JP2007121082A - X線画像出力装置、x線画像出力方法およびx線画像出力プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線によって検査対象を検査するにあたり、X線を複数の検査対象品に照射して複数の方向から撮影した複数のX線画像を取得し、上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行して検査対象品の3次元画像を取得し、上記3次元画像に基づいて上記複数の検査対象品のそれぞれについて複数の断面画像を作成し、所定の出力部において、上記複数の検査対象品の配置に対応した位置に当該複数の断面画像を出力する。
【選択図】図6
Description
すなわち、上記従来のX線検査装置においては、上述の水平断面に基づいて不良品の候補を抽出した後、さらに上述の垂直断面を参照して不良品であるか否かを判別する。しかし、BGA(Ball Grid Array)のバンプなど、検査対象品が多数である場合には、異なる複数の位置に不良品の候補が存在し得る。この場合、不良品の候補を選択し、垂直断面に切り替え、良否を判定した後、さらに水平断面の表示に戻り、再度候補の選択を繰り返すという作業を逐一行うのは非常に煩雑である。また、上記BGAのバンプのように検査対象品が多数であると、水平断面で抽出した不良品の候補と垂直断面における検査対象品の像とを一致させることが困難であり、誤認の原因となってしまう。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、多数の検査対象品が存在する場合であっても簡単かつ確実に良否判定を実行可能なX線画像出力装置、X線画像出力方法およびX線画像出力プログラムの提供を目的とする。
(1)本発明の構成:
(2)X線検査処理:
(2−1)断面出力処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明にかかるX線画像出力装置を備えたX線検査装置10の概略ブロック図である。同図において、このX線検査装置10は、X線発生器11とX−Yステージ12とX線検出器13aと搬送装置14とを備えており、各部をCPU25によって制御する。すなわち、X線検査装置10はCPU25を含む制御系としてX線制御機構21とステージ制御機構22と画像取得機構23と搬送機構24とCPU25と入力部26と出力部27とメモリ28とを備えている。この構成において、CPU25は、メモリ28に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。
本実施形態においては、上述の構成において図2に示すフローチャートに従って検査対象品の良否判定を行う。本実施形態においては、多数の基板12aを搬送装置14によって搬送し、逐次X−Yステージ12上で基板12a上のバンプを検査する。このため、検査に際しては、まずステップS100にて搬送制御部25aが搬送機構24に指示を出し、搬送装置14によって検査対象の基板12aをX−Yステージ12上に搬送する。
次に、上記ステップS140における断面出力処理の詳細な例を説明する。図5は、断面出力処理の一例を示すフローチャートである。本実施形態においては、最初にバンプの水平断面画像(上記x−y平面に平行な断面の画像)を出力部27に出力し、利用者の要求に応じて垂直断面画像を出力するように構成されている。このために、まず、X線画像出力部25eは、上記ステップS135にて生成した3次元画像データ28dに基づいて予め決められた位置(z方向の位置)にて水平方向に切断した画像を生成し、複数のバンプの水平断面画像を一枚の画像として出力部27に出力させる(ステップS200)。
なお、切断角度に関しては、検査時の指定と予め設定記憶した切断角度による指定の選択が行えるものとする。
また、切断角度の指定は、1つの切断角度だけではなく、例えば45度ごとの切断角度のように複数の切断角度による設定が行えるものとする。
なお、上記において、個々のバンプの面積が総パンプ面積の平均値に満たないバンプの中心位置については、バンプ間の平均値を基準として隣接するバンプから中心位置を算出するものとする。
なお、バンプの中心位置を算出する方法としては、上記の他、設計上のバンプ位置情報を適用し、水平断面画像上の代表バンプの中心位置から全てのバンプの中心位置を算出するなど、種々の方法を採用することが可能である。
本発明においては、複数の検査対象品のそれぞれについて複数の断面画像を作成し、当該複数の検査対象品の配置に対応した位置に複数の断面画像を出力することによって簡単かつ確実に良否判定を行うことができる限りにおいて、種々の構成を採用可能である。例えば、水平断面画像と垂直断面画像とを切り替えて表示することが必須というわけではなく、出力部27においてはじめから同じ画面上に水平断面画像と垂直断面画像とを出力する構成を採用してもよい。
11…X線発生器
12…X−Yステージ
12a…基板
13a…X線検出器
13b…回転機構
14…搬送装置
21…X線制御機構
22…ステージ制御機構
23…画像取得機構
23a…θ制御部
24…搬送機構
25…CPU
25a…搬送制御部
25b…X線制御部
25c…ステージ制御部
25d…画像取得部
25e…X線画像出力部
26…入力部
27…出力部
28…メモリ
28a…検査位置データ
28b…撮像条件データ
28c…X線画像データ
28d…3次元画像データ
Claims (7)
- X線を複数の検査対象品に照射して複数の方向から撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、
上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行して検査対象品の3次元画像を取得する3次元画像取得手段と、
上記3次元画像に基づいて上記複数の検査対象品のそれぞれについて複数の断面画像を作成し、所定の出力部において、上記複数の検査対象品の配置に対応した位置に当該複数の断面画像を出力する断面画像出力手段とを備えることを特徴とするX線画像出力装置。 - 上記複数の検査対象品は所定の平面上に配置され、上記断面画像出力手段は当該所定の平面上の配置と上記所定の出力部における出力位置とを対応させて上記複数の断面画像を出力することを特徴とする上記請求項1に記載のX線画像出力装置。
- 上記断面画像出力手段は、上記所定の平面と略平行な第1断面と当該第1断面に略垂直な第2断面との断面画像を作成することを特徴とする上記請求項2に記載のX線画像出力装置。
- 上記断面画像出力手段は、上記第1断面を出力した後に上記第2断面を出力することを特徴とする請求項3に記載のX線画像出力装置。
- 上記断面画像出力手段は、上記第1断面を出力しているときに不良品の候補となる検査対象品の指示を受け付け、上記第2断面を出力しているときに当該指示された検査対象品が不良品の候補であることを示す出力を行うことを特徴とする上記請求項3または請求項4のいずれかに記載のX線画像出力装置。
- X線によって検査対象を検査するX線画像出力方法であって、
X線を複数の検査対象品に照射して複数の方向から撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得工程と、
上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行して検査対象品の3次元画像を取得する3次元画像取得工程と、
上記3次元画像に基づいて上記複数の検査対象品のそれぞれについて複数の断面画像を作成し、所定の出力部において、上記複数の検査対象品の配置に対応した位置に当該複数の断面画像を出力する断面画像出力工程とを備えることを特徴とするX線画像出力方法。 - X線によって検査対象を検査するX線画像出力プログラムであって、
X線を複数の検査対象品に照射して複数の方向から撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得機能と、
上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行して検査対象品の3次元画像を取得する3次元画像取得機能と、
上記3次元画像に基づいて上記複数の検査対象品のそれぞれについて複数の断面画像を作成し、所定の出力部において、上記複数の検査対象品の配置に対応した位置に当該複数の断面画像を出力する断面画像出力機能とをコンピュータに実現させることを特徴とするX線画像出力プログラム。
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