の検査装置として具体化した実施例
の構成を示すブロック図,図2は実施例に係る検査装置
の構成を示す平面図(a)と側面図(b),図3は実施
例構成の動作を説明するフローチャート,図4及び図5
は回路基板の移動手順を示す説明図,図6は電子走査型
X線源の構成を示す断面図,図7はX線源と被測定物と
X線検出器との配置を説明する模式図である。まず,電
子走査型X線源について,その概略を説明する。図6に
示すように,電子走査型のX線源11は,ラッパ状に形
成された真空容器22内に設置された電子ビーム発射器
21から発射される高エネルギー電子ビームをターゲッ
ト23に衝突させることにより,該ターゲット23から
X線を発生させる。前記電子ビーム発射器21から発射
される電子ビームの通路には,該電子ビームを図示のX
方向及びY方向に偏向させるX方向掃引コイルCx及び
Y方向掃引コイルCyを備えたビーム偏向装置24が設
けられている。電子ビームは前記ビーム偏向装置24に
XY走査信号発生器16から印加される掃引電圧により
X方向及びY方向に連続的に掃引され,ターゲット23
の任意の位置に照射され,この照射された位置からX線
が発生する。このX線源11のターゲット23から投射
されるX線は,図7に示すように被検査物12に照射さ
れ,被検査物12を透過した透過X線量はX線検出器1
3によって検出される。被検査物12の検査対象範囲が
広い場合には,被検査物12を移動させることにより全
検査対象範囲の検査を実施することができる。また,前
記XY走査信号発生器16はコンピュータにより駆動さ
れ,X方向掃引コイルCx及びY方向掃引コイルCyへ
の印加電圧を順次変化させ,前記ターゲット23を電子
ビームによりX方向及びY方向に任意に走査することが
できる。このX方向掃引コイルCx及びY方向掃引コイ
ルCyに与えられる印加電圧によってX方向及びY方向
への掃引量が決まり,電子ビームが当たるターゲット2
3上の座標が決定される。従って,ターゲット23上の
座標と,該ターゲット23から放射され,被検査物12
を透過してX線検出器13により検出されたX線透過量
とにより,被検査物12のX線透過位置とその部分の構
造(X線透過量)とがコンピュータにより計算される。
【0007】図1は上記電子走査型X線源11を用いた
回路基板の検査装置1の構成を示し,前記ターゲット2
3の電子走査範囲のデータが記憶される走査範囲格納メ
モリ2と,ティーチング等により設定された回路基板の
全検査対象範囲データを格納する基板データ格納メモリ
(記憶手段)3と,電子走査範囲と前記全検査対象範囲
とを比較する比較判定用メモリ(比較判定手段)4と,
全検査対象範囲が電子走査範囲より大きい場合に最短距
離で回路基板を移動させるための移動方向及び移動距離
を演算する手法を記憶する基板移動距離演算用メモリ
(移動距離演算手法記憶手段)5と,該基板移動距離演
算用メモリ5に記憶された演算手法に基づき移動距離を
演算して移動装置駆動部(駆動手段)10に入力し,回
路基板が載置される基板移動装置7の移動を制御するC
PU(移動距離演算手段)6とを具備して構成されてい
る。また,CPU6はX線源11を制御すると共に,X
線検出器13からの検出出力が入力され,X線透過量に
基づくX線画像の生成を行う。検査装置1は,図2
(a)(b)に示すように回路基板の自動検査が実施で
きるように構成され,図1に示すX線源11,基板移動
装置7,X線検出器13を備えたX線検査ユニット9
(図2(b))と,各メモリ及びCPU6,各制御部等
を収容するコントロールユニット8(図2(b))と,
検査する回路基板を基板カセットに収容してX線検査ユ
ニット9(図2(b))に搬送するローダ14(図2
(b))と,検査後の回路基板を収容する基板カセット
に格納するアンローダ15(図2(b))とを具備して
構成される。また,図2(a)に示すように,基板移動
装置7は,回路基板を載置してX方向とY方向とに移動
できるように形成されている。上記構成になる検査装置
1の動作について,図3に示すフローチャートを用いて
以下に説明する。ローダ14から基板移動装置7上に搬
送され位置決めされた回路基板に対して(ステップ
1),CPU6は走査範囲格納メモリ2に記憶された電
子走査範囲と,基板データ格納メモリ3に記憶された回
路基板の全検査対象範囲とから,比較判定メモリ4に記
憶された判定基準に基づいて回路基板の移動を必要とす
るか否かを判断する(ステップ2)。図4に示す如く,
電子走査範囲をa×b,全検査対象範囲をx×yとする
と,a≧x且つb≧yであれば,電子走査範囲内で検査
ができるので回路基板の移動は必要でなく,X線源11
からのX線照射により検査を実行して(ステップ3),
検査終了後,アンローダ15に回路基板を搬出する(ス
テップ4)。一方,a<xまたはb<yのときには,電
子走査範囲より全検査対象範囲の方が大きいので,回路
基板を順次移動させて検査を行う必要がある。そこで,
CPU6は基板移動距離演算用メモリ5に記憶された演
算手法に基づき,移動方向と移動距離とを決定する。ま
ずx÷aとy÷bの演算を行う(ステップ5)。
回路基板の検査装置1の構成を示し,前記ターゲット2
3の電子走査範囲のデータが記憶される走査範囲格納メ
モリ2と,ティーチング等により設定された回路基板の
全検査対象範囲データを格納する基板データ格納メモリ
(記憶手段)3と,電子走査範囲と前記全検査対象範囲
とを比較する比較判定用メモリ(比較判定手段)4と,
全検査対象範囲が電子走査範囲より大きい場合に最短距
離で回路基板を移動させるための移動方向及び移動距離
を演算する手法を記憶する基板移動距離演算用メモリ
(移動距離演算手法記憶手段)5と,該基板移動距離演
算用メモリ5に記憶された演算手法に基づき移動距離を
演算して移動装置駆動部(駆動手段)10に入力し,回
路基板が載置される基板移動装置7の移動を制御するC
PU(移動距離演算手段)6とを具備して構成されてい
る。また,CPU6はX線源11を制御すると共に,X
線検出器13からの検出出力が入力され,X線透過量に
基づくX線画像の生成を行う。検査装置1は,図2
(a)(b)に示すように回路基板の自動検査が実施で
きるように構成され,図1に示すX線源11,基板移動
装置7,X線検出器13を備えたX線検査ユニット9
(図2(b))と,各メモリ及びCPU6,各制御部等
を収容するコントロールユニット8(図2(b))と,
検査する回路基板を基板カセットに収容してX線検査ユ
ニット9(図2(b))に搬送するローダ14(図2
(b))と,検査後の回路基板を収容する基板カセット
に格納するアンローダ15(図2(b))とを具備して
構成される。また,図2(a)に示すように,基板移動
装置7は,回路基板を載置してX方向とY方向とに移動
できるように形成されている。上記構成になる検査装置
1の動作について,図3に示すフローチャートを用いて
以下に説明する。ローダ14から基板移動装置7上に搬
送され位置決めされた回路基板に対して(ステップ
1),CPU6は走査範囲格納メモリ2に記憶された電
子走査範囲と,基板データ格納メモリ3に記憶された回
路基板の全検査対象範囲とから,比較判定メモリ4に記
憶された判定基準に基づいて回路基板の移動を必要とす
るか否かを判断する(ステップ2)。図4に示す如く,
電子走査範囲をa×b,全検査対象範囲をx×yとする
と,a≧x且つb≧yであれば,電子走査範囲内で検査
ができるので回路基板の移動は必要でなく,X線源11
からのX線照射により検査を実行して(ステップ3),
検査終了後,アンローダ15に回路基板を搬出する(ス
テップ4)。一方,a<xまたはb<yのときには,電
子走査範囲より全検査対象範囲の方が大きいので,回路
基板を順次移動させて検査を行う必要がある。そこで,
CPU6は基板移動距離演算用メモリ5に記憶された演
算手法に基づき,移動方向と移動距離とを決定する。ま
ずx÷aとy÷bの演算を行う(ステップ5)。
【0008】次に,回路基板を移動させる移動手順は以
下に示すように決定される(ステップ6)。 (1)1<x÷a<2のとき,左端の電子走査範囲a×
bについての走査を終了した後,x−aだけ回路基板を
x方向に移動させて再度a×bの走査を行う。 (2)1<y÷b<2のとき,上段の走査ラインについ
ての走査を終了した後y−bだけ回路基板をy方向に移
動させて再度1ライン分の走査を行う。 (3)x÷a>2のとき,走査範囲a×bの走査→X方
向への移動という手順を1回の移動量a×移動回数nで
繰り返し,残り移動量(x−n・a)移動させて再度a
×bの走査を行う。 (4)y÷b>2のとき,1ライン分の走査→y方向へ
の移動という手順を1回の移動量b×移動回数mだけ繰
り返した後,残り移動量(y−m・b)y方向へ移動さ
せて再度1ライン分の走査を行う。 ここで,nはx÷aの整数部,mはy÷bの整数部であ
る。x方向もしくはy方向の一方向だけの移動でよい場
合は,上記(3)または(4)の演算に基づき回路基板
を電子走査範囲内で移動させる。移動ステップ毎に検査
を行う(ステップ7)。x方向及びy方向の両方に移動
しなければならない場合は,最短距離で移動させ得るx
方向もしくはy方向の正逆反転移動方向の選択が必要と
なる。図 (a)(b)に示す例は,検査対象範囲x×
yが電子走査範囲a×bの整数倍である場合の正逆反転
移動のx方向とy方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は,次式で示す
ことができる。x方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離dx1 (図4(a))は, dx1 =y−b+m・(x−a)────(1) y方向で正逆反転移動させる場合の移動距離dy1 (図
4(b))は, dy1 =x−a+n・(y−b)────(2) また,図5(a)(b)に示す例は,検査対象範囲x×
yが電子走査範囲a×bの整数倍でない場合の正逆反転
移動のx方向とy方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は,次式で示す
ことができる。x方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離dx2 (図5(a))は, dx2 =y−b+(m+1)・(x−a)────(3) y方向で正逆反転移動させる場合の移動距離dy2 は, dy2 =x−a+(n+1)・(y−b)────(4) 上記のように,検査対象範囲x×yが電子走査範囲a×
bの整数倍であるか否かを演算して,整数倍であるとき
には,上記(1)(2)式の演算を行って,移動距離が
最短となるx方向もしくはy方向の正逆反転移動方向を
選択する。また,整数倍でないときには,上記(3)
(4)式の演算を行って,移動距離が最短となるx方向
もしくはy方向の正逆反転移動方向を選択する。上記移
動手順に従って回路基板は基板移動装置7によって順次
移動され,移動ステップ毎に検査が行われる。検査の進
行は基板データ格納メモリ3に記憶された回路基板デー
タと参照され,全検査対象範囲の検査がなされたか否か
が判断され(ステップ8),検査終了であれば回路基板
はアンローダ15に搬出される。全検査対象範囲の検査
が未了であれば,検査終了まで引き続き移動手順に従っ
て回路基板は移動される(ステップ9)。
下に示すように決定される(ステップ6)。 (1)1<x÷a<2のとき,左端の電子走査範囲a×
bについての走査を終了した後,x−aだけ回路基板を
x方向に移動させて再度a×bの走査を行う。 (2)1<y÷b<2のとき,上段の走査ラインについ
ての走査を終了した後y−bだけ回路基板をy方向に移
動させて再度1ライン分の走査を行う。 (3)x÷a>2のとき,走査範囲a×bの走査→X方
向への移動という手順を1回の移動量a×移動回数nで
繰り返し,残り移動量(x−n・a)移動させて再度a
×bの走査を行う。 (4)y÷b>2のとき,1ライン分の走査→y方向へ
の移動という手順を1回の移動量b×移動回数mだけ繰
り返した後,残り移動量(y−m・b)y方向へ移動さ
せて再度1ライン分の走査を行う。 ここで,nはx÷aの整数部,mはy÷bの整数部であ
る。x方向もしくはy方向の一方向だけの移動でよい場
合は,上記(3)または(4)の演算に基づき回路基板
を電子走査範囲内で移動させる。移動ステップ毎に検査
を行う(ステップ7)。x方向及びy方向の両方に移動
しなければならない場合は,最短距離で移動させ得るx
方向もしくはy方向の正逆反転移動方向の選択が必要と
なる。図 (a)(b)に示す例は,検査対象範囲x×
yが電子走査範囲a×bの整数倍である場合の正逆反転
移動のx方向とy方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は,次式で示す
ことができる。x方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離dx1 (図4(a))は, dx1 =y−b+m・(x−a)────(1) y方向で正逆反転移動させる場合の移動距離dy1 (図
4(b))は, dy1 =x−a+n・(y−b)────(2) また,図5(a)(b)に示す例は,検査対象範囲x×
yが電子走査範囲a×bの整数倍でない場合の正逆反転
移動のx方向とy方向との移動方向と移動距離とを示し
ている。正逆反転移動の移動距離の演算は,次式で示す
ことができる。x方向で正逆反転移動させる場合の移動
距離dx2 (図5(a))は, dx2 =y−b+(m+1)・(x−a)────(3) y方向で正逆反転移動させる場合の移動距離dy2 は, dy2 =x−a+(n+1)・(y−b)────(4) 上記のように,検査対象範囲x×yが電子走査範囲a×
bの整数倍であるか否かを演算して,整数倍であるとき
には,上記(1)(2)式の演算を行って,移動距離が
最短となるx方向もしくはy方向の正逆反転移動方向を
選択する。また,整数倍でないときには,上記(3)
(4)式の演算を行って,移動距離が最短となるx方向
もしくはy方向の正逆反転移動方向を選択する。上記移
動手順に従って回路基板は基板移動装置7によって順次
移動され,移動ステップ毎に検査が行われる。検査の進
行は基板データ格納メモリ3に記憶された回路基板デー
タと参照され,全検査対象範囲の検査がなされたか否か
が判断され(ステップ8),検査終了であれば回路基板
はアンローダ15に搬出される。全検査対象範囲の検査
が未了であれば,検査終了まで引き続き移動手順に従っ
て回路基板は移動される(ステップ9)。
【0009】
【発明の効果】以上の説明の通り本発明によれば,電子
走査型X線源によるX線を被検査物に照射して,被検査
物の構造検査を行うに際して,X線を発生させる電子走
査範囲と被検査物の検査対象範囲とを比較し,前記検査
対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには,検査対
象範囲を包含するX線照射を行い,検査対象範囲が電子
走査範囲を越えるときには,検査対象範囲を電子走査範
囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最短移動方
向を演算して,移動装置によって被検査物を順次移動さ
せて全検査対象範囲の検査を行う。電子走査型X線源は
X線の照射範囲が広く,また,演算された最短距離で被
検査物が移動されるので,検査効率がよく検査作業の能
率向上を達成することができる。
走査型X線源によるX線を被検査物に照射して,被検査
物の構造検査を行うに際して,X線を発生させる電子走
査範囲と被検査物の検査対象範囲とを比較し,前記検査
対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには,検査対
象範囲を包含するX線照射を行い,検査対象範囲が電子
走査範囲を越えるときには,検査対象範囲を電子走査範
囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最短移動方
向を演算して,移動装置によって被検査物を順次移動さ
せて全検査対象範囲の検査を行う。電子走査型X線源は
X線の照射範囲が広く,また,演算された最短距離で被
検査物が移動されるので,検査効率がよく検査作業の能
率向上を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例に係る電子走査型X線源によ
る回路基板の検査装置の構成を示すブロック図。
る回路基板の検査装置の構成を示すブロック図。
【図2】 実施例に係る回路基板の検査装置の構成を示
す平面図(a)と側面図(b)。
す平面図(a)と側面図(b)。
【図3】 実施例に係る電子走査型X線源による回路基
板の検査装置の動作を説明するフローチャート。
板の検査装置の動作を説明するフローチャート。
【図4】 実施例に係る回路基板の移動手順を示す説明
図。
図。
【図5】 実施例に係る回路基板の移動手順を示す説明
図。
図。
【図6】 実施例に係る電子走査型X線源の構成を示す
断面図。
断面図。
【図7】 実施例に係る電子走査型X線源による検査配
置を説明する模式図。
置を説明する模式図。
【図8】 第1の従来例に係る検査装置の構成を示す斜
視図。
視図。
【図9】 第2の従来例に係る検査装置の構成を示す模
式図。
式図。
1──検査装置 2──走査範囲格納メモリ 3──基板データ格納メモリ(記憶手段) 4──比較判定用メモリ(比較判定手段) 5──基板移動距離演算用メモリ(移動距離演算手法記
憶手段) 6──CPU(移動距離演算手段) 7──基板移動装置(移動装置) 11──電子走査型X線源 12──被検査物 13──X線検出器
憶手段) 6──CPU(移動距離演算手段) 7──基板移動装置(移動装置) 11──電子走査型X線源 12──被検査物 13──X線検出器
Claims (3)
- 【請求項1】 電子ビームでターゲット面を走査するこ
とにより,該ターゲット面からX線を発生させる電子走
査型X線源からの前記X線を,移動装置上に載置された
被検査物に照射して,該被検査物を透過したX線量を検
出することにより,前記被検査物の構造検査を行う電子
走査型X線源による物品の構造検査装置において,前記
電子ビーム走査によってX線を発生させる電子走査範囲
と前記被検査物の検査対象範囲とを比較して,前記検査
対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには,前記検
査対象範囲を包含するX線照射を行い,前記検査対象範
囲が電子走査範囲を越えるときには,検査対象範囲を電
子走査範囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最
短移動距離を演算して,前記移動装置を駆動させること
を特徴とする電子走査型X線源による物品の構造検査装
置。 - 【請求項2】 電子ビームでターゲット面を走査するこ
とにより,該ターゲット面からX線を発生させる電子走
査型X線源からの前記X線を,移動装置上に載置された
被検査物に照射して,該被検査物を透過したX線量を検
出することにより,前記被検査物の構造検査を行う電子
走査型X線源による物品の構造検査装置において,予め
設定された前記被検査物の検査対象範囲のデータを記憶
する記憶手段と,前記検査対象範囲のデータと,前記電
子ビーム走査によってX線を発生させる電子走査範囲の
データとを比較して,前記検査対象範囲が前記電子走査
範囲内であるか否かを判断する比較判定手段と,前記検
査対象範囲が前記電子走査範囲を越えるとき,検査対象
範囲を電子走査変移毎に分割して検査を行うための被検
査物の最短移動距離を得る移動方向と移動量とを演算す
る手法を記憶する移動距離演算手法記憶手段と,前記比
較判定手段により検査対象範囲が電子走査範囲を越える
と判定されたとき,前記移動距離演算手法記憶手段に記
憶された演算手法に基づき前記移動装置の移動方向と移
動量とを演算する移動距離演算手段と,前記移動方向演
算手段により演算された移動量で移動方向に前記移動装
置を移動させる駆動手段とを具備してなることを特徴と
する電子走査型X線源による物品の構造検査装置。 - 【請求項3】 上記移動距離演算手法記憶手段が,電子
走査範囲a×bと検査対象範囲x×yとからx÷a及び
y÷bの演算を行い,このいずれかの演算結果が1を超
えた時,x方向での正逆反転移動量と,y方向での正逆
移動量との小さい方の移動量を選択する演算を行う手法
を記憶する請求項2記載の電子走査型X線源による物品
の構造検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4225782A JPH0674918A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子走査型x線源による物品の構造検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4225782A JPH0674918A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子走査型x線源による物品の構造検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0674918A true JPH0674918A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=16834703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4225782A Pending JPH0674918A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子走査型x線源による物品の構造検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0674918A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2010282810A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置 |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP4225782A patent/JPH0674918A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP4742782B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-08-10 | 株式会社島津製作所 | X線検査装置 |
JP2010282810A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置 |
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